JPH07286925A - 圧力センサーとこの圧力センサーを用いたガス供給システム及びガス漏れ検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 組立性に優れ、性能歩留りもよいし、また、
使用中の原点補正等の複雑な処理が不要になるばかり
か、温度、湿度に影響され難い圧力センサーを提供する
ことである。 【構成】 圧力流体の圧力を感知する受圧部を有する受
圧ユニットＡと、固定電極２６、３０と受圧ユニットＡ
が感知した圧力に応じて移動し且つ固定電極２６、３０
間に絶縁保持された可動電極２８とからなる差動型セン
サー部１８を有するセンサーユニットＢと、リファレン
ス部を内有し且つ前記差動型センサー部１８および前記
リファレンス部の静電容量を処理し所望の信号を出力す
る信号処理ユニットＥとを備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、流体（ガス等）の圧力
を検出し、圧力に応じた信号を出力する圧力センサーと
この圧力センサーを用いたガス供給システムとこの圧力
センサーを用いたガス漏れ検出方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の圧力センサーとして特開
昭５９−１７１８２６号公報に開示された技術がある。
この開示技術は、ハウジング、ダイヤフラムおよびスペ
ーサの温度係数を合わせて温度補償しょうとするもので
あり、金属材料よりなるハウジングに、可動電極を半田
付けにて支持しているダイヤフラムが半田付けにて固定
されており、プラスチック材よりなる環状のスペーサが
ハウジングにねじにより固定されると共に、固定電極と
しての鉄板が可動電極に対向するごとくねじにより固定
されている。

【０００３】また、従来のこの種の圧力センサーとして
実開昭６３−２００３９号公報に開示された技術があ
る。この開示技術は、ダイヤフラムの中央部に可動電極
を押す連結体を設け、可動電極からリード線を取り出す
センサー構造である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
特開昭５９−１７１８２６号公報に開示された技術の場
合、ダイヤフラムに可動電極を半田付けする構造である
ため、ダイヤフラムの材質が限定され、用途が限定され
る。また、生産するためには半田付け用の特殊な設備が
必要になり、量産性に劣る。また、性能の面からは、一
対の可動および固定電極で構成されているために、寄生
容量によるセンサー直線性の劣化が避けられないし、こ
の直線性を得るためには、一品対応のマイコン補正が必
要となり、制度が必要な用途では使用できない。また、
湿度補正が不可能である為、産業用には使用できないと
いう問題点があった。

【０００５】また、上記の実開昭６３−２００３９号公
報に開示された技術の場合には、上記公報の開示技術に
類似の問題点があったし、可動電極からリード線を取り
出す構成であるために、組立性が悪かったし、負の圧力
が印加されると過大な応力がダイヤフラムの中心部に加
わり、性能変化または破壊に至るという問題点があっ
た。

【０００６】また、図２３、図２４に示す圧力センサー
は、圧力流体の圧力を感知するダイヤフラム１１０を有
する受圧部Ｍと、固定電極１１２、１１３と受圧部Ｍが
感知した圧力に応じて移動し且つ固定電極１１２、１１
３間に絶縁保持された可動電極１１４とからなるセンサ
ー部Ｎと、このセンサー部Ｎの静電容量を処理し所望の
信号を出力する信号処理部Ｐとを備えており、前記受圧
部Ｍはセンサー部Ｎを収容するベース１１６を有し、セ
ンサー部Ｎは信号処理部Ｐを収容する電極押え１１７を
有し、前記ベース１１６に、前記ダイヤフラム１１０と
センサー部Ｎと電極押え１１７とを収容し、この電極押
え１１７に信号処理部Ｐを収容してカバー１１８を被せ
て前記ベース１１６とカバー１１８とを互いにねじで固
着して圧力センサーが構成してある。

【０００７】この様に構成された圧力センサーにあって
は、この圧力センサーの電気的特性について外部からの
ノイズ（電界強度等）から保護するために図２３に示す
ように圧力センサー全体をシールド板１２０で覆ってい
たために、外形が大きくなっていたし、組み立てにく
く、外観が悪くなっていたし、センサー部（電極部）Ｎ
から離れてシールドを行っているためにシールド効果が
十分でないという問題点があった。

【０００８】また、前記ベース１１６、カバー１１８、
電極押え１１７は樹脂成形品であり、この樹脂成形品が
膨脹すると、図２４に示すようにセンサー部Ｎの固定電
極１１２、１１３と可動電極１１４との間の絶縁フイル
ム１２１が圧縮される。その結果、電極間距離が短くな
り、静電容量が変化してしまい、電気的特性が変化して
しまうし、温度、湿度等の環境変化により部品の寸法変
化、及び外部ストレスによる部品の位置変化により、電
極にかかるストレスが変化し、電極間距離が変化して圧
力センサーの特性が変化する。

【０００９】また、圧力センサーには内部の空間を外気
に連通させる連通部がないために、外部からの圧力印加
によりダイヤフラム１１０が加圧され移動するとき、セ
ンサー部１１５の圧力は圧縮され、プランジャ１２３の
移動及び可動電極１１４の圧力は下がり、プランジャ１
２３の移動がダイヤフラム１１０の動きに追従しない。
このために、ヒステリシス等の発生の原因になってい
た。

【００１０】また、従来の圧力センサーにあっては、そ
のプランジャ１２３の端面形状が、図２６（１）に示す
ように平坦面であるために、このプランジャ１２３が衝
撃などにより傾くと図２６（２）に示すようにダイヤフ
ラム１１０と可動電極１１４との間隔が変わるために特
性が変動するという問題点があった。

【００１１】また、前記ダイヤフラム１１０の固定及び
圧力のシールにおいて、ベース１１６とダイヤフラム押
え１１９は、外周の全面で圧入しており、寸法バラツ
キ、組立性が安定しなかったし、また、圧入後、接着剤
で固定しており、作業性に問題があった。

【００１２】また、圧力センサーはねじ１４０で機器に
取り付けられている。しかし、ベース１１６及びカバー
１１８は樹脂製であるために、ねじ１４０の締め付けに
よりひずみが発生し、内部に部品に悪影響（特性変動）
を与えていた。

【００１３】また、圧力センサーの微調整を行うためボ
リュームを使用している。この調整は、組み立て途中に
行われており、調整後の組立（リード線半田付け、カバ
ー組立）において、調整値が変動する可能性があった
し、また、この種のセンサーは一般的に環境性に優れて
いる必要があり、ボリュームは外部から保護する必要が
ある。

【００１４】また、圧力センサーにおいては、組み立て
バラツキを極力なくすために、各部品に高精度なものを
使用し、また、受圧部Ｍとセンサー部Ｎは最適組み合わ
せを探し出し、組み立てる必要があった。

【００１５】また、圧力センサーにおいては、受圧部Ｍ
へのセンサー部Ｎの固定は、圧入および接着剤で行われ
ており、このために部品バラツキなどにより圧入がバラ
ツキいたり、接着作業に時間がかかるという問題点があ
った。

【００１６】また、センサー部Ｎの固定後、リード線半
田付け、カバー組み合わせを行うが、図２７に示すよう
に電極押え１１７に２個の突起部１３０、１３１を形成
し、カバー１１８の内面に押え部１３２を設けて突起部
１３０、１３１と押え部１３２とでリード線１３３を押
えて、このリード線１３３の引っ張り強度を確保してい
た。このために、リード線１３３に掛かるストレスが強
すぎ、カバー１１８の圧入時に前記リード線１３３が傷
ついたり、断線したりするという問題点があった。

