JPH07504268A - 発信器用の回路装置 - Google Patents

発信器用の回路装置

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発信器用の回路装置 本発明は、請求項1の上位概念に記載の回路装置に関する。
センサ信号の評価のために、たとえばブリッジおよび電荷増幅器回路のような種 々異なる回路装置が知られている。このような回路形式ではたいていの場合、マ イクロコンビ子−夕に適合した信号準備処理のために装置的に著しく高い費用が 生じることになり、したがって著しく低コストにはならない。さらに、LC振動 回路において駆動されるセンナ回路も知られている。
たしかにこの回路は、後続の信号処理のために後置接続されたマイクロプロセッ サによってそのまま評価可能な周波数信号を供給するけれども、この稽の振動回 路装置に対しては温度の影響が著しく及ぼされるという欠点を有しており、した がってたいていの適用事例では後置接続された温度補償部が必要である。
本発明は、プロセッサに適したセンサ信号の準備処理を新規な手法で行おうとす るものであって、この手法はたとえば自動車用発信器として用いるのに適したも のとなる。この場合、発信器とは次のような装置であるものとする。すなわち、 伝送可能でありつまり著しく長い距離を介しても伝送可能な測定信号を発借器出 力側から供給する目的で、ユニットとして本来のセンサ素子も含み電気的なセン ナ測定信号を評価する第1の電子回路装置も含む装置である。自動車において殊 に重要な点として、たとえば極端な温度影響のように発信器が駆動される厳しい 環境も挙げられるし、低コストの大量生産のための適性に対する要求も挙げられ る。
したがって本発明の課題は、著しく簡単でありしたがって低コストで温度の影響 を自動的に補償するようにした、容量式発憤器のセンサ信号のための1価回路を 提供することであって、その際、センサ素子は著しくわずかな容量を有していれ ばよく、回路はその出力側から伝送可能な電気信号を送出し、マイクロプロセッ サがこの信号を引き続いて信号変換することなく評価できるようにする点にある 。
この課題は、請求項1または請求項2の特徴部分に記載の構成により解決される 。
本発明による回路は、最も簡単な手段を用いて極めて低コストで構成できる。P WM出力信号は、著しく長い距離を介しても情報内容を損なうことなく伝送可能 である。この出力信号はディジタル形式であり、したがってA/D変換器は不要 である。センナ測定量の情報内容を担うパルス持続時間は、マイクロプロセッサ において最も簡単に評価できる。たとえば、1つの周期のパルス持続時間と休止 期間をプロセッサの2つのカウンタでめるようにして評価を行うことができる。
次に、プロセッサは最も簡単な計算ステップで、たわみ振動子として構成された 可動中央電極の変位の尺度量として分割比を形成する。必要に応じて、簡単なR C−低域通過フィルタにより出力信号をアナログ電圧信号に変換できる。
使用される差動測定値センサの形式に応じて、この回路により微細調整可能な著 しく僅かな非線形性を達成できる。これに関連して後から行われる測定信号補正 は、多くの適用事例に対して省略できる。差動コンデンサ方式は周囲の影響によ り障害が及ぼされる場合、自己補償するように動作し、したがってたとえば温度 ドリフトは著しく僅かである。実際の回路構成では、この方式ゆえに付加的な手 段を用いることなく高い耐温度特性と測定信号の著しく高い分解能を得ることが できる。さらにこの回路は著しく僅かな固有電流消費しか有しておらず、しかも 、CuO2−構成素子の利用に際して広い給電電圧範囲を許容できる単極の電圧 源電圧源(VCC)Lか必要としない。この回路はその実現形態において著しく 僅かな構成素子だけで構成されるので、狭いスペースしか与えられていない適用 事例のためにうまく適している。さらにこの回路は、ダイナミックな測定動作に もスタティックな測定動作にも利用できる。
次に、6つの図面に基づき本発明を説明する。
第1図には、請求項1に記載の本発明による解決手段の回路構成が示されており 、第2図にはこの回路に付随する信号経過特性が実例として示されている。第3 図には、容量式差動測定値センサの可能な実施形態が縦断面図で示されており、 これはここでは動作原理だけを明らかにしようとするものである。第4図〜第6 図には、本発明による解決手段の選択的な実施例が示されている。
