JPH075213A - デジタル・スペクトラムアナライザの測定値補正装置 - Google Patents

デジタル・スペクトラムアナライザの測定値補正装置

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JPH075213A
JPH075213A JP17269493A JP17269493A JPH075213A JP H075213 A JPH075213 A JP H075213A JP 17269493 A JP17269493 A JP 17269493A JP 17269493 A JP17269493 A JP 17269493A JP H075213 A JPH075213 A JP H075213A
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Michiaki Arai
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 従来は、デジタル・スペクトラムアナライザ
のアナログ入力回路部が、複数の補正回路のボリウムや
トリマコンデンサ等にて、ゲインの周波数補正および2
チャンネル入力間の位相補正を施して精度を得ている
が、有限のレンジ幅毎の調整回路手法では、かなり難し
かしく回路での補正には限界があった。そこで本発明
は、これら補正を全周波数に渡ってきめ細かくし、この
補正係数をメモリ上に持たせておき、各周波数毎に補正
演算をして、高精度を実現することを目的とする。 【構成】 補正値テーブル27と、補正演算部16を設
けて、各周波数と測定レンジ毎に、ゲインと位相補正係
数値を、当該補正テーブルから取り出して、2チャンネ
ルのゲイン補正演算する。そしてこれらの一連の動作
を、制御部28にて実行制御する構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、デジタル・スペクト
ラムアナライザを用いて、各種の周波数スペクトラムや
周波数応答特性を測定する為に、位相測定やゲイン測定
を行う場合、これら周波数に依存するアナログ回路部に
補正する手段を講じて、測定精度の向上をはかる回路に
関する。
【0002】
【従来の技術】デジタル・スペクトラムアナライザは、
1または、2チャンネルの測定入力を用いて、被測定対
象(以後DUTと称す)の各種の周波数スペクトラム
や、周波数応答特性を測定するものである。この時に、
本測定器側は、全周波数にわたってゲイン変化や位相ず
れがないようにしておく必要がある。
【0003】まず、図2(a)の従来の構成ブロック図
を示して、各構成要素と動作説明をする。減衰器42、
52で、入力信号を所定の振幅範囲まで減衰し、増幅器
43、53は、所定の増幅度に増幅するもので、ここ
に、周波数特性の補正調整をする為のボリウムやトリマ
コンデンサがある。また、当該増幅部には、帯域周波数
以上(例えば100KHz)のスペクトラム成分の折り
返し誤差を除くためのアンチ・アリアジング・フィルタ
回路(FFT処理を施した時のアリアジングを防止)も
内蔵していて、位相に影響を与える要素にもなってい
る。
【0004】ADコンバータ44、54は、サンプリン
グ周波数毎にデジタルデータに変換する。ここには、サ
ンプル・ホールド回路も有り、周波数依存要素がある。
FFT処理部13、23は、サンプリングデータを高速
フーリエ変換した後、各周波数のスペクトラム出力1
4、24、を得る。そして、2チャンネル間の振幅比と
位相差は、振幅比位相差演算部17で、この2チャンネ
ル間の振幅比位相差を演算して出力18を得る。
【0005】実際にDUTを接続して各種スペクトラム
特性を正しく測定するためには、周波数により誤差を生
ずるアナログ部12、22の位相とゲインが変化しない
ように調整しておかなければならない。ただし、一般の
測定形態での伝達関数測定においては、2チャンネル間
の振幅比と位相差を使って、伝達特性と伝達関数を求め
るので、2チャンネルの当該アナログ部が同じ周波数特
性をもち、位相回転するならば、通常、誤差にはならな
い。
【0006】上記のため、当該アナログ部は、全周波数
範囲に渡ってゲインや位相差が変わらないように周波数
補正回路を増幅部に内蔵して、ボリウムやトリマコンデ
ンサから構成される調整要素46、56を複数設けて周
波数特性を調整する。しかし、現実には、これら調整要
素は有限の調整ポイントのため、図2(b)の従来の誤
差例61、62のように誤差が完全には無くならず、ま
た、精度良く合わせ込むことにおいても、お互いの調整
要素が影響するため、難しいのが現状である。
【0007】その理由は、いずれかの調整要素を動かす
と、他の周波数調整要素にも影響を与えてしまう為、再
びやり直す必要があり、全周波数を調整するには、繰り
返し調整を、粗調整、微調整、精密調整と順次実施し
