JPH0743317A - Apparatus for inspecting defects on sheet-like object - Google Patents

Apparatus for inspecting defects on sheet-like object

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JPH0743317A
JPH0743317A JP18595893A JP18595893A JPH0743317A JP H0743317 A JPH0743317 A JP H0743317A JP 18595893 A JP18595893 A JP 18595893A JP 18595893 A JP18595893 A JP 18595893A JP H0743317 A JPH0743317 A JP H0743317A
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JP
Japan
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sheet
unit
illumination
defect
defect inspection
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Application number
JP18595893A
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Japanese (ja)
Inventor
Seiichi Kato
清一 加藤
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Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide an apparatus for inspecting defects on a sheet-like object that can accurately detect any defects existing on the sheet-like object. CONSTITUTION:The apparatus is provided with an illumination part 10 for applying a linear illumination light 11 onto a sheet-like object 201, a camera part 20 which receives the reflecting lights generated through illuminating from the part 10 and converts them into electrical signals, and a processing part 30 which calculates their intensities based on the electrical signals sent from the part 20 and detects the defects on the object 201. In such an apparatus, an illumination light 11 of the part 10 is inclined to the feeding direction of the object 201 and is applied thereon.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、被検査物であるシー
ト状物に存在する欠陥を検査するシート状物の欠陥検査
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a sheet-like defect inspection apparatus for inspecting a defect existing in a sheet-like substance to be inspected.

【0002】[0002]

【従来の技術】シート状物を生産するとき、各種の欠陥
がシート状物の表面などに発生することがある。シート
状物の欠陥検査装置は、シート状物に発生するこれらの
欠陥を検査する。
2. Description of the Related Art When a sheet-like material is produced, various defects may occur on the surface of the sheet-like material. The defect inspection apparatus for sheet-like objects inspects these defects occurring in the sheet-like objects.

【0003】シート状物の欠陥検査装置には、次のよう
なものがある。ロールで送られて来るシート状物に光を
照射する。この照明による反射光を受光して、電気信号
に変換し、この電気信号から、シート状物の濃度を検出
する。もし、シート状物に欠陥が存在すれば、反射光が
変化するので、濃度が不均一となる。この濃度変化か
ら、欠陥を検出する。
There are the following types of defect inspection devices for sheet materials. The sheet-like material sent by the roll is irradiated with light. The reflected light from this illumination is received and converted into an electric signal, and the density of the sheet-like material is detected from this electric signal. If there is a defect in the sheet-like material, the reflected light changes and the density becomes non-uniform. Defects are detected from this change in density.

【0004】このようにして、シート状物の欠陥検査装
置は、シート状物に欠陥が存在するかどうかを検査す
る。このシート状物の欠陥検査装置が特開昭58ー16
0852号公報に示されている。このシート状物の欠陥
検査装置は、図10に示すように、ロール101がシー
ト状物201を送る。そして、ランプ102がシート状
物201の送り方向301に直角な方向から、かつ、シ
ート状物201に対して傾斜した方向から光を照射す
る。カメラ103が反射光を電気信号に変換し、処理回
路104がこの電気信号から反射光の濃度の変化を調べ
る。
In this way, the defect inspection apparatus for a sheet-like object inspects whether or not a defect exists in the sheet-like object. A defect inspection apparatus for this sheet-like material is disclosed in JP-A-58-16.
No. 0852. In this sheet defect inspection apparatus, as shown in FIG. 10, a roll 101 feeds a sheet 201. Then, the lamp 102 emits light from a direction perpendicular to the feeding direction 301 of the sheet 201 and a direction inclined with respect to the sheet 201. The camera 103 converts the reflected light into an electric signal, and the processing circuit 104 checks the change in the density of the reflected light from the electric signal.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、先に述べたシ
ート状物の欠陥検査装置、たとえば図10に示す装置に
は、次のような問題点がある。
However, the above-described sheet defect inspection apparatus, for example, the apparatus shown in FIG. 10, has the following problems.