【００１７】本発明は、上記の問題点に着目して成され
たものであって、その第１の目的とするところは、組立
性に優れ、また、個々に検査ができるため性能歩留りも
良いし、また、回路処理により特性の絶対値を補正でき
て使用中の原点補正等の複雑な処理が不要になるばかり
か、温度、湿度に影響されにくいセンサー直線性を有す
る圧力センサーを提供することにある。

【００１８】また、本発明の第２の目的とするところ
は、組立性に優れ、また、個々に検査ができるため性能
歩留りも良いし、また、回路処理により特性の絶対値を
補正できて使用中の原点補正等の複雑な処理が不要にな
るばかりか、温度、湿度に影響されにくいセンサー直線
性を有する圧力センサーを使用したガス供給システムを
提供することにある。

【００１９】また、本発明の第３の目的とするところ
は、組立性に優れ、また、個々に検査ができるため性能
歩留りも良いし、また、回路処理により特性の絶対値を
補正できて使用中の原点補正等の複雑な処理が不要にな
るばかりか、温度、湿度に影響されにくいセンサー直線
性を有する圧力センサーを使用したガス検出方法を提供
することにある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】上記の第１の目的を達成
するために、本発明の圧力センサーは、圧力流体の圧力
を感知する受圧部を有する受圧ユニットと、固定電極と
受圧ユニットが感知した圧力に応じて移動し且つ固定電
極間に絶縁保持された可動電極とからなるセンサー部を
有するセンサーユニットと、リファレンス部を内有し且
つ前記センサー部および前記リファレンス部の静電容量
を処理し所望の信号を出力する信号処理ユニットとを備
えたことを特徴とする。

【００２１】そして、前記センサーユニットに、一対の
シールド板を付加して、これらのシールド板でセンサー
部を挟み込むことが好ましい。

【００２２】そして、前記センサーユニットを、電極ホ
ルダ内にセンサー部と押えばねとを収容して、電極押え
により前記押えばねを介して前記センサー部を押さえる
ようにすることが好ましい。

【００２３】そして、前記受圧ユニット以外の各部品に
通気孔を設けて外部解放にすることが好ましい。

【００２４】そして、前記受圧ユニットを、ベースの収
容部にダイヤフラムとダイヤフラム押えとを収容し、こ
のダイヤフラムをダイヤフラム室に位置させて、このダ
イヤフラム室の受圧側を前記流入口に連通し、前記ダイ
ヤフラム押えにプランジャ保持孔部を形成して構成し、
前記ダイヤフラム押えの外周面部に、このダイヤフラム
押えの前記ベースの収容部への収容時に、このベースの
内周面に圧入する圧入リブを設け、前記ダイヤフラム押
えの前記ベースの収容部への収容時に固定ピンにより前
記ベースに前記ダイヤフラム押えを固定することが好ま
しい。

【００２５】そして、前記受圧ユニットの受圧部と前記
センサーユニットと前記信号処理ユニットとを、前記受
圧ユニットのベースとカバーとで封じるようにして、前
記ベースに設けた孔部と前記カバーに設けた孔部とに金
属チューブを挿通し、この金属チューブの端部をカシメ
ることにより前記ベースと前記カバーとを固定すること
が好ましい。

【００２６】そして、センサー出力特性を外部より調整
可能にすることが好ましい。

【００２７】そして、前記受圧ユニットを、ベースの収
容部にダイヤフラムとダイヤフラム押えとを収容し、こ
のダイヤフラムをダイヤフラム室に位置させて、このダ
イヤフラム室の受圧側を前記流入口に連通し、前記ダイ
ヤフラム押えにプランジャ保持孔部を形成して構成し、
前記受圧ユニットと前記センサーユニットとを組み合わ
せる際に、前記受圧ユニットのプランジャ保持孔部に、
前記ダイヤフラムの変位を前記センサーユニットの可動
電極に伝えるプランジャを着脱可能に挿入することが好
ましい。

【００２８】そして、前記信号処理ユニットにセンサー
の微調整を行うボリュームを設け、前記受圧ユニットの
受圧部と前記センサーユニットと前記信号処理ユニット
とを、前記受圧ユニットのベースとカバーとで封じるよ
うにして、このカバーに前記ボリュームを外部より調整
するための孔部を設けることが好ましい。

【００２９】そして、前記プランジャの前記ダイヤフラ
ムおよび前記可動電極に接する部分を球面にすることが
好ましい。

【００３０】上記の第２の目的を達成するために、本発
明のガス供給システムは、圧力センサーを、少なくと
も、圧力流体の圧力を感知する受圧部を有する受圧ユニ
ットと、固定電極と受圧ユニットが感知した圧力に応じ
て移動し且つ固定電極間に絶縁保持された可動電極とか
らなる差動型センサー部を有するセンサーユニットと、
リファレンス部を内有し且つ前記差動型センサー部およ
び前記リファレンス部の静電容量を処理し所望の信号を
出力する信号処理ユニットとを備えた構成にし、ガスボ
ンベからガスコンロに至る配管系に設けられたメーター
内のガス流路に前記圧力センサーを接続したことを特徴
とする。

【００３１】上記の第３の目的を達成するために、本発
明のガス漏れ検出方法は、圧力センサーを、少なくと
も、圧力流体の圧力を感知する受圧部を有する受圧ユニ
ットと、固定電極と受圧ユニットが感知した圧力に応じ
て移動し且つ固定電極間に絶縁保持された可動電極とか
らなる差動型センサー部を有するセンサーユニットと、
リファレンス部を内有し且つ前記差動型センサー部およ
び前記リファレンス部の静電容量を処理し所望の信号を
出力する信号処理ユニットとを備えた構成にし、この圧
力センサーをガス配管系に設けて、ガス漏れによる圧力
低下を検出するようにしたことを特徴とする。

【００３２】

【作用】請求項１の構成により、圧力を受ける受圧ユニ
ット、性能を決めるセンサーユニットおよび信号処理ユ
ニットのユニット単位で構成されるために、組立性に優
れ、また、個々に検査ができるため性能歩留りも良い
し、また、前記信号処理ユニットがリファレンス部を内
蔵しており、回路処理により特性の絶対値を補正できる
ため、使用中の原点補正等の複雑な処理が不要になる。
また、センサー直線性は、温度、湿度に影響されにく
い。

【００３３】また、請求項２の構成により、外部にシー
ルド板を装着しなくてもよくなり、外形が小さく、組み
立て易く、外観が良くなり、また、センサー部（電極
部）から離れることなくシールドが行えるためにシール
ド効果が十分になる。

【００３４】また、請求項３の構成により、前記ベー
ス、カバー、電極押え等の樹脂成形品が、温度、湿度等
の環境変化により寸法変化、及び外部ストレスによる部
品の位置変化が生じても、これらの寸法変化および位置
変化を押えばねが吸収する。このために、電極にかかる
ストレスが一定に保たれ、センサーの特性変化を押える
ことができる。

