JPH0743524A - 紫外線熱線遮断ウィンドウ - Google Patents
紫外線熱線遮断ウィンドウInfo
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- JPH0743524A JPH0743524A JP5185095A JP18509593A JPH0743524A JP H0743524 A JPH0743524 A JP H0743524A JP 5185095 A JP5185095 A JP 5185095A JP 18509593 A JP18509593 A JP 18509593A JP H0743524 A JPH0743524 A JP H0743524A
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- film
- dielectric film
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- transparent
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な積層膜構成で、赤外線熱線と紫外線を
同時に遮断する性能を向上した紫外線赤外線遮断ウィン
ドウを得る。 【構成】 透明な基板１上に基板側より第１層として第
１の透明誘電体膜２、第２層として第１の透明誘電体膜
と異なる第２の透明誘電体膜３、第３層として金属また
は金属窒化物膜４、第４層として第３の透明誘電体膜５
が順次積層されているガラスを用いて構成さないる。
同時に遮断する性能を向上した紫外線赤外線遮断ウィン
ドウを得る。 【構成】 透明な基板１上に基板側より第１層として第
１の透明誘電体膜２、第２層として第１の透明誘電体膜
と異なる第２の透明誘電体膜３、第３層として金属また
は金属窒化物膜４、第４層として第３の透明誘電体膜５
が順次積層されているガラスを用いて構成さないる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は自動車のような車両用ウ
ィンドウとして適する紫外線、熱線遮断ウィンドウに関
するものである。本発明のウィンドウは、５０％以上の
可視光線透過率、より好ましくは７０％以上の可視光線
透過率部位に好適に使用されるものであり、単板ガラ
ス、複層、合せガラスを適用できる。また本発明のウィ
ンドウは自動車用ウィンドウとして考案されたものであ
るが、車両用のウィンドウに限定されるものではなく、
各種窓にも適用できる。
ィンドウとして適する紫外線、熱線遮断ウィンドウに関
するものである。本発明のウィンドウは、５０％以上の
可視光線透過率、より好ましくは７０％以上の可視光線
透過率部位に好適に使用されるものであり、単板ガラ
ス、複層、合せガラスを適用できる。また本発明のウィ
ンドウは自動車用ウィンドウとして考案されたものであ
るが、車両用のウィンドウに限定されるものではなく、
各種窓にも適用できる。
【０００２】
【従来の技術】従来より省エネルギーの観点からウィン
ドウのガラスを通じて車室内に照射される太陽光の特定
の波長部分を遮断し、車室内の温度上昇を低減し、冷房
機器の負荷を低減させるため断熱性の高いウィンドウが
要求されている。
ドウのガラスを通じて車室内に照射される太陽光の特定
の波長部分を遮断し、車室内の温度上昇を低減し、冷房
機器の負荷を低減させるため断熱性の高いウィンドウが
要求されている。
【０００３】熱線、赤外線を遮断する方法としてドルー
デミラーと呼ばれる、透明基板上に酸化インジウムと酸
化錫の混合膜（ＩＴＯ膜）や酸化亜鉛にアルミニウムを
添加した膜に代表される透明導電性膜を成膜して熱線、
赤外線を遮断する方法が知られている。このタイプのガ
ラスは確かに赤外線を遮断するが遮断する波長が1.5μ
ｍ以上であり、熱線、赤外線遮断性能はあまり良くな
い。また各種の金属膜、誘電体膜を積層し光干渉効果を
利用して特定の波長の光を反射または透過させることが
知られている。光干渉効果を利用した熱線反射ガラスは
特公昭４７−６３１５号公報に開示されている銀膜を透
明誘電体膜で挟んだ構成のガラスがある。また特公昭６
３−２０６３３３号公報に開示されている窒化物を透明
誘電体膜で挟んだ構成の熱線反射ガラスもある。これら
のガラスは熱線反射性のみを目的にしているため、後述
の紫外線遮断性はない。その他の方法としてガラス板中
に特定の金属元素等を混入させ熱線を吸収させる方法が
知られている。このタイプのガラスは特定の金属元素を
ガラスに添加することで熱線遮断性が得られるが、添加
量を増加するとガラス板自体の機械的強度を弱め、また
良好な熱線遮断性を得るには使用する金属元素が限定さ