【0006】この欠陥検査装置では、ランプ102が被
検査物であるシート状物201に光を照射し、処理回路
104が反射光の変化を検出する。シート状物201に
存在する欠陥には、図11(a)に示すような、シート
状物201の長手方向と平行なスジ状の欠陥202があ
る。このスジ状の欠陥202に対して、図11(b)の
A−A断面図に示すように、照明光102Aが入射する
と、反射光がスジ状の欠陥202の部分でほとんど変化
しない。このために、濃度がほぼ均一となり、スジ状の
欠陥202を検出しないか、または、シート状物201
の端部203で濃度の変化が発生し、スジ状の欠陥20
2を点状の欠陥として検出するときがある。この結果、
欠陥の検査精度が低下する。
In this defect inspection apparatus, the lamp 102 irradiates the sheet-like object 201, which is an object to be inspected, with light, and the processing circuit 104 detects a change in reflected light. The defects existing in the sheet 201 include a stripe defect 202 parallel to the longitudinal direction of the sheet 201 as shown in FIG. When the illumination light 102A is incident on the stripe-shaped defect 202 as shown in the AA cross-sectional view of FIG. 11B, the reflected light hardly changes at the stripe-shaped defect 202. For this reason, the density becomes almost uniform, and the stripe-shaped defect 202 is not detected, or the sheet-like material 201 is not detected.
A change in the density occurs at the edge portion 203 of the
2 may be detected as a dot defect. As a result,
Defect inspection accuracy is reduced.

【0007】また、ロール101などを用いてシート状
物201を送るとき、ロール101がモータ等で回転す
るので、振動が発生し、この振動でシート状物201が
上下に振動するときがある。このような振動が発生する
と、反射光に乱れが生じ、欠陥の検査精度が低下する。
Further, when the sheet-like material 201 is fed by using the roll 101 or the like, since the roll 101 is rotated by a motor or the like, vibration may occur and the vibration may cause the sheet-like material 201 to vertically vibrate. When such vibration occurs, the reflected light is disturbed, and the defect inspection accuracy deteriorates.

【0008】この発明の目的は、このような欠点を除
き、シート状物に存在する欠陥の検出精度を向上できる
シート状物の欠陥検査装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a defect inspection apparatus for a sheet-like material, which eliminates such defects and can improve the detection accuracy of defects existing in the sheet-like material.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】第1の発明は、その目的
を達成するため、シート状物に直線状の照明光を照射す
る照明部と、照明部の照明で発生する反射光を受光して
電気信号に変換するカメラ部と、カメラ部からの電気信
号から濃度を調べてシート状物の欠陥を検出する処理部
とを備えるシート状物の欠陥検査装置において、シート
状物の送り方向に対して照明部の照明光を傾斜させて照
射するようにした。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the object, a first aspect of the present invention receives an illuminating section for irradiating a sheet-like object with linear illuminating light and a reflected light generated by illuminating the illuminating section. In a sheet-like object defect inspection apparatus including a camera unit for converting the electric signal from the camera unit and a processing unit for detecting a defect in the sheet-like member by checking the density from the electric signal from the camera unit, in the sheet-like object feeding direction, On the other hand, the illumination light of the illumination unit was inclined and irradiated.

【0010】第2の発明は、シート状物に直線状の照明
光を照射する照明部と、照明部の照明で発生する反射光
を受光して電気信号に変換するカメラ部と、カメラ部か
らの電気信号から濃度を調べてシート状物の欠陥を検出
する処理部とを備えるシート状物の欠陥検査装置におい
て、照明部からの照明光が入射するシート状物の入射部
分を、照明光の入射方向と反対の側から、入射部分に沿
って張りを与える押圧部を有する。
According to a second aspect of the present invention, an illuminating section for irradiating a sheet-like object with linear illuminating light, a camera section for receiving reflected light generated by illumination of the illuminating section and converting it into an electric signal, and a camera section In the sheet-like object defect inspection apparatus including a processing unit that detects the density of the sheet-like object by checking the density from the electric signal of the sheet-like object, the incident portion of the sheet-like object on which the illumination light from the illumination unit enters From the side opposite to the incident direction, there is a pressing portion that applies tension along the incident portion.

