JPH0745361A - 高周波加熱装置 - Google Patents

高周波加熱装置

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Publication number
JPH0745361A
JPH0745361A JP5186019A JP18601993A JPH0745361A JP H0745361 A JPH0745361 A JP H0745361A JP 5186019 A JP5186019 A JP 5186019A JP 18601993 A JP18601993 A JP 18601993A JP H0745361 A JPH0745361 A JP H0745361A
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JP
Japan
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semiconductor switching
voltage
switching elements
semiconductor switch
parallel
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Application number
JP5186019A
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English (en)
Inventor
Kenji Yasui
健治 安井
Naoyoshi Maehara
直芳 前原
Makoto Mihara
誠 三原
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は高周波加熱装置に関するもので、2
00vの配電系統においても利用可能であるとともにス
イッチ損失およびEMIノイズを低く抑えることのでき
る高周波加熱装置を提供することを目的とする。 【構成】 インバータ回路19を、整流回路20の出力
に並列に接続された第1および第2の共振コンデンサ
5、6の直列接続体と、整流回路20の出力に並列に接
続された第1および第2の半導体スイッチ素子の直列接
続体11、12と、前記半導体スイッチ素子11、12
にそれぞれ並列に接続された第3および第4の共振コン
デンサ7、8と、前記共振コンデンサ5、6の接続点と
前記半導体スイッチ素子11、12の接続点の間に昇圧
トランス13を接続する構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子レンジなどの高周波
加熱装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の高周波加熱装置は、図9のような
構成としたものが平成4年電気学会全国大会講演論文集
[5]508(5−67頁)に発表されている。この高
周波加熱装置は、商用電源1の出力電圧ををダイオード
ブリッジ2で直流に変換し、一対の共振コンデンサ5、
6と昇圧トランス13とからなる共振回路と一対の半導
体スイッチ素子11、12と、これに逆並列に接続され
たダイオード9、10からなるインバータ回路により高
周波高電圧を発生し、インバータ回路の出力を高圧直流
に整流する高圧整流回路14と、高圧整流回路14の出
力によりマグネトロンを駆動する構成としている。この
ような構成でインバータ回路を高周波で動作させること
により、共振コンデンサ5、6や昇圧トランス13を小
型化し、高周波加熱装置を小型かつ軽量にするととも
に、インバータ回路に半導体スイッチ素子を2つ用いる
ブリッジ構成とすることで、200vの配電系統で高周
波加熱装置を使用した場合でも半導体スイッチ素子の責
務を軽減している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の構成では次に挙げるような課題があった。
【0004】従来の構成のにおいてはインバータ回路の
共振周波数frをインバータ回路の動作周波数foより
