JP7524717B2 - Inspection Equipment - Google Patents

Inspection Equipment Download PDF

Info

Publication number
JP7524717B2
JP7524717B2 JP2020182272A JP2020182272A JP7524717B2 JP 7524717 B2 JP7524717 B2 JP 7524717B2 JP 2020182272 A JP2020182272 A JP 2020182272A JP 2020182272 A JP2020182272 A JP 2020182272A JP 7524717 B2 JP7524717 B2 JP 7524717B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
defect
reflected light
area
determines
luminance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020182272A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2022072690A (en
Inventor
弘一 江川
優人 川島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp filed Critical Omron Corp
Priority to JP2020182272A priority Critical patent/JP7524717B2/en
Priority to PCT/JP2021/008484 priority patent/WO2022091444A1/en
Publication of JP2022072690A publication Critical patent/JP2022072690A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7524717B2 publication Critical patent/JP7524717B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

本発明は、検査装置に関する。 The present invention relates to an inspection device.

従来より、シート状の被検査物を光学的原理に基づいて検査する検査装置に関して、被検査物に対して近赤外線を含む帯域の光を照射する照明と、その帯域に含まれる第1の中心波長を有する光による被検査物からの反射光及び/又は透過光を受光することで第1の強度値画像データを取得する第1撮像部と、その帯域に含まれる第2の中心波長を有する光による被検査物からの反射光及び/又は透過光を受光することで第2の強度値画像データを取得する第2撮像部と、被検査物の表面の各測位点に対応する、第1の強度値画像データの画素の強度値と第2の強度値画像データの画素の強度値との比である相対強度を算出する信号処理部と、信号処理部により算出された相対強度に基づいて、被検査物に混在する異物を検出する異常検出部と、を備える異物検出システムが提案されていた(例えば、特許文献1参照)。 A foreign object detection system has been proposed for an inspection device that inspects a sheet-like object based on optical principles, which includes an illumination device that irradiates the object with light in a band including near-infrared light, a first imaging unit that acquires first intensity value image data by receiving reflected light and/or transmitted light from the object with light having a first central wavelength included in the band, a second imaging unit that acquires second intensity value image data by receiving reflected light and/or transmitted light from the object with light having a second central wavelength included in the band, a signal processing unit that calculates a relative intensity, which is the ratio between the intensity value of a pixel of the first intensity value image data and the intensity value of a pixel of the second intensity value image data corresponding to each positioning point on the surface of the object, and an anomaly detection unit that detects foreign objects mixed in the object based on the relative intensity calculated by the signal processing unit (see, for example, Patent Document 1).

特開2018-146251号公報JP 2018-146251 A

上記のようなシート状の被検査物を光学的原理に基づいて検査する検査装置においては、被検査物における異物を効率的に検出することが可能であるが、被検査物における欠陥を検出後、その欠陥の表面状態や表面形状を判定することは困難である。 In an inspection device that inspects sheet-like objects based on optical principles, such as those described above, it is possible to efficiently detect foreign objects in the object, but after detecting a defect in the object, it is difficult to determine the surface condition or surface shape of the defect.

そこで、本発明では、上記の欠陥の表面状態や表面形状の判定の問題に鑑みて、欠陥の発生箇所を検出した後、その欠陥を情報処理する方法を改善し、提供する。そして、情報処理の結果から、欠陥の表面状態や表面形状、欠陥の種類に係る詳細な情報を取得可能とすることを最終的な目的とする。 Therefore, in this invention, in consideration of the above-mentioned problem of determining the surface condition and surface shape of a defect, we improve and provide a method of detecting the location of the defect and then processing the information about the defect. The ultimate objective is to make it possible to obtain detailed information about the surface condition, surface shape, and type of defect from the results of the information processing.

上記の課題を解決するための本発明は、
被検査物に照射光を照射する照明と、
前記被検査物における欠陥からの、前記照射光の反射光を受光して撮像する撮像部と、
前記撮像部において受光された前記反射光の輝度と所定の閾値との比較結果に基づいて、前記欠陥の領域を判定する情報処理部と、
を備えた検査装置であって、
前記情報処理部は、前記欠陥の領域内における前記反射光の輝度の分布に基づいて、前記欠陥の特性を判定することを特徴とする、検査装置である。
本発明によれば、撮像部において被検査物における欠陥の発生箇所を検出すると共に、その欠陥の外形や大きさに加えて、表面状態や表面形状の情報を取得することが可能である。その結果、情報処理部においてその欠陥の種類を判定することが可能である。
To solve the above problems, the present invention provides:
An illumination device for irradiating the object to be inspected with irradiation light;
an imaging unit that receives reflected light of the irradiation light from a defect in the object to be inspected and captures an image;
an information processing unit that determines an area of the defect based on a result of comparing the luminance of the reflected light received by the imaging unit with a predetermined threshold value;
An inspection device comprising:
The information processing unit is an inspection device that determines characteristics of the defect based on a distribution of luminance of the reflected light within the defect area.
According to the present invention, the imaging section can detect the location of a defect in an object to be inspected, and can obtain information on the surface condition and shape of the defect in addition to the outer shape and size of the defect, which allows the information processing section to determine the type of the defect.

