JPH0752612Y2 - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPH0752612Y2 JPH0752612Y2 JP2635090U JP2635090U JPH0752612Y2 JP H0752612 Y2 JPH0752612 Y2 JP H0752612Y2 JP 2635090 U JP2635090 U JP 2635090U JP 2635090 U JP2635090 U JP 2635090U JP H0752612 Y2 JPH0752612 Y2 JP H0752612Y2
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- JP
- Japan
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- ray
- thin film
- opening
- fluorescence analyzer
- sample
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は蛍光Ｘ線分析装置、より詳しくはＸ線管から発
生した１次Ｘ線により試料中の分析元素を励起させて発
生した蛍光Ｘ線を検出器により分析検出する装置の改良
に関する。
生した１次Ｘ線により試料中の分析元素を励起させて発
生した蛍光Ｘ線を検出器により分析検出する装置の改良
に関する。
〔従来の技術〕 従来、蛍光Ｘ線分析装置として、たとえば第５図に示す
ものがあった。
ものがあった。
この蛍光Ｘ線分析装置は、同図に示すようにＸ線遮蔽本
体１と、Ｘ線管２と、検出器３と、パージガス口４と、
試料容器５との対向位置に開口部６を有するＸ線遮蔽蓋
７とを備えている。
体１と、Ｘ線管２と、検出器３と、パージガス口４と、
試料容器５との対向位置に開口部６を有するＸ線遮蔽蓋
７とを備えている。
上記の構成により、Ｘ線管２から発生した１次Ｘ線によ
り試料容器５内の試料（図示せず）中に分析元素を励起
させて発生した蛍光Ｘ線を検出器３により分析検出して
いた。
り試料容器５内の試料（図示せず）中に分析元素を励起
させて発生した蛍光Ｘ線を検出器３により分析検出して
いた。
しかしながら、上記構成のものは、Ｘ線パス部８の空気
によるＸ線の吸収や空気中のAr（アルゴン）による妨害
Ｘ線を除去するために、パージガス口４よりN2ガスなど
の不活性ガスを導入しているが、試料交換時に試料容器
５を移動するため開口部６からガスが流出すると共に自
然拡散で大気が流入する。
によるＸ線の吸収や空気中のAr（アルゴン）による妨害
Ｘ線を除去するために、パージガス口４よりN2ガスなど
の不活性ガスを導入しているが、試料交換時に試料容器
５を移動するため開口部６からガスが流出すると共に自
然拡散で大気が流入する。
そのため次の測定開始までに予備時間がかかり、さらに
予備パージ後もパージ強度が少ないと、試料容器５とＸ
線遮蔽本体１との隙間から自然拡散で流入した空気がＸ
線パス部８全体に拡がって測定の妨害となる問題点があ
った。
予備パージ後もパージ強度が少ないと、試料容器５とＸ
線遮蔽本体１との隙間から自然拡散で流入した空気がＸ
線パス部８全体に拡がって測定の妨害となる問題点があ
った。
本考案は、上記問題点を解消するために、測定試料交換
時におけるＸ線パス部の大部分を充分にパージさせて予
備パージの時間を短縮でき、さらに試料容器とＸ線遮蔽
本体の隙間から自然拡散で流入した空気がＸ線パス部全
体に拡がることなく、それによる測定の妨害もなく、し
かも測定時間の短縮とパージガスの節約ができる蛍光Ｘ
線分析装置の提供を目的とする。
時におけるＸ線パス部の大部分を充分にパージさせて予
備パージの時間を短縮でき、さらに試料容器とＸ線遮蔽
本体の隙間から自然拡散で流入した空気がＸ線パス部全
体に拡がることなく、それによる測定の妨害もなく、し
かも測定時間の短縮とパージガスの節約ができる蛍光Ｘ
線分析装置の提供を目的とする。
上記の目的を達成するため、本考案に係る蛍光Ｘ線分析
装置は、Ｘ線遮蔽蓋の開口部を放射線透過用薄膜で密閉
し、さらにこの放射線透過用薄膜の外側部複数箇所の前
記Ｘ線遮蔽蓋に外部に通じる屈曲細孔を構成している。
装置は、Ｘ線遮蔽蓋の開口部を放射線透過用薄膜で密閉
し、さらにこの放射線透過用薄膜の外側部複数箇所の前
記Ｘ線遮蔽蓋に外部に通じる屈曲細孔を構成している。
上記の構成のように、Ｘ線遮蔽蓋の開口部を放射線透過
用薄膜で密閉してＸ線パス部の大部分を覆うことによっ