れるためガラス板の色合いの点で問題がある。
デミラーと呼ばれる、透明基板上に酸化インジウムと酸
化錫の混合膜（ＩＴＯ膜）や酸化亜鉛にアルミニウムを
添加した膜に代表される透明導電性膜を成膜して熱線、
赤外線を遮断する方法が知られている。このタイプのガ
ラスは確かに赤外線を遮断するが遮断する波長が1.5μ
ｍ以上であり、熱線、赤外線遮断性能はあまり良くな
い。また各種の金属膜、誘電体膜を積層し光干渉効果を
利用して特定の波長の光を反射または透過させることが
知られている。光干渉効果を利用した熱線反射ガラスは
特公昭４７−６３１５号公報に開示されている銀膜を透
明誘電体膜で挟んだ構成のガラスがある。また特公昭６
３−２０６３３３号公報に開示されている窒化物を透明
誘電体膜で挟んだ構成の熱線反射ガラスもある。これら
のガラスは熱線反射性のみを目的にしているため、後述
の紫外線遮断性はない。その他の方法としてガラス板中
に特定の金属元素等を混入させ熱線を吸収させる方法が
知られている。このタイプのガラスは特定の金属元素を
ガラスに添加することで熱線遮断性が得られるが、添加
量を増加するとガラス板自体の機械的強度を弱め、また
良好な熱線遮断性を得るには使用する金属元素が限定さ
れるためガラス板の色合いの点で問題がある。
【０００４】一方紫外線に関しては、紫外線が人体に吸
収されると日焼けを生じたり、メラニン色素が沈着して
シミ、ソバカスとなり皮膚を老化させると言われてい
る。また紫外線照射により車内の内装材の色あせ、劣化
も生じると言われている。この様な観点から紫外線遮断
機能のあるガラスも求められている。
収されると日焼けを生じたり、メラニン色素が沈着して
シミ、ソバカスとなり皮膚を老化させると言われてい
る。また紫外線照射により車内の内装材の色あせ、劣化
も生じると言われている。この様な観点から紫外線遮断
機能のあるガラスも求められている。
【０００５】以上のニーズに対して熱線、赤外線および
紫外線を同時に遮断する方法として、熱線、赤外線遮断
層と紫外線遮断層とをそれぞれ別々にガラス表面上に層
状に形成する方法が知られており、特開昭６１−１３２
９０２号公報には紫外線吸収能のある酸化亜鉛膜を形成
し、この膜上に酸化亜鉛にアルミニウム0.4 から１０原
子％含ませ熱線、赤外線遮断能を付与した紫外線赤外線
遮断ガラスが開示されている。
紫外線を同時に遮断する方法として、熱線、赤外線遮断
層と紫外線遮断層とをそれぞれ別々にガラス表面上に層
状に形成する方法が知られており、特開昭６１−１３２
９０２号公報には紫外線吸収能のある酸化亜鉛膜を形成
し、この膜上に酸化亜鉛にアルミニウム0.4 から１０原
子％含ませ熱線、赤外線遮断能を付与した紫外線赤外線
遮断ガラスが開示されている。
【０００６】しかしながらこの従来の紫外線赤外線遮断
ガラスにあっては紫外線、赤外線の遮断性能がかならず
しも十分でないという問題点があった。従って本発明の
目的は簡素な層構成で赤外線熱線と紫外線を同時に遮断
する性能を向上した紫外線赤外線遮断ウィンドウを提供
することにある。
ガラスにあっては紫外線、赤外線の遮断性能がかならず
しも十分でないという問題点があった。従って本発明の
目的は簡素な層構成で赤外線熱線と紫外線を同時に遮断
する性能を向上した紫外線赤外線遮断ウィンドウを提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の問題点を
解決すべくなされたものであり、自動車用、建築用ウィ
ンドウとして適する紫外線、熱線遮断ウィンドウにおい
て、透明基板側より第１層として第１の透明誘電体膜、
第２層として第１の透明誘電体膜と異なる第２の透明誘
電体膜、第３層として金属または金属窒化物膜、第４層
として第３の透明誘電体膜が順次積層されていることを
特徴とする紫外線熱線遮断ウィンドウに関するものであ
る。
解決すべくなされたものであり、自動車用、建築用ウィ
ンドウとして適する紫外線、熱線遮断ウィンドウにおい
て、透明基板側より第１層として第１の透明誘電体膜、
第２層として第１の透明誘電体膜と異なる第２の透明誘
電体膜、第３層として金属または金属窒化物膜、第４層
として第３の透明誘電体膜が順次積層されていることを
特徴とする紫外線熱線遮断ウィンドウに関するものであ
る。
【０００８】図１は本発明で用いる機能性ガラスの構成
を示す図で、図中１は透明基板で、無色のソーダライム
ガラス、ブルー、ブロンズ、グレー、グリーン色をもつ
ガラス、アルミノシリケートガラスなどの各種ガラス
板、またポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリ
カーボネイト（ＰＣ）のような透明樹脂板から成る。２