【0011】[0011]

【作用】第1の発明により、照明部は、直線状の照明光
を傾斜して、かつ、シート状物に対して所定の入射角で
照射する。これにより、シート状物の長手方向にほぼ平
行なスジ状の欠陥が存在しても、照明光は、スジ状の欠
陥に対して斜めに入射する。この結果、スジ状の欠陥の
ところで、反射光が変化し、シート状物の長手方向にほ
ぼ平行なスジ状の欠陥を検出できる。
According to the first aspect of the invention, the illuminating section irradiates the linear illumination light with an inclination and irradiates the sheet-shaped object at a predetermined incident angle. Thereby, even if there are streak-shaped defects substantially parallel to the longitudinal direction of the sheet-like material, the illumination light is obliquely incident on the streak-shaped defects. As a result, the reflected light changes at the streak-like defect, and the streak-like defect substantially parallel to the longitudinal direction of the sheet-like material can be detected.

【0012】第2の発明により、照明光が入射するシー
ト状物の部分を押圧部が押圧し、シート状物に張りを与
える。これにより、シート状物を送るローラなどによ
る、シート状物の振動を防止できる。
According to the second aspect of the present invention, the pressing portion presses the portion of the sheet-shaped article on which the illumination light is incident, so that the sheet-shaped article is tensioned. As a result, it is possible to prevent the vibration of the sheet-like material due to the rollers that feed the sheet-like material.

【0013】[0013]

【実施例】次に、この発明の実施例を、図面を用いて説
明する。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.

【0014】図1は、この発明の一実施例を示す概略図
である。このシート状物の欠陥検査装置は、照明部1
0、カメラ部20、処理部30、出力部40および押圧
部50を備える。
FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention. The defect inspection apparatus for this sheet-like object is provided with an illumination unit 1.
0, a camera unit 20, a processing unit 30, an output unit 40, and a pressing unit 50.

【0015】シート状物の欠陥検査装置の照明部10
は、シート状物201に直線状の照明光11を照射す
る。このとき、照明部10は、図2に示すように、照明
光11を入射角θ1でシート状物201に照射する。入
射角θ1は、通常、30度から60度の範囲であるが、
この実施例では45度に設定されている。同時に、照明
部10は、図3に示すように、シート状物201の送り
方向301に対して角度θ2だけ傾斜して配置されてい
る。この実施例では45度に設定されている。照明部1
0としては、たとえば蛍光灯などがある。
Illumination unit 10 of the defect inspection apparatus for sheet-like material
Irradiates the sheet 201 with the linear illumination light 11. At this time, the illumination section 10 irradiates the sheet 201 with the illumination light 11 at an incident angle θ1 as shown in FIG. The incident angle θ1 is usually in the range of 30 degrees to 60 degrees,
In this embodiment, it is set to 45 degrees. At the same time, as shown in FIG. 3, the illumination section 10 is arranged so as to be inclined by an angle θ2 with respect to the feeding direction 301 of the sheet 201. In this embodiment, it is set to 45 degrees. Lighting unit 1
Examples of 0 include a fluorescent lamp.

【0016】カメラ部20は、受光素子としてラインC
CD(電荷結合素子)を備える。ラインCCDは、CC
Dを一列状態に配列した素子であり、シート状物201
からの直線状の反射光を受光して、この直線状の反射光
に対応する電気信号を発生する。この電気信号は、反射
光の白黒映像信号である。
The camera section 20 has a line C as a light receiving element.
A CD (charge coupled device) is provided. Line CCD is CC
The sheet-like material 201 is an element in which Ds are arranged in a line.
The linear reflected light from is received and an electric signal corresponding to the linear reflected light is generated. This electric signal is a black and white video signal of reflected light.

【0017】処理部30は、A/D(アナログ/デジタ
ル)変換器31と、画像メモリ32と、中央制御器33
とを備える。
The processing unit 30 includes an A / D (analog / digital) converter 31, an image memory 32, and a central controller 33.
With.

【0018】処理部30のA/D変換器31は、カメラ
部20からの白黒映像信号を、たとえば8ビット、25
6階調に量子化する。これにより、白黒映像信号をデジ
タル信号に変換する。
The A / D converter 31 of the processing section 30 converts the black and white video signal from the camera section 20 into 8 bits and 25 bits, for example.
Quantize to 6 gradations. As a result, the black and white video signal is converted into a digital signal.

【0019】画像メモリ32は、A/D変換器31から
のデジタル化された白黒映像信号を記憶する。
The image memory 32 stores the digitized monochrome video signal from the A / D converter 31.