て、目的の誤差範囲内に追込む必要があり、かなりの調
整時間を必要としていた。
【0008】A、Bチャンネルは、同一の構成になって
おり、通常のスペクトラムを測定するには、どちらか一
方のチャンネルを用いれば良い。これをシングルチャン
ネル動作とする。また、周波数応答関数を測定する場合
には、図3の接続図のように、SG71の出力をDUT
72とデジタル・スペクトラムアナライザ73のAチャ
ンネル入力に接続し、当該DUTからの出力信号をBチ
ャンネル入力に接続して、DUTの伝達関数を測定す
る。これをデュアルチャンネル動作とする。
【0009】デュアルチャンネル動作では、(Aチャン
ネルのスペクトラム)/(Bチャンネルのスペクトラ
ム)の計算で伝達関数を求めます。また、デュアルチャ
ンネル動作時は、アナログ部は、2チャンネル間の周波
数特性(ゲイン、位相)が同様に変化する場合において
は測定精度に影響を受けない。しかし、周波数特性を高
精度に同一にすることは、前記の有限の調整ポイントの
説明のように、難しい。
【0010】一方、シングルチャンネル動作では、ゲイ
ンがフラットでなければならず、前記同様、調整が難し
い。また、このシングルチャンネル動作の測定スペクト
ラム成分の位相を求めたいという要求があって(例えば
歪み波形の高調波成分の振幅と位相測定)、従来は、正
確な位相測定が出来なかった。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】従来、デジタル・スペ
クトラムアナライザのアナログ入力回路部は、複数の補
正回路のボリウムやトリマコンデンサ等にて、ゲインの
周波数補正および2チャンネル入力間の位相補正を施し
て測定器としての精度を得ているが、この方法では、補
正の限界があった。
【0012】特に2チャンネル入力間の位相ずれを(例
えば0.5度以下に)補正するには、従来のように有限
のレンジ幅毎の調整回路手法では、かなり難しかった。
そこで本発明は、高精度に自動的に実現することを目的
とする。
【0013】
【課題を解決する為の手段】
(図1(a)の解決手段)上記課題を解決するために、
本発明は、全周波数に渡ってきめ細かく(例えば5KH
z毎に)補正する手段を補正値テーブル27、補正演算
部16、制御部28と、必要に応じて信号発生器31
(以下SGと称す)、補正値作成部34を設けて解決す
る。のゲインと位相の補正回路では、図1(a)の回路
図のように、補正値テーブル27と、補正演算部16を
設けて、各周波数と測定レンジ毎に、ゲインと位相補正
係数を、当該補正テーブルから取り出して、2チャンネ
ルのゲイン補正演算する。そしてこれらの一連の動作
を、制御部28にて実行制御する手段にしたものであ
る。
【0014】各チャンネルの外部入力信号は、当該アナ
ログ部12、22でデジタル変換する。そして、当該F
FT処理部13、23で、高速FFT演算して周波数毎
のゲインと位相データに変換する。
【0015】そして、この出力を当該補正演算部で、当
該補正値テーブルから各周波数に対応した補正データを
取り出して補正演算処理した後スペクトラム信号出力す
る。また、デュアルチャンネル動作では、(Aチャンネ
ルのスペクトラム)/(Bチャンネルのスペクトラム)
の計算で伝達関数を求める必要がある。この為、この2
チャンネルのスペクトラム信号出力を当該振幅比位相差
演算部に与えて、2チャンネル間の伝達関数を演算した
後外部に信号出力する。
【0016】補正演算部16は、従来アナログ回路1
2、22で調整していたゲインや位相補正の代わりに、
当該補正演算部を設けて、ここで全ての補正演算をおこ
なう。つまり、FFT処理部13、23から、各周波数
毎のゲインと位相のデジタルデータを入力して、補正値
テーブル27から対応する補正係数を読みだして、補正
演算を実行し、その結果の値を出力する。また、ここで
の補正演算手段として、制御部28のソフトで処理して
も良いし、デジタル信号処理プロセッサ(DSP)等を
補正演算部16に設けて高速化しても良い。
【0017】補正値テーブル27は、補正係数を書き込
みと保存と読みだしする手段を持つ。このテーブルの内
容には、ゲイン補正係数と位相補正係数に分類され、周
波数分割単位毎の補正係数を持つ。また、A、Bチャン
ネル毎にも、また、各減衰器のレンジ切り替え毎にも対
応した補正係数を持っている。
【0018】制御部28は、補正演算の実行制御を行
う。つまり、補正条件である減衰器のレンジ、使用チャ
ンネル、測定周波数、に応じて補正値テーブルと補正演
算部16を制御して、目的とする補正演算の実行をす
る。
【0019】接続手段としては、測定外部入力信号をア
ナログ部12、22に入力し、当該アナログ部12、2
2からの出力をFFT処理部13、23の入力に接続
し、当該FFT処理部からの出力をそれぞれ補正演算部