【００３５】また、請求項４の構成により、外部からの
圧力印加により、前記受圧ユニット以外の各部品の通気
孔から空気が逃げる。このために、ダイヤフラムが加圧
されて移動することがなく、プランジャの移動及び可動
電極部の圧力は下がり、プランジャの移動がダイヤフラ
ムの動きに追従しないという不具合が防止され、ヒステ
リシス等の発生がなくなる。

【００３６】また、請求項５の構成により、前記ダイヤ
フラムの固定及び圧力のシールにおいて、長期使用にお
ける変化を防止することができる。したがって、作業性
がよくなる。

【００３７】また、請求項６の構成により、圧力センサ
ーをねじで機器に取り付ける場合、前記ベースと前記カ
バーとを固定する金属チューブにねじを挿入し、このね
じの締付力は金属チューブに加わり、樹脂製のベース及
びカバーに加わることがないので、ベース及びカバー
に、ねじの締め付けによりひずみが発生することがな
く、内部の部品に悪影響（特性変動）を与えることが防
止される。

【００３８】また、請求項７の構成により、ボリューム
を外部から保護することが可能になり、圧力センサーが
環境性に優れたものになる。

【００３９】また、請求項８の構成により、前記受圧ユ
ニットとセンサーユニットの組み合わせの際に、ダイヤ
フラムと可動電極との間隔をプランジャの長さにより調
整することにより、各部品の寸法バラツキによる初期値
変動を容易に補うことができる。そのために、各部品の
精度を比較的簡単（ラフ）に設定でき、組立性の簡易化
も可能になる。

【００４０】また、請求項９の構成により、圧力センサ
ーの微調整を行うボリュームの調整を、組み立て後に行
うことができる。このために、調整後の組立（リード線
半田付け、カバー組立）において、調整値が変動して
も、その調整が可能になるし、また、ボリュームを外部
から保護することが可能になり、圧力センサーが環境性
に優れたものになる。

【００４１】また、請求項１０の構成により、前記プラ
ンジャが衝撃などにより傾いてもダイヤフラムと可動電
極との間隔を一定に保つことができて、特性の変動をな
くすことができる。

【００４２】また、請求項１１の構成により、ガスボン
ベからガスコンロに至る配管系を有するガス供給システ
ムに使用できる。

【００４３】また、請求項１２の構成により、圧力セン
サーをガス配管系に設けて、ガス漏れによる圧力低下を
検出することができて、ガス漏れ検出を行うことが可能
になる。

【００４４】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は本発明に係わる圧力センサーの縦断面図、
図２は同圧力センサーの分解状態の斜視図である。

【００４５】本発明に係わる圧力センサーは、受圧ブロ
ックである受圧ユニットＡとセンサーユニットＢとカバ
ーＣに大別される。そして、センサーユニットＢは、セ
ンサーユニットＤと信号処理ユニットＥとに大別され
る。

【００４６】前記受圧ユニットＡは、ベース１とＯリン
グ２とダイヤフラム３とダイヤフラム押え４とプランジ
ャ２３とから構成されている。ベース１は図３に示すよ
うに平面視で円形状の収容部５を有し、この収容部５の
底面部５ａには、図１に示すようにこの底面部５ａの中
心を中心とした同心円状の複数のストッパ部（負圧用ス
トッパー）６ａ、６ｂ、６ｃと、ストッパ部６ｃより外
方に位置してこれと同心のＯリング嵌合溝部７とが形成
してある。また、前記底面部５ａには、これの中心から
半径方向に凹陥部８が形成してあり、この凹陥部８は、
ベース１の周面部に突出形成された接続管部９に連通し
ており、これらで流入口１０を構成している。

【００４７】また、前記ベース１の接続端面部１ａの周
縁部には周壁部５２が形成してあり、また、前記接続端
面部１ａの一方の対角にはガイド孔５０ａが、他方の対
角には筒体挿入孔５０がそれぞれ形成してあり、また、
接続端面部１ａの対角部分にはかしめピン５１がそれぞ
れ一対突設してある。また、接続端面部１ａの一辺部に
はリード線導出部５３が形成してある。また、ベース１
の対向する端面には一対の固定ピン孔８０が形成してあ
る。

【００４８】前記ダイヤフラム３は金属製で、図７乃至
図９に示すように面部３ａの周部に取付部３ｂを有する
皿状であり、その中心部にはプランジャ受け部１１が形
成してあり、このプランジャ受け部１１の受面１１ａは
平坦にしてある。また、ダイヤフラム３の面部３ａに
は、プランジャ受け部１１を中心とした円環状の下方
（図６において）に凸の突出部１２ａ、１２ｂ、１２
ｃ、１２ｄと、突出部１２ｄの外方に位置して上方に凸
の突出部１３とが形成してあり、面部３ａの上面側は突
出部１３を除いて平坦面にしてある。

【００４９】前記ダイヤフラム押え４は、前記ベース１
の円形状の収容部５に挿入されるように平面視で円形を
なし、その周縁部には周壁部４ａが形成してある。そし
て、ダイヤフラム押え４の外周部には圧入リブ８１が形
成してあり、周壁部５ａには対向する位置に一対の固定
ピン孔８２が形成してある。また、前記ダイヤフラム押
え４の底部外面が平坦なストッパ部（正圧用ストッパ
ー）１４にしてあり、この底部の中心部にはプランジャ
保持孔部１５が形成してあり、このプランジャ保持孔部
１５の周部は肉厚にしてある。

【００５０】前記プランジャ２３は図１６に示すように
ピン状のプランジャ本体５５に鍔部５６を形成したもの
であり、プランジャ本体５５の両端面は球面である凸状
球面５７、５８になっている。

【００５１】そして、前記ベース１の収容部５には、こ
れのＯリング嵌合溝部７にＯリング２を嵌合し、前記ダ
イヤフラム３とダイヤフラム押え４とが収容してあり、
このダイヤフラム押え４はダイヤフラム３の周部の取付
部３ｂを押えていて、このダイヤフラム３を固定してお
り、このダイヤフラム３は、収容部５の底面部５ａとダ
イヤフラム押え４のストッパ部１４とが画成するダイヤ
フラム室１６に位置していて、このダイヤフラム室１６
の受圧側は前記流入口１０に連通している。この場合、
前記ダイヤフラム押え４の外周部の圧入リブ８１が前記
収容部５に圧入されており、前記ベース１の固定ピン孔
８０に挿入された固定ピン８４が前記ダイヤフラム押え
４の固定ピン孔８２に挿入されている。

【００５２】また、前記プランジャ２３は前記ダイヤフ
ラム押え４のプランジャ保持孔部１５に挿入してあっ
て、プランジャ２３の鍔部５６がプランジャ保持孔部１
５の周部の肉厚部１５ａに接していて、プランジャ２３
の一端部（下端部）の凸状球面５８は、前記ダイヤフラ
ム３のプランジャ受け部１１の平坦な受面１１ａに接し
ている。

【００５３】前記センサーユニットＢは、電極ホルダ１
７とセンサー部である差動型センサー部１８と押えばね
２０と電極押え２１とにより構成してある。電極ホルダ
１７の中心部には保持孔２２が形成してあり、また、電
極ホルダ１７の底部には電極受け部２４が形成してあ
り、電極ホルダ１７の内周面部には端子挿入溝２５が複
数形成してある。また、電極ホルダ１７の周壁部１７ａ
の端部には１８０度位相をずらして係止突起部７０が形
成してあり、この係止突起部７０は先端に外方に突出す
る爪７１を有しており、この爪７１の中央部には係止凹
部７２が形成してある（図１７参照）。

