JPH07501500A - ２つのｕ字型チャンネル駆動装置を持つ高密度インクジェットプリンタヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ２つのＵ字型チャンネル駆動装置を持つ高密度インクジェットプリンタヘッド 本発明は高密度インクジェットプリンタヘッドに関し、特にプリンタヘッドを軸 方向に貫くインク搬送チャンネルを作動させるため２つのＵ字型チャンネル駆動 装置を持つ高密度インクジェットプリンタヘッドに関する。

プリンタは、永久的な記録を人が読み得る形で生み出す手段を備えている。そし てプリント技術は典型的には、インパクトプリンティングとノンインパクトプリ ンティングに類別することができる。

このうちインパクトプリンティングでは、用紙の表面近くに置かれたインキリボ ンを叩くことによって像は形成される。インパクトプリンティング技術はさらに 、フォームドキャラクタプリンティングとドツトプリンティングとに類別するこ とができる。このうちフォームドキャラクタプリンティングでは、上記像を生み 出すためにリボンを叩く部材が所望の文字を持つ浮き出たミラーイメージから成 る。またドツトプリンティングでは、準備されたワイヤまたは複数のワイヤをリ ボンに打ちつけることによって文字は生じる。複数の文字は、上記゛準備された ワイヤまたは複数のワイヤをリボンに打ちつけることによって発生する、互いに 極めて接近したｌ連のドツトで形成される。上記準備されたワイヤをリボンに選 択的に打ちつけることにより、如何なる文字もドツトの行列で表わすことができ る。

次にノンインパクトプリンティングは、プリンティンググラフィクスやハーフト ーン像層に、より高い適応性がある点のほか、より早いプリンティング速度が得 やすいという点から、インパクトプリンティングよりも好まれることが多い。ノ ンインパクトプリンティング技術にはマトリックス型、静電型および電子写真型 プリンティング技術がある。このうちマトリックス型プリンティングでは、ワイ ヤは電気パルスで選択的に加熱され、これにより生じた熱が、マークを用紙、通 常は特別に処理された用紙に発生させる。次に静電型プリンティングでは、プリ ンティング素子と導電用紙との間の電弧が用紙上の不透明な被覆を取り除いて、 対照的な色彩を持つ下層を露出させる。最後に電子写真型プリンティングでは、 光伝導材料が例えばレーザのような光源を使用して選択的に荷電される。次に粉 末のトーナーが荷電領域にひきつけられ、このトーナーが用紙と接触すると、こ の用紙の表面に移転する。なお上記トーナーは、そのあと用紙に溶着させるため に加熱される。

ノンインパクトプリンティングのその他の型は、は）゛インクジェットプリンテ ィングとして類別される。このインクジェットプリンティングのシステムは、非 常に小さいインク滴を像を生み出すために排出させる手段をとる。装置は、高度 に再生産可能でかつ制御可能に小滴を発生し、ディジタルに貯蔵された像のデー タに従って、これらの小滴を特定の位置にプリントする。市場にある大半のイン クジェットプリンティングシステムは、「連続噴射」型インクジエンドブリンテ ィングシステムと、「要求時噴滴」型インクジェットプリンティングシステムと にはマ類別することができる。そして上記「連続噴射ｊ型のものでは、プリンタ ヘッドから小滴が連続的に排出され、生み出されるべき所望の像に従って用紙に 向けられるか、あるいはこの用紙から外れる方向に向けられる。また「要求時噴 滴」型のものでは、小滴は生み出されるべき像についての特別の指令に応えてプ リンタヘッドから排出される。

連続噴射型インクジェットプリンティングシステムは、オリフィスから出る液流 から、均一な小滴が出来る現象に基礎を置いている。

約５０〜８０μｍ径のオリフィスから加圧排出される液体は、均一な小満に分か れる傾向にあることが既に観察されていた。この現象は、例えば液体を貫き圧力 振動を伝播させる機械電気式装置により、噴流に誘起される毛管力波が増幅され ることに原因がある。

例えば連続噴射型インクジェットプリンタｌＯを図１に示すが、この図でポンプ １２は、インク供給源１４からノズルアセンブリ１６にインクを供給する。また このノズルアセンブリ１６は、駆動装置２０によって供給される電圧で、連続的 に駆動されるピエゾクリスタル１８を有する。上記ポンプ１２は、ノズルアセン ブリ１６に供給されたインクを、ノズル２２から連続な流れとして排出させるよ うに働く。また連続的に駆動するピエゾクリタル１８は、インクに圧力の乱れを 発生させて、インクの連続流を均一な小滴に分断すると共に、荷電装置２５によ って電極２４間に発生する静電場（これはしばしば荷電基と言われる）により正 電気が付与されるように働く。静電荷を持った小滴のうち、選択されないものは 高電圧のそらせ板２６によって用紙２８からそらされ、再使用のために貯蔵槽３ ０に送られる。小滴の寸法が小さく、しかも精密な弾道制御が行われるために、 連続噴射型インクジェットプリンティングシステムの性能は、フォームドキャラ クタインパクトプリンティングシステムのそれに近付けることができるが、この 連続噴射型インクジェットプリンティングシステムの欠点の１つは、はとんどま たは全くプリンティングが行われないときでさえ、インクを噴出していなければ ならないということにある。これはインクを減少させると共にブリンティングシ ステムの信頼性を低下させる。

かくして機械電気的に誘起される圧力波により小滴を生産する手段への関心が、 上述の欠点に起因して漸増して来ている。この型のシステムでは、インクに直接 または間接的に結び付けられた圧電材料に電圧パルスが適用されることによって 、上記インク内に容量変化が誘発される。この容量変化は圧力／速度遷移をイン ク内に起こさせ、その結果これらは、上記オリフィスから出る小滴を生産するよ うに方向付けられる。電圧は、小滴が望まれるときにだけ与えられるから、この 型のインクジェットプリンティングシステムは「要求時噴滴Ｊ型システムとして 注目される。この要求時噴滴型インクジェットプリンタ３２は、例えば図２にそ の概略が示される。ノズルアセンブリ３４はインクを貯蔵槽（図示省略）から汲 み出す。駆動装置３６は文字についてのデータを受け取り、これに応えて圧電材 料３８を作動させる。若し所望の文字を形成するために、上記受は取られた文字 データが上記ノズルアセンブリ３４からインク小滴を排出するように要求するな ら、上記駆動装置３６は上記圧電材料３８に電圧を掛けるだろう。またこれによ ってこの電圧は、上記圧電材料３Ｂを変換器として作動させるだろう。すなわち 圧電材料３８は、オリフィス４０からインク小滴を排出するために、上記ノズル アセンブリ３４を変形させるだろう。かくして排出されるインク小滴は、用紙４ ２を打つことになる。