また、本発明においては、前記情報処理部は、前記反射光の輝度のばらつきによって、前記欠陥の表面の粗さを判定することを特徴とする、検査装置としてもよい。これによれば、非接触により欠陥の表面の粗さの判定を行うことができる。そのため、より容易または早い測定時間で表面の粗さの判定が可能である。また、被検査物の表面に接触による傷
を生じさせるリスクも無い。
In addition, in the present invention, the inspection device may be characterized in that the information processing unit determines the surface roughness of the defect based on the variation in brightness of the reflected light. This allows the surface roughness of the defect to be determined without contact. Therefore, it is possible to determine the surface roughness more easily or in a shorter measurement time. In addition, there is no risk of causing scratches on the surface of the object to be inspected due to contact.

また、本発明においては、前記情報処理部は、前記反射光の輝度のばらつきの指標値が所定の規格値より大きい場合に、前記欠陥を金属異物と判定し、前記ばらつきの指標値が前記規格値以下の場合に、非金属異物と判定することを特徴とする、検査装置としてもよい。これによれば、より容易またはより早い測定時間で、金属異物と非金属異物の判定をすることができる。金属異物が重大欠陥につながる被検査物を検査する場合、被検査物における欠陥が金属異物か非金属異物かを判定することは、その重大欠陥を未然に防止するうえで有用である。ここで、はらつきの指標値とは、ばらつきを統計的に数値化した値であって、標準偏差、分散の他、最大値と最小値の差、平均差等を意味する。 In addition, in the present invention, the information processing unit may be an inspection device that judges the defect to be a metallic foreign body when the index value of the luminance variation of the reflected light is greater than a predetermined standard value, and judges the defect to be a non-metallic foreign body when the index value of the luminance variation is equal to or less than the standard value. This makes it possible to judge whether a foreign body is metallic or non-metallic more easily or in a shorter measurement time. When inspecting an object in which metallic foreign bodies may lead to serious defects, it is useful to determine whether a defect in the object is a metallic foreign body or a non-metallic foreign body in order to prevent the serious defects from occurring. Here, the index value of the variance is a statistically quantified value of the variance, and means standard deviation, variance, difference between maximum and minimum values, average difference, etc.

また、本発明においては、前記情報処理部は、前記欠陥の領域内における前記反射光の輝度と、前記閾値とは異なる一または複数の補助閾値とを比較し、前記欠陥の領域内において、同一の比較結果が得られた補助領域の大きさまたは形状に基づいて、前記欠陥の特性を判定することを特徴とする、検査装置としてもよい。これによれば、欠陥に係る表面形状を含む特性に関するより詳細な情報を取得することが可能である。欠陥が汚れや表面上異物である場合、その欠陥に係る詳細な情報を取得することで、異物発生の予防に活用することが可能である。 In addition, in the present invention, the inspection device may be characterized in that the information processing unit compares the brightness of the reflected light in the defect area with one or more auxiliary thresholds different from the threshold, and determines the characteristics of the defect based on the size or shape of the auxiliary area in the defect area where the same comparison result is obtained. This makes it possible to obtain more detailed information about the characteristics, including the surface shape, of the defect. If the defect is a stain or a foreign object on the surface, obtaining detailed information about the defect can be used to prevent the occurrence of foreign objects.

また、本発明においては、前記情報処理部は、前記欠陥の領域と前記補助領域の面積比率に基づいて、前記欠陥の特性を決定する、検査装置としてもよい。これによれば、例えば表面が比較的平坦な欠陥か、表面に急峻な凹凸を有する欠陥か等の特性を、より容易に判定することが可能である。 In the present invention, the information processing unit may be an inspection device that determines the characteristics of the defect based on the area ratio of the defect region to the auxiliary region. This makes it easier to determine characteristics such as whether the defect has a relatively flat surface or a surface with steep irregularities.

また、本発明においては、前記情報処理部は、前記補助領域と、前記欠陥の領域との面積比率が所定の第二規格値より小さい場合に、前記欠陥を金属異物と判定し、前記面積比率が前記第二規格値以上である場合に、前記欠陥を非金属異物と判定することを特徴とする、検査装置としてもよい。ここで、一般的には、金属異物の場合は、反射光強度の分布は、非金属異物の場合と比較して、欠陥の領域における中央部の反射光強度が大きく、比較的急峻なピークを有するような分布となる。よって、情報処理部が、前記補助領域と、前記欠陥の領域との面積比率が所定の第二規格値より小さい場合に、前記欠陥を金属異物と判定し、前記面積比率が前記第二規格値以上である場合に、前記欠陥を非金属異物と判定することで、より容易またはより早い測定時間で、金属異物と非金属異物の判定をすることができる。 In addition, in the present invention, the inspection device may be characterized in that the information processing unit judges the defect to be a metallic foreign body when the area ratio between the auxiliary region and the defect region is smaller than a predetermined second standard value, and judges the defect to be a non-metallic foreign body when the area ratio is equal to or greater than the second standard value. Generally, in the case of a metallic foreign body, the distribution of reflected light intensity is greater in the center of the defect region than in the case of a non-metallic foreign body, and has a relatively steep peak. Therefore, by the information processing unit judging the defect to be a metallic foreign body when the area ratio between the auxiliary region and the defect region is smaller than a predetermined second standard value, and judging the defect to be a non-metallic foreign body when the area ratio is equal to or greater than the second standard value, it is possible to judge whether the foreign body is a metallic foreign body or a non-metallic foreign body more easily or in a shorter measurement time.