【００５４】前記差動型センサー部１８は、一方のシー
ルド板５９と、円環状の第１の絶縁フイルム２７ａと、
円盤状の一方の固定電極２６と、円環状の第２の絶縁フ
イルム２７ｂと、円盤状の可動電極２８と、円環状の第
３の絶縁フイルム２７ｃと、円盤状の他方の固定電極３
０と、円環状の第４の絶縁フイルム２７ｄと、他方のシ
ールド板６０とを備えている。そして、前記シールド板
５９、６０、固定電極２６、３０および可動電極２８に
はそれぞれ端子部５９ａ、６０ａ、２６ａ、３０ａ，２
８ａが形成してあり、シールド板５９、６０、固定電極
２６、３０の中心には通気孔５９ｂ、６０ｂ、２６ｂ、
３０ｂが形成してある。また、前記可動電極２８はその
周部が押え部２８ｂであり、中央部が可動部２８ｃであ
って、押え部２８ｂと可動部２８ｃとの間には周方向に
複数のスリット２８ｄが形成してあって、スリット２８
ｃ間の支え部２８ｅにより可動部２８ｃは保持されてい
る。

【００５５】前記押えばね２０は金属製であり、円盤状
の面部２０ａの周部には周方向に所定の間隔をおいて複
数のばね片部２０ｂが切り起こしにより形成してある。

【００５６】前記電極押え２１は、図３に示すようにそ
のケース本体２１Ａの下部に押え部３５を有し、ケース
本体２１Ａの上部に信号処理ユニット収容部３６を有し
ており、前記ケース本体２１Ａには信号処理ユニット収
容部３６を囲む周壁部３６ａが形成してある。そして、
前記信号処理ユニット収容部３６のユニット受け端面部
３６ｂには複数の端子孔３７が形成してある。また、ユ
ニット受け端面部３６ｂには係止突起挿入孔６２が対向
位置に形成してある。これらの係止突起挿入孔６２の端
部には図１７、図１８に示すように係止部６３が形成し
てあり、この係止部６３は係止凸部６４を有している。
また、前記ケース本体２１Ａの周壁部３６ａ外方には対
角位置にかしめピン受け部６５が形成してあり、かしめ
ピン受け部６５にはそれぞれ一対のピン孔６６が形成し
てある。また、前記ケース本体２１Ａの周壁部３６ａに
はリード線導出部６７が形成してある。このリード線導
出部６７は、図１５に示すように１個の突起部６８を備
えており、この突起部６８がリード線保持を行うもので
ある。

【００５７】そして、前記電極ホルダ１７内には、前記
差動型センサー部１８の、一方のシールド板５９と、第
１の絶縁フイルム２７ａと、一方の固定電極２６と、第
２の絶縁フイルム２７と、可動電極２８と、第３の絶縁
フイルム２９と、他方の固定電極３０と、第４の絶縁フ
イルム２７ｄと、他方のシールド板６０および押えばね
２０がこの順序に重ねて収容してあり、前記可動電極２
８は、その押え部２８ｂが上下から絶縁フイルム２７、
２９により挟持されており、端子部２６ａ、３０ａ，２
８ａ、５９ａ、６０ａは電極ホルダ１７のそれぞれに別
の端子挿入溝２５に挿入されている。

【００５８】また、前記電極ホルダ１７内には、前記差
動型センサー部１８に重ねて前記電極押え２１の押え部
３５が挿入してあり、この電極押え２１の端子孔３７か
ら信号処理ユニット収容部３６に向けて前記端子部２６
ａ、３０ａ，２８ａ、５９ａ、６０ａが突出している。
この場合、図１８に示すように前記電極ホルダ１７の係
止突起部７０が電極押え２１の係止突起挿入孔６２に挿
入され、前記電極ホルダ１７を押しながら回転すること
により前記係止突起部７０の爪７１を係止部６３に位置
させ、押圧を解除することにより、前記押えばね２０の
ばね力で、前記係止部６３の係止凸部６４を前記爪７１
の係止凹部７２に係止する。また、前記かしめピン５１
が、前記かしめピン受け部６５のピン孔６６に挿入され
た後、熱によりかしめられる。

【００５９】上記のように構成されたセンサーユニット
Ｂは、前記受圧ユニットＡのベース１の収容部５に収容
してあり、前記プランジャ２３の他端部（上端部）の凸
状球面部５７は前記可動電極２８の可動部２８ｃに下か
ら接している。

【００６０】前記信号処理ユニットＥは、これの収容部
３６に嵌合できる形状の基板３８を有し、この基板３８
には図１９に示すゲートアレー１０３とパルス出力回路
１０４とリファレンス部（図示せず）とを含む電子部品
７３と２個のボリューム７４と搭載してあり、また、基
板３８の周縁部には半円形状の切欠部よりなる端子挿入
部７５と複数のリード線半田付穴７６とが形成してあ
る。これらのリード線半田付穴７６にはリード線４１、
４２、４３の端部が挿入されて半田付けされている。

【００６１】また、前記カバーＣは、図１３に示すよう
にそのカバー本体３９の四隅のうち一方の対角位置にガ
イドピン部７７を有し、また、他方の対角位置に金属チ
ューブ挿入用筒体７８を有し、また、カバー本体３９の
面部に２個の孔部７９を有している。また、カバー本体
３９の辺部にはリード線導出部３９ａが形成してある。

【００６２】そして、信号処理ユニットＥは、図１３に
示すように前記電極押え２１の信号処理ブロック収容部
３６に収容してあり、前記端子部２６ａ、３０ａ，２８
ａ、５９ａ、６０ａは、その対応する基板３８の端子挿
入部７５に挿入された後に接続されている。そして、電
極押え２１の上からカバーＣが被せてあって、カバーＣ
は、そのガイドピン部７７を前記ベース１のガイド孔５
０ａに、金属チューブ挿入用筒体７８を筒体挿入孔５０
にそれぞれ挿入したのち、金属チューブ挿入用筒体７８
内に金属チューブ９０を挿入し、この金属チューブ９０
の一端をカシメることにより、前記ベース１に固定して
あり、前記基板３８に接続されたリード線４１、４２、
４３がカバーＣ外に導出されている（図１４参照）。

【００６３】この場合、リード線４１、４２、４３は図
１５に示すように電極押え２１とカバーＣに設けられた
リード線導出部３９ａ、５３間で挟み込まれており、ま
た、電極押え２１のリード線導出部６７の入口に設けら
れた突起部６８がリード線４１、４２、４３に接してい
て、リード線導出部３９ａ、５３間の挟み込みと突起部
６８との２点（×印）でリード線４１、４２、４３が保
持されている。

【００６４】前記センサーユニットＢにおいて、２つの
固定電極２６、３０および可動電極２８で構成される差
動型センサー部１８は、一方の固定電極２６と可動電極
２８との間の静電容量Ｃ１と他方の固定電極３０と可動
電極２８との間の静電容量Ｃ２とを有する。また、前記
信号処理ユニットＥに組み込まれたリファレンス部は、
基準となる静電容量ＣＲを有する。

