JP3067001B2 - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

Info

Publication number
JP3067001B2
JP3067001B2 JP5066541A JP6654193A JP3067001B2 JP 3067001 B2 JP3067001 B2 JP 3067001B2 JP 5066541 A JP5066541 A JP 5066541A JP 6654193 A JP6654193 A JP 6654193A JP 3067001 B2 JP3067001 B2 JP 3067001B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cover
pressure
terminal
sensitive element
pressure sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP5066541A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH06281519A (ja
Inventor
干城 三谷
幸治 秋山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP5066541A priority Critical patent/JP3067001B2/ja
Publication of JPH06281519A publication Critical patent/JPH06281519A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3067001B2 publication Critical patent/JP3067001B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、気体や液体の圧力を
測定する圧力センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3は例えば実開平4−64741号公
報に示された従来の圧力センサの断面図、図4は図3を
上からみた図である。図において、1は外部に電気的に
接続されるターミナル、2はターミナル1を包含しかつ
図示しない外部コネクタと機械的に接続されるコネク
タ、3は外部から侵入する電波ノイズをカットするコン
デンサで、シールド板4及びターミナル1に半田付けさ
れている。5は例えば半導体によるピエゾ抵抗効果を用
いた感圧素子6,この感圧素子6の出力信号を増幅しさ
らに温度補償する機能をもつ電子回路(HIC)7,及
び外部からの電波ノイズを遮蔽するシールドカバー8等
を装着した基板で、ターミナル1と半田付部9により接
続されている。10は感圧素子6の圧力導入部すなわち
ニップル、11はニップル10部とカップ12との間を
シールするOリング、13はカップ12とターミナル
1,コネクタ2と一体化したベース14との間に挿入さ
れたフィルタ、15は感圧素子6,電子回路7,基板5
等を保護しかつベース14と固着されたカバーである。
【0003】次に動作について説明する。フィルタ13
を通って感圧素子6に伝わった圧力は、感圧素子6内の
例えば半導体ピエゾ抵抗効果を利用したダイアフラムを
歪ませ、その歪み量に応じた抵抗値変化を電子回路7に
伝える。そこで、数十倍に増幅し、更に広い温度範囲で
も精度良く測定できるように温度補償がされている。こ
の圧力に応じた出力電圧変化は、コネクタ2内のターミ
ナル1を通して外部の図示しない例えばコンピュータに
伝わる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の圧力センサは以
上のように構成されているので、基板5上に占める感圧
素子6及び電子回路7の面積が大きくなり、そのために
シールドカバー8が大形となると共に、コンデンサ3を
半田付けするシールド板4が必要となって外形が大きく
なると共に、同時にコストも高くなるという問題点があ
った。
【0005】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、小形化が図れると共に同時にコ
ストダウンが図れる圧力センサを得ることを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係る圧力セン
サは、ターミナルをインサートしたコネクタとカバーと
を一体化し、コンデンサをシールドカバーに半田付けし
た後カバーに固定し、感圧素子と電子回路とを重ねて装
着した基板をカバーに固定すると共にフィルタを内蔵し
たベースをカバーに固定したものである。
【0007】
【作用】この発明における圧力センサは、感圧素子と電
子回路とを重ねて基板上に装着してコネクタをカバーと
一体化したことにより、小形化されコストが下がる。
【0008】
【実施例】
実施例1.以下、この発明の一実施例を図1,図2につ
いて説明する。図1は断面図、図2は図1を上からみた
図である。図において、16はターミナル17をインサ
ート成形したコネクタ18と一体化したカバー、19は
コンデンサ20を半田付けしたシールドカバーで、カバ
ー16内に固定されている。21は感圧素子22と長い
リード23aを用いた電子回路(HIC)23とを重ね
て装着した基板で、ターミナル17に半田付け21aさ
れている。24はフィルタ25を内蔵したベースで、カ
バー16と固定されている。
【0009】次に動作について説明する。測定対象の圧
力媒体が、フィルタ25を通り圧力導入部26から感圧
素子22の図示しない例えば半導体ピエゾ抵抗効果を利
用したダイアフラムに到着すると、ダイアフラムが歪
み、ダイアフラム上に形成された4本のブリッジ状の抵
抗のバランスがくずれ、抵抗差が生じる。これを電圧変
換して電子回路23に伝え、ここで増幅及び温度補償し
てターミナル17より出力電圧の変化として図示しない
コンピュータ等へ伝える。又コンデンサ20は、ターミ
ナル17から入ってくる電波ノイズを、シールドカバー
19は外来の電波ノイズをそれぞれ遮断し、圧力センサ
が正常に機能するように保護する。
【0010】このように感圧素子22と電子回路23と
を重ねて基板21上に装着しておくと、全体として従来
タイプに比べ容積が2/3になり、重量も2/3となっ
て小形化が図れると共に同時に安価になる。
【0011】実施例2.上記実施例では感圧素子22の
上方に電子回路23を装着したものを示したが、電子回
路23の上方に感圧素子22を設けてもよい。又、フィ
ルタ25がない場合も同様である。又、上記実施例では
圧力センサの場合について説明したが、他の例えば加速
度センサや電流センサであっても、上記実施例と同様の
効果を奏する。
【0012】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば基板上
に感圧素子と電子回路とを重ねて装着すると共にコネク
タとカバーを一体構造にしかつシールドカバーをカバー
に固定するように構成したので、装置が従来品に比べて
2/3の形状になって小形となると共に安価になるとい
う効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例による圧力センサを示す断
面図である。
【図2】図1を上からみた図である。
【図3】従来の圧力センサを示す断面図である。
【図4】図3を上からみた図である。
【符号の説明】
16 カバー 17 ターミナル 18 コネクタ 19 シールドカバー 20 コンデンサ 21 基板 22 感圧素子 23 電子回路 24 ベース 25 フィルタ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−266429(JP,A) 特開 平5−52689(JP,A) 実開 昭62−189636(JP,U)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ターミナルをインサートしたコネクタと
    一体化したカバーと、このカバー内に固着されかつコン
    デンサが半田付けされるシールドカバーと、前記ターミ
    ナルに半田付けされかつ感圧素子と電子回路とが重ねて
    装着される基板と、前記カバーに固着されかつフィルタ
    が内蔵されるベースとを備え、前記基板を前記カバーに
    固着されたシールドカバーと前記ベースの間にはさみ込
    む構造を特徴とする圧力センサ。
JP5066541A 1993-03-25 1993-03-25 圧力センサ Expired - Lifetime JP3067001B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5066541A JP3067001B2 (ja) 1993-03-25 1993-03-25 圧力センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5066541A JP3067001B2 (ja) 1993-03-25 1993-03-25 圧力センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06281519A JPH06281519A (ja) 1994-10-07
JP3067001B2 true JP3067001B2 (ja) 2000-07-17