【0020】中央制御器33は、内部にCPU(Centra
l Processing Unit)やROMを備え、ROM(図示を
省略)があらかじめ記憶する制御手順に従って、CPU
(図示を省略)が次のような処理をする。中央制御器3
3は、図4に示すように、画像メモリ32が記憶した白
黒映像信号により、送り方向301に対して各画素の濃
度値を所定数だけ積分する(ステップS1)。そして、
ステップS1で求めた積分値から各画素の平均値Ai
(たとえば、1≦i≦2048)を算出し(ステップS
2)、平均値Aiを送り方向301に垂直な一次元信号
とする。中央制御器33は、あらかじめ設定されている
しきい値Thと平均値Aiとを比較する(ステップS
3)。この比較結果が、平均値Ai>しきい値Thであ
れば、スジ状欠陥がない状態と判定し、正常を示す信号
を出力部40に出力する(ステップS4)。また、平均
値Ai≦しきい値Thであれば、スジ状欠陥が在ると判
定し、異常を示す信号を出力する(ステップS5)。
The central controller 33 has a CPU (Centra) inside.
l Processing Unit) and ROM, and the CPU follows a control procedure stored in advance in the ROM (not shown).
(Not shown) performs the following processing. Central controller 3
As shown in FIG. 4, 3 integrates the density value of each pixel in the feed direction 301 by a predetermined number based on the monochrome video signal stored in the image memory 32 (step S1). And
The average value Ai of each pixel is calculated from the integrated value obtained in step S1.
(For example, 1 ≦ i ≦ 2048) is calculated (step S
2) The average value Ai is a one-dimensional signal perpendicular to the feed direction 301. The central controller 33 compares the preset threshold Th with the average value Ai (step S
3). If the comparison result is the average value Ai> threshold value Th, it is determined that there is no streak-like defect, and a signal indicating normality is output to the output unit 40 (step S4). If the average value Ai ≦ threshold value Th, it is determined that there are streak defects and a signal indicating abnormality is output (step S5).

【0021】中央制御器33は、このような制御でスジ
状の欠陥の有無の判定をする。
The central controller 33 determines the presence or absence of streak-like defects by such control.

【0022】出力部40は、処理部30からの、正常ま
たは異常を示す信号により、シート状物201の検査状
態を表示する。このとき、検査結果に異常があれば、警
報を出すようにしてもよい。
The output unit 40 displays the inspection state of the sheet 201 by the signal from the processing unit 30 indicating normality or abnormality. At this time, if the inspection result is abnormal, an alarm may be issued.

【0023】押圧部50は、照明光11が入射するシー
ト状物201の反対側の部分から、このシート状物20
1を押圧して、シート状物201に張りを与える。押圧
部50の一例を図5,6に示す。なお、図6は、図5を
矢印302の方向から見た図である。
The pressing portion 50 is formed from the portion on the opposite side of the sheet-like material 201 on which the illumination light 11 is incident, from the sheet-like material 20.
1 is pressed to give tension to the sheet 201. An example of the pressing portion 50 is shown in FIGS. 6 is a diagram of FIG. 5 viewed from the direction of arrow 302.

【0024】この押圧部50は、照明光11が入射する
シート状物201の部分の反対側に設けられた台部51
を備える。台部51とシート状物201の間に、ボール
部52,52が互いに平行に、台部51に取り付けられ
ている。ボール部52,52は、シート状物201の送
り方向301に対して傾斜して設けられている。ボール
部52とボール部52との間の部分の反対側が、照明光
11が入射する部分である。各ボール部52は、保持具
53を備える。この保持具53が台部51に直接、取り
付けられる。各保持具53には、溝部分53Aが設けら
れ、溝部分53Aには、複数のボール54が回転自在に
置かれている。このとき、各ボール54は、シート状物
201に対して垂直方向303に、シート状物201を
押圧する。この結果、シート状物201は、垂直方向3
03にたわむ状態になる。
This pressing portion 50 is a base portion 51 provided on the opposite side of the portion of the sheet 201 on which the illumination light 11 is incident.
Equipped with. Ball portions 52, 52 are attached to the base portion 51 in parallel with each other between the base portion 51 and the sheet-like material 201. The ball portions 52, 52 are provided so as to be inclined with respect to the feeding direction 301 of the sheet 201. The opposite side of the portion between the ball portion 52 and the ball portion 52 is the portion on which the illumination light 11 is incident. Each ball portion 52 includes a holder 53. The holder 53 is directly attached to the base 51. Each holder 53 is provided with a groove portion 53A, and a plurality of balls 54 are rotatably placed in the groove portion 53A. At this time, each ball 54 presses the sheet 201 in the direction 303 perpendicular to the sheet 201. As a result, the sheet-like material 201 is
It will be in a state to bend to 03.

