JPH074497B2 - 空調方法および空調装置 - Google Patents
空調方法および空調装置Info
- Publication number
- JPH074497B2 JPH074497B2 JP61266048A JP26604886A JPH074497B2 JP H074497 B2 JPH074497 B2 JP H074497B2 JP 61266048 A JP61266048 A JP 61266048A JP 26604886 A JP26604886 A JP 26604886A JP H074497 B2 JPH074497 B2 JP H074497B2
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- Japan
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- air
- water
- supersaturated
- supersaturated steam
- air conditioning
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- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は気液接触方式の空調の方法および装置の改良に
関する。
関する。
従来の技術 クリーンルームなどの空調システムには、広くフィルタ
方式で塵埃を除去する方法が用いられている。このフィ
ルター方式に対して、フィルターは使用しないで、フィ
ルターと同様の除塵と同時に細菌や臭気も除去可能な水
噴霧による気液接触方式の清浄化空調システムが新たに
提案されている。（たとえば、特公昭58−12519号公報
参照） 発明が解決しようとする問題点 このような従来の水噴霧による気液接触方式の空調シス
テムにおいては、１ミクロン以下の塵埃や細菌なども除
去できることは実証されているが、気液接触の程度に難
があり、除去すべき対象を短時間に効果的に除去するこ
とができないという問題点があった。
方式で塵埃を除去する方法が用いられている。このフィ
ルター方式に対して、フィルターは使用しないで、フィ
ルターと同様の除塵と同時に細菌や臭気も除去可能な水
噴霧による気液接触方式の清浄化空調システムが新たに
提案されている。（たとえば、特公昭58−12519号公報
参照） 発明が解決しようとする問題点 このような従来の水噴霧による気液接触方式の空調シス
テムにおいては、１ミクロン以下の塵埃や細菌なども除
去できることは実証されているが、気液接触の程度に難
があり、除去すべき対象を短時間に効果的に除去するこ
とができないという問題点があった。
本発明はこのような問題点を解決しようとするもので、
より完全なクリーン化をはかることを目的とする。
より完全なクリーン化をはかることを目的とする。
問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために本発明は、水と空気とを超
音波振動により水噴霧させて過飽和蒸気を作り、その後
前記過飽和蒸気を凝縮核形成させて水滴粒子とした後、
前記水滴粒子をフィルターに通す空調方法であります。
また、空気を排出する手段と、前記空気を取り込み水蒸
気を発生させる過飽和蒸気室と、前記過飽和蒸気室に備
えられた超音波装置と、前記過飽和蒸気室からの過飽和
蒸気を水滴粒子に換える凝縮核形成装置と、前記凝縮核
形成装置からの水滴粒子をろ過するフィルターとを備え
た空調装置であります。
音波振動により水噴霧させて過飽和蒸気を作り、その後
前記過飽和蒸気を凝縮核形成させて水滴粒子とした後、
前記水滴粒子をフィルターに通す空調方法であります。
また、空気を排出する手段と、前記空気を取り込み水蒸
気を発生させる過飽和蒸気室と、前記過飽和蒸気室に備
えられた超音波装置と、前記過飽和蒸気室からの過飽和
蒸気を水滴粒子に換える凝縮核形成装置と、前記凝縮核
形成装置からの水滴粒子をろ過するフィルターとを備え
た空調装置であります。
作用 本発明によれば、凝縮核形成装置によって小さな塵埃の
微粒子を核に過飽和の蒸気をこれに凝縮させることで微
粒子の粒径を大きくできるので、あとに設けたフィルタ
ーによって十分除去できる。
微粒子を核に過飽和の蒸気をこれに凝縮させることで微
粒子の粒径を大きくできるので、あとに設けたフィルタ
ーによって十分除去できる。
実施例 本発明を実施例によって説明する。図面は本発明の方法
の一実施例の説明図である。クリーンルーム１からの送
風ファン２により排出，換気される空気は、過飽和蒸気
室３で超音波装置４により、水蒸気を発生させ、完全に
過飽和蒸気状態にする。必要に応じて過飽和蒸気室３を
加熱する。過飽和状態となった空気は凝縮核形成室５で
空気中の微細塵埃を核として飽和蒸気から水滴粒子をつ
くり、この過程で空気中の塵埃や有害ガスは水粒子に取
り込まれる。そしてこの水粒子はHEPAフィルター６で完
全に除去できる。空気中の室温は過飽和蒸気室３と凝縮
核形成室５の温度差で任意に制御できる。
の一実施例の説明図である。クリーンルーム１からの送
風ファン２により排出，換気される空気は、過飽和蒸気
室３で超音波装置４により、水蒸気を発生させ、完全に
過飽和蒸気状態にする。必要に応じて過飽和蒸気室３を
加熱する。過飽和状態となった空気は凝縮核形成室５で
空気中の微細塵埃を核として飽和蒸気から水滴粒子をつ
くり、この過程で空気中の塵埃や有害ガスは水粒子に取
り込まれる。そしてこの水粒子はHEPAフィルター６で完
全に除去できる。空気中の室温は過飽和蒸気室３と凝縮
核形成室５の温度差で任意に制御できる。
超音波装置４の周波数および出力はクリーンルームの規
模によってきめられる。超音波の周波数としては、100K
Hz〜2MHzが利用できる。経験によると、10m2のクリーン
ルームにおいて、空気置換回数を１時間当り300回とし
て、0.1ミクロン以上のダストを測定したところ、１立
方フィートあたり１以下であった。さらにCNC方式のダ
ストカウンターでも0.05ミリクロンのダストは１以下で
あり、従来の空調のレベルより著しく改善がみられた。
模によってきめられる。超音波の周波数としては、100K
Hz〜2MHzが利用できる。経験によると、10m2のクリーン
ルームにおいて、空気置換回数を１時間当り300回とし
て、0.1ミクロン以上のダストを測定したところ、１立
方フィートあたり１以下であった。さらにCNC方式のダ
ストカウンターでも0.05ミリクロンのダストは１以下で
あり、従来の空調のレベルより著しく改善がみられた。