16の入力に接続する。 そして、補正テーブル27か
らの補正係数出力を当該補正演算部の入力に接続する。
【0020】そして、当該補正演算部は、各チャンネル
の周波数毎の、補正後のゲインと位相を出力する。 ま
た、この2チャンネルの出力は、振幅比位相差演算部1
7の入力にも接続され、当該振幅比位相差演算部の差信
号18出力する。
【0021】(図1(b)の解決手段)また、上記構成
に図1(b)のように信号発生器SG31と、補正値作
成部34と、SW11、21、35、36とを追加した
構成手段により、随時キャリブレーションを実行して、
補正値テーブル27の内容データを更新する手段を追加
した構成例がある。
【0022】Aチャンネル側の補正値を求める場合は、
当該SGのアナログ信号を当該アナログ部12に与え
る。そして、当該アナログ部12の出力を当該FFT処
理部13に与える。また、当該SGのデジタル信号出力
は、当該FFT処理部23に直接与えて、補正値を求め
る。
【0023】また、Bチャンネル側の補正値を求める場
合は、当該SGのアナログ信号を当該アナログ部22に
与える。そして、当該アナログ部22の出力を当該FF
T処理部23に与える。そして、当該SGのデジタル信
号を当該FFT処理部13に直接与えて、補正値を求め
る。
【0024】補正テーブル値を求めるキャリブレーショ
ン時は、次のように行う。SG31は、全周波数スイー
プできる信号発生器で、アナログ出力32とデジタル出
力33を持っている。
【0025】接続手段としては、当該アナログ部12の
入力には、外部入力と当該SGアナログ出力を当該SW
11で切り替えて入力し、同じく、当該アナログ部22
の入力には、外部入力と当該SGアナログ出力を当該S
W21で切り替えて入力し、そして当該SGアナログ出
力は、当該SW11、21の他方の入力に接続する。
【0026】そして、当該FFT処理部13の入力に
は、当該アナログ部12の出力と当該SGデジタル出力
を切り替えて入力し、同じく、当該FFT処理部23の
入力には、当該アナログ部22の出力と当該SGデジタ
ル出力を切り替えて入力し、そして当該SGデジタル出
力は、当該SW35、36の他方の入力に接続し、当該
振幅比位相差演算部17の出力を、当該補正値作成部3
4に接続し、当該補正値作成部の出力データを、当該補
正値テーブルに格納する。
【0027】
【作用】補正値テーブルは、アナログ部が周波数により
ゲイン特性と位相特性が、基準値よりずれるのを補正す
るための補正係数(チャンネル毎、周波数単位毎、アナ
ログ部内蔵減衰器毎)を収容する。そして、この補正係
数は、周波数単位毎に持つのできめの細かい補正を可能
にする。
【0028】補正演算部は、FFT処理部からの、周波
数毎のゲインデータ入力を、これに対応した周波数単位
位置にある補正値テーブルから補正係数を取り出し加減
乗除演算を行い、補正した結果を出力できる。位相のデ
ータ入力に対しても、同様に補正実施出力できる。
【0029】
【実施例】
(実施例1)本発明の実施例について、図1(b)の本
発明のSG内蔵時の構成ブロック図を参照して説明す
る。まず、従来に対して追加した各構成要素の説明をす
ると。
【0030】補正値テーブル27は、例えば、全体で2
×2×8×20=640ポイントの補正係数が当該補正
値テーブルにある。ここで補正係数の種類として、2と
は、ゲイン補正係数と位相補正係数の2種類であり、次
の2とは、A、Bチャンネルの独立した補正係数種類で
ある。
【0031】そして、次の8とは、各減衰器のレンジ切
り替え毎の補正係数種類である。これは、減衰器のレン
ジ切り替えに伴って発生するゲインと位相誤差も、この
補正係数で補正するためである。そして、次の20と
は、周波数分割単位毎(例えば5KHz)の補正係数種
類である。一例を示すと、5KHzステップ毎に補正係
数を設けると、100KHzまでの測定範囲の場合で
は、100/5=20ポイントの周波数分割毎に補正係
数を設ける。
【0032】補正係数用メモリには、書き換え可能なメ
モリ(例えば、EEPROMやフラッシュメモリやバッ
テリバックアップメモリ等)を使用する。この補正係数
の設定方法は、一つの方法は、製造調整時に、外部から
SGを用いて、各周波数毎に正確に測定し求めた値をメ
モリに書き込んおく場合がある。
【0033】また、他の方法は、図1(b)の実施例の
ようにSG31を内蔵している構成の場合では、電源投
入時または、随時、自動測定して補正係数を更新するこ
とで、アナログ部の経時変化や温度変化があっても、常
に誤差を最小の状態で補正実現する場合とがある。この
当該SGには、アナログとデジタルの両出力を備えてい
る信号発生器である。
【0034】例えば、アナログ部12の伝達関数を測定
する場合は、SW11を切り替えてAチャンネルのアナ
ログ部の入力にSG31のアナログ出力を与える。一
方、Bチャンネルには、SW36を切り替えて、SG3