て、Ｘ線パス部への空気の流入がごく少なくなり、さら
に放射線透過用薄膜の外側部複数箇所に形成した屈曲細
孔によりパージガスの流れを確保できる。そして測定試
料交換時の予備パージの時間が短縮でき、パージガスの
流量が少なくてすむ。
用薄膜で密閉してＸ線パス部の大部分を覆うことによっ
て、Ｘ線パス部への空気の流入がごく少なくなり、さら
に放射線透過用薄膜の外側部複数箇所に形成した屈曲細
孔によりパージガスの流れを確保できる。そして測定試
料交換時の予備パージの時間が短縮でき、パージガスの
流量が少なくてすむ。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本考案の一実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置の要
部を示す断面図、第２図はその一部の平面図、第３図は
第２図のIII−III線における断面図である。
部を示す断面図、第２図はその一部の平面図、第３図は
第２図のIII−III線における断面図である。
上記第１図〜第３図において、第５図と同一符号は、同
一または相当部分を示す。
一または相当部分を示す。
１はＸ線遮蔽本体、２はＸ線管、３は検出器、４はパー
ジガス口、５は試料容器、７は開口部６を有するＸ線遮
蔽蓋、８はＸ線パス部である。
ジガス口、５は試料容器、７は開口部６を有するＸ線遮
蔽蓋、８はＸ線パス部である。
前記試料容器５は軸11に軸支されたターンテーブル12の
周辺部に複数個等間隔に螺着されている。
周辺部に複数個等間隔に螺着されている。
前記Ｘ線遮蔽蓋７には第７図にも示すように開口部６の
上面周辺に周溝13が形成されており、この周溝13上に張
設したポリエチレンテレフタレート製などの放射線透過
用薄膜14上より押圧リング15を、前記周溝13内に押圧し
て、放射線透過用薄膜14で前記開口部６を密閉したもの
である。
上面周辺に周溝13が形成されており、この周溝13上に張
設したポリエチレンテレフタレート製などの放射線透過
用薄膜14上より押圧リング15を、前記周溝13内に押圧し
て、放射線透過用薄膜14で前記開口部６を密閉したもの
である。
さらに、このＸ線遮蔽蓋７は第2,3図にも示すように、
段部16により上部小径で下部大径に形成され、段部16の
下面内方より段部16外側に通じる逆Ｌ字状の屈曲細孔17
が複数個形成され、さらに屈曲細孔17の段部16部分には
切欠部18が形成されている。
段部16により上部小径で下部大径に形成され、段部16の
下面内方より段部16外側に通じる逆Ｌ字状の屈曲細孔17
が複数個形成され、さらに屈曲細孔17の段部16部分には
切欠部18が形成されている。
前記段部16には断面逆Ｌ字状の保持リング19が嵌合さ
れ、この保持リング19の内側面19aと切欠部18、下面19b
と段部16上面、上面19cとターンテーブル12下面との間
には夫々隙間が形成され、前記屈曲細孔17が連続して延
出された形状に形成されている。
れ、この保持リング19の内側面19aと切欠部18、下面19b
と段部16上面、上面19cとターンテーブル12下面との間
には夫々隙間が形成され、前記屈曲細孔17が連続して延
出された形状に形成されている。
前記Ｘ線遮蔽蓋７は外周下面に設けた段差部をＯリング
20を介してビスなどによりＸ線遮蔽本体１に固着したの
ち、Ｘ線遮蔽カバー21で密閉したものである。
20を介してビスなどによりＸ線遮蔽本体１に固着したの
ち、Ｘ線遮蔽カバー21で密閉したものである。
次に、上記構成による動作について説明する。
Ｘ線遮蔽蓋７の開口部６を放射線透過用薄膜14で密閉し
てＸ線パス部８の大部分を覆うことによって、Ｘ線パス
部８での大気による自然置換の速度を遅くし、試料容器
５交換時におけるＸ線パス部８の大部分を充分にパージ
させて予備パージの時間を短縮でき、さらに放射線透過
用薄膜14の外側部複数箇所に形成した屈曲細孔17により
パージガスの流れを確保できる。しかもこの細孔17はヂ
グザグに屈曲しているので、Ｘ線が外部に漏れるのを防
止できる。
てＸ線パス部８の大部分を覆うことによって、Ｘ線パス
部８での大気による自然置換の速度を遅くし、試料容器
５交換時におけるＸ線パス部８の大部分を充分にパージ
させて予備パージの時間を短縮でき、さらに放射線透過
用薄膜14の外側部複数箇所に形成した屈曲細孔17により
パージガスの流れを確保できる。しかもこの細孔17はヂ
グザグに屈曲しているので、Ｘ線が外部に漏れるのを防
止できる。
そして、従来装置によるHeパージ試験では、第６図に示