インクジェットプリンタに圧電材料を使用することは公知である。

そしてその殆んどのばあいに、圧電材料は圧電変換器の形で使用されている。ま たこの場合に電気エネルギは、圧電材料と交差する電場を与えられることにより 機械的エネルギに変換される。

即ち上記電場の作用で上記圧電材料に変形を起させる。圧電材料を歪ませるこの 能力は、インクジェットプリンタヘッドのインク搬送チャンネルからインクを排 出させるためにしばしば利用されて来た。インクを排出させるために圧電材料の 歪を利用するインクジェットプリンタヘッドのこのような１例では、インク搬送 チャンネルを囲む円筒状の圧電変換器が使用されている。この変換器に電圧パル スが印加されてチャンネルが励起されると、上記インク搬送チャンネルは圧縮さ れ、インク小滴がこのチャンネルから排出される。

例えば円筒状変換器を使用するインクジェットプリンタヘッドは、ゾルタン（Ｚ ｏｌｔａｎ）の米国特許第３，８５７，０４５号が参考になるだろう。しかしな がら圧電変換器と、これに関連するインク搬送チャンネルとの比較的複雑な配列 は、装置の生産に比較的多くの時間と費用とを必要とすることになる。

インクジェットプリンタヘッド、特に圧電型の駆動装置を持つ上述のインクジェ ットプリンタヘッドで、インク搬送チャンネル（または「ジェット」）毎の生産 価格を低減するために、チャンネル間の間隔が比較的小になるように各チャンネ ルを配置したチャンネル配列を持つインクジェットプリンタヘッドの出現が長い 間望まれてきた。例えば相隣のチャンネルが約４〜８ミルの間隔を持つチャンネ ル配列を備えたインクジェットプリンタヘッドを提供することが極めて強く望ま れているだろう。このようなインクジェットプリンタヘッドはそれ故に、「高密 度インクジェットプリンタヘッド」と定義される。インク搬送チャンネル毎の生 産価格の低減という利益に加えて今１つの利益、すなわち高いチャンネル密度を 持つインクジェットプリンタヘッドが生産されるということから生じるであろう もう１つの利益は、プリンタ速度の向上ということにあるだろう。しかしながら 提案された高密度インクジェットプリンタヘッドにおける非常に接近したチャン ネル間隔は、長い間、このようなプリンタヘッドの生産に関して解決されるべき 主要な課題であった。

最近、剪断方式を採用したインクジェットプリンタヘッド装置用圧電変換器が、 些々一般的となって来ている。例えばフィシュベック等（Ｆｉｓｃｈｂｅｃｋ　 ｅｔ　ａｌ、）の米国特許第４，５８４．５９０号および第４，８２５．２２． ７号は、平行なチャンネル配列を持つインクジェットプリンタヘッド用の圧電変 換器を開示している。上記フィシュベック等による２つの特許では、端が開きか つ平行なｌ連のインク圧力チャンバが、その頂部に沿う圧電材料薄板によって被 われている。電極は、その正極が圧力室を隔てる垂直壁の上方に、また負極が上 記圧力室それ自体の直上に位置決めされるように、上記圧電材料薄板の対向辺上 に用意されている。若し電場が上記電極と交差して用意されるなら、この電場に 直角に配された圧電材料は剪断で歪み、インク圧力室を圧縮する。しかしながら これらの場合に圧電材料の多くは不活性のままであり、しかもこの圧電材料の変 形は小範囲に留まる。

平行なチャンネル配列を有し、然もインク搬送チャンネルの側壁に圧電材料を用 いたインクジェットプリンタヘッドはエルシン（Ｎｉ１ｓｓｏｎ）の米国特許第 ４．５３６．０９７号に開示されている。このエルシンの場合のインクジェット チャンネルの行列は、間隔を置いて平行な関係に置かれると共に、対向辺が第１ 、第２の板で被われたｌ連の圧電材料で形成される。そして上記板の一方は導電 材料からなりかつすべての上記圧電材料片のために共用の電極となる。上記圧電 材料片の他方の片では、電気接触子がこれらの圧電材料片の対を形成する電気接 触チャンネルとして使用される。上記チャンネルで形成された２個の圧電材料片 に電圧が印加されると、これらの辺の幅が狭くなり、背は高くなるから、上記囲 われたチャンネルの断面積は拡大し、その結果、インクがチャンネル内に引き込 まれる。そして電圧が除去されると、上記圧電材斜辺は旧の形に復し、チャンネ ル容積は減り、インクがチャンネルから排出される。

平行なインク搬送チャンネルを備え、チャンネルの垂直壁を作動させる剪断方式 の駆動装置を形成するために圧電材料を利用したインクジェットプリンタヘッド は、他にも開示例がある。例えばバートキイ等（Ｂａｒｔｋｙ　ｅｔ　ａｌ、） の米国特許第４．８７９゜５６８号およびミバエリス等（Ｍｉｃｈａｅｌｉｓ　 ｅｔ　ａｌ、）の米国特許第４，８８７，１００号は、インクジェットプリンタ ヘッド用のチャンネル配列を開示しているが、このチャンネル配列の各チャンネ ルでは、その垂直壁の全長に亘って圧電材料を使用している。これらの例におい ては、上記垂直壁は互いに隣り合いかつ対向して配された２枚の圧電材料片から 成り、これらはインクチャンネルを形成するために上下の壁の間に挟まれている 。そしてこのインクチャンネルが形成されると、上記チャンネルの垂直壁の全高 に沿い、電極が設けられる。上記圧電材料片の極を示す方向に直角な電場を電極 間に発生させると、上記チャンネルの垂直壁は歪み、剪断変形によってインクジ ェットチャンネルは圧縮される。