も大きくとっており、半導体スイッチ素子11、12の
電圧電流波形は図10の様になる。図10より半導体ス
イッチ素子にかかる電圧波形は矩形波状であることがわ
かる。このため半導体スイッチ素子11、12にかかる
電圧VCE1、VCE2のターンオン及びターンオフ時のd
v/dtが大きく、ターンオン/オフによって生じる電
磁波障害雑音(以下EMIノイズと略す)が大きくな
り、このEMIノイズを除去するノイズフィルタが大型
化し高価になる。また、半導体スイッチ素子がターンオ
フする際に生じるスイッチング損失が大きくなり、その
ため大きな放熱フィンが必要になる。
【0005】以上のように、従来の高周波加熱装置にお
いてはインバータ回路のスイッチングによって生じるE
MIノイズが大きくなり、これを除去するノイズフィル
タが高価になってしまうという課題、および、スイッチ
ング損失が大きいため大きな放熱フィンを必要とすると
いう課題があった。
【0006】そこで、本発明はこのような課題を回避す
る高周波加熱装置を提供することを目的とするものであ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の高周波加熱装置を下記の構成とした。
【0008】すなわち、インバータ回路を整流回路の出
力に並列に接続された第1および第2の共振コンデンサ
の直列接続体と、整流回路の出力に並列に接続された第
1および第2の半導体スイッチ素子の直列接続体と、第
1および第2の半導体スイッチ素子にそれぞれ並列に接
続された第3および第4の共振コンデンサと、第1およ
び第2の半導体スイッチ素子にそれぞれ逆並列に接続さ
れた第1および第2のダイオードと、第1および第2の
共振コンデンサの接続点と第1および第2の半導体スイ
ッチ素子の接続点の間に昇圧トランスを接続する構成と
し、昇圧トランスと第1および第2の共振コンデンサに
よって決まる第1の共振周波数をインバータの動作周波
数より低くなるように構成した。
【0009】また、インバータ回路を、整流回路の出力
に並列に接続された第1および第2の共振コンデンサの
直列接続体と、整流回路の出力に並列に接続された第1
および第2の半導体スイッチ素子の直列接続体と、第1
および第2の半導体スイッチ素子にそれぞれ並列に接続
された第3および第4の共振コンデンサと、第1および
第2の半導体スイッチ素子にそれぞれ逆並列に接続され
た第1および第2のダイオードと、第1および第2の共
振コンデンサの接続点と第1および第2の半導体スイッ
チ素子の接続点の間に昇圧トランスを接続し、さらに昇
圧トランスに並列にインダクタを接続する構成とし、昇
圧トランスおよびこれに並列に接続したインダクタと第
1および第2の共振コンデンサによって決まる第1の共
振周波数をインバータの動作周波数よりも低くなるよう
に構成した。
【0010】そしてまた、第1および第2の半導体スイ
ッチ素子を制御する制御部を設け、前記制御部により第
1および第2の半導体スイッチ素子を交互にオン/オフ
するとともに、第1および第2の半導体スイッチ素子に
与えるオン信号の幅を対称に与える構成とした。
【0011】さらにまた、第1および第2の半導体スイ
ッチ素子を制御する制御部を設け、前記制御部により第
1および第2の半導体スイッチ素子を交互にオン/オフ
するとともに、前記第1および第2の半導体スイッチ素
子に与えるオン信号の幅を非対称に与えることによりイ
ンバータの動作周波数一定でPWM制御する構成とし
た。
【0012】
【作用】本発明は上記構成により以下の作用を有する。
【0013】商用電源などの外部電源の電力を整流する
整流回路と、インバータ回路と、高圧整流回路と、前記
高圧整流回路の出力により駆動されるマグネトロンから
なり、前記インバータ回路を、整流回路の出力に並列に
接続された第1および第2の共振コンデンサの直列接続
体と、整流回路の出力に並列に接続された第1および第
2の半導体スイッチ素子の直列接続体と、第1および第
2の半導体スイッチ素子にそれぞれ並列に接続された第
3および第4の共振コンデンサと、第1および第2の共