また、本発明においては、前記被検査物は、所定の巻き取り機構で巻き取られることにより、前記照明による照明箇所に対して一方向に移動するシート状物品であり、前記照明は前記一方向に垂直な方向に照明素子が並べられたライン型照明であり、前記情報処理部は、前記ライン型照明からのライン状の照明光の反射光の時間的変化から、前記欠陥の領域、及び前記欠陥の領域内における前記反射光の輝度の分布を取得する、検査装置としてもよい。 In addition, in the present invention, the inspection device may be a sheet-like object that moves in one direction relative to the location illuminated by the light by being wound up by a predetermined winding mechanism, the light is a line-type light having lighting elements arranged in a direction perpendicular to the one direction, and the information processing unit acquires the defect area and the distribution of brightness of the reflected light within the defect area from the temporal change in the reflected light of the line-type illumination light from the line-type light.

本発明によれば、撮像部を通じて得られた、欠陥からの反射光の情報に基づき、被検査物における欠陥の表面状態や表面形状を判定し、欠陥に係る詳細な情報を取得することが可能となる。 According to the present invention, it is possible to determine the surface condition and surface shape of a defect in an inspected object based on information about the reflected light from the defect obtained through the imaging unit, and obtain detailed information about the defect.

実施例1に係るシート検査装置のブロック図である。1 is a block diagram of a sheet inspection device according to a first embodiment. 実施例1に係る処理装置における欠陥の種類の判定プロセスについて説明するための模式図である。5A to 5C are schematic diagrams for explaining a process of determining a type of a defect in the processing apparatus according to the first embodiment. 実施例2に係る二つ設けた閾値を用いて、被検査物における欠陥が金属異物か非金属異物かを判定する例について示す模式図である。13 is a schematic diagram showing an example of determining whether a defect in an object to be inspected is a metallic foreign matter or a non-metallic foreign matter by using two threshold values according to the second embodiment. FIG.

〔適用例〕
本適用例における検査装置は、検査光学系として、シート状の被検査物における欠陥に向けて照射光を照射する照明と、該欠陥からの、照射光の反射光を受光して撮像する撮像部を用いて、被検査物における欠陥の発生箇所、及び外形形状を検出するものである。そして、情報処理部において、反射光の輝度値の分布に基づき、被検査物における欠陥の表面状態や表面形状を判定することが可能である仕組みを有する。
[Application example]
The inspection device in this application example detects the location and outer shape of the defect in the inspected object by using an inspection optical system that includes an illumination unit that irradiates irradiation light toward the defect in the sheet-like inspected object and an imaging unit that receives and images the reflected light of the irradiation light from the defect. The information processing unit has a mechanism that can determine the surface condition and surface shape of the defect in the inspected object based on the distribution of the luminance values of the reflected light.

撮像部が被検査物の各場所からの反射光を受光して輝度値を取得する。そして、情報処理部において、欠陥の各場所からの反射光の輝度値に関する情報が欠陥の特性の判定に用いられる。ここで、欠陥の特性とは、欠陥の表面の粗さの指標となる欠陥表面状態と、欠陥の表面積や厚みの指標となる欠陥形状の他、欠陥の種類のことを示す。欠陥の特性については、図2や図3に示すように、輝度情報を画像化し、画像における各画素に異なる色等を付与することで可視化してもよい。そうすれば、欠陥の特性に係る情報を視覚的に得ることが容易である。 The imaging unit receives reflected light from each location on the object to obtain a luminance value. Then, in the information processing unit, information related to the luminance value of the reflected light from each location on the defect is used to determine the characteristics of the defect. Here, the characteristics of the defect refer to the defect surface condition, which is an index of the roughness of the defect surface, the defect shape, which is an index of the surface area and thickness of the defect, and the type of defect. The characteristics of the defect may be visualized by imaging the luminance information and assigning a different color or the like to each pixel in the image, as shown in Figures 2 and 3. This makes it easy to visually obtain information related to the characteristics of the defect.

欠陥表面状態は、反射光の輝度値のばらつきによって判定される。図2に示すように、反射光の輝度値と所定の二値化閾値との比較結果に基づいて、異物が存在する領域が特定可能である。そして、その領域内の各画素における輝度値のばらつきの指標値(例えば、標準偏差)を算出する。ここで、欠陥が金属異物か非金属異物かの判定において、一般的に金属は非金属と比べて反射光の分布のばらつきが大きいため、各画素における輝度値のばらつきの指標値が、所定の規格値より大きい場合は金属異物と判定し、所定の規格値以下の場合は非金属異物と判定する。 The surface condition of a defect is determined by the variation in the brightness value of the reflected light. As shown in Figure 2, the area where a foreign object exists can be identified based on the result of comparing the brightness value of the reflected light with a predetermined binarization threshold. Then, an index value (e.g., standard deviation) of the variation in the brightness value of each pixel in that area is calculated. Here, when determining whether a defect is a metallic foreign object or a non-metallic foreign object, since metals generally have a larger variation in the distribution of reflected light than non-metals, if the index value of the variation in the brightness value of each pixel is greater than a predetermined standard value, it is determined to be a metallic foreign object, and if it is equal to or less than the predetermined standard value, it is determined to be a non-metallic foreign object.