【００６５】前記ゲートアレー１０３の内部には、差動
型センサー部１８およびリファレンス部に接続されて静
電容量Ｃ１、Ｃ２、ＣＲと図示せぬ抵抗で定まる発振周
波数ｆ１、ｆ２、ｆｒの信号をそれぞれ出力するＣＲ発
振回路１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃがあり、また、こ
れらの信号をうけてＣＲ発振回路１０３ｃからの基準の
発振信号の１周期において、前半１／２周期での発振周
波数ｆ１、後半１／２周期でのｆ２の周波数差に応じて
パルス信号を生成する周波数測定回路１０３ｄがある。
前記パルス出力回路１０４は前記ゲートアレー１０３か
ら出力されるパルス信号に増幅、レベル調整等の信号処
理を施す。

【００６６】前記受圧ユニットＡにセンサーユニットＢ
を徐々に圧入していくことにより、センサーとして適正
な出力が得られる位置で固定される。受圧ユニットＡと
センサーユニットＢの固定方法は、経時的に寸法変化の
生じることのないように圧入と接着剤の充填による補強
にしてある。この接着剤充填は、組み立てたときにベー
ス１とセンサーユニットＢの間に円周方向にできる溝部
になされ、必要な部分のみを固定するようにしてある。
前記ベース１には１つを接着剤の充填用、１つを空気抜
き用として２つの小孔（図示せず）が設けてある。

【００６７】次に、上記のように構成された圧力センサ
ー構造の作動について説明する。前記ダイヤフラム室１
６の受圧側の圧力がゼロの場合、差動型センサー部１８
における可動電極２８が変位しないので、静電容量Ｃ１
およびＣ２が等しくなっている。したがって、発振周波
数ｆ１およびｆ２も等しくなり、ＣＲ発振回路１０３ｃ
からの基準の発振信号の前半１／２周期での発振周波数
ｆ１、後半１／２周期でのｆ２の周波数差がゼロとなる
ので、ゲートアレー１０３からはパルス信号は出力され
ない。

【００６８】前記流入口１０からダイヤフラム室１６の
受圧側に圧力流体（例えばガス）が導入されると前記ダ
イヤフラム３が図１において上方に変位する。このダイ
ヤフラム３の上方への変位によりプランジャ２３を介し
て可動電極２８の可動部２８ｃが押されて図１において
上方に変位し、静電容量Ｃ１およびＣ２が異なる値をな
る。したがって、ＣＲ発振回路１０３ｃからの基準の発
振信号の前半１／２周期での発振周波数ｆ１、後半１／
２周期でのｆ２の周波数差が生じるので、ゲートアレー
１０３からはその周波数差、すなわち検出すべき圧力に
比例した数のパルス信号が出力される。

【００６９】ところで、静電容量Ｃ１、Ｃ２は、周囲の
環境、すなわち温度や、圧力を測定する圧力流体の物質
構成等により変化する。したがって、ＣＲ発振回路１０
３ａおよび１０３ｂにおける発振周波数ｆ１，ｆ２も変
化することになるが、前記リファレンス部の静電容量Ｃ
Ｒも同時に変化するので補正回路等を設けることなく周
囲の環境の変化による測定誤差を解消することができ
る。

【００７０】上記の実施例にあっては、圧力を受ける受
圧ユニットＡ、性能を決めるセンサーユニットＢおよび
信号処理ユニットＥのユニット単位で構成されるため
に、組立性に優れ、また、個々に検査ができるため、性
能歩留りも良い。また、各ユニットＡ、Ｂ、Ｅは一方向
組立が可能であり、量産性に優れ自動化できる。また、
特殊な工法が不要であり、投資を押さえることが可能で
安価なセンサー構造を提供できる。

【００７１】上記のように構成された圧力センサーＳ
は、例えば図２０に示すようにガスコンロの配管系のガ
ス漏れ検出用に使用される。すなわち、ガスボンベ１０
２の出口側は配管９１を介してメーター９２の入口側に
接続してあり、この配管９１にバルブ９３が設けてあ
る。メーター９２の出口側は配管９４に接続してあり、
この配管９４は複数に分岐していて、これらの分岐管９
５、９６、９７にガスコンロ９８、９９、１００が取り
付けてある。前記メーター９２内のガス流路１０１に前
記圧力センサーＳが接続してある。そして、この圧力セ
ンサーＳがガス漏れ警報システム（図示せず）に接続し
てある。

【００７２】この場合、ガス圧はバルブ９３により２３
０〜３３０ｍｍＨ２ Ｏに設定される。そして、配管系
にガス漏れが発生し、ガス圧が２３０ｍｍＨ２ Ｏ以下
になると、前記圧力センサーＳが作動して、ガス漏れ警
報システムが作動し、警報を発する。

【００７３】前記センサーユニットＢにおいては、差動
型センサー構造（差動型センサー部１８）を採用してい
るため、センサー直線性は、温度、湿度に影響されにく
い。また、前記絶縁フィルム２７ａ、２７ｂ、２７ｃ、
２７ｄの厚さ精度で性能確保ができるために、特殊な材
料を必要とせず、安価に構成できる。また、前記信号処
理ユニットＥがリファレンス部を内蔵しており、回路処
理により特性の絶対値を補正できるため、使用中の原点
補正等の複雑な処理が不要になる。

【００７４】また、前記プランジャ２３の形状は、上記
したものに限らず、図２１（２）に示すようにピン状の
プランジャ本体２３ａの両端部に、このプランジャ本体
２３ａの中央に中心を持つ半径Ｒの凸状球面部５７、５
８を形成したものでもよいし、また、図２２（２）に示
すように半径Ｒの球状のものでもよい。いずれに場合
も、前記プランジャ２３が衝撃などにより傾いてもダイ
ヤフラム３と可動電極２８との間隔は一定に保たれる。

【００７５】また、上記の実施例にあっては、前記セン
サーユニットＢのセンサー部１８の固定電極２６、可動
電極２８、固定電極３０からなる電極部分をシールド板
５９、６０で挟み込んだから、外部にシールド板を装着
しなくてもよくなり、外形が小さく、組み立て易く、外
観が良くなり、また、差動型センサー部（電極部分）１
８から離れることなくシールドが行えるためにシールド
効果が十分になる。

【００７６】また、上記の実施例にあっては、前記セン
サーユニットＢを、電極ホルダ１７内にセンサー部１８
と押えばね２０とを収容して、電極押え２１により前記
押えばね２０を介して前記センサー部１８を押さえるよ
うにしたから、前記ベース１、カバーＣ、電極押え２１
等の樹脂成形品が、温度、湿度等の環境変化により寸法
変化、及び外部ストレスによる部品の位置変化が生じて
も、これらの寸法変化および位置変化を押えばね２０が
吸収する。このために、電極部分にかかるストレスが一
定に保たれ、圧力センサーの特性変化を押えることがで
きる。

【００７７】また、上記の実施例にあっては、前記受圧
ユニットＡ以外の各部品、すなわちシールド板５９、６
０、固定電極２６、３０および可動電極２８に通気孔５
９ｂ、６０ｂ、２６ｂ、３０ｂ、２８ｂを設けて外部解
放にしたから、外部からの圧力印加により、前記受圧ユ
ニットＡ以外の各部品の通気孔から空気が逃げる。この
ために、ダイヤフラム３が加圧されて移動することがな
く、プランジャ２３の移動及び可動電極２８の圧力は下
がり、プランジャ２３の移動がダイヤフラム３の動きに
追従しないという不具合が防止され、ヒステリシス等の
発生がなくなる。