振コンデンサの接続点と第1および第2の半導体スイッ
チ素子の接続点の間に昇圧トランスを接続する構成とす
ることにより、半導体スイッチ素子のオフ時にその両端
にかかる電圧を整流回路の出力電圧までしか上昇しない
ようにするとともに、半導体スイッチ素子のターンオフ
時に第3及び第4の共振コンデンサと昇圧トランスの共
振により半導体スイッチ素子にかかる電圧波形を台形化
しスイッチ損失およびEMIノイズを低減するという作
用を有する。
【0014】また、商用電源などの外部電源の電力を整
流する整流回路と、インバータ回路と、高圧整流回路
と、前記高圧整流回路の出力により駆動されるマグネト
ロンからなり、前記インバータ回路を、整流回路の出力
に並列に接続された第1および第2の共振コンデンサの
直列接続体と、整流回路の出力に並列に接続された第1
および第2の半導体スイッチ素子の直列接続体と、第1
および第2の半導体スイッチ素子にそれぞれ並列に接続
された第3および第4の共振コンデンサと、第1および
第2の共振コンデンサの接続点と第1および第2の半導
体スイッチ素子の接続点の間に昇圧トランスを接続し、
さらに昇圧トランスに並列にインダクタを接続する構成
とすることにより、半導体スイッチ素子のオフ時にその
両端にかかる電圧を整流回路の出力電圧までしか上昇し
ないようにするとともに、半導体スイッチ素子のターン
オフ時に第3及び第4の共振コンデンサと昇圧トランス
の共振により半導体スイッチ素子にかかる電圧波形を台
形化しスイッチ損失およびEMIノイズを低減するとと
もに、昇圧トランスに並列に接続されたインダクタンス
によりマグネトロンの負荷インピーダンスが変化した場
合においても昇圧トランスとこのインダクタおよび第
3、第4の共振コンデンサによって決まる第2の共振周
波数の変動が少ない。このため半導体スイッチ素子にか
かる電圧波形のdv/dtの変化が少なく安定にゼロ電
圧スイッチング動作を実現できるため常にスイッチング
損失を小さくできるいう作用を有する。
【0015】そしてまた、第1および第2の半導体スイ
ッチ素子を制御する制御部を備え、前記制御部により第
1および第2の半導体スイッチ素子を交互にオン/オフ
するとともに、第1および第2の半導体スイッチ素子に
与えるオン信号の幅を対称に与える構成とすることによ
り、インバータ回路が出力する高周波高圧電力を連続的
に制御すると共に、半導体スイッチ素子のオフ時にその
両端にかかる電圧を整流回路の出力電圧までしか上昇し
ないようにするとともに、半導体スイッチ素子のターン
オフ時に第3及び第4の共振コンデンサと昇圧トランス
の共振により半導体スイッチ素子にかかる電圧波形を台
形化しEMIノイズとスイッチ損失を低減するととも
に、動作周波数をかえることで容易に出力制御が行える
という作用を有する。
【0016】さらにまた、第1および第2の半導体スイ
ッチ素子を制御する制御部を備え、前記制御部により第
1および第2の半導体スイッチ素子を交互にオン/オフ
するとともに、前記第1および第2の半導体スイッチ素
子に与えるオン信号の幅を非対称に与え駆動周波数一定
でパルス幅制御する構成とすることにより、インバータ
回路が出力する高周波高圧電力を連続的に制御すると共
に、半導体スイッチ素子のオフ時にその両端にかかる電
圧を整流回路の出力電圧までしか上昇しないようにする
とともに、半導体スイッチ素子のターンオフ時に第3及
び第4の共振コンデンサと昇圧トランスの共振により半
導体スイッチ素子にかかる電圧波形を台形化しEMIノ
イズとスイッチ損失を低減するとともに、半導体スイッ
チ素子に与えるオン信号の幅の比をかえることにより容
易に出力制御が行えるという作用を有する。
【0017】
【実施例】 (実施例1)以下本発明の一実施例を図面を用いて説明
する。
【0018】図1は高周波加熱装置の回路図であり、図
2は高周波加熱装置の動作波形例を示す図である。
【0019】図1において1は商用電源などの電源であ
り、高周波加熱装置に外部から低い周波数(50/60
Hz)の交流電力を供給する。高周波加熱装置は、この