1のデジタル出力を直接FFT処理部23の入力に与え
る。このようにした後、SG31をスイープして測定す
ることで、アナログ部12の伝達関数が求まる。このデ
ータを基に、補正値作成部34で計算し、この出力の補
正データをアナログ部12の補正値テーブル27に設定
する。同様にしてアナログ部22も、SW21、35を
切り替えて、補正テーブル値を設定する。
【0035】つぎに、実際のDUT測定使用時の補正演
算動作を説明すると。各チャンネルの入力信号を、当該
アナログ部でAD変換してデジタル信号に変換した後、
これをFFT処理部13、23では、高速FFT演算し
て周波数毎のゲインと位相データに変換出力する。
【0036】その後に、このデータを補正演算部16に
与える。一方、当該補正テーブルから、補正しようとす
る周波数に対応した補正係数を取り出し、補正演算した
後、結果を出力する。このようにして、FFT処理部か
ら入力される各周波数毎のゲインと位相データ全部に対
して、同様にして補正演算実行し出力する。これによる
補正誤差結果の誤差例を図2(b)の63、64に示す
ように、周波数分割単位に細かく補正を行えることで、
容易に誤差を少なくできる。
【0037】ここでの補正演算処理は、ソフトまたはD
SPで行うので演算時間がかかるが、リアルタイム処理
の必要はなく、本補正によるスループット低下の影響は
ほとんどない。
【0038】また、ここでは説明しなかったが、温度セ
ンサを内蔵し、予め温度に対する補正係数を当該補正テ
ーブルに書き込んでおけば、周囲温度の変化による部品
定数やOPアンプ等の温度変化による誤差も、上記と同
様の手法により、容易に補正することができる。
【0039】(実施例2)次に、上記の実施例の構成で
SGによるキャリブレーション部分を除いた、図1
(a)の本発明のSGなし時の構成ブロック図を参照し
て説明する。図1(b)と異なる部分は、SG31と補
正値作成部34とSW11、21、35、36を削除し
た構成になっている。
【0040】つまりこれは、補正テーブルの更新をする
必要のないときの構成である。この理由は、実用上、補
正テーブルの値を更新する必要がない程度の経時安定
性、温度ドリフトである場合においては、工場出荷時に
一度設定しておけば良いからである。
【0041】これにより、コストを削減できる。そし
て、十分に実用的な誤差精度を維持できる。ただ、メン
テナンス等で、アナログ部の回路部品の修理交換等をし
た時は、再度設定作業を行うものとする。
【0042】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。周
波数範囲の細かい単位で補正をするため、精度確保が容
易で確実にできる。また、従来のように、繰り返しの調
整追込みも無くなり、他に影響されず独立した補正がで
きるので、この点でも精度維持が確実になった。
【0043】これにより、ゲインの周波数特性誤差、お
よび、2チャンネル間の振幅比、位相差の周波数特性誤
差を、従来より著しく低減できた。この結果、より精度
の高い測定が提供可能になった。
【0044】また従来、シングルチャンネル動作では、
測定スペクトラム成分の位相測定については、従来の補
正方法では実現が難しかった。それが、本方式により、
位相絶対値補正が可能になったことで、新しい測定機能
(例えば歪み波形の高調波成分の位相測定)の追加が実
現できるようになった。
【0045】また、アナログ部の調整用回路がいらなく
なり部品コストの低減ができる。しかも、従来、手動で
調整していたものが、自動調整化が可能な方式となった
ことで、調整作業工数低減が期待できる。
【0046】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のSG内蔵時の構成ブロック図、及び、
SGなし時の構成ブロック図である。
【図2】従来の構成ブロック図と、調整誤差データ特性
の例である。
【図3】周波数応答関数の測定時の接続図である。
【符号の説明】
11、21、35、36 SW 12、22 アナログ部 13、23 FFT処理部 16 補正演算部 17 振幅比位相差演算部 27 補正値テーブル 28 制御部 31 SG 34 補正値作成部

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 デジタル・スペクトラムアナライザ(F
    FTアナライザ)において、 当該デジタル・スペクトラムアナライザのゲイン(利
    得)と位相の補正係数を格納する補正値テーブル(2
    7)と、 入力アナログ信号を高速フーリエ変換するFFT処理部
    (13)、(23)からの出力信号と、当該補正テーブ
    ル(27)からの補正値データとで測定値の補正演算を
    する補正演算部(16)と、 上記補正演算を実行制御する制御部(28)と、 を有することを特徴とするデジタル・スペクトラムアナ
