JPH0752397Y2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 この考案は機種判別機能を有するターボ分子ポンプに関
する。

《従来の技術》 従来、この種のターボ分子ポンプは第４図に示す如くポ
ンプ本体１へケーブル２を介してコントローラ部３が接
続されており、そのポンプ本体１内には図示しない回転
翼が収納され、この回転翼周辺には翼浮上用の電磁石、
翼変位検出用のセンサ及び翼回転用の高周波モータ等が
配設されている。

一方、コントローラ部２にあっては、図示しない磁気軸
受制御回路及び高周波モータ制御回路等が配設されてお
り、その磁気軸受制御回路によれば上記センサで検出さ
れた翼変位量に基づいて、電磁石へ励磁用電力を出力
し、回転翼を所定の位置で浮上支持せしめるように構成
され、また高周波モータ制御回路にあっては高周波モー
タへ駆動用電力を出力するように構成されている。

ところで、上記如く構成されたポンプ本体１にあって
は、回転翼の形状、重量、回転数、あるいは使用圧力領
域等のポンプ使様により機種が決められるもので、その
機種が異なれば基本的にコントローラ部３を各機種に応
じて交換し、電磁石の励磁用電力、あるいは高周波モー
タの駆動用電力等を変更する必要がある。ところが、機
種の仕様の違いが少ない場合は例外であって、作業者が
上記コントローラ部３内のスイッチを機種に応じて切り
替えて、上記のような電力等を変更設定するように構成
されている。

なお、上記のように構成するとは、機種が違うポンプに
おいても、なるべくコンントローラ部を共用し、汎用性
を高くするとともに、製造コストを低減せしめるためで
ある。

《考案が解決しようとする課題》 しかしながら、このような従来のターボ分子ポンプにあ
っては、上記の如く作業者がポンプ本体１の機種に応じ
て、コントローラ部３内のスイッチを切替えるので、作
業者にとって機種を確認する必要があり、非常に使い勝
手が悪いとともに、作業者の機種確認ミスあるいはスイ
ッチ切替えミス等は避けられず、これによりコントロー
ラ部３から出力される電磁石の励磁用電力、あるいは高
周波モータの駆動用電力等が誤って変更設定され、ポン
プ本体が正常に動作しないので、ターボ分子ポンプの性
能が十分に発揮できない、あるいは故障を招く等の問題
点があった。

《課題を解決するための手段》 この考案は上述の事情に鑑みてなされたもので、その目
的とするところはポンプ本体の正常な動作、性能不良や
故障の防止を図るのに好適で、しかも低コストのターボ
分子ポンプを提供することにある。

上記目的を達成するために、この考案はポンプ本体とこ
のポンプ本体にケーブルを介して接続されるコントロー
ラ部とを有するターボ分子ポンプにおいて、上記ポンプ
本体側に設けられるとともに、ポンプ本体の各機種に応
じて開放または短絡する端子部と、上記コントローラ部
側に設けられるとともに、上記端子部により形成される
オン，オフ信号からポンプ本体の機種を判別する判別回
路と、上記ポンプ本体の各機種ごとに専用に設けた複数
の機種別回路ブロックと、上記各機種のポンプ本体が共
通に使用する共通回路ブロックと、上記判別回路での判
別結果を基に上記いずれか一つの機種別回路ブロックを
選択し、この選択した機種別回路ブロックと上記共通回
路ブロックとを組み合わせて一つのポンプ本体用制御回
路を形成する回路形成手段とを具備することを特徴とす
る。

《作用》 この考案によれば、予め端子部をポンプ本体の機種に応
じて開放または短絡する一方、判別回路で上記のような
開放または短絡によりオン，オフ信号が形成され、この
オン，オフ信号からポンプ本体の機種を判別するように
作用する。