第1図による回路装置の場合、容量式差動測定値センサ1は測定装置内に固定さ れている2つの電極2および3を有しており、さらにこれらの電極間に可動の中 央電極4を有している。この可動中央電極に対して。
電気的ではなく物理的な被検出測定量が作用を及ぼす。
このような構造的配置により、両方の部分コンデンサ5と6が形成される。中央 電極4はこの実施例の場合、共通のゼロ電位ないしは発信器回路15のアース端 子7と接続されている。第1図では、この回路装置の基礎となる動作原理をいっ そう良好に理解できるようにする目的のためだけで、差動測定値センサ1を2つ の可変部分コンデンサ5と6の形で示した。
検出すべき測定量が中央電極4に作用を及ぼすと、コンデンサ装置における間隔 状態が変化し、このことによって両方の部分コンデンサ5と6において互いに逆 方向で容量値が変化することになる。したがって、作用を及ぼす測定量に比して コンデンサ5と6の充電時間も変化する。
部分コンデンサ5は高抵抗値の抵抗8とともにRC素子を形成し、同様に部分コ ンデンサ6は高抵抗値の抵抗9とともに1つのRC素子を形成する。このRC組 み合わせ体5と8の結果として生じる充電時間により、反転閾値検出器10の切 換時点が決定される。RC合成回路6と9についても、非反転閾値検出器11に 関して相応のことがあてはまる。中央電極4の変位に起因して充電時間が変化す ると、閾値検出器10および11の切換時点もずらされる。両方のRC発振器が リング状に結線されていることにより、これらは互いにトリガし合う。そのつど 両方のトリガ回路の後で排他OR素子12を用いて信号経過特性e1と82を評 価することにより、発信器回路15の信号タップ13へそのまま導かれている排 他OR素子の出力側にPWM信号14が生じる。
このように既述の回路は、特徴をなす構成素子として2つの閾値検出器10およ び11ならびに排他OR結合ゲート12を有している。実際の回路構成では、こ れら両方の閾値検出器10および11は、有利には第1図において回路記号で示 されているように、シュミットトリガによって実現される。
この回路装置の動作を定める素子は、 a)結合された両方のRC発振器6と9ないし5と8であり、この場合、それぞ れ一方の発振器は他方の発振器のフィードバック回路中に配置されており、b) これら両方の発振器をそれぞれ相互接続しているシュミットトリガ10および1 1であり、この場合、両方のシュミットトリガのうち一方のシュミットトリガ1 0は付加的にレベル反転を行い、C)シュミットトリガ10と11の出力側に生 じる両方の部分信号e1とC2を排他OR論理結合する後置接続されたゲート1 2である。
つまりこの場合、2つの時限素子が直列接続されている。後置接続された各シュ ミットトリガは、それらの個々の入力側に連続的に生じる電圧レベルu5とU6 の正の変化にも負の変化にも応答する。次に、u5ないしu6が両方のシュミッ トトリガのうち一方のシュミットトリガの上方の切換閾値O5を上回ると、ある いは下方の閾値USを下回るとただちに、排他OR結合素子12の両方の入力側 に加わる電圧レベルe1およびC2の時間的に遅延された切り換えが行われる。
この場合、切換時点はRe素子により定められる。この回路装置の振動周波数は 構造に起因して、C1+C2;一定の条件下にある。
この回路装置の場合、パルス幅変調された出力信号14は、両方の部分信号e1 とC2の論理結合によっ特表平7−504268 (4) ではじめ生じる。したがってここで述べた解決方式は必然的に、有用な測定信号 を発生させるために排他OR結合素子12を必要前提条件とする。
第2図の信号経過特性から明らかなように、両方の部分コンデンサの1つの完全 な振動周期つまり充/放電サイクルを捕捉検出するために、信号elXORe2 の2つの周期の評価が必要である。したがってこのような回路形式の場合、測定 量に比例するPWM信号を得るためには、それぞれ2つの完全な振動周期aおよ びbから合成された2重のパルスを評価する必要がある。
