JPH0750327A - レーザーダイオード素子外観検査装置 - Google Patents

レーザーダイオード素子外観検査装置

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JPH0750327A
JPH0750327A JP19717093A JP19717093A JPH0750327A JP H0750327 A JPH0750327 A JP H0750327A JP 19717093 A JP19717093 A JP 19717093A JP 19717093 A JP19717093 A JP 19717093A JP H0750327 A JPH0750327 A JP H0750327A
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laser diode
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camera
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Tadaaki Sato
忠明 佐藤
Eiji Yoshida
英治 吉田
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NEC Engineering Ltd
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NEC Corp
NEC Engineering Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】レーザーダイオード素子の外観を検査する工程
に於て、従来の作業者による手作業を自動化し、処理能
力と歩留を向上させることが目的である。 【構成】レーザーダイオード素子の外観を映像にするカ
メラ及びモニタテレビと、レーザーダイオード素子をハ
ンドリングするハンドリングアームと、その制御部と、
映像を順次切換える映像切換制御部と、良品整列トレイ
と、不良廃棄トレイとで構成される。 【効果】レーザーダイオード素子を自動的にハンドリン
グすることにより、処理能力及び歩留を向上せしめる効
果と、映像をモニタテレビ上に映し出すことにより、複
数の作業者が同様に状態を把握することが可能となり外
観検査基準を統一できる効果を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザーダイオード素子
外観検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザーダイオード素子の外観検
査は、図３にに示すように手作業でレーザーダイオード
素子１を透明のトレイ１３に収納し、そのトレイ１３を
顕微鏡１１の載置台１２に載せて検査していた。又レー
ザーダイオード素子１の反対面を見る場合は図４に示す
ように透明トレイ１３を裏返しトレイの外側から検査を
行なっていた。
【０００３】さらにレーザーダイオード素子１の両発光
端面を検査する場合は、図５に示すように、顕微鏡１１
の載置台１２を任意の角度で傾斜させて固定できる傾斜
載置台１４となっており、その状態でレーザーダイオー
ド素子収納トレイ１３を載せて検査を行なっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の顕微鏡によ
るレーザーダイオード素子の外観検査方法では作業性が
悪く、検査に膨大な時間を要していた。
【０００５】又、作業者の習熟度によって外観検査基準
にばらつきがあり、正しい検査が行なわれないという問
題点がしばしば発生していた。
【０００６】さらにはピンセットによる不良素子の除去
と良品素子の整列を行っており、その時点で外観不良を
引き起す要因にもなっていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のレーザーダイオ
ード素子外観検査装置は、レーザーダイオード素子のＰ
面，Ｎ面及び両発光端面を映像にするカメラ及びモニタ
テレビと、レーザーダイオード素子を１個ずつハンドリ
ングして供給及び収納，外観不良素子の廃棄を行なうハ
ンドラリングアームと、ハンドリングアームを制御する
制御部と、検査面の映像を順次切換える映像切換制御部
と、良品整列トレイと不良廃棄トレイとを備えている。
【０００８】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
【０００９】図１は本発明の第１の実施例の概略図であ
る。
【００１０】レーザーダイオード素子１は載置台１２に
載置される。載置台１２は素子搭載部が透明である。こ
の載置台１２に隣接してハンドリングアーム１０が設置
され、さらに、ハンドリングアーム１０に近接して良品
整列トレイ９、不良品廃棄トレイ８が設置されている。
ハンドリングアーム１０は従来から用いられているもの
が利用できる。この実施例では先端に素子吸着ノズルを
備えた真空吸着型のものを使用した。
【００１１】載置台の周囲には、さらに、ＣＣＤカメラ
３が配置されている。このＣＣＤカメラ３は、レーザー
ダイオード素子１のＰ面，Ｎ面、発光面を映す為に、カ
メラ保持具４で保持され、レーザーダイオード素子１の
上下及び両脇に合計４台配置されている。各々のＣＣＤ
カメラ３は映像切換制御部（市販品、菱光社製、自動映
像切換器、ＴＡ−２０４Ａ）５に接続されており、モニ
ターテレビ６に順次映像を映し出す。
【００１２】作業者はモニタテレビに順次映し出される
各ＣＣＤカメラ３からの映像を順次目視検査し、不良と
判断した時点でハンドラー制御部７に信号を送る。ま
た、順次映し出される映像の最後の映像まで到達しても
不良が見つからない場合は、その素子は良品であるの
で、その旨ハンドラー制御部７に入力する。
【００１３】ハンドラー制御部７はマイコンで構成され
ており、作業者により入力された信号に基づいてハンド
リングアーム１０に制御信号を出力する。このハンドラ
ー制御部の動作を図６に示す。
【００１４】ハンドリングアームはハンドーラー制御部
７の制御信号に基づいて、素子上方へのアーム先端の移
動、素子吸着、アーム旋回、吸着解除の一連の動作を繰
返し、良品は良品整列トレイに整列し、不良品は不良品
廃棄トレイに排出した後、初期位置に復帰する。
【００１５】図２は本発明の第２の実施例の斜視図であ
る。この実施例は、カメラ保持具４が多関節ロボットと
なっており１台のＣＣＤカメラ３でＰ面，Ｎ面，両発光
面を順次観子姿勢に自動的に切換る。この姿勢制御はハ
ンドラー制御で行う。この場合のハンドラー制御部は映
像切換制御部の機能を兼ね、図７に示す動作をする。
【００１６】第２の実施例の場合、複数個のカメラ３を
必要としない為映像切換制御部５が不要となり、メカ的
に簡易なものとなる。さらにカメラ３の設定角度を任意
に選択できる為、レーザーダイオード素子１の外観の発
見しにくい微細な傷等も判断できるという有意性があ
る。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、レーザー
ダイオード素子のＰ面，Ｎ面，両発光面の状態をカメラ
でとらえて、それを順次モニタテレビ上に映像として、
自動的に１個ずつあらわすことによって、わずらわしい
手作業を排除することが可能となった。またレーザーダ
イオード素子１個ずつ自動的にハンドリングしてピンセ
ットによって外観を損うことなく良品を整列し、不良品
を廃棄することが可能となり、処理能力と歩留を向上せ
しめる効果を有する。さらにモニタテレビ上に映像を映
し出せることによって、複数の作業者が同時に状態を把
握することが可能となり、作業者間のが間検査基準のば
らつきをなくすることができる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例の斜視図。
【図２】第２の実施例の斜視図。
【図３】従来のＰ面，Ｎ面を検査する方法を示す斜視
図。
【図４】反対面を検査するときのトレイの載置方法を示
す断面図。
【図５】従来の両発光端面を検査する方法を示す斜視
図。
【図６】第１の実施例のハンドラー制御部の動作を示す
図。
【図７】第２の実施例のハンドラー制御部の動作を示す
図。
【符号の説明】
１ レーザーダイオード素子 ３ カメラ ４ カメラ保持具 ５ 映像切換え制御部 ６ モニタテレビ ７ ハンドラー制御部 ８ 不良廃棄トレイ ９ 良品整列トレイ １０ ハンドリングアーム １１ 顕微鏡 １２ 載置台 １３ 透明トレイ １４ 傾斜載置台