欠陥形状は、閾値を複数設け、輝度値と複数の閾値との比較結果によって判定されるようにしてもよい。例えば、図3に示すように、閾値を二つ設けることにより、撮像画像において二段階の反射光の輝度値の分布が得られた場合には、第一の閾値より小さい範囲の輝度値を示す画素数に対する、第二の閾値より小さい輝度値を示す画素数の比を画素割合とする。そして、この画素割合によって、例えば表面が比較的平坦な欠陥か、表面に急峻な凹凸を有する欠陥か等の表面の特性を判定する。また、欠陥が金属異物か非金属異物かの判定において、一般的に金属は非金属と比べて画素割合が小さいため、画素割合が、所定の第二規格値より小さい場合は金属異物と判定し、所定の第二規格値以上の場合は非金属異物と判定する。 The defect shape may be determined by comparing the brightness value with multiple thresholds by providing multiple thresholds. For example, as shown in FIG. 3, when a two-stage distribution of the brightness values of reflected light is obtained in the captured image by providing two thresholds, the pixel ratio is the ratio of the number of pixels showing brightness values smaller than the second threshold to the number of pixels showing brightness values in a range smaller than the first threshold. Then, based on this pixel ratio, the surface characteristics, such as whether the defect has a relatively flat surface or a surface with steep irregularities, are determined. In addition, in determining whether a defect is a metallic foreign object or a non-metallic foreign object, since metals generally have a smaller pixel ratio than non-metals, a pixel ratio smaller than a predetermined second standard value is determined to be a metallic foreign object, and a pixel ratio equal to or greater than the predetermined second standard value is determined to be a non-metallic foreign object.

なお、被検査物がシート状の物品の場合は、巻き取り機構で巻き取られることで、所定の一方向に移動するようにしてもよい。その際、照明に関しては、複数の照明素子が一列に並んでおり、それらが並んでいる方向は、被検査物が移動する方向に対して垂直としてもよい。 If the object to be inspected is a sheet-like item, it may be wound up by a winding mechanism so that it moves in a predetermined direction. In this case, with regard to illumination, multiple lighting elements may be arranged in a row, and the direction in which they are arranged may be perpendicular to the direction in which the object to be inspected moves.

〔実施例1〕
以下、本発明の実施例1に係るシート検査装置について、図面を用いて詳細に説明する。なお、本発明に係るシート検査装置は、以下の構成に限定する趣旨のものではない。
Example 1
A sheet inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. Note that the sheet inspection apparatus according to the present invention is not limited to the following configuration.

<装置構成>
図1は、実施例1に係るシート検査装置1のブロック図である。シート検査装置1は、シート状の被検査物2における欠陥の発生箇所を検出するため、検査光学系の構成要素と
して光源3と撮像装置4を有する。被検査物2としては、紙、フィルム、樹脂、セルロース等を例示できる。光源3は、被検査物2における欠陥に向けて、例えば波長領域が610~750nm程度の赤色可視光である照射光5を照射し、撮像装置4は、該欠陥からの、照射光5の反射光6を受光して撮像する。ここで、反射光6は、照射光5が被検査物2上で拡散反射した拡散反射光である(以下、単に反射光と記載する。)。反射光6を発する欠陥の種類は、例えば汚れや表面上異物である。被検査物2は、巻き取り機構2A、2Bで巻き取られることにより、図1の矢印の向きに移動する。光源3は複数の光源素子が一列に並んでおり、それらが並んでいる方向は、図1の矢印の向きに対して垂直である。ここで、シート検査装置1は、本発明における検査装置に相当する。また、光源3は、本発明における照明に相当する。また、撮像装置4は、本発明における撮像部に相当する。
<Device Configuration>
FIG. 1 is a block diagram of a sheet inspection apparatus 1 according to a first embodiment. The sheet inspection apparatus 1 has a light source 3 and an imaging device 4 as components of an inspection optical system to detect the location of defects in a sheet-like inspection object 2. Examples of the inspection object 2 include paper, film, resin, and cellulose. The light source 3 irradiates a defect in the inspection object 2 with irradiation light 5, which is red visible light having a wavelength range of about 610 to 750 nm, and the imaging device 4 receives a reflected light 6 of the irradiation light 5 from the defect to capture an image. Here, the reflected light 6 is diffuse reflection light in which the irradiation light 5 is diffusely reflected on the inspection object 2 (hereinafter, simply referred to as reflected light). The type of defect that emits the reflected light 6 is, for example, dirt or a foreign object on the surface. The inspection object 2 moves in the direction of the arrow in FIG. 1 by being wound up by the winding mechanisms 2A and 2B. The light source 3 has a plurality of light source elements arranged in a row, and the direction in which they are arranged is perpendicular to the direction of the arrow in FIG. 1. Here, the sheet inspection apparatus 1 corresponds to the inspection apparatus in the present invention, the light source 3 corresponds to the illumination in the present invention, and the imaging device 4 corresponds to the imaging section in the present invention.