これらの点で上記の回路形式は、それぞれ同じ課題を解決するとしても第4図〜 第6図による他の回路装置とは異なる。殊に第1図による回路は、モノフロップ またはユニパイプレークとも称される単安定マルチバイブレークによって構成さ れていない。第1図による回路装置はトリガパルスで作動するものでもないし、 つまりこの回路装置は側縁制御されるのではなく連続的なレベル変化に対して応 動するのであって、さらにこの回路装置はRC時間経過後に独立的に初期状態へ 跳躍的に戻るわけでもない。使用可能な測定信号は、部分信号e1およびC2の 結合後にはじめて生じる。
第1図による回路装置は有利には、著しく簡単な個別構成に適している。この回 路装置のためにもっばら標準的であるほんの僅かな個数の構成素子しか必要とし ないので、著しくコストが安(省スペースの構成を実現できる。周知のとおり、 モノフロップのようにいっそう複雑な構成素子は簡単なシュミットトリガよりも 高価である。
殊に自動車の発信器における評価回路のためには、上述の要求の実現は不可欠で ある。組み込みスペースが極度に制限されているため回路は微小化可能でなけれ ばならず、その理由で簡単な解決方式だけしか、つまり僅かな個数の回路素子し か必要としない解決方式だけしか考慮の対象とはならない。
第4図〜第6図には、これまで述べてきた動作原理とは異なる回路形式が開示さ れている。この回路形式が特徴としているのは、この場合にはセンサ信号の評価 のためにただ1つの信号経路しか辿らない点である。
低抵抗の2つのスイッチにより、つまり有利には一図示されているように一電界 効果トランジスタ32゜33ないし44.45ないし54.55により、発振器 RCIまたはRC2からの測定電圧−C1およびC2はセンサ素子の両方の部分 容量でありRは作動電圧源に対し接続された高抵抗値の抵抗であるーが、側縁制 御される双安定素子31ないし43ないし5〇−図面ではそれぞれフリップフロ ップで表されている−の互いに相補的にラッチされる両方の出力側を介して、ト リガ回路30ないし41ないし51へ交互に供給される。このような特徴的な組 み合わせは、既述の3つの図面すべてにおいて繰り返し表されている。
被測定電圧に比例する時間間隔のパルス(PWM)を回路装置の出力側13に生 じさせることができるように、発振器で取り出された測定電圧は、それぞれ異な る構成を有する回路を介してフィードバックされて双安定素子のクロック入力端 へも作用を及ぼす。
第4図〜第6図による回路装置は、温度の影響を自動的に補償するのにとりわけ 適している。周知のように、トリガ素子の切換閾値の温度に起因するドリフトは 、評価回路で達成できる測定精度に対し著しく不利な影響を及ぼす。しかしなが らここに開示されている回路は、測定結果にとって重要であり同一の構成素子の ものであるただ1つの切換閾値だけしか有していない。センナ信号は交互にその 切換入力側へ供給される。
温度に起因して切換閾値が変動すると、発振器RCIおよびRC2からの両方の 部分信号に対し同じように作用が及ぼされる。しかも実践において重要な適用事 例の場合、切換周波数は、1つの測定周期中に生じた切換閾値の変化が実質的に 何の影響もないままであるような大きさである。したがってこのような回路形式 は、著しく有利な温度特性を表すものである。
第3図による容量式差動測定値上ンサ1は、たとえば加速度センナとすることが できる。そしてこの加速度センサが微小機械的にシリコンで構成されているなら ば、本発明による回路と組み合わせて多数の著しい利点が得られる。それという のは、両方ともに容易に集積可能であり互いに組み合わせることができるので、 著しくコンパクトな構成が得られるからである。
本発明による回路構成は有利には著しく小さい容量式センサ(c<109F)の 評価のために着想されているとはいえ、既述の解決手段は基本的にこのような適 用事例に限定されるものではない。このような形式の差動測定値センサ1は、た とえば圧力測定または力測定のようなその他の物理的測定量のためにも使用でき る。したがって、たとえば中央電極4のそれぞれ異なる部分平面が固定電極2と 3で覆われるように中央電極4を両方の電極2と3の間に変位可能に支承するこ とであれ、構造によりたわみ振動子、膜振動子あるいはプレート状振動子を選択 することであれ、差動測定値センサ1の特別な構成様式は本発明による解決手段 の適用に際して重要ではない。
FIG、1 FIG、 5 FIG、 6 国際調査報告 PCT/εP 93100342