本発明の方法は、光学的なダストカウンターでは検出で
きないほど小さい。たとえば0.1ミクロン以下の粒径の
浮遊塵埃を測定する場合に用いられる凝縮核形成方と呼
ばれるダストカウンター（CNC）と同じ原理を用いるも
のである。すなわち0.1ミクロン以下の微粒子であって
もその微粒子を核として、過飽和の蒸気をこれに凝縮さ
せて、0.1〜1.0ミクロン程度の粒径に成長させてから、
フィルターで除去すればよい。凝縮させる液体蒸気とし
て水を用い、過飽和蒸気を発生するために超音波振動を
導入したのが本発明の方法である。
きないほど小さい。たとえば0.1ミクロン以下の粒径の
浮遊塵埃を測定する場合に用いられる凝縮核形成方と呼
ばれるダストカウンター（CNC）と同じ原理を用いるも
のである。すなわち0.1ミクロン以下の微粒子であって
もその微粒子を核として、過飽和の蒸気をこれに凝縮さ
せて、0.1〜1.0ミクロン程度の粒径に成長させてから、
フィルターで除去すればよい。凝縮させる液体蒸気とし
て水を用い、過飽和蒸気を発生するために超音波振動を
導入したのが本発明の方法である。
従来の空調システムにおいては、空気と水を接触させる
ことは様々な方式で実施され、除塵，加湿，有毒ガス除
去などに用いられているが、これらは単に空気と水を接
触させるだけであり、気体−液体の接触が完全でなかっ
た。水噴霧などを用いた空調方式においても、水の過飽
和蒸気から凝縮核形成を起すほどには雰囲気制御が行な
われていなかった。
ことは様々な方式で実施され、除塵，加湿，有毒ガス除
去などに用いられているが、これらは単に空気と水を接
触させるだけであり、気体−液体の接触が完全でなかっ
た。水噴霧などを用いた空調方式においても、水の過飽
和蒸気から凝縮核形成を起すほどには雰囲気制御が行な
われていなかった。
本発明は水の過飽和蒸気状態を作るために超音波水噴霧
を行ないかつ温度管理を行うので、空気の清浄化が効果
的におこなえる。
を行ないかつ温度管理を行うので、空気の清浄化が効果
的におこなえる。
発明の効果 以上のように本発明によれば、超クリーンな空調システ
ムが実現でき、半導体製造や超精密工業や医療用の空調
システムとしてすこぶる有利である。
ムが実現でき、半導体製造や超精密工業や医療用の空調
システムとしてすこぶる有利である。
図面は本発明の一実施例の説明図である。 １……クリーンルーム、２……送風機、３……過飽和蒸
気室、４……超音波噴霧装置、５……凝縮核形成室、６
……HEPAフィルター。
気室、４……超音波噴霧装置、５……凝縮核形成室、６
……HEPAフィルター。
Claims (2)
- 【請求項１】水と空気とを超音波振動により水噴霧させ
て過飽和蒸気を作り、その後前記過飽和蒸気を凝縮核形
成させて水滴粒子とした後、前記水滴粒子をフィルター
に通すことを特徴とする空調方法。 - 【請求項２】空気を排出する手段と、前記空気を取り込
み水蒸気を発生させる過飽和蒸気室と、前記過飽和蒸気
室に備えられた超音波装置と、前記過飽和蒸気室からの
過飽和蒸気を水滴粒子に換える凝縮核形成装置と、前記
凝縮核形成装置からの水滴粒子をろ過するフィルターと
を備えたことを特徴とする空調装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61266048A JPH074497B2 (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 空調方法および空調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61266048A JPH074497B2 (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 空調方法および空調装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63119832A JPS63119832A (ja) | 1988-05-24 |
| JPH074497B2 true JPH074497B2 (ja) | 1995-01-25 |
Family
ID=17425666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61266048A Expired - Lifetime JPH074497B2 (ja) | 1986-11-07 | 1986-11-07 | 空調方法および空調装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH074497B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2823217B2 (ja) * | 1989-02-16 | 1998-11-11 | 株式会社東芝 | 燃料電池 |
| JPH09206540A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Honda Electron Co Ltd | 超音波空気清浄機 |
| KR100509012B1 (ko) * | 2002-12-13 | 2005-08-19 | 조인섭 | 분무식 공기 정화기 및 공기 정화 방법 |
| CN112516727A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-03-19 | 苏州市朗吉科技有限公司 | 一种精密空调用辅助防尘装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51120477A (en) * | 1975-04-14 | 1976-10-21 | Kochiwa Seisakusho:Kk | Ultrasonic dust collector |
| JPS6259125U (ja) * | 1985-10-01 | 1987-04-13 | ||
| JPS62106819A (ja) * | 1985-11-01 | 1987-05-18 | Tokyo Copal Kagaku Kk | エア−クリ−ン法及びその装置 |
-
1986
- 1986-11-07 JP JP61266048A patent/JPH074497B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63119832A (ja) | 1988-05-24 |
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