は第１の透明誘電体膜で、セリウム、チタン、亜鉛、ク
ロム若しくはカドニウムの酸化物またはこれらの複合酸
化物およびこれらの酸化物に微量の金属元素を添加した
複合酸化物膜より成る。３は第１の透明誘電体膜１と異
なる第２の透明誘電体膜で、シリコン、チタン、アルミ
ニウム、錫、ジルコニウム、タンタル、クロム、ステン
レス若しくはニクロムの酸化物、またはそれらの複合酸
化物より成る。４は金属または金属窒化物膜で、白金、
金、銀、銅、チタン、クロム、アルミニウム、ニクロ
ム、ステンレス、ジルコニウム、ハフニウム、またはタ
ンタルのいずれか１つまたはこれらの複合の金属あるい
は窒化物より選ばれた金属あるいは金属窒化物から成
る。５は第３の透明誘電体膜で、シリコン、チタン、ア
ルミニウム、錫、ジルコニウム、タンタル、クロム、ス
テンレス若しくはニクロムの酸化物またはそれらの複合
酸化物から成る。
を示す図で、図中１は透明基板で、無色のソーダライム
ガラス、ブルー、ブロンズ、グレー、グリーン色をもつ
ガラス、アルミノシリケートガラスなどの各種ガラス
板、またポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリ
カーボネイト（ＰＣ）のような透明樹脂板から成る。２
は第１の透明誘電体膜で、セリウム、チタン、亜鉛、ク
ロム若しくはカドニウムの酸化物またはこれらの複合酸
化物およびこれらの酸化物に微量の金属元素を添加した
複合酸化物膜より成る。３は第１の透明誘電体膜１と異
なる第２の透明誘電体膜で、シリコン、チタン、アルミ
ニウム、錫、ジルコニウム、タンタル、クロム、ステン
レス若しくはニクロムの酸化物、またはそれらの複合酸
化物より成る。４は金属または金属窒化物膜で、白金、
金、銀、銅、チタン、クロム、アルミニウム、ニクロ
ム、ステンレス、ジルコニウム、ハフニウム、またはタ
ンタルのいずれか１つまたはこれらの複合の金属あるい
は窒化物より選ばれた金属あるいは金属窒化物から成
る。５は第３の透明誘電体膜で、シリコン、チタン、ア
ルミニウム、錫、ジルコニウム、タンタル、クロム、ス
テンレス若しくはニクロムの酸化物またはそれらの複合
酸化物から成る。
【０００９】第１の誘電体膜２は上記の誘電体から任意
に選択できるが、とくに酸化亜鉛および酸化亜鉛に鉄、
クロムを微量、１〜１０原子％添加した誘電体膜、およ
び酸化亜鉛と酸化シリコンなどの透明誘電体よりなる複
合誘電体膜が好ましい。この理由は酸化亜鉛が優れた紫
外線遮断性能と可視光域での透明性をもつためで、膜厚
を少なくとも１００ｎｍ以上とすることで、良好な紫外
線遮断性能を得ることができる。第２の透明誘電体膜３
と第３の透明誘電体膜５は同一のものであっても、異な
る材質のものでも使用できる。
に選択できるが、とくに酸化亜鉛および酸化亜鉛に鉄、
クロムを微量、１〜１０原子％添加した誘電体膜、およ
び酸化亜鉛と酸化シリコンなどの透明誘電体よりなる複
合誘電体膜が好ましい。この理由は酸化亜鉛が優れた紫
外線遮断性能と可視光域での透明性をもつためで、膜厚
を少なくとも１００ｎｍ以上とすることで、良好な紫外
線遮断性能を得ることができる。第２の透明誘電体膜３
と第３の透明誘電体膜５は同一のものであっても、異な
る材質のものでも使用できる。
【００１０】本発明で用いられる紫外線熱線遮断ガラス
において、熱線を遮断する機能を有する部位は主に第３
層として積層する金属または金属窒化物膜４である。一
般に導電性物質は熱線赤外線の反射性を有しており、導
電性が良いほど反射性もよくなる。金属または金属窒化
物は比抵抗で１×１０-6〜１×１０-1Ωｃｍの導電性を
もち熱線赤外線を反射する。また金属を第３層として使
用する際その膜厚を２〜１０ｎｍ、金属窒化物を使用す
る際には５〜３０ｎｍの範囲で膜厚を選択することによ
り、可視光域での透明性を確保できる。これらの膜はス
パッタ法、蒸着法、イオンプレーティング法などの各種
真空成膜法、ＣＶＤ法、スプレー法などの化学気相法お
よびゾルゲル法等の湿式成膜法によっても成膜できる。
このうち大面積化、および生産性の点でスパッタ法、ゾ
ルゲル法が優れている。
において、熱線を遮断する機能を有する部位は主に第３
層として積層する金属または金属窒化物膜４である。一
般に導電性物質は熱線赤外線の反射性を有しており、導
電性が良いほど反射性もよくなる。金属または金属窒化
物は比抵抗で１×１０-6〜１×１０-1Ωｃｍの導電性を
もち熱線赤外線を反射する。また金属を第３層として使
用する際その膜厚を２〜１０ｎｍ、金属窒化物を使用す
る際には５〜３０ｎｍの範囲で膜厚を選択することによ
り、可視光域での透明性を確保できる。これらの膜はス
パッタ法、蒸着法、イオンプレーティング法などの各種
真空成膜法、ＣＶＤ法、スプレー法などの化学気相法お