調整装置7は、照射光5の光量を調節する光量調節部71と、撮像装置4における反射光6の強度に対する出力信号のゲインを調節するゲイン調節部72を備えており、光源3から撮像装置4に入射した光により得られる出力信号の大きさを調節する。ここで、光量調節部71及び/又はゲイン調節部72の調節は、手動で行ってもよいし、自動で行われるようにしてもよい。 The adjustment device 7 includes a light amount adjustment unit 71 that adjusts the amount of light of the irradiated light 5, and a gain adjustment unit 72 that adjusts the gain of the output signal relative to the intensity of the reflected light 6 in the imaging device 4, and adjusts the magnitude of the output signal obtained from the light incident on the imaging device 4 from the light source 3. Here, the adjustment of the light amount adjustment unit 71 and/or the gain adjustment unit 72 may be performed manually or automatically.

処理装置8は、撮像装置4から出力される撮像データを処理する、信号処理部81を有する。信号処理部81は、撮像装置4から出力された1ライン分(4096画素)の信号に対して受光素子ごとの出力レベルのばらつきを補正し、出力レベルを均一化する。なお、信号処理部81は、撮像装置4から出力された各画素における出力をそのまま輝度値としてもよいし、各画素における出力に基づいて輝度比を計算し、これを輝度値としてもよい。ここで、輝度比とは、撮像装置4からの各画素における出力を、被検査物2に欠陥が無い状態での出力で除算した値のことである。ここで、処理装置8は、本発明における情報処理部に相当する。 The processing device 8 has a signal processing unit 81 that processes the imaging data output from the imaging device 4. The signal processing unit 81 corrects the variation in output level for each light receiving element for one line (4096 pixels) of signals output from the imaging device 4, and equalizes the output level. The signal processing unit 81 may directly use the output of each pixel output from the imaging device 4 as the luminance value, or may calculate a luminance ratio based on the output of each pixel and use this as the luminance value. Here, the luminance ratio is the value obtained by dividing the output of each pixel from the imaging device 4 by the output when the object to be inspected 2 has no defects. Here, the processing device 8 corresponds to the information processing unit in the present invention.

また、処理装置8は、被検査物2に含まれる欠陥の発生箇所を検出する異常検出部82と、異常検出に用いる検出閾値を記憶する検出閾値記憶部82Aと、を備えている。検出閾値記憶部82Aに記憶されている検出閾値は、被検査物2の種類やユーザが設定した検査基準等によって決まる。異常検出部82においては、信号処理部81において処理された後の、各画素における輝度値が検出閾値以下である場合に、その画素に相当する位置を、欠陥と判定する。一般的に、実際に欠陥が存在する場合には、欠陥と判定される画素が複数集まって領域を形成するので、この画素の集合による領域の外形を、欠陥の外形と判断することが可能である。ここで、検出閾値は、本発明における閾値に相当する。 The processing device 8 also includes an anomaly detection unit 82 that detects the location of defects contained in the object 2, and a detection threshold memory unit 82A that stores a detection threshold used for anomaly detection. The detection threshold stored in the detection threshold memory unit 82A is determined by the type of object 2 and the inspection criteria set by the user. In the anomaly detection unit 82, if the luminance value of each pixel after processing in the signal processing unit 81 is equal to or lower than the detection threshold, the position corresponding to that pixel is determined to be defective. Generally, when a defect actually exists, a plurality of pixels determined to be defective gather together to form an area, and it is possible to determine the outline of the area formed by this collection of pixels as the outline of the defect. Here, the detection threshold corresponds to the threshold in the present invention.

さらに、処理装置8は、欠陥が検出されたときにその欠陥の種類を判定する判定部83と、欠陥の種類を判定する処理に用いる複数の判定閾値を記憶する判定閾値記憶部83Aを備えている。判定部83は、異常検出部82において欠陥と判定された領域内の各画素における輝度値の分布の類型と、欠陥の種類との対応関係を予め規定しており、欠陥と判定された領域内の画素の輝度値の分布がいずれの類型に該当するか判断することにより、欠陥の種類を判定する。 The processing device 8 further includes a determination unit 83 that determines the type of defect when a defect is detected, and a determination threshold storage unit 83A that stores a number of determination thresholds used in the process of determining the type of defect. The determination unit 83 predefines the correspondence between the type of defect and the type of distribution of luminance values for each pixel in an area determined to be defective by the anomaly detection unit 82, and determines the type of defect by determining which type the distribution of luminance values for pixels in an area determined to be defective falls into.