交流電力を受けて高周波高圧電力に変換する電力変換部
18と、電力変換部18が出力する高周波高電圧を直流
高電圧に整流する高圧整流回路14と、高圧整流回路1
4が出力する直流高電圧により駆動され加熱室(図示せ
ず)にマイクロ波を放射するマグネトロン15と、電力
変換部18が変換する電力を制御する制御部16を有し
ている。また電力変換部18はダイオードブリッジ2、
平滑コンデンサ4と、昇圧トランス13、一対の半導体
スイッチ素子11および12、半導体スイッチ素子にそ
れぞれ逆並列に接続されたダイオード9および10、半
導体スイッチ素子にそれぞれ並列に接続された第三、第
四の共振コンデンサ7および8、第一、第二の共振コン
デンサ対5および6からなるインバータ回路19により
構成される。
【0020】次に図2を用いて本実施例の高周波加熱装
置の動作を説明する。図2において(a)は半導体スイ
ッチ素子11およびダイオード9を流れる電流波形であ
り、(b)は半導体スイッチ素子11の両端にかかる電
圧波形であり、(c)は半導体スイッチ素子12および
ダイオード10を流れる電流波形であり、(d)は半導
体スイッチ素子12の両端にかかる電圧波形であり、
(e)は昇圧トランス13の一次巻線を流れる電流波形
である。(a)において半導体スイッチ素子11がター
ンオンした(イ)から説明をすすめる。(イ)において
半導体スイッチ素子11がターンオンし、ある一定期間
の後ターンオフする(ロ)。この期間中半導体スイッチ
素子11を流れる電流波形は第二の共振コンデンサ対5
および6と昇圧トランス13の一次巻線のインダクタン
スによって決まる共振周波数fr1で定まる傾きを持
つ。半導体スイッチ素子11がターンオフすると第一の
共振コンデンサ対7および8と昇圧トランス13の一次
巻線のインダクタンスにより決まる共振周波数fr2で
定まる傾きを持って半導体スイッチ素子11の両端にか
かる電圧は上昇を始め、一方半導体スイッチ素子12の
両端にかかっていた電圧は電源電圧から同様の傾きで減
少を始める。さらに半導体スイッチ素子11の両端にか
かる電圧が上昇を続け電源電圧に達すると半導体スイッ
チ素子12に逆並列に接続されたダイオード10が導通
し(図2(c))、半導体スイッチ素子11の両端にか
かる電圧は電源電圧でクリップされる。この時半導体ス
イッチ素子12の両端にかかる電圧は図2(d)の様に
ゼロになっている。このダイオード10を流れる電流が
ゼロになると図2(c)に示すように半導体スイッチ素
子12がターンオンし(ハ)、ある一定期間の後ターン
オフする(ホ)。またこの電流波形はさきほどと同様に
fr1で決まる傾きを持っている。半導体スイッチ素子
12がターンオフする(ホ)とfr2で定まる傾きを持
って半導体スイッチ素子12の両端にかかる電圧は上昇
を始め、一方半導体スイッチ素子11の両端にかかって
いた電圧は電源電圧から同様の傾きで減少を始める。さ
らに半導体スイッチ素子12の両端にかかる電圧が上昇
を続け電源電圧に達する(ヘ)と半導体スイッチ素子1
1に逆並列に接続されたダイオード9が導通する。また
この時半導体スイッチ素子12の両端にかかる電圧は先
ほどと同様に電源電圧でクリップされる。このような動
作を繰り返すことによって昇圧トランスの1次巻線に図
2(e)の様な高周波電流を流し、これを昇圧する事に
よってインバータ回路19は高周波高電圧を発生する。
【0021】このように本実施例の高周波加熱装置によ
れば、半導体スイッチ素子11および12にかかる電圧
は電源電圧でクリップされるため200v系の配電系統
で高周波加熱装置を使用しても半導体スイッチ素子にか
かる電圧ストレスが低く保つことができる。例えば実効
値が200vの系統であれば電源電圧の最大値はこの√
2倍であるため半導体スイッチ素子の電圧ストレスは最
大で282vであり、また実効値が240vの系統であ
れば339vとなる。
【0022】また、半導体スイッチ素子に与えるオン信
号にデッドタイム(半導体スイッチ素子11、12が両
方オフしている時間)を設けることにより半導体スイッ
チ素子11、12にかかる電圧波形は図2(b)、