よびゾルゲル法等の湿式成膜法によっても成膜できる。
このうち大面積化、および生産性の点でスパッタ法、ゾ
ルゲル法が優れている。
【００１１】
【作用】本発明で用いる紫外線熱線遮断ガラスの膜構成
の一例として、図１に示す膜構成において、基板１とし
てガラス基板を用い、この基板上に透明誘電体膜２とし
て酸化亜鉛３００ｎｍ、第２の誘電体膜３として酸化シ
リコンを３５ｎｍ、金属窒化物膜４として窒化チタン膜
を１５ｎｍ、第３の誘電体膜５として酸化シリコン膜を
８０ｎｍとしたところ、この構成のガラスの光学的特性
は可視光線透過率７０％で自動車用窓ガラスとして要求
される十分な視認性をもち日射透過率５７％で太陽光を
十分に遮断している。また紫外線の遮断性能も、波長３
８０ｎｍの透過率で１０％以下であり有害な紫外線を十
分に遮断している。
の一例として、図１に示す膜構成において、基板１とし
てガラス基板を用い、この基板上に透明誘電体膜２とし
て酸化亜鉛３００ｎｍ、第２の誘電体膜３として酸化シ
リコンを３５ｎｍ、金属窒化物膜４として窒化チタン膜
を１５ｎｍ、第３の誘電体膜５として酸化シリコン膜を
８０ｎｍとしたところ、この構成のガラスの光学的特性
は可視光線透過率７０％で自動車用窓ガラスとして要求
される十分な視認性をもち日射透過率５７％で太陽光を
十分に遮断している。また紫外線の遮断性能も、波長３
８０ｎｍの透過率で１０％以下であり有害な紫外線を十
分に遮断している。
【００１２】
【実施例】以下本発明を実施例により説明する。 実施例１ 透明ガラス基板をイソプロピルアルコールにて脱脂洗浄
し、次に純水で洗浄した後、窒素ブロー乾燥した。この
透明ガラス基板をスパッタ装置内に搬送し、５×１０-6
Torrまで排気した。真空槽内には第１の透明誘電体膜と
して用いる酸化亜鉛膜用の亜鉛ターゲット、第２、第３
の透明誘電体膜として用いる酸化シリコン用の酸化シリ
コンターゲット、第３層の金属窒化物膜として用いる窒
化チタン膜用のチタンターゲットを設置した。
し、次に純水で洗浄した後、窒素ブロー乾燥した。この
透明ガラス基板をスパッタ装置内に搬送し、５×１０-6
Torrまで排気した。真空槽内には第１の透明誘電体膜と
して用いる酸化亜鉛膜用の亜鉛ターゲット、第２、第３
の透明誘電体膜として用いる酸化シリコン用の酸化シリ
コンターゲット、第３層の金属窒化物膜として用いる窒
化チタン膜用のチタンターゲットを設置した。
【００１３】まずスパッタガスとしてアルゴン、酸素の
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー２５０Ｗで、反応性スパッタにて
第１の透明誘電体膜として酸化亜鉛膜を３００ｎｍ成膜
した。
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー２５０Ｗで、反応性スパッタにて
第１の透明誘電体膜として酸化亜鉛膜を３００ｎｍ成膜
した。
【００１４】次にスパッタガスとしてアルゴン、酸素の
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第２の透明誘電体膜として酸化シリコン膜を３５ｎｍ成
膜した。
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第２の透明誘電体膜として酸化シリコン膜を３５ｎｍ成
膜した。
【００１５】次にスパッタガスとしてアルゴン、窒素の
混合ガスをＡｒ：Ｎ2 ＝１：４に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第３層目の金属窒化物膜として窒化チタン膜を１５ｎｍ
成膜した。
混合ガスをＡｒ：Ｎ2 ＝１：４に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第３層目の金属窒化物膜として窒化チタン膜を１５ｎｍ
成膜した。
【００１６】次にスパッタガスとしてアルゴン、酸素の
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第３の透明誘電体膜として酸化シリコン膜を８０ｎｍ成
膜した。
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第３の透明誘電体膜として酸化シリコン膜を８０ｎｍ成
膜した。
【００１７】このように成膜した紫外線熱線遮断ガラス
の光学的特性は前記作用の項で述べたように可視光線透
過率７０％で自動車用窓ガラスとして要求される十分な
視認性をもち日射透過率５７％で太陽光の熱線を十分に
遮断していた。また紫外線の遮断性能も、波長３８０ｎ
ｍの透過率で１０％以下であり有害な紫外線を十分に遮
断していた。