出力部84は、欠陥の発生箇所と種類に関する情報を出力する。情報の出力先は、典型的には表示装置であるが、印刷装置に対して情報を出力したり、スピーカーからメッセージや警報を出力したり、ユーザ(検査者)の端末に電子メール等でメッセージを送信したり、外部のコンピュータに対して情報を送信したりしてもよい。欠陥の発生箇所と種類に関する情報を出力することにより、ユーザは発生した欠陥の内容を具体的に把握することができ、それを欠陥とすべきかどうかの判断や、生産設備の製造条件や運転条件へのフィードバック等に役立てることが可能である。 The output unit 84 outputs information regarding the location and type of defect. The information is typically output to a display device, but it may also be output to a printing device, a message or warning may be output from a speaker, a message may be sent by email or the like to a user's (inspector's) terminal, or information may be sent to an external computer. By outputting information regarding the location and type of defect, the user can specifically grasp the content of the defect that has occurred, which can be useful for determining whether it should be treated as a defect, and for providing feedback to the manufacturing conditions and operating conditions of the production equipment.

図2は、本実施例に係る処理装置8における欠陥の種類の判定プロセスについて説明するための模式図である。この例では、反射光6を受光した撮像装置4は、被検査物2における欠陥を撮像し、処理装置8において、欠陥と判定された画素9の集合による、欠陥の領域9Aが検出される。図2には、各画素9における輝度値と二値化閾値との比較結果と、欠陥の領域9Aとの関係を示す。撮像画像においてハッチングが施された画素9の集合が欠陥の領域9Aに相当する。そして、この欠陥の領域9A内の各画素9における輝度値の標準偏差が算出される。各画素9に対して取得された標準偏差は、例えばその標準偏差の範囲毎に色や模様が付与されることで、出力部84によって画像化して出力されるようにしてもよい。ここで、二値化閾値は、本発明における閾値に相当する。 Figure 2 is a schematic diagram for explaining the process of determining the type of defect in the processing device 8 according to this embodiment. In this example, the imaging device 4 that receives the reflected light 6 images the defect in the inspection object 2, and the processing device 8 detects a defective area 9A by a set of pixels 9 that are determined to be defective. Figure 2 shows the relationship between the comparison result of the luminance value of each pixel 9 and the binarization threshold and the defective area 9A. The set of pixels 9 that are hatched in the captured image corresponds to the defective area 9A. Then, the standard deviation of the luminance values of each pixel 9 in this defective area 9A is calculated. The standard deviation obtained for each pixel 9 may be imaged and output by the output unit 84, for example, by adding a color or pattern to each range of the standard deviation. Here, the binarization threshold corresponds to the threshold in the present invention.

ここで、図2(a)、(b)はそれぞれ、金属と非金属における反射光6の輝度値の分布のプロファイルイメージを示す。一般的に、金属は非金属と比べて反射光6の輝度値の分布のばらつきが大きいため、反射光6の分布の標準偏差が、所定の規格値より大きい場合は被検査物2における欠陥を金属異物と判定し、所定の規格値以下の場合は被検査物2における欠陥を非金属異物と判定する。このようにして、欠陥が金属異物か非金属異物かの判定が可能であり、被検査物2における欠陥が生じた要因を推測するうえで有用である。また、反射光6の輝度値の分布の標準偏差に基づいて、欠陥が金属異物か非金属異物かの判定の他、欠陥の表面粗さについても検出が可能である。また、本実施例においては、反射光6の輝度値のばらつきを数値化した指標値として、標準偏差を用いる例について説明したが、反射光6の輝度値のばらつきの指標値としては、標準偏差の他、分散、最大値と最小値の差、平均差等を適宜用いることができる。 2(a) and (b) show profile images of the distribution of the luminance values of the reflected light 6 for metals and nonmetals, respectively. Generally, the distribution of the luminance values of the reflected light 6 for metals varies more than that for nonmetals. Therefore, if the standard deviation of the distribution of the reflected light 6 is greater than a predetermined standard value, the defect in the object 2 to be inspected is judged to be a metallic foreign body, and if it is equal to or less than the predetermined standard value, the defect in the object 2 to be inspected is judged to be a nonmetallic foreign body. In this way, it is possible to judge whether the defect is a metallic foreign body or a nonmetallic foreign body, which is useful for inferring the cause of the defect in the object 2 to be inspected. In addition, based on the standard deviation of the distribution of the luminance values of the reflected light 6, it is also possible to detect the surface roughness of the defect in addition to judging whether the defect is a metallic foreign body or a nonmetallic foreign body. In this embodiment, an example in which the standard deviation is used as an index value that quantifies the variation in the luminance values of the reflected light 6 has been described, but as an index value for the variation in the luminance values of the reflected light 6, in addition to the standard deviation, the variance, the difference between the maximum value and the minimum value, the average difference, etc. can be appropriately used.