Family

ID=13318872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5066541A Expired - Lifetime JP3067001B2 (ja) 1993-03-25 1993-03-25 圧力センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3067001B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3034740B2 (ja) * 1993-11-30 2000-04-17 三菱電機株式会社 コネクタ一体型センサ
JPH08105808A (ja) * 1994-10-05 1996-04-23 Mitsubishi Electric Corp 圧力センサ
JPH11351990A (ja) 1998-04-09 1999-12-24 Fujikoki Corp 圧力センサ
JP6240750B2 (ja) * 2013-04-30 2017-11-29 グロロー,マイケル,レイモンド 中継コネクタ
JP2016103654A (ja) * 2016-01-04 2016-06-02 旭化成ケミカルズ株式会社 電子装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH06281519A (ja) 1994-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7353711B2 (en) Capacitive sensor
RU2279650C2 (ru) Модуль с датчиком давления
US5438859A (en) Acceleration sensor having fault diagnosing device
US5335549A (en) Semiconductor pressure sensor having double diaphragm structure
KR20050059273A (ko) 센서장치
US6520014B1 (en) Microsensor having a sensor device connected to an integrated circuit by a solder joint
JP2011519041A (ja) 圧力センサ
EP0049955A1 (en) Dual cavity pressure sensor
JP3067001B2 (ja) 圧力センサ
JPH10148590A (ja) 圧力検出装置
JP2792116B2 (ja) 半導体圧力センサ
JPS6412329B2 (ja)
US3900811A (en) Economical pressure transducer assemblies, methods of fabricating and mounting the same
JPH01150832A (ja) 半導体圧力センサ
JP3409980B2 (ja) 半導体圧力センサ
JPH064306Y2 (ja) 物理量変換装置
JPH02196938A (ja) 圧力センサ
JPH1038730A (ja) 圧力センサ並びに圧力センサを用いた圧力検出装置
Bicking et al. Totally integrated pressure transducer
JPH0843435A (ja) 加速度センサ
JPH04218739A (ja) 半導体圧力センサ装置
JP2583137B2 (ja) 半導体圧力センサ
JPH08193900A (ja) 半導体圧力センサ
JP2591144B2 (ja) 半導体圧力センサ
JPH07286925A (ja) 圧力センサーとこの圧力センサーを用いたガス供給システム及びガス漏れ検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080519

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090519

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100519

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110519

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110519

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120519

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130519

Year of fee payment: 13