(c)のようにターンオフ、ターンオン時に昇圧トラン
スと第3、第4の共振コンデンサによって決まる共振に
よる傾きでゆるやかに変化する。このため電圧波形は台
形波状となりターンオン、ターンオフ時の電圧、電流の
重なりを小さくできるため半導体スイッチ素子で生じる
損失を小さくでき、なおかつ半導体スイッチ素子のオン
/オフによって生じるEMIノイズの発生を低く抑える
ことができるので、高性能冷却体や高価なやノイズフィ
ルタを用いる必要がなくなり回路設計上都合がよい。
【0023】また、トランスの1次巻線に流れる電流に
注目すると、半導体スイッチ素子11、12がオンして
いる期間中も共振現象を利用しているため1次巻線を流
れる電流波形が正弦波状になり、トランスのコアを構成
する磁性材料の偏磁が起こりにくく、またトランスを流
れる電流が直流成分を含まないためトランスのコアを小
型化できトランス設計上都合がよい。
【0024】(実施例2)本発明の第2の実施例を図
3、4を用いて説明する。
【0025】図1と同符号のものは相当する構成要素で
あり説明の詳細は省略する。図3において制御部16は
三角波発生回路21、比較回路22と半導体スイッチ素
子11および12を駆動する駆動回路23とからなる制
御回路より構成されている。
【0026】次に図4を用いて制御部16が半導体スイ
ッチ素子11、12を駆動する方法を説明する。比較回
路22は三角波発生回路21で発生された三角波(図4
(a)−(イ))と2つの基準電圧(図4(a)−
(ロ)、(ハ))を比較し、三角波が一方の基準電圧よ
りも高いときに発生するパルス電圧と、三角波が他方の
基準電圧よりも低いときに発生するパルス電圧を駆動回
路23にあたえる。駆動回路23は一方のパルス電圧に
より半導体スイッチ素子11にオン信号を与え、また、
他方のパルス電圧によって半導体スイッチ素子12にオ
ン信号を与える構成となっている。
【0027】このような構成の制御回路を設け、三角波
発生回路21が発生する三角波の周波数をかえることに
よって半導体スイッチ素子に与えるオン信号の幅を変え
るとともに、半導体スイッチ素子11、12に与えるオ
ン信号の幅を対称に保つようにすると、インバータ回路
の動作周波数foと高周波加熱装置が出力する電力Po
の関係は略々図5のようになる。このように動作周波数
を下げることによって出力電力を大きくすることがで
き、連続的に出力の制御が可能である。また、最大出力
時と低出力時の動作波形を図6に示す。図より明らかな
ように最大出力時においても低出力時においても半導体
スイッチ素子にかかる電圧波形は台形波状を示し常にE
MIノイズを低く抑え、スイッチ損失を低くすることが
できる。
【0028】なお、また本実施例の高周波加熱装置にお
いては動作周波数を固定して半導体スイッチ素子11に
与えるオン信号の幅と半導体スイッチ素子12に与える
オン信号の幅を非対称に与える(これをPWM制御と呼
ぶ)ことによっても高周波加熱装置の出力電力Poの制
御が可能である。このときは三角波発生回路21が発生
する三角波の周波数を変えずに比較回路22の二つの基
準電圧をかえることによりオン信号の幅を変える。この
ようにしたときのオン信号の幅の比Dと高周波加熱装置
の出力電力Poの関係を図7に示す。このように半導体
スイッチ素子に与えるオン信号を非対称にするとオン信
号の幅の比が1のときを最大にしてそこからどちらへず
れても減少している。また図8に最大出力時と低出力時
の動作波形を示す。これを見ると明らかなように最大出
力時においても低出力時においても半導体スイッチ素子
にかかる電圧波形は台形波状を示し、常にEMIノイズ
とスイッチ損失を低く抑えることができる。また、2つ
以上の高周波加熱装置を隣接して使用した場合に、それ
ぞれの高周波加熱装置が異なる出力電力で動作していて
もインバータ回路の動作周波数foは常に一定であるた
め、その隣接した高周波加熱装置の動作周波数の差によ
って生じる干渉音を生じることがない。
【0029】(実施例3)本発明の第3の実施例を図9
以下を用いて説明する。