本発明の１実施例では、インクジェットプリンタヘッドは下本体部分と上本体部 分とを有し、これらは圧電材料から作られる。上記下本体部分は基体部と、この 基体部に沿って縦方向に延びかっこの基体部から上方に延びると共に、互いには マ平行で、相互に間隔を置いた複数の突起とを有する。またこれと同様に上記上 本体部分も上体部と、この上体部に沿って縦方向に延びかつこの上体部から下方 に延びると共に、互いには一′平行で、相互に間隔をおいた複数の突起とををす る。なお上本体部分のこれらの突起は、上記下本体部分の突起と対応する。上記 下本体部分の突起の頂面は、上記上本体部分の突起の底面に導通の有る状態で装 着され、は＼゛平行かつ軸方向に延びる複数のインク搬送チャンネルを形成する 。上記実施例の１態様では、上記下本体部分は平行な複数のチャンネルの軸方向 の延びには＼゛直交る第１の方向に分極される。またこの実施例の他の態様では 、上記上本体部分も上記第１の方向に分極される。さらに上記実施例の他の態様 では、導電接着剤層から成る断片状部分が上記上下の突起の装着に使用され、こ れらの断片状部分にはコントローラが電気的に接続される。そして正、零、負の 電圧が、導電接着剤層から成るこれらの断片状部分にそれぞれ印加される。

本発明の第２の実施例では、インクジェットプリンタヘッドはは＼゛Ｕ０字形た 第１のアクチュエータと、は＼゛Ｕ０字形た第２のアクチュエータとから成る。

そして上記第１のアクチュエータは第１、第２の頂面を有し、また上記第２のア クチュエータは上記第１のアクチュエータの第１、第２の頂面に、導通のある状 態で装着される第１、第２の底面を有する。なおインクを閉じ込める細長い断面 のチャンネルは上記第１、第２のアクチュエータの間に形成される。この実施例 の１態様では、上記細長いチャンネルに第１の圧力パルスを掛けるために、上記 第１１第２のＵ字形アクチュエータを電気的に接続するための手段が用意される 。この実施例の他の態様では、上記インクジェットプリンタヘッドはさらに、上 記第１のＵ字形アクチュエータの第１の頂面および上記第２のＵ字形アクチュエ ータの第１の底面を導通のある状態で互いに装着するための第１の導電接着剤片 と、上記第１のＵ字形アクチュエータの第２の頂面および、上記第２のＵ字形ア クチュエータの第２の底面を導通のある状態で互いに装着するための第２の導電 接着剤片とを有する。この実施例のさらに他の態様では、上記第１の導電接着剤 片に、正電圧を選択的に印加するための手段と、上記第２の導電接着剤片に、負 電圧を選択的に印加するための手段とがさらに設けられている。

上記実施例のさらに他の態様では、上記第１のＵ字形アクチュエータは、上記細 長いチャンネルの方向には＼′直交する第１の方向に分極される圧電材料を使用 して形成されてよい。まて上記第２のＵ字形アクチュエータは、同様に上記第１ の方向に分極される圧電材料で形成されてよい。上記第１の導電接着剤に正電圧 を、また上記第２の導電接着剤に負電圧をかけることによって、第１、第２、第 ３および第４の電場が発生し、これらの電場は、インクを閉じ込めた上記チャン ネルの第１の側壁を、チャンネルが拡がる第１の方向に変形させ、また上記チャ ンネルの第２の側壁を、チャンネルが拡がる第２の方向に同様に変形させる。

添付図面を参照することによって本発明はさらに良く理解され、またこの発明の 種々の目的、特徴および利益は、当業者に明らかとなるであろう。なお図面で図 １は、連続噴射型インクジェットプリンタヘッドの概略図であり、 図２は、要求時噴滴型インクジェットプリンタヘッドの概略図であり、 図３は、本発明の実施例を示すインクジェットプリンタヘッドの概略的斜視図で あり、 図４は、図３のインクジェットプリンタヘッドの概略的側面図であり、 図５ａは、インクジェットプリンタヘッドの平行なチャンネル配列が非作動時で ある場合の図３における部分的かつ拡大された５ａ−５ａ線断面図であり、 図５ｂは、第１モード操作で作動された図５ａのチャンネル配列の部分的かつ拡 大された断面図であり、図５０は、第２モード操作で作動された図５ａのチャン ネル配列の部分的かつ拡大された断面図であり、図６ａは、図５ｂに示す作動さ れたチャンネル配列の一部についての電圧分布図であり、 図６ｂは、図５ｂに示す作動されたチャンネル配列の一部についての電場の変位 図であり、 図６０は、図５ｂに示す作動されたチャンネル配列の一部についての圧力分布図 である。

厚さやその他の寸法が、説明のために必要と考えられて種々の図面で誇張され、 またいくつかの図面では、同一あるいは類似した要素に同一の符号を付するよう にした図面を参照すると、本発明の実施例であるインクシェツトプリンタヘッド ５０は先つ図３で理解される。このインクジェットプリンタヘッド５０は類似し た寸法の上下の本体部分５４．５２を備え、これらの部分のそれぞれは頂面５４ ａ、５４ｂおよび底面５２ａ、５２ｂを有する。そして上記面のうち５２ａおよ び５４ｂの上には、さらに以下に詳述する金属被覆導電面８２．８４が形成され 、それぞれ底部および頂部となる上記本体部分５４および５２は、整列されかつ 合わされて、導電接着剤の層５７により結合される。かくして金属被覆導電面８ ２．８４は互いに接着される。

所定の幅および深さを持ちかつ横方向に延びる複数の溝が、上記下本体部分５２ および上本体部分５４を貫いてそれぞれ設けられ、その結果、これらの本体部分 が相互に結合されると、（図３では省略した）複数の圧力チャンバまたはインク 搬送チャネルが形成される。そしてこれによって、インクジェットプリンタヘッ ド５０用のチャンネル配列が形成される。また多岐管が上記上本体部分５４を貫 き、上記チャンネルには＼゛直交て設けられるのが好ましい。さらに以下に述べ るように、この多岐管は外部インク導管５６と連通し、この導管５６に接続され たインク槽５８から上記チャンネルにインクを供給する手段を用意する。

図３に示す上記インクジェットプリンタヘッドを形成するために、は＼゛矩形状 の第１１第２のブロックが圧電材料から作られるが、これらのブロックは、は＼ ′同様な寸法を有することが必要である。またこのようなブロックを形成するた め粉末化された圧電材料が、は＼゛矩形所望形状になるように加圧される。

そして所望形状に加圧したこの圧電材料は焼かれ、その後公知の研削手段によっ てその表面が仕上げられることにより、圧電材料から成るはゾ所望形状の矩形ブ ロックとなる。この圧電材料として、チタン酸ジルコニウム鉛（またはｒＰＺＴ Ｊ　）を上記ブロックの材料に使用するのが好ましいが、これに匹敵するその他 の圧電材料を、こ＼に開示されたインクジェットプリンタヘッドの生産に、本発 明の範囲から逸脱することなく使用することは可能である。