の光学的特性は前記作用の項で述べたように可視光線透
過率７０％で自動車用窓ガラスとして要求される十分な
視認性をもち日射透過率５７％で太陽光の熱線を十分に
遮断していた。また紫外線の遮断性能も、波長３８０ｎ
ｍの透過率で１０％以下であり有害な紫外線を十分に遮
断していた。
【００１８】実施例２ 実施例１と同様の膜材料、成膜条件で、第２の透明誘電
体膜の酸化シリコン膜の膜厚を２００ｎｍ、第３の透明
誘電体膜の酸化シリコンの膜厚を５０ｎｍとした。この
構成での光学的特性は可視光線透過率７０％でガラスと
して要求される十分な視認性をもち日射透過率５３％で
太陽光の熱線を十分に遮断していた。また紫外線の遮断
性能も、波長３８０ｎｍの透過率で１０％以下であり有
害な紫外線を十分に遮断していた。
体膜の酸化シリコン膜の膜厚を２００ｎｍ、第３の透明
誘電体膜の酸化シリコンの膜厚を５０ｎｍとした。この
構成での光学的特性は可視光線透過率７０％でガラスと
して要求される十分な視認性をもち日射透過率５３％で
太陽光の熱線を十分に遮断していた。また紫外線の遮断
性能も、波長３８０ｎｍの透過率で１０％以下であり有
害な紫外線を十分に遮断していた。
【００１９】実施例３ 本例では、実施例１，２と膜材料の異なるものについて
記す。透明ガラス基板をイソプロピルアルコールにて脱
脂洗浄し、次いで純水で洗浄した後、窒素ブロー乾燥し
た。この透明ガラス基板をスパッタ装置内に搬送し、５
×１０-6Torrまで排気した。真空層内には第１の透明誘
電体膜として用いる酸化亜鉛膜用の亜鉛ターゲット、第
２の透明誘電体膜として用いる酸化チタン用のチタンタ
ーゲット、第３層の金属窒化物膜として用いる窒化チタ
ン膜用チタンターゲット、第３の透明誘電体膜として用
いる酸化シリコン用の酸化シリコンターゲットを設置し
た。
記す。透明ガラス基板をイソプロピルアルコールにて脱
脂洗浄し、次いで純水で洗浄した後、窒素ブロー乾燥し
た。この透明ガラス基板をスパッタ装置内に搬送し、５
×１０-6Torrまで排気した。真空層内には第１の透明誘
電体膜として用いる酸化亜鉛膜用の亜鉛ターゲット、第
２の透明誘電体膜として用いる酸化チタン用のチタンタ
ーゲット、第３層の金属窒化物膜として用いる窒化チタ
ン膜用チタンターゲット、第３の透明誘電体膜として用
いる酸化シリコン用の酸化シリコンターゲットを設置し
た。
【００２０】まずスパッタガスとしてアルゴン、酸素の
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー２５０Ｗで、反応性スパッタにて
第１の透明誘電体膜として酸化亜鉛膜を３００ｎｍ成膜
した。
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー２５０Ｗで、反応性スパッタにて
第１の透明誘電体膜として酸化亜鉛膜を３００ｎｍ成膜
した。
【００２１】次にスパッタガスとしてアルゴン、酸素の
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第２の透明誘電体膜として酸化チタン膜を２００ｎｍ成
膜した。
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第２の透明誘電体膜として酸化チタン膜を２００ｎｍ成
膜した。
【００２２】次にスパッタガスとしてアルゴン、窒素の
混合ガスをＡｒ：Ｎ2 ＝１：４に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第３層目の金属窒化物膜として窒化チタン膜を１５ｎｍ
成膜した。
混合ガスをＡｒ：Ｎ2 ＝１：４に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第３層目の金属窒化物膜として窒化チタン膜を１５ｎｍ
成膜した。
【００２３】次にスパッタガスとしてアルゴン、酸素の
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第３の透明誘電体膜として酸化シリコン膜を５０ｎｍ成
膜した。
混合ガスをＡｒ：Ｏ2 ＝１：１に調整し真空槽内のガス
圧が５×１０-3Torrとなるよう排気速度、ガス流量を調
整し、スパッタパワー５００Ｗで、反応性スパッタにて
第３の透明誘電体膜として酸化シリコン膜を５０ｎｍ成
膜した。
【００２４】この構成での光学的特性は可視光線透過率
７０％で自動車用窓ガラスとして要求される十分な視認
性をもち、日射透過率５５％で太陽光の熱線を十分に遮
断していた。また紫外線の遮断性能も、波長３８０ｎｍ
の透過率で１０％以下であり有害な紫外線を十分に遮断
していた。
７０％で自動車用窓ガラスとして要求される十分な視認