【0030】図9は高周波加熱装置の回路図を示したも
のであり図1と同符号のものは相当する構成要素である
ため詳細な説明は省略する。図10は動作波形を示す図
である。(A)は最大出力時であり、(B)は低出力時
である。
【0031】昇圧トランスに並列にインダクタがない場
合ではDを1よりも大きくする、または小さくすること
によって出力電力を最大出力電力の1/2以下に小さく
した場合、ゼロ電圧スイッチング動作が確保できなくな
り半導体スイッチ素子のスイッチング損失が大きくなる
とともに、半導体スイッチ素子に電圧がかかった状態で
ターンオンするためサージ電流が発生し半導体スイッチ
素子の電流責務が大きくなってしまう。これにに比べて
昇圧トランス13に並列にインダクタ21を接続すると
図10のようにDを小さくし、出力電力を最大出力電力
の1/4から1/5以下にしたときにもゼロ電圧スイッ
チングが実現でき、半導体スイッチ素子11、12のス
イッチングロスを小さくできるため非常に都合がよい。
【0032】また、トランスの結合係数を小さくするこ
とによってトランスの漏れインダクタンスを利用し、イ
ンダクタ21を省略することもできる。このため回路を
小型化でき回路設計上非常に都合がよい。
【0033】
【発明の効果】以上示したように本発明の高周波加熱装
置は、以下に述べる効果を有するものである。
【0034】商用電源などの外部電源の電力を整流する
整流回路と、インバータ回路と、高圧整流回路と、前記
高圧整流回路の出力により駆動されるマグネトロンから
なり、前記インバータ回路を、整流回路の出力に並列に
接続された第1および第2の共振コンデンサの直列接続
体と、整流回路の出力に並列に接続された第1および第
2の半導体スイッチ素子の直列接続体と、第1および第
2の半導体スイッチ素子にそれぞれ並列に接続された第
3および第4の共振コンデンサと、第1および第2の共
振コンデンサの接続点と第1および第2の半導体スイッ
チ素子の接続点の間に昇圧トランスを接続する構成とす
ることにより、低損失、低EMIであるので低コストの
高周波加熱装置を提供することができる。
【0035】また、商用電源などの外部電源の電力を整
流する整流回路と、インバータ回路と、高圧整流回路
と、前記高圧整流回路の出力により駆動されるマグネト
ロンからなり、前記インバータ回路を、整流回路の出力
に並列に接続された第1および第2の共振コンデンサの
直列接続体と、整流回路の出力に並列に接続された第1
および第2の半導体スイッチ素子の直列接続体と、第1
および第2の半導体スイッチ素子にそれぞれ並列に接続
された第3および第4の共振コンデンサと、第1および
第2の共振コンデンサの接続点と第1および第2の半導
体スイッチ素子の接続点の間に昇圧トランスを接続し、
さらに昇圧トランスに並列にインダクタを接続する構成
とすることにより、低損失、低EMIであるので低コス
トの高周波加熱装置を提供することができる。
【0036】そしてまた、第1および第2の半導体スイ
ッチ素子を制御する制御部を備え、前記制御部により第
1および第2の半導体スイッチ素子を交互にオン/オフ
するとともに、第1および第2の半導体スイッチ素子に
与えるオン信号の幅を対称に与える構成とすることによ
り、インバータ回路が出力する高周波高圧電力を動作周
波数をかえることによって簡単かつ連続的に制御するこ
とができると共に、半導体スイッチ素子のオフ時にその
両端にかかる電圧を整流回路の出力電圧までしか上昇し
ないようにしたため200vの配電系統においても利用
可能でかつ高出力をえることができるとともに、低損
失、低EMIであるので低コストの高周波加熱装置を提
供することができる。
【0037】さらにまた、第1および第2の半導体スイ
ッチ素子を制御する制御部を備え、前記制御部により第
1および第2の半導体スイッチ素子を交互にオン/オフ
するとともに、前記第1および第2の半導体スイッチ素
子に与えるオン信号の幅を非対称に与えることにより、
PWM制御する構成とすることにより、インバータ回路
が出力する高周波高圧電力を半導体スイッチ素子に与え