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 レーザーダイオード素子のＰ面，Ｎ面及
    び両発光端面を映像にするカメラ及びモニタテレビと、
    レーザーダイオード素子を１個ずつハンドリングして供
    給及び収納，外観不良素子の廃棄を行なうハンドリング
    アームと、ハンドリングアームを制御する制御部と、検
    査面の映像を順次切換える映像切換え制御部分と、良品
    整列トレイと、不良廃棄トレイとを少くとも備えたこと
    を特徴とするレーザーダイオード素子外観検査装置。
JP5197170A 1993-08-09 1993-08-09 レーザーダイオード素子外観検査装置 Expired - Fee Related JP2972495B2 (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100371314B1 (ko) * 2000-01-20 2003-02-07 엘지전자 주식회사 레이저 다이오드의 검사 장치 및 방법
KR100547656B1 (ko) * 2003-05-27 2006-01-31 (주) 핸들러월드 마이크로 모듈 검사용 핸들러 장치
JP2007019237A (ja) * 2005-07-07 2007-01-25 Tokyo Seimitsu Co Ltd 両面発光素子用プロービング装置
KR20110024963A (ko) * 2009-09-03 2011-03-09 (주)제이티 소자검사장치 및 검사방법
WO2016153916A1 (en) * 2015-03-20 2016-09-29 Applied Materials, Inc. Failure detection of laser diodes

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