上記圧電材料から成る矩形ブロックは、そのあと選択された方向に分極される。

この分極のために対向する表面は、例えば蒸着処理で導電金属材料層を各面上に 作ることにより、先づ金属被覆される。

次に所定値の高電圧が、上記矩形ブロックを分極するために上記金属層間に印加 される。なお生み出される分極の方向は、上記金属層間の電圧降下方向と対応す る。そしてこの分極が終ると、上記金属層は公知の手段を使って除去される。上 記下本体部分５２についてはその側面５２ｃ、５２ｄが金属被覆され、側面５２ ｃに正の電圧が印加される。これによって上記下本体部分５２は、式１方向（図 ５ａ）に分極される。逆に、上記上本体部分５４については側面５４ｃ、５４ｄ が金属被覆され、側面５４ｃに正電圧が印加されるべきである。またこれによっ て、上記上本体部分５４は式２方向（図５ａ）に分極される。

上記分極処理が終わると、上記下本体部分５２の上面５２ａと、上記上本体部分 ５４の下面５４ｂとが金属被覆され、それぞれに金属導電面８２．８４が形成さ れる。なおこの金属被覆処理は、ニクロム−金合金の層を上記頂面５２ａ、５２ ｂのそれぞれに設けることで行うのが好ましいが、上記蒸着処理が上記頂面５２ ａ、５２ｂに導電材料から成る層を設ける単に１つの方法であるにすぎないこと 、そして他の種々な導電材料および／または処理が、これに適用が可能であるこ とが留意されるべきである。

次に前記１連の溝が上記上下の本体部分５４．５２のそれぞれに機械加工で形成 される。上記下本体部分５２の頂面５２ａ上に設けられた金属被覆導電面８２お よび、上記上本体部分５４の底面５４ｂに設けられた金属被覆導電面８４からそ れぞれ発し、これらの上下本体部分５４．５２の全長に亘って本体部分５４．５ ２の各分極方向５ｘ、５２とは＼゛直交、しかも軸方向に延設されかつ互いには 一゛平行な１連の溝が、上下の本体部分５４．５２にそれぞれ形成される。これ らの溝は上記金属被覆導電面８２．８４をそれぞれ下方に貫きかつ上記上下の本 体部分５４．５２内に所定の深さで設けられ、しかもこれら上下の本体部分５４ ．５２の上記溝が合わせられるとき一直線になり得るように形成されるだろう。

そして若し望まれるのなら、これら上下本体部分の溝は同時に形成されてよい。

つぎにエポキシまたは適当なその他の導電接着剤のような導電接着剤から成る層 が上記下本体部分５２に設けられ、この下本体部分５２の金属被覆導電面８２の 残余の部分が、上記上本体部分５４の金属被覆導電面８４の残余の部分に、導通 のある状態で装着される。

上記導電接着剤層５７は、典型的には非常に薄く、通常は、厚さが１ミルの約１ ０分の２から半分のオーダであり、しかもそれは、金属被覆導電面８２の残余の 部分に設けられるだけであろう。そしてこれによって、導電接着剤から成るｌ連 の断面状部分が形成される。

その後上記上下本体部分５４．５２内に形成された溝は、誘電材料から成る薄層 ６３にて被覆されてよい。そのあと合わされて、例えばリサーチデバイシズ（Ｒ ｅｓｅａｒｃｈ　Ｄｅｖｉｃｅｓ）の製造する。フリップチップボンディング装 置を使用する事により結合される。なお上記下本体部分５２の金属被覆導電面８ ２の残余の部分と、上記上本体部分５４の金属被覆導電面８４との間の結合は、 これら金属被覆導電面８２．８４を交互的に互いに半田付けすることにより、導 電接着剤を使用しないようにしてもよい。

上記上本体部分５４の底面５４ｂと、上記下本体部分５２の頂面５２ａとが導通 のある状態で合わされ、電圧が上記面間に存在する導電接着剤に容易に印加でき さえすれば、前記高密度インクジェットプリンタヘッド５０の満足な作用の維持 される限り、この発明の１実施例では上記金属被覆導電面８２．８４を完全に除 いてもよいことが考えられる。かくしてこの発明の１実施例では、面５２ａ、５ ２ｂを導通のある状態に互いに結合するために、導電接着剤から成る１つの層５ ７の利用が期待される。しかしながら上記金属被覆導電面８２．８４を除くとき は、半田の使用は不可能であることに留意すべきである。

上述の方法により本発明のインクジェットプリンタヘッド５０は互いに平行な複 数のチャンネル７０から成るチャンネル配列を有し、また各チャンネルは、軸方 向に延びるこのチャンネルの壁を２つながらに形成し、またその内部にインク排 出圧パルスを発生させるは＼゛ＵＵ字型１第２のアクチュエータを、各チャンネ ルに組合わされた形で備えることになる。

さらに図３によると、上記インクジェットプリンタヘッド５０は前壁６０を有し 、この前壁は前側面６２、背面６４および貫通する複数のテーパ付きオリフィス ６６を有する。なお上記前壁６０の背面６４は、前記上下本体部分５２．５４に 合わされて結合されるため、各オリフィス６６は、上記上下本体部分５２．５４ の結合により形成された前記複数のチャンネルと１対ｌの対応で連通される。

なお各オリフィス６６は対応するチャンネルの端の中心に位置決めされるように 構成するのが好ましい。しかしながら各チャンネルの端は、上記前壁６０および オリフィス６６の用意がなくても、インク滴排出用のオリフィスとしてプリンテ ィング工程で機能し得るであろうことは、良く理解されるべきである。また上記 オリフィス６６から成るオリフィス配列６８の寸法は、特に想定されたインクジ ェットプリンタヘッド５０のチャンネルについての要望次第で、上記前壁６０に 沿う選択された種々の長さに亘って変更され得るであろうことが考えられる。例 えばある構成では、上記オリフィス配列６８の高さは約０．０６４インチ、長さ は約０．１９３インチ、またオリフィス６６の数は約２８個であるだろうことが 考えられる。

なおこの場合にオリフィス６６は、相互の間隔が約０．００６８インチの千鳥状 に配される。

上記チャンネルは、上記導電性接着剤層５７から成る断片状部分に電圧信号を送 るためのコントローラ８０、例えばマイクロプロセッサやその他の集積回路によ って作動される。なお上記コントローラ８０は、チャンネル数に見合った数の配 線を使用して接続されるが、図３にはそのうちの４本が、説明のために示されて いる。上記インクジェットプリンタヘッド５０の各チャンネル用に用意された第 １、第２のＵ字型アクチュエータに、さらに後で詳述される筈の所望の電圧パタ ーンを伝え得るように、各配線８６は導電接着剤層５７から成る断片状部分の１ つに接続される。上記コントローラ８０は、導電接着剤層５７から成る上記断片 状部分の選択された１つに１連の正または負の電圧を送ることによって上記イン クジェットプリンタヘッド５０を作動させる。この供給電圧は、軸方向に延びる チャンネル７０の壁を形成する上記第１、第２のＵ字型アクチュエータに、一定 方向の変形をひき起こさせる。