性をもち、日射透過率５５％で太陽光の熱線を十分に遮
断していた。また紫外線の遮断性能も、波長３８０ｎｍ
の透過率で１０％以下であり有害な紫外線を十分に遮断
していた。
【００２５】実施例４ 本例では、第１および第２の透明誘電体膜の成膜をゾル
ゲル法にて行った例について記す。第１の透明誘電体膜
として酸化亜鉛膜を以下のようにゾルゲル法にて成膜し
た。２−エチルヘキサン酸亜鉛（１８％）１００ｇ、脱
水ひまし油脂肪酸（リノール酸含有率８６％）８０ｇ、
レベリング剤としてＴＳＦ４００（東芝シリコーン
（株）製）５ｇ、希釈溶媒として混合キシレン３２０ｇ
を攪拌混合して、酸化亜鉛膜用塗布液を得た。この塗布
液に片面をマスキングした透明ガラス基板を浸漬し２０
ｃｍ／分の速度で引上げ片面に塗布膜を得た。この塗布
膜を１５０℃で１５分間遠赤外線炉で乾燥、硬化しさら
に５００℃で１５分間電気炉にて焼成し７５０ｎｍの透
明酸化亜鉛膜を成膜した。
ゲル法にて行った例について記す。第１の透明誘電体膜
として酸化亜鉛膜を以下のようにゾルゲル法にて成膜し
た。２−エチルヘキサン酸亜鉛（１８％）１００ｇ、脱
水ひまし油脂肪酸（リノール酸含有率８６％）８０ｇ、
レベリング剤としてＴＳＦ４００（東芝シリコーン
（株）製）５ｇ、希釈溶媒として混合キシレン３２０ｇ
を攪拌混合して、酸化亜鉛膜用塗布液を得た。この塗布
液に片面をマスキングした透明ガラス基板を浸漬し２０
ｃｍ／分の速度で引上げ片面に塗布膜を得た。この塗布
膜を１５０℃で１５分間遠赤外線炉で乾燥、硬化しさら
に５００℃で１５分間電気炉にて焼成し７５０ｎｍの透
明酸化亜鉛膜を成膜した。
【００２６】次に第２の透明誘電体膜として酸化シリコ
ン膜を以下のようにゾルゲル法にて成膜した。メチルト
リメトキシシラン４００ｇとテトラメトキシシラン１５
０ｇを混合し、ｎ−ブタノール１６００ｇに加え混合し
た。さらに５％酢酸水溶液２８４ｇを滴下した後、約３
時間攪拌し、室温で１日静置することで酸化シリコン用
塗布液を得た。この塗布液に上記のごとく酸化亜鉛膜の
成膜された透明ガラス基板を浸漬し、２０ｃｍ／分の速
度で引き上げ片面に塗布膜を得た。この塗布膜を１２０
℃で１５分間乾燥し、５００℃で３０分間電気炉にて焼
成した後、さらに６５０℃で２分間電気炉にて焼成し、
透明酸化亜鉛膜上に酸化シリコン膜２００ｎｍ成膜し
た。
ン膜を以下のようにゾルゲル法にて成膜した。メチルト
リメトキシシラン４００ｇとテトラメトキシシラン１５
０ｇを混合し、ｎ−ブタノール１６００ｇに加え混合し
た。さらに５％酢酸水溶液２８４ｇを滴下した後、約３
時間攪拌し、室温で１日静置することで酸化シリコン用
塗布液を得た。この塗布液に上記のごとく酸化亜鉛膜の
成膜された透明ガラス基板を浸漬し、２０ｃｍ／分の速
度で引き上げ片面に塗布膜を得た。この塗布膜を１２０
℃で１５分間乾燥し、５００℃で３０分間電気炉にて焼
成した後、さらに６５０℃で２分間電気炉にて焼成し、
透明酸化亜鉛膜上に酸化シリコン膜２００ｎｍ成膜し
た。
【００２７】このようにゾルゲル法により酸化亜鉛膜、
酸化シリコン膜を成膜した透明ガラス基板に第３層目の
金属窒化物として窒化チタン膜を１５ｎｍ、第３の透明
誘電体膜として酸化シリコン膜を５０ｎｍスパッタ法に
て成膜した。スパッタ成膜条件は実施例１および２と同
条件で行った。この構成での光学的特性は可視光線透過
率７０％で自動車用窓ガラスとして要求される十分な視
認性をもち日射透過率５８％で太陽光の熱線を十分に遮
断していた。また紫外線の遮断性能も、波長３８０ｎｍ
の透過率で７％以下であり有害な紫外線を十分に遮断し
ていた。
酸化シリコン膜を成膜した透明ガラス基板に第３層目の
金属窒化物として窒化チタン膜を１５ｎｍ、第３の透明
誘電体膜として酸化シリコン膜を５０ｎｍスパッタ法に
て成膜した。スパッタ成膜条件は実施例１および２と同
条件で行った。この構成での光学的特性は可視光線透過
率７０％で自動車用窓ガラスとして要求される十分な視
認性をもち日射透過率５８％で太陽光の熱線を十分に遮
断していた。また紫外線の遮断性能も、波長３８０ｎｍ
の透過率で７％以下であり有害な紫外線を十分に遮断し
ていた。
【００２８】実施例５ 本例では、実施例４と同様に第１および第２の透明誘電
体膜の成膜をゾルゲル法にて行った別の例について記
す。第１の透明誘電体膜として実施例４と同様の方法で
酸化亜鉛膜を７５０ｎｍ成膜した。次に第２の透明誘電
体膜として酸化チタンをゾルゲル法にて以下のように酸
化亜鉛膜の上に成膜した。まずテトライソプロポキシチ
タン３００ｍＬをエタノール２５００ｍＬ中に加え、こ
れにアセチンアセトン１００ｇを加えた溶液を８０℃で
1.5時間加熱、攪拌した。この後４０℃に冷却し、水１