【0025】押圧部50は、このようにシート状物20
1を押圧する。
The pressing portion 50 is thus provided with the sheet-like material 20.
Press 1.

【0026】また、押圧部50として、次のようなもの
がある。この押圧部を図7,8に示す。なお、図8は、
図7を矢印304の方向から見た図である。この押圧部
は、押圧部50と同様に台部61を備える。台部61と
シート状物201の間に、ロール部62,62が互いに
平行状態に、台部61に取り付けられている。ロール部
62,62は、シート状物201の送り方向301に対
して傾斜して設けられている。ロール部62とロール部
62との間の部分の反対側が、照明光11が入射する部
分である。各ロール部62は、複数のロール63を備え
る。これらのロール63は、階段状に台部61に取り付
けられている。かつ、各ロール63は、支持具64で回
転可能に保持されている。この支持台64が、台部61
に取り付けられている。各ロール63は、シート状物2
01に対して垂直方向303に、シート状物201を押
圧する。
Further, as the pressing portion 50, there are the following ones. This pressing portion is shown in FIGS. In addition, in FIG.
FIG. 8 is a diagram of FIG. 7 viewed from a direction of an arrow 304. The pressing unit includes a base 61, like the pressing unit 50. Roll portions 62, 62 are attached to the base portion 61 between the base portion 61 and the sheet 201 in parallel with each other. The rolls 62, 62 are provided so as to be inclined with respect to the feeding direction 301 of the sheet 201. The opposite side of the portion between the roll portions 62 and 62 is the portion where the illumination light 11 enters. Each roll unit 62 includes a plurality of rolls 63. These rolls 63 are attached to the base 61 in a stepwise manner. Moreover, each roll 63 is rotatably held by a support 64. This support base 64 is the base 61
Is attached to. Each roll 63 has a sheet-like material 2
The sheet 201 is pressed in the direction 303 perpendicular to 01.

【0027】このような押圧部を用いてもよい。You may use such a pressing part.

【0028】次に、この実施例の動作について説明す
る。
Next, the operation of this embodiment will be described.

【0029】このシート状物201の長手方向に平行な
スジ状の欠陥がシート状物201に存在し、このスジ状
の欠陥が押圧部50のところまで来ると、照明部10
は、スジ状の欠陥に照明光11を照射する。このとき、
照明部10は、スジ状の欠陥に対して、入射角θ1(図
2)で、かつ、送り方向301に対して角度θ2(図
3)で、照明光11を照射する。この結果、図9に示す
ように、シート状物201のスジ状の欠陥202に対し
て、スジ状の欠陥202のエッジの部202Aで影1が
できる。
When the sheet-like object 201 has a stripe-like defect parallel to the longitudinal direction of the sheet-like object 201, and the stripe-like defect reaches the pressing portion 50, the illuminating section 10 is illuminated.
Illuminates the stripe-shaped defect with the illumination light 11. At this time,
The illumination unit 10 irradiates the stripe-shaped defect with the illumination light 11 at an incident angle θ1 (FIG. 2) and at an angle θ2 (FIG. 3) with respect to the feed direction 301. As a result, as shown in FIG. 9, a shadow 1 is formed on the stripe-shaped defect 202 of the sheet-like material 201 at the edge portion 202A of the stripe-shaped defect 202.

【0030】同時に、照明光11が当たる部分は、押圧
部50で押圧されるので、シート状物201が、送り用
のローラ(図示を省略)などで振動しても、押圧部50
のボール部52とボール部52との間のシート状物20
1は振動しない。
At the same time, the portion irradiated with the illumination light 11 is pressed by the pressing portion 50. Therefore, even if the sheet 201 vibrates by a feed roller (not shown) or the like, the pressing portion 50 is pressed.
Sheet-like object 20 between the ball portion 52 and the ball portion 52 of the
1 does not vibrate.