かくして上記第１、第２のＵ字型アクチュエータを分離する上記断片状部分に対 し選択された電圧を選択的に与えることによって、上記チャンネルを選択的に「 作動」させることができる。すなわちインクを所与のパターンで排出することに より所望の像を生み出すことができる。上記チャンネルを選択的に作動させるた めのパルス列の正確な形は、この発明の教えるところから離れることなく変更が 可能である。例えば適当なパルス列は、“Ａ　Ｍｅｔｈｏｄ　。

ｆ　Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃ　Ｍｏｄｅｌ　ｏｆ　ａ　Ｄｒｏｐ−ｏｎ− Ｄｅｍａｎｄ　Ｉｎｋ−Ｊｅｔ　Ｄｅｖｉｃｅ　Ｕｓｉｎｇ　ａｎ　Ｉｎｔｅｇ ｒａｌ　Ｍｅｔｈｏｄ　Ｄｒｏｐ　Ｆ。

ｒｍａｔｉｏｎ　Ｍｏｄｅｌ”という題のワレス、デービット　ビイ（Ｗａｌｌ ａｃｅ、Ｄａｖｉｄ　Ｂ）による論文（８９−ＷＡ／ＦＥ−４（１９８９）　） に見られる。そのもっとも一般的な意味で上記駆動装置用のパルス列は、正に働 らく（又は「＋」）部分と負に働らく　（又は「−」）と部分から成る。このう ち正に働らく部分は、上記駆動装置をして膨張圧パルスを上記チャンネルに与え る。

またその結果、上記チャンネルが作動する。また負に働らく部分は、上記アクチ ュエータをして圧縮圧パルスを上記チャンネルに与えさせる。なおこの圧縮圧パ ルスは、境界、たとえば複合材料から成る第１．第２のブロック７６．７８で形 成された境界により反射されかつ逆にされた上記膨張圧パルスを強めるように時 間を合わせられる。最後に、ここに開示したこの発明の実施例では、上記コント ローラ８０はプリンタヘッドから離れた位置に置かれているが、その他の実施例 の場合、このコントローラ８０は上記下本体部分５２の後部あるいは、上記組立 てられたインクジェットプリンタヘッド５０の頂部または側部に取付けられてよ いことは留意されるべきである。

次に図４に示す上記高密度インクジェットプリンタヘッド５０の側面図を参照す れば、インク供給源５８からインクをチャンネル７０に供給する手段がより明瞭 となる。図によるとインク供給源５８に貯蔵されたインクは外部インク導管５６ を経由し、上記上本体部分５４を垂直に貫いた内部インク搬送チャンネル７２に 供給される。

なお上記垂直に延びるインク搬送チャンネル７２は、上記インクジェットプリン タヘッド５０の上本体部分５４内のどこにあってもよいが、本発明の好ましい実 施例では、このチャンネル７２は上記上本体部分５４のは一′中心を貫いている 。次にこのインク搬送チャンネル７２を経て供給されたインクは、上記チャンネ ル７０には＼゛直交て延設されると共に、各チャンネル７０と連通された多岐管 ７４におくられる。この多岐管７４は、上記底面５４ｂに沿って水平に延びるチ ャンネルを形成することによって得られる。なおこの水平に延びるチャンネルは 各チャンネル７０と、垂直に延びるインク搬送チャンネル７２とに連通されてい る。最後に、上記チャンネル７０が形成されるときは、上記インクジェットプリ ンタヘッド５０の全長に亘ってこれらのチャンネル７０が設けられるため、上記 チャンネル７０の上下部分の終端は、複合材料から成る第１ブロツク７６および 第２ブロツク７８によって塞がれる。またその結果、上記チャンネル７０内のイ ンクは、チャンネル７０が作動されると前方に押される。そしてそこでインクは 、テーバ付きオリフィス６６の対応する１つを通って排出される。

次に図５ａには、複数のチャンネル７０−１，７０−２．７〇−３，７０−４， ７０−５，７０−６，７０−７，７０−８，７０−９，７Ｏ−１ｏおよび７０− １１から成るチャンネル配列を示すが、これらのチャンネルのそれぞれは上記イ ンクジェットプリンタヘッド５０を貫いて軸方向に延びかつ第１、第２のＵ字型 アクチュエータにより作動させることができる。なお、図示された互いに平行な チャンネルの数は純粋に例示的なものであって、上記インクジェットプリンタヘ ッド５０には任意のかずのチャンネル７０を設けることができる。また図から明 らかなごとく、上記上下本体部分５４．５２内にそれぞれ設けられた溝は、ｌ連 の下本体部分肉突起５９−Ｌ　５９−２．５９−３．５９−４．５９−５．５９ −６．５９−７．５９−８．５９−９．５９−１０と、ｌ連の上本体部分肉突起 ６１−１．６１−２．６１−３．６１−４．６１−５．６１−６．６１−７．６ １−８．６１−９．６１−１０とによってそれぞれ形成される。そしてこれらの 突起は、導電材料層５７から成る断片状部分５７−１．５７−２．５７−３．５ ７−４．５７−５．５７−６．５７−７．５７−８．５７−９．５７−１０によ ってそれぞれ結合され、上記チャンネル配列を構成する各チャンネルになる。例 えばチャンネル７０−３は、突起５９−２、断片状部分５７−２および突起６１ −２の組合せによって形成される第１の側壁と、上本体部分５４の一部と、突起 ５９−３、断片状部分５７−３および突起６１−３の組合せによって形成される 第２の側壁と、下本体部分５２の一部とによって形成される。なおチャンネル７ ０−１〜７０−１０の各内部は、は＼゛一様な約２〜ｌＯμｍの厚さを持つ誘電 体材料層６３で被覆されるが、この被覆は、上記上下本体部分５４．５２に溝を 設けた後でかつ両者が結合される前に行われるのが好ましい。