《実施例》 以下、この考案に係るターボ分子ポンプの実施例につい
て第１図ないし第４図を用いて詳細に説明する。

なお、ポンプ本体へケーブルを介してコントローラ部が
接続されるとともに、ポンプ本体の基本的な構成は従来
と同様なため、その詳細説明は省略する。

また、この実施例にあっては上記ポンプ本体をＡタイ
プ,Bタイプの２機種に大別したものである。

このターボ分子ポンプは第１図に示すごとく、ポンプ本
体１内に端子部４が設けられており、この端子部４は端
子用基盤５に一対の端子5a,5bを有するもので、その端
子部４によればポンプ本体がＡタイプの場合、第２図
（ａ）に示す如く端子5a,5b間を開放し、一方ポンプ本
体がＢタイプの場合、第２図（ｂ）に示す如く端子5a,5
b間を短絡するように構成されている。

また、上記各端子5a,5bはケーブル用コネクタ６の各接
点6a,6bにそれぞれ結線されるとともに、ケーブル２の
信号線2a、2bを介して、ケーブル用コネクタ７の各端子
7a,7bへそれぞれ接続するように構成されている。

さらに、上記コントローラ部３には判別回路８が設けら
れており、この判別回路８は第３図に示す如く、上記ケ
ーブル用コネクタ７の接点7aに電源＋Vccを接続する一
方、接点7bをアースに接続し、その接点7bとアースとの
間には抵抗Ｒを直列接続するように構成されている。

すなわち、上記ような判別回路８にあっては、ポンプ本
体がＡタイプの場合、端子部４の端子間5a,5bが開放さ
れているので、電源＋Vccからアース側への通電が遮断
され、これにより判別回路８のＡ点における電圧が0Vと
なり、その0Vはいわゆるオフ信号としてＡ点より制御回
路９へ出力される。

一方、ポンプ本体がＢタイプの場合、端子部４の端子間
5a,5bが短絡されているので、電源＋Vccからアース側に
通電し、これにより判別回路８のＡ点における電圧が電
源電圧となり、その電源電圧はいわゆるオン信号として
Ａ点より制御回路９へ出力される。

したがって、上記のような判別回路８によればポンプ本
体１のA,Bタイプ別にオン，オフ信号を形成するもの
で、そのオン，オフ信号からポンプ本体のA,Bタイプを
判別可能に構成されている。

また、制御回路９にはA,Bタイプのポンプ本体１に応じ
て専用のＡタイプ用回路ブロック10（機種別回路ブロッ
ク）、Ｂタイプ用回路ブロック10（他の機種別回路ブロ
ック）及び、Ａタイプ,Bタイプ共用の回路ブロック12
（共通回路ブロック）をそれぞれ備え、その回路ブロッ
ク10には磁気軸受制御回路及び高周波モータ制御回路等
のうち、Ａタイプが専用で使用する部分のみを、回路ブ
ロック11には上記磁気軸受制御回路及び高周波モータ制
御回路等のうち、Ｂタイプが専用で使用する部分のみ
を、ならびに回路ブロック12には、上記磁気軸受回路及
び高周波モータ制御回路等のうち、Ａタイプ,Bタイプが
共通で使用する部分のみを有しており、これらの回路ブ
ロック10,11によれば、上記判別回路８からオフ信号が
出力された場合、Ａタイプ用回路ブロック10が、一方オ
ン信号が出力された場合、Ｂタイプ用回路ブロック11が
選択され、その選択された一方の回路ブロックが上記共
用の回路ブロック12と組み合わされて、一つの磁気軸受
制御回路及び高周波モータ制御回路を形成するように構
成されている。

つまり、この実施例装置は、判別回路８での判別結果を
基にいずれか一つの機種別回路ブロックを選択し、この
選択した機種別回路ブロックと共通回路ブロックとを組
み合わせて一つのポンプ本体用制御回路（磁気軸受制御
回路、高周波モータ制御回路など）を形成する。

なお、上記のように組み合わされた磁気軸受制御回路及
び高周波モータ制御回路が、第１図に示す如くケーブル
２内の信号線2c,2d,2e等介してポンプ本体内の電磁石へ
励磁用電力、及び高周波モータへ駆動用電力を出力する
ことは従来と同様なため、その詳細説明は省略する。