８ｍＬを加えさらに７０℃で 1.5時間加熱、攪拌し、酸
化チタン用塗布液を得た。この塗布液にあらかじめ酸化
亜鉛が成膜された、透明ガラス基板を浸漬し、１０ｃｍ
／分の速度で引き上げ、酸化亜鉛の成膜された片面に塗
布膜を得た。この塗布膜を５００℃で３０分間電気炉に
て焼成し、さらに６５０℃で２分間焼成し、透明酸化亜
鉛膜上に酸化チタン膜５０ｎｍを得た。
体膜の成膜をゾルゲル法にて行った別の例について記
す。第１の透明誘電体膜として実施例４と同様の方法で
酸化亜鉛膜を７５０ｎｍ成膜した。次に第２の透明誘電
体膜として酸化チタンをゾルゲル法にて以下のように酸
化亜鉛膜の上に成膜した。まずテトライソプロポキシチ
タン３００ｍＬをエタノール２５００ｍＬ中に加え、こ
れにアセチンアセトン１００ｇを加えた溶液を８０℃で
1.5時間加熱、攪拌した。この後４０℃に冷却し、水１
８ｍＬを加えさらに７０℃で 1.5時間加熱、攪拌し、酸
化チタン用塗布液を得た。この塗布液にあらかじめ酸化
亜鉛が成膜された、透明ガラス基板を浸漬し、１０ｃｍ
／分の速度で引き上げ、酸化亜鉛の成膜された片面に塗
布膜を得た。この塗布膜を５００℃で３０分間電気炉に
て焼成し、さらに６５０℃で２分間焼成し、透明酸化亜
鉛膜上に酸化チタン膜５０ｎｍを得た。
【００２９】このようにゾルゲル法により酸化亜鉛膜、
酸化チタン膜を成膜した透明ガラス基板に第３層目の金
属窒化物として窒化チタン膜を１５ｎｍ、第３の透明誘
電体膜として酸化シリコン膜を５０ｎｍスパッタ法にて
成膜した。スパッタ成膜条件は実施例１および２と同条
件で行った。この構成での光学的特性は可視光線透過率
７０％で自動車用窓ガラスとして要求される十分な視認
性をもち日射透過率５７％で太陽光の熱線を十分に遮断
していた。また紫外線の遮断性能も、波長３８０ｎｍの
透過率で７％以下であり有害な紫外線を十分に遮断して
いた。
酸化チタン膜を成膜した透明ガラス基板に第３層目の金
属窒化物として窒化チタン膜を１５ｎｍ、第３の透明誘
電体膜として酸化シリコン膜を５０ｎｍスパッタ法にて
成膜した。スパッタ成膜条件は実施例１および２と同条
件で行った。この構成での光学的特性は可視光線透過率
７０％で自動車用窓ガラスとして要求される十分な視認
性をもち日射透過率５７％で太陽光の熱線を十分に遮断
していた。また紫外線の遮断性能も、波長３８０ｎｍの
透過率で７％以下であり有害な紫外線を十分に遮断して
いた。
【００３０】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明の紫外
線熱線遮断ウィンドウは、透明な基板上に基板側より第
１層として第１の透明誘電体膜、第２層として第１の透
明誘電体膜と異なる第２の透明誘電体膜、第３層として
金属または金属窒化物膜、第４層として第３の透明誘電
体膜が順次積層されて成るガラスを用いたことによって
赤外線熱線と紫外線を同時に遮断する性能が得られた。
線熱線遮断ウィンドウは、透明な基板上に基板側より第
１層として第１の透明誘電体膜、第２層として第１の透
明誘電体膜と異なる第２の透明誘電体膜、第３層として
金属または金属窒化物膜、第４層として第３の透明誘電
体膜が順次積層されて成るガラスを用いたことによって
赤外線熱線と紫外線を同時に遮断する性能が得られた。
【図１】本発明のウィンドウに用いられる紫外線熱線遮
断ガラスの断面図である。
断ガラスの断面図である。
１ ガラス基板 ２ 第１の透明誘電体膜 ３ 第２の透明誘電体膜 ４ 金属窒化物膜 ５ 第３の透明誘電体膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴田 格 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内 (72)発明者 西出 利一 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内 (72)発明者 篠田 眞人 神奈川県横浜市神奈川区宝町２番地 日産 自動車株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 透明な基板上に基板側より第１層として
第１の透明誘電体膜、第２層として第１の透明誘電体膜
と異なる第２の透明誘電体膜、第３層として金属または
金属窒化物膜、第４層として第３の透明誘電体膜が順次
積層されていることを特徴とする紫外線熱線遮断ウィン
ドウ。 - 【請求項２】 第１の透明誘電体膜としてセリウム、チ
タン、亜鉛、クロム、若しくはカドミウムの酸化物また
はこれらの複合酸化物およびこれらの酸化物に微量の金
属元素を添加した複合酸化物を使用したことを特徴とす
る請求項１記載の紫外線熱線遮断ウィンドウ。 - 【請求項３】 第２, 第３の透明誘電体膜としてシリコ