平行なチャンネル配列の各チャンネルをこ＼に記載された方法で形成することに より、各チャンネルをは＼゛Ｕ０字形る１対のアクチュエータで作動ができるよ うなインクジェットプリンタヘッドが用意される。なお上記１対のアクチュエー タのうち第１のＵ字型アクチュエータは、上記チャンネルを形成する下本体部分 ５２の一部によって形成され、また第２のＵ字型アクチュエータは、上記チャン ネルを形成する上本体部分５４の一部によって形成される。例えばチャンネル７ ０−３は、は＼゛Ｕ０字形１のアクチュエータ９６と、は１０字形の第２のアク チュエータ９８とによって作動させることができる。

前記断片状部分５７−１〜５７−１０は、正または負の電圧パルスを印加できる ようにコントローラ８０に接続される。チャンネル７０−１〜７０−１０のうち の１つまたはそれ以上を選択的に動かすことによりインクジェットプリンタヘッ ドを作動させるために、コントローラ８０は望まれるプリント像を表わすこの像 についての入力信号に反応し、導電接着剤層５７から成る断片状部分５７−１〜 ５７−１０のうちの所定のものに所定の大きさおよび向きの電圧を印加する。そ してその結果、所望の像を生み出すために作動の必要なチャンネルが、その側壁 に歪を受けるだろう。例えば若し負電圧が断片状部分５７−２に、また正電圧が 断片状部分５７−３にそれぞれ印加されるなら、分極方向ｔ２には＼゛直角電場 ざｌが断片状部分５７−３と上本体部分５４との間に作られ、また分極方向式ｌ には＼゛直角電場ε３が断片状部分５７−３と下本体部分５２との間に作られる ことになる。そして突起５９−３．６１−３は、互いに反対側でかつチャンネル ７０−３にいづれも直角な第１１第２の方向にそれぞれ剪断変形をしようとする だろう。しかしながら突起５９−３．６１−３は一体に形成されているから、そ れぞれが本体部分５２．５４から抑制を受け、上記突起５９−３および６１−３ は極性を表わす場および電場に対して４５°の剪断変形をそれぞれ受けるだろう 。そしてこの変形は、チャンネル７０−３の容積を拡大する。

以上は単一のチャンネルに発生する歪について延べて来たが、以下にインクジェ ットプリンタヘッド５０の作動について述べる。インクジェットプリンタヘッド ５０については、種々のモードでの作動が考えられるが、Ｎ＝４モードとして表 わされるそのうちの１つのモードを図５ｂに示す。Ｎ＝４モードではコントロー ラ８０は次の表１に示すような順次（＋、−１Ｏ１０）電圧を発生する。

表１ ＴＩ　Ｔ２　Ｔ３　Ｔ４ ５７−１　０　０　＋１　−１ ５７−２　−４　０　０’　＋１ ５７−３　＋１　−１　０　０ このモードでは各４番目のチャンネルが、時限Ｔの間、電圧を加えられたあとに 作動するだろう。このようにするためにコントローラ８０は、導電片５７−３お よび５７〜７に＋１の電圧パルスを加え、導電片５７−２．５７−６および５７ −１０に−１の電圧パルスを加えるだろう。またその間、導電片５７−１，５７ −４．５７−５．５７−８および５７−９は非作動状態（０電圧）に保持される 。これは片５７−３および５７−２の間に形成された第１のＵ字形アクチュエー タ９６と交差する＋２Ｖの電圧降下を生み、また片５７−３および５７−２の間 に形成された第２のＵ字形アクチュエータ９８と交差する＋２Ｖの電圧を生む。

そして分極ｐ２の方向に直角な電（または“ｅ”）場ｄ１およびｄ２並びに、分 極ゴ１の方向に直角な電場ざ３およびｔ４が生じるだろう。そしてＵ字形アクチ ュエータ９６−１．９８−１．９６−２および９８−２をそれぞれに形成する突 起５９−２および５９−３並びに６１−２および６１−３．５９−６および５９ −７並びに６１−６および６１−７は、チャンネル７０−３．７０−７にそれぞ れ直角な第１、第２の方向に剪断変形しようとするだろう。再び述べるが、突起 ５９−２．５９−３．６１−２．６１−３と、５９−６．５９−７．６１−６． ６１−７とは一体に形成され、それ故にそれぞれは、上下の本体部分５４．５２ によって抑制を受けるから、突起５９−２．５９−３．６１−２．６１−３と、 ５９−６．５９−７．６１−６．６１−７とは、パルス列が正に働らく部分にあ る間、図５ｂに示す如く極性を表わす場および電場の両者のベクトルに関して４ ５°の剪断変形を受けるだろう。

その結果、第１および第２のＵ字形アクチュエータ９６−１．９８−１および９ ６−２．９８−２によってそれぞれ形成されるチャンネル７０−３および７０− ７は拡大するだろう。またこれによって各チャンネル７０−３．７０−７内の圧 力は低下することになる。

第１、第２のＵ字形アクチュエータ９６−２．９８−２と同様に第１、第２のＵ 字形アクチュエータ９６−１．９８−１は互いに抑制され合っているから、第１ 、第２のＵ字形アクチュエータ９６−２．９８−２の場合同様に、上記第１、第 ２のＵ字形アクチュエータ９Ｂ−１，９８−１のそれぞれのたわみによって生み 出される圧力低下は付加的である。この方法で圧力パルスが生み出され、この圧 力パルスは境界で反射、反転した後、圧縮力パルスで補強されて、インク小滴を チャンネル７０−３．７０−７から排出するのに充分な圧力になる。チャンネル ７０−１．７０−５および７０−９は、この間消極的な状態を保つ。なおチャン ネル７０−２．７０−４．７０−６．７０−８および７０−１０はこれらのチャ ンネルに近いＵ字形アクチュエータから圧縮力パルスを受けるが、これらの圧力 パルスはチャンネルの両壁ではなく片壁にだけ掛るから、この圧力パルスはチャ ンネルを作動させるには不十分である。

上述したモードでは、各４番目のチャンネルだけが同時に作動されるから、チャ ンネル間には非常に低い干渉が生じる。したがってチャンネルを意図することな くＮ＝４モードで作動させることは起こりそうにない。しかしながらＮ＝４モー ドで稼動するインクジェットプリンタヘッドのインク供給速度は、稼動のパラメ ータの影響を受けて望まれる速度よりも低いことが予想される。したがってイン クジェットプリンタヘッドは、より早いインク供給速度と、より高い相互干渉の 両方で象徴される交互モードによって稼動される場合が考えられる。Ｎ＝３モー ドとして表わされるこのようなモードの１例が次表で述べられる。