したがって、上記のような実施例によればポンプ本体の
A,Bタイプに応じて端子部を開放あるいは短絡する一
方、このような端子部により判別回路で形成されるオ
ン，オフ信号から、ポンプ本体のタイプを自動に判別で
きる。

また、上記実施例にあってはポンプ本体のタイプ応じた
専用の回路ブロックが上記のようなオン，オフ信号で選
択され、その選択された回路ブロックと共通の回路ブロ
ックとを組み合わせて形成した、磁気軸受制御回路及び
高周波モータ制御回路等をもって、ポンプ本体内へ電磁
石の励磁用電力、及び高周波モータの駆動用電力等を出
力するので、ポンプ本体は正常に動作し、これによりタ
ーボ分子ポンプの性能不良や故障を防止することができ
る。

しかも、この実施例装置によると、磁気軸受制御回路、
高周波モータ制御回路などのポンプ本体用制御回路の共
通部を一つの共通回路ブロックとして別個独立に設けた
ものであるため、当該共通部の重複を回避でき、製造コ
ストの低減を図ることもできる。

なお、本実施例にあっては端子部として一対の端子を設
け、２つの機種を判別するものであるが、この端子部に
代えて複数個の端子で端子部を形成し、これにより多種
の機種を判別してもよい。

例えば、３個の端子で端子部を形成した場合、第５図に
示す如く３個の端子5a,5b,5cでは、端子5aと他の端子と
の短絡，開放の組み合わせが（ａ）〜（ｄ）の４通り考
えられ、これにより端子部４で形成されるオン，オフ信
号を利用すれば４種類のポンプが判別できる。

また、本実施例にあっては、磁気軸受式のターボ分子ポ
ンプについて説明したが、これに代えてボールベアリン
グ式のターボ分子ポンプであっても良いことは勿論であ
る。

《考案の効果》 この考案に係るターボ分子ポンプは、上記の如く判別回
路での判別結果を基にいずれか一つの機種別回路ブロッ
クを選択し、この選択した機種別回路ブロックと共通回
路ブロックとを組み合わせて一つのポンプ本体用制御回
路を形成するように構成したものである。このため機種
ごとにそれ専用の機種別回路ブロックを選択して用いる
ことから、ポンプ本体の正常な動作、性能不良や故障の
防止を図れる。

また、この考案によると、制御回路の共通部を一つの共
通回路ブロックとして別個独立に設けたものであるた
め、当該共通部の重複を回避でき、製造コストの低減を
図ることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案に係るターボ分子ポンプの要部を示す
ブロック図、第２図（ａ）（ｂ）は端子部の開放、短絡
状態を示す説明図、第３図は判別回路の電気回路図、第
４図は従来のターボ分子ポンプの外観図、第５図はこの
考案の他の実施例を示す説明図である。 １……ポンプ本体 ２……ケーブル ３……コントローラ部 ５……端子部 ８……判別回路

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ポンプ本体とこのポンプ本体にケーブルを
   介して接続されるコントローラ部とを有するターボ分子
   ポンプにおいて、 上記ポンプ本体側に設けられるとともに、ポンプ本体の
   各機種に応じて開放または短絡する端子部と、 上記コントローラ部側に設けられるとともに、上記端子
   部により形成されるオン，オフ信号からポンプ本体の機
   種を判別する判別回路と、 上記ポンプ本体の各機種ごとに専用に設けた複数の機種
   別回路ブロックと、 上記各機種のポンプ本体が共通に使用する共通回路ブロ
   ックと、 上記判別回路での判別結果を基に上記いずれか一つの機
   種別回路ブロックを選択し、この選択した機種別回路ブ
   ロックと上記共通回路ブロックとを組み合わせて一つの
   ポンプ本体用制御回路を形成する回路形成手段と、 を具備することを特徴とするターボ分子ポンプ。