すように4l/minでも充分にパージされているとはいえな
いが、本考案実施例の装置によるHeパージ試験では、第
４図に示すように、１/minで充分にパージされること
が分かった。
すように4l/minでも充分にパージされているとはいえな
いが、本考案実施例の装置によるHeパージ試験では、第
４図に示すように、１/minで充分にパージされること
が分かった。
以上説明したように、本考案によれば、Ｘ線パス部を充
分にパージさせて予備パージの時間を短縮でき、さらに
試料容器とＸ線遮蔽本体の隙間から自然拡散で流入した
空気がＸ線パス部全体に拡がることなく、それによる測
定の妨害もなく、しかも測定時間の短縮とパージガスの
節約ができる。
分にパージさせて予備パージの時間を短縮でき、さらに
試料容器とＸ線遮蔽本体の隙間から自然拡散で流入した
空気がＸ線パス部全体に拡がることなく、それによる測
定の妨害もなく、しかも測定時間の短縮とパージガスの
節約ができる。
第１図は本考案の一実施例に係る蛍光Ｘ線分析装置の要
部を示す断面図、第２図はその一部の平面図、第３図は
第２図のIII−III線における断面図、第４図は本実施例
によるHeパージ試験の結果を示すグラフ、第５図は従来
例の蛍光Ｘ線分析装置の断面図、第６図は従来例による
Heパージ試験の結果を示すグラフである。 １…Ｘ線遮蔽本体、２…Ｘ線管、３…検出器、４…パー
ジガス口、５…試料容器、６…開口部、７…Ｘ線遮蔽
蓋、８…Ｘ線パス部、14…放射線透過用薄膜、17…屈曲
細孔。
部を示す断面図、第２図はその一部の平面図、第３図は
第２図のIII−III線における断面図、第４図は本実施例
によるHeパージ試験の結果を示すグラフ、第５図は従来
例の蛍光Ｘ線分析装置の断面図、第６図は従来例による
Heパージ試験の結果を示すグラフである。 １…Ｘ線遮蔽本体、２…Ｘ線管、３…検出器、４…パー
ジガス口、５…試料容器、６…開口部、７…Ｘ線遮蔽
蓋、８…Ｘ線パス部、14…放射線透過用薄膜、17…屈曲
細孔。
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線遮蔽本体と、Ｘ線管と、検出器と、パ
ージガス口と、試料との対向位置に開口部を有するＸ線
遮蔽蓋とを備えた蛍光Ｘ線分析装置において、前記Ｘ線
遮蔽蓋の開口部を放射線透過用薄膜で密閉し、さらにこ
の放射線透過用薄膜の外側部複数箇所の前記Ｘ線遮蔽蓋
に外部に通じる屈曲細孔を形成したことを特徴とする蛍
光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2635090U JPH0752612Y2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2635090U JPH0752612Y2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03117752U JPH03117752U (ja) | 1991-12-05 |
| JPH0752612Y2 true JPH0752612Y2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=31529251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2635090U Expired - Lifetime JPH0752612Y2 (ja) | 1990-03-15 | 1990-03-15 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0752612Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5524521B2 (ja) * | 2009-06-30 | 2014-06-18 | 株式会社堀場製作所 | 蛍光ｘ線分析装置 |
| JP5782154B2 (ja) * | 2014-04-10 | 2015-09-24 | 株式会社堀場製作所 | 蛍光ｘ線分析装置 |
-
1990
- 1990-03-15 JP JP2635090U patent/JPH0752612Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03117752U (ja) | 1991-12-05 |
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