表２ このモードでコントローラは、各３番目のチャンネルが時限Ｔの間、電圧を加え られた後に作動するような順次（−１士、０）電圧パターンを発生する。インク ジェットプリンタヘッドのこの順序での作動状態は、図５０に示される。同図に よると時限Ｔ１でチャンネル７０−２．７０−５．７０−８および７０−１１が 作動している。

残りのチャンネルの全部（７０−１，７０−３，７０−４，７〇−６，７０−７ ，７０−９および７Ｏ−１０）が圧縮パルスを受けているが、前述のようにこれ らの圧縮パルスは、チャンネルを作動させるのには不充分であろう。既に明らか なごとく、このようにすれば、より多くの非作動チャンネルが圧力パルスを受け 、その結果、チャンネル相互間の干渉レベルは上昇することになるが、インク供 給速度は向上する。

さらにインクジェットプリンタヘッドは、Ｎ＝＝２モードとして表されるもう１ つの交互モードでの稼動が考えられる。ここでは（−１＋）順序が各地のチャン ネルを作動する。このような稼動モードは、ここに述べた３つのモードのうちで 最も早いインク供給速度を提供するが、このＮ＝２モードはさらにより高いレベ ルの相互干渉を生じるから、適用が望まれない場合がある。

各チャンネル用としてＵ字形アクチュエータを持ち、平行に並ぶチャンネル配列 を備えた上記高密度インクジェットプリンタヘッドは、本発明の範囲内でその変 更が容易であるが、実施例では次の寸法で構成されたことが特に言及される。

オリフィス径：　４０μｍ ＰＺＴ長さ：　１５ｍｍ ＰＺＴ高さ＋　１２０μｍ チャンネル高さ：　３５６μｍ チャンネル幅＝　９１μｍ 側壁幅＝　８１μｍ 次に図６ａ〜６ｃには、各チャンネル用に第１、第２のＵ字形アクチュエータを それぞれ備えたインクジェットプリンタヘッド５０の図的な作動解析結果を示す 。なお図６ａ〜６Ｃは、上記インクジェットプリンタヘッド５０を両端または後 端から見た図である。特に図６ａ〜６ｃは、インク搬出チャンネルがこのチャン ネルで形成される第１、第２のＵ字形アクチュエータによって作動されるときに 、このインク搬出チャンネルの挙動を解析したものである。図６ａは、＋１の電 圧が導電性の断片状部分５７−３に、また−１の電圧が導電性の断片状部分５７ −２に掛けられた際における上記インクジェットプリンタヘッド５０の一部につ いての電圧分布を示す。

図によると断片状部分５７−２と上下本体部分５４．５２の突起部分でない部分 との間にはそれぞれ約ｌｖの電圧降下が生じ、また断片状部分５７−２と５７− ３との間には約２Ｖの電圧降下を生じている。なお図６ｂは、図６ａの電圧分布 と対応する電場の分布を示している。

図６０は圧力分布を示す。図から、作動されるチャンネル７〇−３内の膨張圧力 は４０１９〜４３２５Ｐａ／Ｖの範囲にある。また逆に作動しないチャンネル７ ０−２および７０−４内の圧縮圧力は１４８４〜１７８９Ｐａ／Ｖの範囲にある 。このレベルは、前述のごとくチャンネルを作動させるには不充分である。なお 作動しないチャンネル７０−１，７０−５内の圧縮圧力は５６６〜８７２Ｐａ／ Ｖの範囲にあった。かくして歯状体から歯状体への、またチャンネルからチャン ネルへの干渉の比較的に低いレベルは、インク小滴を作動されるチャンネル以外 のチャンネルから不測に排出させる程度の干渉よりも充分に小さい。

インク搬送チャンネルを作動させるために、いわゆる「２倍のＵ字Ｊの形状を持 つ第１、第２のＵ字形アクチュエータを使用するインクジェットプリンタヘッド ５０では、その内部に発生する圧力は、本願出願人が１９９１年８月１６日に出 願した先の出願筒０７／７４６．５２１号に例えば開示された、単一のＵ字形ア クチュエータ（ｒ１倍のＵ字」形状）を持つインクジェットプリンタヘッド内の 作動されるチャンネルの圧力４１００Ｐａ／Ｖと比較されるのが相応しい。その 挙動の類似性は２つの派生する効果の結果である。２倍のＵ字形アクチュエータ における最大の電気変位は、１倍のＵ字形アクチュエータにおける最大の電気変 位よりも小さい。何故なら側壁頂部の接地面が除去されているからである。また 図６ａから明らかなように、プリンタヘッドの本体部分の電圧は０．０−＋／− ｏ、ｉｖの範囲にある。対照的に、ＰＺＴから成る活性薄片を側壁の中間部分と して使用することは、側壁の端で接地される接続部分を備えた１倍のＵ字形アク チュエータに帰着した。結果として、側壁の中心と端との間における電圧降下は 、２倍のＵ字形アクチュエータに較べると、この１倍のＵ字形アクチュエータの 方が大きかった。これは、側壁のより強力な歪に役立つであろう。またその結果 、チャンネル内にはより大きな圧縮力が発生する。他方、２倍のＵ字形アクチュ エータでは、側壁の上部は上本体部分と一体に形成されている。対照的に、１倍 のＵ字形アクチュエータは、側壁の中間部分としてＰＺＴの薄片の使用を必要と した。ところで上記ＰＺＴの薄片は、この薄片をプリンタヘッドの本体に装着す るために接着剤片の使用を必要とした。結果として、２倍のＵ字形アクチュエー タの側壁上部の歪は、１倍のＵ字形アクチュエータの類似した歪と比較すると、 より大きな機械的変位に変えられる。なお上記１倍のＵ字形アクチュエータの場 合は、上記中間部分が、接着剤片上で「浮き上がる」かまたは滑る傾向にあった 。１倍のＵ字形アクチュエータはこのような理由のために、より少ない機械的変 位を生む傾向がある。

しかしながらこれらの派生する効果は、上記１倍のＵ字形アチュ二一夕と、２倍 のＵ字形アクチュエータとに似たような挙動を起こさせるが、確かな外因的要件 は、２倍のＵ字形アクチュエータの使用が望ましいとする。特にインクジェット プリンタヘッド用のアクチュエータを２倍のＵ字形状にすることによって、ＰＺ Ｔ薄片の使用を回避することができる。なおこの薄片は、通常、厚さが１００〜 ２００μｍの範囲にあり、また４〜８ミルの範囲の寸法を有する。