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.差動測定値センサ(1)の測定信号を準備処理し伝送可能な信号を回路装置 の出力側(13)に生じさせるように構成されている、容量式差動測定値センサ (1)を備えた発信器用の回路装置において、結合された2つのRC発振器(6 ,9:5,8)が設けられており、 a.それぞれ一方の発振器は他方の発振器のフィードバック回路中に配置されて おり、これらの発振器の容量はそれぞれ差動測定値センサ(1)の両方の部分容 量の一方により形成され、 b.前記の両方の発振器をそれぞれ相互接続する2つのシュミットトリガ(10 ,11)が設けられており、これら両方のシュミットトリガのうち一方のシュミ ットトリガ(10)は付加的にレベル反転を行わせ、 c.前記シュミットトリガ(10,11)の出力側に生じる両方の部分信号(e 1,e2)を排他OR結合する後置接続されたゲート(12)が設けられていて 、該ゲート(12)の出力側に、測定量に相応する2重の論理パルス信号(14 )が生じることを特徴とする、 発信器用の回路装置。 2.差動測定値センサ(1)の測定信号を準備処理し伝送可能な信号を回路装置 の出力側(13)に生じさせるように構成されている、容量式差動測定値センサ (1)を備えた発信器用の回路装置において、1つの抵抗(R)と2つの並列分 岐から成る容量とを備えたRC発振器が設けられており、前記の両方の分岐は差 動測定値センサ(1)の両方の部分容量により形成され、差動測定値センサ(1 )において生じた両方の部分信号の評価が行われ、前記の分岐を交互に切り換え ることにより、測定電圧に相応するパルス幅変調された信号(PWM)がただ1 つの信号経路を介して生じることを特徴とする、発信器用の回路装置。 3.高抵抗値の抵抗(R)と2つの並列分岐から成る容量とを備えたRC発振器 が設けられており、a.前記の容量において生じた測定電圧が、低抵抗のスイッ チ(32,33;44,45;54,55)を介してそれぞれ交互にトリガ回路 (30;41;51)へ供給され、 b.前記スイッチは、側縁制御される双安定素子(31;43;50)の互いに 相補的にラッチされる両方の出力側にり制御され、 c.前記双安定素子は、フィードバック回路を介して発振器で取り出される測定 電圧によりクロック制御され、 d.選択的に前記双安定素子の両方の出力側のうち一方の出力側において、測定 電圧に相応するパルス幅変調された信号(PWM)が取り出される、請求項2記 載の回路装置。 4.前記容量式差動測定値センサ(1)は加速度センサであって、検出すべき加 速度により中央電極(4)の変位が行われる、請求項1または2記載の回路装置 。
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SK (1) SK280692B6 (ja)
WO (1) WO1993017302A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003035615A (ja) * 2001-07-24 2003-02-07 Nitta Ind Corp 静電容量式センサ