【００７８】また、上記の実施例にあっては、前記受圧
ユニットＡを、ベース１の収容部５にダイヤフラム３と
ダイヤフラム押え４とを収容し、このダイヤフラム３を
ダイヤフラム室１６に位置させて、このダイヤフラム１
６室の受圧側を前記流入口１０に連通し、前記ダイヤフ
ラム押え４にプランジャ保持孔部１５を形成して構成
し、前記ダイヤフラム押え４の外周面部に、このダイヤ
フラム押え４の前記ベース１の収容部５への収容時に、
このベース５の内周面に圧入する圧入リブ８１を設け、
前記ダイヤフラム押え４の前記ベース１の収容部５への
収容時に固定ピン８４により前記ベース１に前記ダイヤ
フラム押え４を固定したから、前記ダイヤフラム３の固
定及び圧力のシールにおいて、長期使用における変化を
防止することができる。したがって、作業性がよくな
る。

【００７９】また、上記の実施例にあっては、前記受圧
ユニットＡの受圧部と前記センサーユニットＢと前記信
号処理ユニットＥとを、前記受圧ユニットＡのベース１
とカバーＣとで封じるようにして、前記ベース１に設け
た筒体挿入孔５０に前記カバーＣに設けた金属チューブ
挿入用筒体７８を挿入したのち、金属チューブ挿入用筒
体７８内に金属チューブ９０を挿入し、この金属チュー
ブ９０の一端をカシメることにより前記ベース１と前記
カバーＣとを固定したから、圧力センサーをねじで機器
に取り付ける場合、前記ベース１と前記カバーＣとを固
定する金属チューブ９０にねじを挿入し、このねじの締
付力は金属チューブ９０に加わり、樹脂製のベース１及
びカバーＣに加わることがないので、ベース１及びカバ
ーＣに、ねじの締め付けによりひずみが発生することが
なく、内部の部品に悪影響（特性変度）を与えることが
防止される。

【００８０】また、上記の実施例にあっては、センサー
出力特性を外部より調整可能にしたから、ボリューム７
４を外部から保護することが可能になり、圧力センサー
が環境性に優れたものになる。

【００８１】また、上記の実施例にあっては、前記受圧
ユニットＡを、ベース１の収容部５にダイヤフラム３と
ダイヤフラム押え４とを収容し、このダイヤフラム３を
ダイヤフラム室１６に位置させて、このダイヤフラム室
１６の受圧側を前記流入口１０に連通し、前記ダイヤフ
ラム押え４にプランジャ保持孔部１５を形成して構成
し、前記受圧ユニットＡと前記センサーユニットＢとを
組み合わせる際に、前記受圧ユニットＡのプランジャ保
持孔部１５に、前記ダイヤフラム３の変位を前記センサ
ーユニットＢの可動電極２８に伝えるプランジャ２３を
着脱可能に挿入するようにしたから、前記受圧ユニット
ＡとセンサーユニットＢの組み合わせの際に、ダイヤフ
ラム３と可動電極２８との間隔をプランジャ２３の長さ
により調整することにより、各部品の寸法バラツキによ
る初期値変動を容易に補うことができる。そのために、
各部品の精度を比較的簡単（ラフ）に設定でき、組立性
の簡易化も可能になる。また、図１０に示すようにスペ
ーサ２００を挿入して、このスペーサ２００の厚さによ
りダイヤフラム３と可動電極２８との間隔を調整するよ
うにしてもよい。

【００８２】また、上記の実施例にあっては、前記信号
処理ユニットＥにセンサーの微調整を行うボリューム７
４を設け、前記受圧ユニットＡの受圧部と前記センサー
ユニットＢと前記信号処理ユニットＥとを、前記受圧ユ
ニットＡのベース１とカバーＣとで封じるようにして、
このカバーＣに前記ボリューム７４を外部より調整する
ための孔部７９を設けたから、圧力センサーの微調整を
行うボリューム７４の調整を、組み立て後に行うことが
できる。このために、調整後の組立（リード線半田付
け、カバー組立）において、調整値が変動しても、その
調整が可能になるし、また、ボリューム７４を外部から
保護することが可能になり、圧力センサーが環境性に優
れたものになる。

【００８３】また、上記の実施例にあっては、前記プラ
ンジャ２３の前記ダイヤフラム３および前記可動電極２
８に接する部分を凸状球面部５７、５８にしたから、前
記プランジャ２３が衝撃などにより傾いてもダイヤフラ
ム３と可動電極２８との間隔を一定に保つことができ
る。このために、特性が変動することがない。

【００８４】また、上記の実施例にあっては、圧力セン
サーＳを、少なくとも、圧力流体の圧力を感知する受圧
部を有する受圧ユニットＡと、固定電極２６、３０と受
圧ユニットＡが感知した圧力に応じて移動し且つ固定電
極２６、３０間に絶縁保持された可動電極２８とからな
る差動型センサー部１８を有するセンサーユニットＢ
と、リファレンス部を内有し且つ前記差動型センサー部
１８および前記リファレンス部の静電容量を処理し所望
の信号を出力する信号処理ユニットＥとを備えた構成に
し、ガスボンベ１０２からガスコンロ９８、９９、１０
０に至る配管系に設けられたメーター９２内のガス流路
１０１に前記圧力センサーＳを接続したから、この圧力
センサーＳをガスボンベ１０２からガスコンロ９８、９
９、１００に至る配管系を有するガス供給システムに使
用できる。

【００８５】また、上記の実施例にあっては、圧力セン
サーＳを、少なくとも、圧力流体の圧力を感知する受圧
部を有する受圧ユニットＡと、固定電極２６、３０と受
圧ユニットＡが感知した圧力に応じて移動し且つ固定電
極２６、３０間に絶縁保持された可動電極２８とからな
る差動型センサー部１８を有するセンサーユニットＢ
と、リファレンス部を内有し且つ前記差動型センサー部
１８および前記リファレンス部の静電容量を処理し所望
の信号を出力する信号処理ユニットＥとを備えた構成に
し、この圧力センサーＳをガス配管系に設けて、ガス漏
れによる圧力低下を検出するようにしたから、圧力セン
サーＳをガス配管系に設けて、ガス漏れによる圧力低下
を検出することができて、ガス漏れ検出を行うことが可
能になる。

【００８６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係わる
発明は、圧力流体の圧力を感知する受圧部を有する受圧
ユニットと、固定電極と受圧ユニットが感知した圧力に
応じて移動し且つ固定電極間に絶縁保持された可動電極
とからなるセンサー部を有するセンサーユニットと、リ
ファレンス部を内有し且つ前記センサー部および前記リ
ファレンス部の静電容量を処理し所望の信号を出力する
信号処理ユニットとを備えたから、圧力センサー圧力を
受ける受圧ユニット、性能を決めるセンサーユニットお
よび信号処理ユニットのユニット単位で構成されるため
に、組立性に優れ、また、個々に検査ができるため性能
歩留りも良いし、また、前記リファレンス部を内蔵して
おり、回路処理により特性の絶対値を補正できるため、
使用中の原点補正等の複雑な処理が不要になる。また、
センサー直線性は、温度、湿度に影響されにくい。