したがってこの薄片の生産は困難であり、しかも費用がかがることが証明されて いる。

上述の詳細な説明は、図面および実施例のためにのみ与えられたものであること を明確に理解すべきである。この発明の思想および範囲は、添付した請求の範囲 のみによって限定される。

特表千７−５０１５００　（１０） Ｆｌに、６ａ 補正書の写しく翻訳文）提出書（特許法第１８４条の８）ｉ平成　６年　９月３ ０日

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. １．基体部および、互いに間隔を置いてこの基体部の縦方向に沿いかっこの基体 部から上方にほゞ平行して延び、そのそれぞれが頂面を有する複数の突起を具備 すると共に、圧電材料から成る下本体部分と、 頂部および、互いに間隔を置いてこの頂部の縦方向に沿いかっこの頂部から下方 にほゞ平行して延び、そのそれぞれが底面を有する複数の対応する突起を具備す ると共に、圧電材料から成る上本体部分とを有し、 上記下本体部分の突起の頂面と、上記上本体部分の対応する突起の底面とが導通 のある状態でそれぞれ結合され、軸方向にほゞ平行に延びると共にインク限排出 できるインク搬送チャンネルを形成するインクジェットプリンタヘッド。
2. ２．上記下本体部分は上記複数の平行なチャンネルの軸方向にほゞ直交する第１ の方向に分極される請求項１記載のインクジェットプリンタヘッド。
3. ３．上記上本体部分も上記第１の方向に分極される請求項２記載のインクジェッ トプリンタヘッド。
4. ４．導電接着剤層から成る複数の対応する断片状部分が、上記下本体部分の各突 起と上記上本体部分の対応する各突起との間にそれぞれ設けられる請求項３記載 のインクジェットプリンタヘッド。
5. ５．上記導電接着剤層から成る各断片状部分と電気的にそれぞれ接続されたコン トローラは、上記断片状部分のそれぞれに正、零、負の電圧の何れかを同時に与 え得るように形成された請求項４記載のインクジェツタプリンタヘッド。
6. ６．上記コントローラは上記正、零および負の電圧を各３番日毎のチャンネルに 与えて、同時に作動させる請求項５記載のインクジェットプリンタヘッド。
7. ７．上記インク搬送チャンネルのそれぞれは誘電体材料層で被覆される請求項４ 記載のインクジェットプリンタヘッド。
8. ８．上記インク搬送チャンネルは上記下本体部分の１対の相隣る突起と、この１ 対の相隣る突起間の底部の部分と、上記上本体部分の１対の対応する相隣る突起 と、この１対の相隣る突起間の頂部の部分と、上記下本体部分の１対の突起限上 記上本体部分の１対の対応する突起にそれぞれ装着するための第１、第２の導電 接着剤層から成る断片状部分とから形成される請求項１記載のインクジェッタプ リンタヘッド。
9. ９．上記下本体部分は上記複数の平行なチャンネルの軸方向にほゞ直角な第１の 方向に分極されると共に、上記上本体部分も上記第１の方向に分極される請求項 ８記載のインクジェットプリンタヘッド。
10. １０．上記下本体部分の１対の突起と交差する第１、第２の電場をそれぞれ発生 させる手段が設けられ、これら第１、第２の電場は上記下本体部分の分極方向に ほゞ直交すると共に、互いに逆向きの第１、第２の方向にある請求項９記載のイ ンクジェットプリンタヘッド。
11. １１．上記上本体部分の１対の突起と交差する第３、第４の電場をそれぞれ発生 させる手段が設けられ、これら第３、第４の電場は上記上本体部分の分極方向に ほゞ直交すると共に、互いに逆向きの第３、第４の方向にある請求項１０記載の インクジェットプリンタヘッド。
12. １２．第１、第２の頂壁を持ちかっほゞＵ字形の第１のアクチュエータと、 この第１のアクチュエータの上記第１、第２の頂壁に導通のある状態で装着され る第１、第２の底壁を持ちかっほゞＵ字形限した第２のアクチュエータとを具備 し、 液体を閉じ込める細長いチャンネルが上記ほゞＵ字形の第１、第２のアクチュエ ータにより形成されるインクジェットプリンタヘッド。
13. １３．上記第１、第２のＵ字形アクチュエータ限電気的に接続する手段が設けら れ、これによって上記細長いチャンネルに第１の圧力パルスが選択的に与えられ る請求項１２記載のインクジェットプリンタヘッド。
14. １４．上記第１のＵ字形アクチュエータの第１の頂壁を上記第２のＵ字形アクチ ュエータの第１の底壁に導通のある状態で装着するための第１の導電接着剤片と 、 上記第１のＵ字形アクチュエータの第２の頂壁を上記第２のＵ字形アクチュエー タの第２の底壁に導通のある状態で装着するための第２の導電接着剤片とを有す る請求項１２記載のインクジェットプリンタヘッド。
15. １５．上記第１の導電接着剤片に正電圧を選択的に与える手段と、上記第２導電 接着剤片に負電圧を選択的に与える手段とをさらに備えた請求項１４記載のイン クジェットプリンタヘッド。
16. １６．上記第１のＵ字形アクチュエータは圧電材料から成ると共に、上記液を閉 じ込める細長いチャンネルの方向にほゞ直交した第１の方向に分極され、 上記第２のＵ字形アクチュエータも、圧電材料から成ると共に上記第１の方向に 分極される請求項１４記載のインクジェットプリンタヘッド。
17. １７．上記第１のＵ字形アクチュエータは第１の頂面で終る第１の突起部材と、 第２の頂面で終る第２の突起部材とを有し、これらの第１、第２の突起部材は互 いにほゞ平行でありかつ共通の基部部材によって一体に形成され、 上記第一の導電接着剤片に正電圧を選択的に与える手段と、上記第２の導電接着 剤片に負電圧を選択的に与える手段とは上記第１および第２の突起部材内に互い に逆向きに第１および第２の電場をそれぞれ発生させる請求項１６記載のインク ジエットプリンタヘッド。
18. １８．上記第２のＵ字形アクチュエータは第１の底面で終る第１の突起部材と、 第２の底面で終る第２の突起部材とを有し、これらの第１、第２の突起部材は互 いにほゞ平行でありかつ共通の頂部部材によって一体に形成され、 上記第１導電接着剤片に正電圧を選択的に与える手段と、上記第２の導電接着剤 片に負電圧を選択的に与える手段とは上記第１および第２の突起部材内に互いに 逆向きの第３および第４の電場をそれぞれ発生させる請求項１７記載のインクジ ェッタプリンタヘッド。