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19803643A1 (de) * 1998-02-02 1999-08-05 Reinhard Wiesemann Kapazitiver Sensor
DE19954267A1 (de) * 1999-07-30 2001-08-02 Univ Ilmenau Tech Verfahren zur automatischen Einstellung der Schaltschwelle kapazitiver sowie induktiver Näherungssensoren
US6249075B1 (en) 1999-11-18 2001-06-19 Lucent Technologies Inc. Surface micro-machined acoustic transducers
US6356085B1 (en) * 2000-05-09 2002-03-12 Pacesetter, Inc. Method and apparatus for converting capacitance to voltage
DE10115715B4 (de) * 2001-03-30 2004-10-14 Plöchinger, Heinz, Dipl.-Ing. Sensor und Verfahren zur Erfassung von Meßgrößen und physikalischen Parametern
US6516672B2 (en) 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
KR100496883B1 (ko) * 2003-02-04 2005-06-23 삼성전자주식회사 전류 제어 피더블유엠 회로 및 이를 포함하는 클래스 디이앰프
DE102013102543B4 (de) 2013-03-13 2024-02-01 Minebea Mitsumi Inc. Drehgeber mit geringer Leistungsaufnahme

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3518536A (en) * 1967-11-08 1970-06-30 Lee Shih Ying Mechano-electrical transduction system having a pair of electrical sensing networks arranged to be triggered alternatively
FR2454083A1 (fr) * 1979-04-09 1980-11-07 Facom Dispositif de mesure de la position relative de deux objets
JPS56129831A (en) * 1980-03-17 1981-10-12 Yokogawa Hokushin Electric Corp Pressure converter
CH652823A5 (de) * 1980-03-26 1985-11-29 Bosch Gmbh Robert Weg-frequenz-messgroessenwandler.
US4642555A (en) * 1985-01-31 1987-02-10 Sperry Corporation Differential capacitance detector
DE3542030A1 (de) * 1985-05-06 1986-10-09 Haberland, Rüdiger, Prof. Dr.-Ing., 6750 Kaiserslautern Auswerteelektronik fuer differentialkondensatoren
DE3528416C2 (de) * 1985-08-08 1996-04-18 Envec Mess Und Regeltechn Gmbh Auswerteschaltung für einen kapazitiven Sensor
US5083091A (en) * 1986-04-23 1992-01-21 Rosemount, Inc. Charged balanced feedback measurement circuit
US4783659A (en) * 1986-08-22 1988-11-08 Rosemount Inc. Analog transducer circuit with digital control
US4878012A (en) * 1988-06-10 1989-10-31 Rosemount Inc. Charge balanced feedback transmitter
DE3919191C2 (de) * 1989-06-13 1999-12-09 Mannesmann Vdo Ag Auswerteschaltung
US5228341A (en) * 1989-10-18 1993-07-20 Hitachi, Ltd. Capacitive acceleration detector having reduced mass portion
GB2260648B (en) * 1991-10-16 1995-05-17 John Mfg Ltd Sensor switch and a portable device sensitive to a change in movement
US5204674A (en) * 1991-10-28 1993-04-20 Conameter Corporation Servo mechanism with differential phase shift feedback
US5428352A (en) * 1992-01-06 1995-06-27 Motorola, Inc. Closed loop circuit for a differential capacitive sensor
US5424650A (en) * 1993-09-24 1995-06-13 Rosemont Inc. Capacitive pressure sensor having circuitry for eliminating stray capacitance

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003035615A (ja) * 2001-07-24 2003-02-07 Nitta Ind Corp 静電容量式センサ

Also Published As

Publication number Publication date
DE4205989A1 (de) 1993-09-02
EP0628155B1 (de) 1995-12-20
PL170773B1 (pl) 1997-01-31
HU9402471D0 (en) 1994-10-28
CZ281439B6 (cs) 1996-09-11
JP3363903B2 (ja) 2003-01-08
WO1993017302A1 (de) 1993-09-02
DE4205989C2 (de) 1994-12-22
BR9305974A (pt) 1997-10-21
SK280692B6 (sk) 2000-06-12
US5621399A (en) 1997-04-15
SK102694A3 (en) 1995-03-08
ATE131928T1 (de) 1996-01-15
AU669879B2 (en) 1996-06-27
HUT68135A (en) 1995-05-29
AU3496993A (en) 1993-09-13
CZ199994A3 (en) 1995-01-18
EP0628155A1 (de) 1994-12-14

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