るオン信号に幅の比をかえることによって簡単かつ連続
的に制御することができると共に、低損失、低EMIで
あるので低コストの高周波加熱装置を提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例における高周波加熱装置の回
路図
【図2】同高周波加熱装置の動作波形例を示す図
【図3】本発明の他の実施例における高周波加熱装置の
回路図
【図4】同高周波加熱装置の制御回路の動作波形例を示
す図
【図5】同高周波加熱装置の動作周波数と出力電力の関
係を示す図
【図6】(A)同高周波加熱装置を周波数可変制御した
ときの出力電力大のときの半導体スイッチ素子の電圧電
流波形図 (B)同高周波加熱装置を周波数可変制御したときの出
力電力小のときの半導体スイッチ素子の電圧電流波形図
【図7】同高周波加熱装置の半導体スイッチ素子に与え
るオン信号幅の比と出力電力の関係を示す図
【図8】(A)同高周波加熱装置を周波数一定制御した
ときの出力電力大のときの半導体スイッチ素子の電圧電
流波形図 (B)同高周波加熱装置を周波数一定制御したときの出
力電力小のときの半導体スイッチ素子の電圧電流波形図
【図9】本発明の第3実施例における高周波加熱装置の
回路図
【図10】(A)同高周波加熱装置の最大出力時の動作
波形例を示す図 (B)同高周波加熱装置の低出力時の動作波形例を示す
【図11】従来の高周波加熱装置の回路図
【図12】同高周波加熱装置の動作波形例を示す図
【符号の説明】
1 電源 5 第一の共振コンデンサ 6 第二の共振コンデンサ 7 第三の共振コンデンサ 8 第四の共振コンデンサ 9 第二のダイオード 10 第二のダイオード 11 第一の半導体スイッチ素子 12 第二の半導体スイッチ素子 13 昇圧トランス 14 高圧整流回路 15 マグネトロン 16 制御部 19 インバータ回路

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電源の電力を整流する整流回路と、前記整
    流回路の出力電力を受け高周波高圧電力に変換するイン
    バータ回路と、前記高周波高圧電力を直流高圧電力に変
    換する高圧整流回路と、前記直流高圧電力を受けマイク
    ロ波を加熱室に放射するマグネトロンとを備えるととも
    に、前記インバータ回路を、前記整流回路の出力に並列
    に接続された第1および第2の共振コンデンサの直列接
    続体と、前記整流回路の出力に並列に接続された第1お
    よび第2の半導体スイッチ素子の直列接続体と、前記第
    1および第2の半導体スイッチ素子にそれぞれ並列に接
    続された第3および第4の共振コンデンサと、前記第1
    および第2の半導体スイッチ素子にそれぞれ逆並列に接
    続された第1および第2のダイオードと、前記第1およ
    び第2の共振コンデンサの接続点と前記第1および第2
    の半導体スイッチ素子の接続点の間に昇圧トランスを接
    続する構成とした高周波加熱装置。
  2. 【請求項2】1次巻線にインダクタを並列接続する構成
    とした請求項1記載の高周波加熱装置。
  3. 【請求項3】第1および第2の半導体スイッチ素子を制
    御する制御部を備え、前記制御部により前記第1および
    第2の半導体スイッチ素子を交互にオン/オフするとと
    もに、前記第1および第2の半導体スイッチ素子に与え
    るオン信号の幅を対称に与える構成とした請求項1また
    は請求項2記載の高周波加熱装置。
  4. 【請求項4】第1および第2の半導体スイッチ素子を制
    御する制御部を備え、前記制御部により前記第1および
    第2の半導体スイッチ素子を交互にオン/オフするとと
    もに、前記第1および第2の半導体スイッチ素子に与え
    るオン信号の幅を非対称に与えることにより、パルス幅
    制御する構成とした請求項1または請求項2記載の高周
    波加熱装置。
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