【００８７】また、請求項２に係わる発明は、請求項１
記載の圧力センサーにおいて、前記センサーユニットの
センサー部をシールド板で挟み込んだから、外部にシー
ルド板を装着しなくてもよくなり、外形が小さく、組み
立て易く、外観が良くなり、また、センサー部（電極部
分）から離れることなくシールドが行えるためにシール
ド効果が十分になる。

【００８８】また、請求項３に係わる発明は、請求項１
記載の圧力センサーにおいて、前記センサーユニット
を、電極ホルダ内にセンサー部と押えばねとを収容し
て、電極押えにより前記押えばねを介して前記センサー
部を押さえるようにしたから、前記ベース、カバー、電
極押え等の樹脂成形品が、温度、湿度等の環境変化によ
り寸法変化、及び外部ストレスによる部品の位置変化が
生じても、これらの寸法変化および位置変化を押えばね
が吸収する。このために、電極にかかるストレスが一定
に保たれ、センサーの特性変化を押えることができる。

【００８９】また、請求項４に係わる発明は、請求項１
記載の圧力センサーにおいて、前記受圧ユニット以外の
各部品に通気孔を設けて外部解放にしたから、外部から
の圧力印加により、前記受圧ユニット以外の各部品の通
気孔から空気が逃げる。このために、ダイヤフラムが加
圧されて移動することがなく、プランジャの移動及び可
動電極部分の圧力は下がり、プランジャの移動がダイヤ
フラムの動きに追従しないという不具合が防止され、ヒ
ステリシス等の発生がなくなる。

【００９０】また、請求項５に係わる発明は、請求項１
記載の圧力センサーにおいて、前記受圧ユニットを、ベ
ースの収容部にダイヤフラムとダイヤフラム押えとを収
容し、このダイヤフラムをダイヤフラム室に位置させ
て、このダイヤフラム室の受圧側を前記流入口に連通
し、前記ダイヤフラム押えにプランジャ保持孔部を形成
して構成し、前記ダイヤフラム押えの外周面部に、この
ダイヤフラム押えの前記ベースの収容部への収容時に、
このベースの内周面に圧入する圧入リブを設け、前記ダ
イヤフラム押えの前記ベースの収容部への収容時に固定
ピンにより前記ベースに前記ダイヤフラム押えを固定し
たから、前記ダイヤフラムの固定及び圧力のシールにお
いて、長期使用における変化を防止することができる。
したがって、作業性がよくなる。

【００９１】また、請求項６に係わる発明は、請求項１
記載の圧力センサーにおいて、前記受圧ユニットの受圧
部と前記センサーユニットと前記信号処理ユニットと
を、前記受圧ユニットのベースとカバーとで封じるよう
にして、前記ベースに設けた孔部と前記カバーに設けた
孔部とに金属チューブを挿通し、この金属チューブの端
部をカシメることにより前記ベースと前記カバーとを固
定したから、圧力センサーをねじで機器に取り付ける場
合、前記ベースと前記カバーとを固定する金属チューブ
にねじを挿入し、このねじの締付力は金属チューブに加
わり、樹脂製のベース及びカバーに加わることがないの
で、ベース及びカバーに、ねじの締め付けによりひずみ
が発生することがなく、内部の部品に悪影響（特性変
動）を与えることが防止される。

【００９２】また、請求項７に係わる発明は、請求項１
記載の圧力センサーにおいて、センサー出力特性を外部
より調整可能にしたから、ボリュームを外部から保護す
ることが可能になり、圧力センサーが環境性に優れたも
のになる。

【００９３】また、請求項８に係わる発明は、請求項１
記載の圧力センサーにおいて、前記受圧ユニットを、ベ
ースの収容部にダイヤフラムとダイヤフラム押えとを収
容し、このダイヤフラムをダイヤフラム室に位置させ
て、このダイヤフラム室の受圧側を前記流入口に連通
し、前記ダイヤフラム押えにプランジャ保持孔部を形成
して構成し、前記受圧ユニットと前記センサーユニット
とを組み合わせる際に、前記受圧ユニットのプランジャ
保持孔部に、前記ダイヤフラムの変位を前記センサーユ
ニットの可動電極に伝えるプランジャを着脱可能に挿入
するようにしたから、前記受圧ユニットとセンサーユニ
ットの組み合わせの際に、ダイヤフラムと可動電極との
間隔をプランジャの長さにより調整することにより、各
部品の寸法バラツキによる初期値変動を容易に補うこと
ができる。そのために、各部品の精度を比較的簡単（ラ
フ）に設定でき、組立性の簡易化も可能になる。

【００９４】また、請求項９に係わる発明は、請求項７
記載の圧力センサーにおいて、前記信号処理ユニットに
センサーの微調整を行うボリュームを設け、前記受圧ユ
ニットの受圧部と前記センサーユニットと前記信号処理
ユニットとを、前記受圧ユニットのベースとカバーとで
封じるようにして、このカバーに前記ボリュームを外部
より調整するための孔部を設けたから、圧力センサーの
微調整を行うボリュームの調整を、組み立て後に行うこ
とができる。このために、調整後の組立（リード線半田
付け、カバー組立）において、調整値が変動しても、そ
の調整が可能になるし、また、ボリュームを外部から保
護することが可能になり、圧力センサーが環境性に優れ
たものになる。

【００９５】また、請求項１０に係わる発明は、請求項
８記載の圧力センサーにおいて、前記プランジャの前記
ダイヤフラムおよび前記可動電極に接する部分を球面に
したから、前記プランジャが衝撃などにより傾いてもダ
イヤフラムと可動電極との間隔を一定に保つことができ
る。このために、特性が変動することがなくなる。

【００９６】また、請求項１１に係わる発明であるガス
供給システムは、圧力センサーを、少なくとも、圧力流
体の圧力を感知する受圧部を有する受圧ユニットと、固
定電極と受圧ユニットが感知した圧力に応じて移動し且
つ固定電極間に絶縁保持された可動電極とからなるセン
サー部を有するセンサーユニットと、リファレンス部を
内有し且つ前記センサー部および前記リファレンス部の
静電容量を処理し所望の信号を出力する信号処理ユニッ
トとを備えた構成にし、ガスボンベからガスコンロに至
る配管系に設けられたメーター内のガス流路に前記圧力
センサーを接続したから、この圧力センサーをガスボン
ベからガスコンロに至る配管系を有するガス供給システ
ムに使用できる。

【００９７】また、請求項１２に係わる発明であるガス
漏れ検出方法は、圧力センサーを、少なくとも、圧力流
体の圧力を感知する受圧部を有する受圧ユニットと、固
定電極と受圧ユニットが感知した圧力に応じて移動し且
つ固定電極間に絶縁保持された可動電極とからなるセン
サー部を有するセンサーユニットと、リファレンス部を
内有し且つ前記センサー部および前記リファレンス部の
静電容量を処理し所望の信号を出力する信号処理ユニッ
トとを備えた構成にし、この圧力センサーをガス配管系
に設けて、ガス漏れによる圧力低下を検出するようにし
たから、圧力センサーをガス配管系に設けて、ガス漏れ
による圧力低下を検出することができて、ガス漏れ検出
を行うことが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる圧力センサーの断面図である。