    ライザの測定値補正装置。
  2. 【請求項2】 上記請求項1に、当該デジタル・スペク
    トラムアナライザの全周波数範囲をスイープする信号発
    生器(31)と、 当該信号発生器の出力信号と外部入力信号を切り替える
    ための切り替えスイッチSW(11)、(21)と、 アナログ部(12)の出力信号と当該信号発生器のデジ
    タル出力信号を切り替えるための切り替えスイッチ(3
    5)と、 アナログ部(22)の出力信号と当該信号発生器のデジ
    タル出力信号を切り替えるための切り替えスイッチ(3
    6)と、 測定した当該振幅比位相差演算部(17)からのデータ
    をもとに補正値を作成する、補正値作成部(34)と、 当該補正値作成部(34)のデータを補正値テーブル
    (27)に入力する手段と、 を有する請求項1のデジタル・スペクトラムアナライザ
    の測定値補正装置。
JP17269493A 1993-06-18 1993-06-18 デジタル・スペクトラムアナライザの測定値補正装置 Withdrawn JPH075213A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11248764A (ja) * 1997-12-22 1999-09-17 Rohde & Schwarz Gmbh & Co Kg 測定装置、特にスペクトルアナライザーの伝達関数決定ならびに補償法
WO2002018966A1 (fr) * 2000-08-30 2002-03-07 Advantest Corporation Numeriseur et instrument de test semiconducteur
JP2003511673A (ja) * 1999-10-07 2003-03-25 ローデ ウント シュワルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディット ゲゼルシャフト 計測器の複素伝達関数を決定する構成
WO2004072668A1 (en) * 2003-02-13 2004-08-26 Mcgill Iniversity Mixed-signal-device testing
JP2009014432A (ja) * 2007-07-03 2009-01-22 Campus Create Co Ltd 振幅・位相検出装置及びこれを用いた計測システム並びに振幅・位相検出方法
JP2013007616A (ja) * 2011-06-23 2013-01-10 Advantest Corp 信号測定装置、信号測定方法、プログラム、記録媒体

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11248764A (ja) * 1997-12-22 1999-09-17 Rohde & Schwarz Gmbh & Co Kg 測定装置、特にスペクトルアナライザーの伝達関数決定ならびに補償法
JP2003511673A (ja) * 1999-10-07 2003-03-25 ローデ ウント シュワルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディット ゲゼルシャフト 計測器の複素伝達関数を決定する構成
WO2002018966A1 (fr) * 2000-08-30 2002-03-07 Advantest Corporation Numeriseur et instrument de test semiconducteur
JP2002071723A (ja) * 2000-08-30 2002-03-12 Advantest Corp インターリーブad変換方式波形ディジタイザ装置
US6700515B2 (en) 2000-08-30 2004-03-02 Advantest Corporation Digitizer apparatus and semiconductor testing apparatus
WO2004072668A1 (en) * 2003-02-13 2004-08-26 Mcgill Iniversity Mixed-signal-device testing
JP2009014432A (ja) * 2007-07-03 2009-01-22 Campus Create Co Ltd 振幅・位相検出装置及びこれを用いた計測システム並びに振幅・位相検出方法
JP2013007616A (ja) * 2011-06-23 2013-01-10 Advantest Corp 信号測定装置、信号測定方法、プログラム、記録媒体

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