〔実施例2〕
次に、本発明の実施例2について説明する。実施例1では、反射光6の輝度値に対して、所定の閾値(二値化閾値)を設けることで、欠陥の領域9Aを検出し、欠陥の領域9Aにおける各画素9の輝度値の分布の標準偏差を算出し、標準偏差の大きさによって金属異物と非金属異物を判定する例について説明した。これに対して実施例2では、反射光の輝度値に対して、所定の閾値を二つ設けることで、欠陥の領域内における各画素の輝度値を二段階に分割し、欠陥の領域全体に対する、分割された領域の面積比(または画素数比)によって、当該欠陥が金属異物か非金属異物かを判定する例について説明する。
Example 2
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the first embodiment, a predetermined threshold (binarization threshold) is set for the luminance value of the reflected light 6 to detect a defective region 9A, a standard deviation of the distribution of the luminance values of each pixel 9 in the defective region 9A is calculated, and a metallic foreign body or a non-metallic foreign body is determined based on the magnitude of the standard deviation. In contrast, in the second embodiment, two predetermined thresholds are set for the luminance value of the reflected light to divide the luminance value of each pixel in the defective region into two stages, and whether the defect is a metallic foreign body or a non-metallic foreign body is determined based on the area ratio (or pixel number ratio) of the divided regions to the entire defective region.

図3は、実施例2に係る二つ設けた閾値を用いて、被検査物における欠陥が金属異物か非金属異物かを判定する例について示す模式図である。ここで、二段階に設けた閾値のうち、値がより大きい(より地合に近い)閾値を第一の閾値、値がより小さい(より暗ピーク値に近い)閾値を第二の閾値とする。処理装置において、反射光の輝度値が第一の閾値より小さく第二の閾値以上である場合には、欠陥と判定された画素91の集合による、第一領域91Aが検出される。また、反射光の輝度値が第二の閾値より小さい場合には、同様に第二領域91Bが検出される。そして、欠陥の領域全体(第一領域91A+第二領域91B)に対する、第二領域91Bの面積比率を算出する。以下、この面積比率を画素割合と記載する。ここで、第二の閾値は、本発明における補助閾値に相当し、第二領域91Bは、本発明における補助領域に相当する。なお、画素割合に基づく欠陥の特性の判定については、該欠陥が金属異物か非金属異物かを判定する例に限らない。材質が同じ欠陥であって、表面形状の特性が異なるものについて判定することも可能である。 Figure 3 is a schematic diagram showing an example of determining whether a defect in an object to be inspected is a metallic foreign body or a non-metallic foreign body using two thresholds according to the second embodiment. Here, the threshold with the larger value (closer to the texture) of the two thresholds is set as the first threshold, and the threshold with the smaller value (closer to the dark peak value) is set as the second threshold. In the processing device, when the luminance value of the reflected light is smaller than the first threshold and equal to or greater than the second threshold, a first region 91A is detected, which is a set of pixels 91 determined to be defective. Also, when the luminance value of the reflected light is smaller than the second threshold, a second region 91B is similarly detected. Then, the area ratio of the second region 91B to the entire region of the defect (first region 91A + second region 91B) is calculated. Hereinafter, this area ratio is referred to as the pixel ratio. Here, the second threshold corresponds to the auxiliary threshold in the present invention, and the second region 91B corresponds to the auxiliary region in the present invention. Note that the determination of the characteristics of the defect based on the pixel ratio is not limited to the example of determining whether the defect is a metallic foreign body or a non-metallic foreign body. It is also possible to determine defects that are made of the same material but have different surface shape characteristics.

ここで、図3(a)、(b)はそれぞれ、金属と非金属における反射光の輝度値分布のプロファイルイメージを示す。一般的に金属は非金属と比べて、画素割合が小さい。そのため、画素割合が、所定の第二規格値より小さい場合は被検査物における欠陥を金属異物と判定し、所定の第二規格値以上の場合は被検査物における欠陥を非金属異物と判定する。このようにして、欠陥が金属異物か非金属異物かの判定が可能であり、また、欠陥形状についての情報も取得できるため、被検査物における欠陥の種類の詳細を把握し、その欠
陥が生じた要因を推測することが可能である。この場合にも、例えば、第一領域91Aと第二領域91Bを構成する画素91毎に異なる色や模様が付与されることで、出力部によって画像化して出力されるようにしてもよい。なお、閾値を三つ以上設けることで、補助領域を複数設けてもよい。閾値をより多く設けることで、反射光の輝度値の分布の詳細がより明確になり、金属異物か非金属異物かの判定に加え、欠陥の表面形状をより詳細に判定することが可能となる。
Here, FIG. 3(a) and (b) show profile images of the luminance value distribution of reflected light in metals and nonmetals, respectively. Generally, metals have a smaller pixel ratio than nonmetals. Therefore, if the pixel ratio is smaller than a predetermined second standard value, the defect in the inspected object is judged to be a metallic foreign body, and if the pixel ratio is equal to or greater than the predetermined second standard value, the defect in the inspected object is judged to be a nonmetallic foreign body. In this way, it is possible to judge whether the defect is a metallic foreign body or a nonmetallic foreign body, and also to obtain information on the defect shape, so that it is possible to grasp the details of the type of defect in the inspected object and infer the cause of the defect. In this case, for example, the pixels 91 constituting the first region 91A and the second region 91B may be given different colors or patterns, and the output unit may output the images. Note that a plurality of auxiliary regions may be provided by providing three or more thresholds. By providing more thresholds, the details of the luminance value distribution of reflected light become clearer, and in addition to judging whether the defect is a metallic foreign body or a nonmetallic foreign body, it is possible to judge the surface shape of the defect in more detail.