【0031】カメラ部20は、影1を含むと同時に乱れ
の無い反射光を受光し、白黒映像信号を処理部30に送
る。処理部30は、この白黒映像信号をA/D変換器3
1でデジタル信号に変換し、画像メモリ32は、このデ
ジタル信号を記憶する。中央制御器33は、画像メモリ
32が記憶している、デジタル化された白黒映像信号か
ら、スジ状欠陥の有無を検査する。そして、検査結果で
ある、正常または異常を示す信号を出力部40に出力す
る。出力部40は、検査状態を表示し、もし、検査結果
に異常があれば、警報などを出して、異常を知らせる。
The camera section 20 receives reflected light that includes the shadow 1 and is not disturbed, and sends a monochrome video signal to the processing section 30. The processing unit 30 converts the black-and-white video signal into the A / D converter 3
The image memory 32 stores the digital signal by converting it into a digital signal at 1. The central controller 33 inspects the presence or absence of streak defects from the digitized black and white video signal stored in the image memory 32. Then, a signal indicating normality or abnormality, which is the inspection result, is output to the output unit 40. The output unit 40 displays the inspection state, and if there is an abnormality in the inspection result, issues an alarm or the like to notify the abnormality.

【0032】このように、この実施例により、シート状
物201の長手方向に平行なスジ状の欠陥202が存在
しても、照明部10を傾斜しているので、スジ状の欠陥
202に影1を確実に発生できる。さらに、この実施例
により、シート状物201が振動しても、押圧部50が
シート状物201を押圧するので、押圧部50の部分の
シート状物201の振動を防止できる。この結果、この
実施例は、シート状物201の欠陥の検査精度を向上で
きる。
As described above, according to this embodiment, even if there are streak-shaped defects 202 parallel to the longitudinal direction of the sheet 201, since the illumination unit 10 is inclined, the streak-shaped defects 202 are shadowed. 1 can be reliably generated. Further, according to this embodiment, even if the sheet-like material 201 vibrates, the pressing portion 50 presses the sheet-like material 201, so that the vibration of the sheet-like material 201 at the portion of the pressing portion 50 can be prevented. As a result, this embodiment can improve the inspection accuracy of defects in the sheet 201.

【0033】なお、この実施例では、中央制御器33の
制御の中で、ステップS1で積分する画素数を調整すれ
ば、選出するスジ状の欠陥の長さを変えることができ
る。また、ステップS3で用いたしきい値Thの設定範
囲を変更すれば、スジ状の欠陥の検出レベルを変えるこ
とができる。
In this embodiment, the length of the streak-like defect to be selected can be changed by adjusting the number of pixels to be integrated in step S1 under the control of the central controller 33. Further, by changing the setting range of the threshold Th used in step S3, it is possible to change the detection level of the streak-like defect.

【0034】さらに、中央制御器33の制御で、しきい
値Thをあらかじめ設定しないで、一次元信号の平均値
にオフセットを加えた値を、しきい値としてもよい。
Further, under the control of the central controller 33, the threshold value Th may not be set in advance, and a value obtained by adding an offset to the average value of the one-dimensional signal may be used as the threshold value.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上、説明したように、第1の発明によ
り、スジ状の欠陥のところで、反射光が変化するので、
シート状物の長手方向にほぼ平行なスジ状の欠陥を検出
できる。これにより、このスジ状の欠陥を確実に検出す
るので、シート状物の検査精度を向上できる。
As described above, according to the first aspect of the invention, the reflected light changes at the streak-like defect.
It is possible to detect streak-like defects that are substantially parallel to the longitudinal direction of the sheet-shaped material. As a result, this line-shaped defect is surely detected, so that the inspection accuracy of the sheet-like material can be improved.

【0036】第2の発明により、シート状物を送るロー
ラなどにより、シート状物が振動することがない。これ
により、反射光の乱れを防ぐので、シート状物の検査精
度を向上できる。
According to the second aspect of the invention, the sheet-like material does not vibrate due to the rollers or the like for feeding the sheet-like material. As a result, the disturbance of the reflected light is prevented, so that the inspection accuracy of the sheet-like material can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of the present invention.

【図2】照明部の照明の様子を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing how the illumination unit illuminates.