ン、チタン、アルミニウム、錫、ジルコニウム、タンタ
ル、クロム、ステンレス、若しくはニクロムの酸化物、
またはそれらの複合酸化物を使用したことを特徴とする
請求項１記載の紫外線熱線遮断ウィンドウ。 - 【請求項４】 第３層の金属または金属窒化物として白
金、金、銀、銅、チタン、クロム、アルミニウム、ニク
ロム、ステンレス、ジルコニウム、ハフニウム、タンタ
ルのいずれか１つまたはこれらの複合の金属あるいは窒
化物を使用したことを特徴とする請求項１，２または３
記載の紫外線熱線遮断ウィンドウ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5185095A JPH0743524A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 紫外線熱線遮断ウィンドウ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5185095A JPH0743524A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 紫外線熱線遮断ウィンドウ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743524A true JPH0743524A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16164762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5185095A Pending JPH0743524A (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | 紫外線熱線遮断ウィンドウ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743524A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000040402A1 (fr) * | 1998-12-28 | 2000-07-13 | Asahi Glass Company, Limited | Produit en couches |
| JP2009502479A (ja) * | 2005-07-26 | 2009-01-29 | ピルキングトン・ノースアメリカ・インコーポレイテッド | 銀フリー・低放射率の日照調整コーティング |
| EP1334869A3 (en) * | 2002-02-07 | 2010-01-13 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Vehicle operation supporting device and vehicle operation supporting system |
-
1993
- 1993-07-27 JP JP5185095A patent/JPH0743524A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000040402A1 (fr) * | 1998-12-28 | 2000-07-13 | Asahi Glass Company, Limited | Produit en couches |
| US7005189B1 (en) | 1998-12-28 | 2006-02-28 | Asahi Glass Company, Limited | Laminate and its production method |
| EP1334869A3 (en) * | 2002-02-07 | 2010-01-13 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Vehicle operation supporting device and vehicle operation supporting system |
| JP2009502479A (ja) * | 2005-07-26 | 2009-01-29 | ピルキングトン・ノースアメリカ・インコーポレイテッド | 銀フリー・低放射率の日照調整コーティング |
| JP4890548B2 (ja) * | 2005-07-26 | 2012-03-07 | ピルキングトン・ノースアメリカ・インコーポレイテッド | 銀フリー・低放射率の日照調整コーティング |
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