【図２】同圧力センサーの分解斜視図である。

【図３】同圧力センサーにおいて、受圧ユニット部分と
センサーユニット部分とを分解した状態の斜視図であ
る。

【図４】同圧力センサーの受圧ユニット部分の断面図で
ある。

【図５】図４のイ−イ線に沿う断面図である。

【図６】ダイヤフラム押えの斜視図である。

【図７】ダイヤフラムの平面図である。

【図８】同ダイヤフラムの断面図である。

【図９】図８のロ部の拡大図である。

【図１０】本発明に係わる圧力センサーの組立状態の断
面図である。

【図１１】センサーユニットと信号処理ユニットとの分
解斜視図である。

【図１２】センサーユニットに信号処理ユニットを挿入
した状態の平面図である。

【図１３】本発明に係わる圧力センサーにおけるカバー
の組立状態の斜視図である。

【図１４】同断面図である。

【図１５】本発明に係わる圧力センサーにおけるリード
線の保持部分の断面図である。

【図１６】プランジャの正面図である。

【図１７】電極ホルダーと電極押えとの係合部分の斜視
図である。

【図１８】同係合部分の係合の説明図である。

【図１９】本発明に係わる圧力センサーの概略ブロック
図である。

【図２０】本発明に係わるガス供給システムの構成説明
図である。

【図２１】（１）は他の実施態様のプランジャを使用し
た圧力センサーの断面図である。（２）は他の実施態様
のプランジャの正面図である。

【図２２】（１）は他の実施態様のプランジャを使用し
た圧力センサーの断面図である。（２）は他の実施態様
のプランジャの正面図である。

【図２３】従来の圧力センサーの斜視図である。

【図２４】同圧力センサーの断面図である。

【図２５】同圧力センサーの機器への取り付けの説明図
である。

【図２６】（１）は従来の圧力センサーのプランジャの
説明図である。（２）は同プランジャが傾いた状態の説
明図である。

【図２７】従来の圧力センサーにおけるリード線の保持
部分の断面図である。

【符号の説明】

Ａ 受圧ユニット Ｂ センサーユニット Ｅ 信号処理ユニット １８ 差動型センサー部（センサー部） ２６ 固定電極 ２８ 可動電極 ３０ 固定電極

フロントページの続き (72)発明者 中村 英己 鳥取県倉吉市巌城1005番地 オムロン倉吉 株式会社内

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力流体の圧力を感知する受圧部を有す
   る受圧ユニットと、固定電極と受圧ユニットが感知した
   圧力に応じて移動し且つ固定電極間に絶縁保持された可
   動電極とからなるセンサー部を有するセンサーユニット
   と、リファレンス部を内有し且つ前記センサー部および
   前記リファレンス部の静電容量を処理し所望の信号を出
   力する信号処理ユニットとを備えたことを特徴とする圧
   力センサー。
2. 【請求項２】 前記センサーユニットのセンサー部をシ
   ールド板で挟み込んだ請求項１記載の圧力センサー。
3. 【請求項３】 前記センサーユニットを、電極ホルダ内
   にセンサー部と押えばねとを収容して、電極押えにより
   前記押えばねを介して前記センサー部を押さえるように
   した請求項１記載の圧力センサー。
4. 【請求項４】 前記受圧ユニット以外の各部品に通気孔
   を設けて外部解放にした請求項１記載の圧力センサー。
5. 【請求項５】 前記受圧ユニットを、ベースの収容部に
   ダイヤフラムとダイヤフラム押えとを収容し、このダイ
   ヤフラムをダイヤフラム室に位置させて、このダイヤフ
   ラム室の受圧側を前記流入口に連通し、前記ダイヤフラ
   ム押えにプランジャ保持孔部を形成して構成し、前記ダ
   イヤフラム押えの外周面部に、このダイヤフラム押えの
   前記ベースの収容部への収容時に、このベースの内周面
   に圧入する圧入リブを設け、前記ダイヤフラム押えの前
   記ベースの収容部への収容時に固定ピンにより前記ベー
   スに前記ダイヤフラム押えを固定した請求項１記載の圧
   力センサー。
6. 【請求項６】 前記受圧ユニットの受圧部と前記センサ
   ーユニットと前記信号処理ユニットとを、前記受圧ユニ
   ットのベースとカバーとで封じるようにして、前記ベー
   スに設けた孔部と前記カバーに設けた孔部とに金属チュ
   ーブを挿通し、この金属チューブの端部をカシメること
   により前記ベースと前記カバーとを固定した請求項１記
   載の圧力センサー。
7. 【請求項７】 センサー出力特性を外部より調整可能に
   した請求項１記載の圧力センサー。
8. 【請求項８】 前記受圧ユニットを、ベースの収容部に
   ダイヤフラムとダイヤフラム押えとを収容し、このダイ
   ヤフラムをダイヤフラム室に位置させて、このダイヤフ
   ラム室の受圧側を前記流入口に連通し、前記ダイヤフラ
   ム押えにプランジャ保持孔部を形成して構成し、前記受
   圧ユニットと前記センサーユニットとを組み合わせる際
   に、前記受圧ユニットのプランジャ保持孔部に、前記ダ
   イヤフラムの変位を前記センサーユニットの可動電極に
   伝えるプランジャを着脱可能に挿入するようにした請求
   項１記載の圧力センサー。
9. 【請求項９】 前記信号処理ユニットにセンサーの微調
   整を行うボリュームを設け、前記受圧ユニットの受圧部
   と前記センサーユニットと前記信号処理ユニットとを、
   前記受圧ユニットのベースとカバーとで封じるようにし
   て、このカバーに前記ボリュームを外部より調整するた
   めの孔部を設けた請求項７記載の圧力センサー。
10. 【請求項１０】 前記プランジャの前記ダイヤフラムお
    よび前記可動電極に接する部分を球面にした請求項８記
    載の圧力センサー。
11. 【請求項１１】 圧力センサーを、少なくとも、圧力流
    体の圧力を感知する受圧部を有する受圧ユニットと、固
    定電極と受圧ユニットが感知した圧力に応じて移動し且
    つ固定電極間に絶縁保持された可動電極とからなるセン
    サー部を有するセンサーユニットと、リファレンス部を
    内有し且つ前記センサー部および前記リファレンス部の
    静電容量を処理し所望の信号を出力する信号処理ユニッ
    トとを備えた構成にし、ガスボンベからガスコンロに至
    る配管系に設けられたメーター内のガス流路に前記圧力
    センサーを接続したことを特徴とするガス供給システ
    ム。
12. 【請求項１２】 圧力センサーを、少なくとも、圧力流
    体の圧力を感知する受圧部を有する受圧ユニットと、固
    定電極と受圧ユニットが感知した圧力に応じて移動し且
    つ固定電極間に絶縁保持された可動電極とからなるセン
    サー部を有するセンサーユニットと、リファレンス部を
    内有し且つ前記センサー部および前記リファレンス部の
    静電容量を処理し所望の信号を出力する信号処理ユニッ
    トとを備えた構成にし、この圧力センサーをガス配管系
    に設けて、ガス漏れによる圧力低下を検出するようにし
    たことを特徴とするガス漏れ検出方法。