【図3】照明部の照明の様子を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing how the illumination unit illuminates.

【図4】中央制御器の処理を示すフローチャートであ
る。
FIG. 4 is a flowchart showing a process of a central controller.

【図5】押圧部を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a pressing portion.

【図6】押圧部を示す図ある。FIG. 6 is a diagram showing a pressing portion.

【図7】押圧部の他の例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing another example of a pressing unit.

【図8】押圧部の他の例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing another example of a pressing unit.

【図9】欠陥の検査を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining a defect inspection.

【図10】従来のシート状物の欠陥検査装置を示す図で
ある。
FIG. 10 is a diagram showing a conventional defect inspection apparatus for a sheet-shaped material.

【図11】欠陥の検査を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a defect inspection.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 照明部 11 照明光 20 カメラ部 30 処理部 201 シート状物 10 Illumination unit 11 Illumination light 20 Camera unit 30 Processing unit 201 Sheet-like material

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 シート状物に直線状の照明光を照射する
照明部と、前記照明部の照明で発生する反射光を受光し
て電気信号に変換するカメラ部と、前記カメラ部からの
電気信号から濃度を調べて前記シート状物の欠陥を検出
する処理部とを備えるシート状物の欠陥検査装置におい
て、 前記シート状物の送り方向に対して前記照明部の照明光
を傾斜させて照射するようにしたことを特徴とするシー
ト状物の欠陥検査装置。
1. A lighting unit that irradiates a sheet-shaped object with linear illumination light, a camera unit that receives reflected light generated by the illumination of the lighting unit and converts it into an electric signal, and electricity from the camera unit. In a defect inspection device for a sheet-like object, comprising: a processing unit for detecting a defect from the signal to detect a defect in the sheet-like object, and irradiating the illumination light of the illumination unit with respect to a feeding direction of the sheet-like object. A defect inspection device for a sheet-like object, characterized in that
【請求項2】 シート状物に直線状の照明光を照射する
照明部と、前記照明部の照明で発生する反射光を受光し
て電気信号に変換するカメラ部と、前記カメラ部からの
電気信号から濃度を調べて前記シート状物の欠陥を検出
する処理部とを備えるシート状物の欠陥検査装置におい
て、 前記照明部からの照明光が入射する前記シート状物の入
射部分を、照明光の入射方向と反対の側から、前記入射
部分に沿って張りを与える押圧部を有することを特徴と
するシート状物の欠陥検査装置。
2. A lighting unit for irradiating a sheet-shaped object with linear illumination light, a camera unit for receiving reflected light generated by illumination of the lighting unit and converting it into an electric signal, and electricity from the camera unit. In a sheet-like material defect inspection apparatus including a processing unit that detects a density of a sheet-like material by detecting a density from a signal, an incident portion of the sheet-like material on which the illumination light from the illumination unit is incident is illuminated light. 2. A defect inspection apparatus for a sheet-like object, comprising: a pressing portion that applies tension along the incident portion from a side opposite to the incident direction.
【請求項3】 前記押圧部は、前記シート状物の入射部
分を挟むように配設された、それぞれが複数のボールを
備える2列のボール部を有することを特徴とする請求項
2記載のシート状物の欠陥検査装置。
3. The pressing portion has two rows of ball portions, each of which is provided so as to sandwich the incident portion of the sheet-shaped material, and has a plurality of balls. Defect inspection system for sheet materials.
【請求項4】 前記押圧部は、前記シート状物の入射部
分を挟むように配設された、それぞれが複数のロールを
備える2列のロール部を有することを特徴とする請求項
2記載のシート状物の欠陥検査装置。
4. The pressing section has two rows of roll sections each provided with a plurality of rolls, which are arranged so as to sandwich the incident portion of the sheet-like material. Defect inspection system for sheet materials.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08311268A (en) * 1995-05-19 1996-11-26 Mitsui Toatsu Chem Inc Polypropylene resin for capacitor-insulating film and method for evaluating the same
JP2006178573A (en) * 2004-12-21 2006-07-06 Dainippon Printing Co Ltd Image inputting device and method
JP2010230450A (en) * 2009-03-26 2010-10-14 Panasonic Electric Works Co Ltd Object surface inspection apparatus

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