なお、上記の実施例においては、本発明における検査装置がシート状の被検査物を検査する場合について説明したが、本発明に係る検査装置はこれに限られない。例えば、ベルトコンベアによって搬送される物品の表面の特性の検査等にも用いることは可能である。 In the above embodiment, the inspection device of the present invention is described as inspecting a sheet-shaped test object, but the inspection device of the present invention is not limited to this. For example, it can also be used to inspect the surface characteristics of an object transported by a belt conveyor.

なお、以下には本発明の構成要件と実施例の構成とを対比可能とするために、本発明の構成要件を図面の符号付きで記載しておく。
<発明1>
被検査物(2)に照射光(5)を照射する照明(3)と、
前記被検査物における欠陥からの、前記照射光の反射光(6)を受光して撮像する撮像部(4)と、
前記撮像部において受光された前記反射光の輝度と所定の閾値との比較結果に基づいて、前記欠陥の領域(9A)を判定する情報処理部(8)と、
を備えた検査装置(1)であって、
前記情報処理部は、前記欠陥の領域内における前記反射光の分布に基づいて、前記欠陥の状態を判定することを特徴とする、検査装置(1)。
In the following, the components of the present invention will be described with reference to the reference numerals in the drawings in order to make it possible to compare the components of the present invention with the configurations of the embodiments.
<Invention 1>
An illumination (3) for irradiating an object to be inspected (2) with irradiation light (5);
an imaging unit (4) that receives reflected light (6) of the irradiation light from a defect in the object to be inspected and captures an image;
an information processing unit (8) for determining the area of the defect (9A) based on a result of comparing the brightness of the reflected light received by the imaging unit with a predetermined threshold value;
An inspection device (1) comprising:
The inspection device (1), characterized in that the information processing unit determines a state of the defect based on a distribution of the reflected light within the area of the defect.

1 :シート検査装置
2 :被検査物
2A、2B :巻き取り機構
3 :光源
4 :撮像装置
5 :照射光
6 :反射光
7 :調整装置
71 :光量調節部
72 :ゲイン調節部
8 :処理装置
81 :信号処理部
82 :異常検出部
82A :検出閾値記憶部
83 :判定部
83A :判定閾値記憶部
84 :出力部
9 :画素
9A :欠陥の領域
1: Sheet inspection device 2: Inspection object 2A, 2B: Winding mechanism 3: Light source 4: Imaging device 5: Irradiation light 6: Reflected light 7: Adjustment device 71: Light amount adjustment section 72: Gain adjustment section 8: Processing device 81: Signal processing section 82: Abnormality detection section 82A: Detection threshold storage section 83: Judgment section 83A: Judgment threshold storage section 84: Output section 9: Pixel 9A: Defective area

Claims (5)

被検査物に照射光を照射する照明と、
前記被検査物における欠陥からの、前記照射光の反射光を受光して撮像する撮像部と、
前記撮像部において受光された前記反射光の輝度と所定の閾値との比較結果に基づいて、前記欠陥の領域を判定する情報処理部と、
を備えた検査装置であって、
前記情報処理部は、前記欠陥の領域内における前記反射光の輝度の分布に基づいて、前記欠陥の特性を判定するものであって、前記反射光の輝度のばらつきによって、前記欠陥の表面の粗さを判定するとともに、前記反射光の輝度のばらつきの指標値が所定の規格値より大きい場合に、前記欠陥を金属異物と判定し、前記ばらつきの指標値が前記規格値以下の場合に、非金属異物と判定することを特徴とする、検査装置。
An illumination device for irradiating the object to be inspected with irradiation light;
an imaging unit that receives reflected light of the irradiation light from a defect in the object to be inspected and captures an image;
an information processing unit that determines an area of the defect based on a result of comparing the luminance of the reflected light received by the imaging unit with a predetermined threshold value;
An inspection device comprising:
The information processing unit determines characteristics of the defect based on the distribution of the luminance of the reflected light within the area of the defect, determines the surface roughness of the defect based on the variation in the luminance of the reflected light, and determines the defect to be a metallic foreign body if an index value of the variation in the luminance of the reflected light is greater than a predetermined standard value, and determines the defect to be a non-metallic foreign body if the index value of the variation is equal to or less than the standard value .
被検査物に照射光を照射する照明と、
前記被検査物における欠陥からの、前記照射光の反射光を受光して撮像する撮像部と、
前記撮像部において受光された前記反射光の輝度と所定の閾値との比較結果に基づいて、前記欠陥の領域を判定する情報処理部と、
を備えた検査装置であって、
前記情報処理部は、前記欠陥の領域内における前記反射光の輝度と、前記閾値とは異なる一または複数の補助閾値とを比較し、前記欠陥の領域内において、同一の比較結果が得られた補助領域の大きさまたは形状に基づいて、前記欠陥の特性を判定することを特徴とする、検査装置。
An illumination device for irradiating the object to be inspected with irradiation light;
an imaging unit that receives reflected light of the irradiation light from a defect in the object to be inspected and captures an image;
an information processing unit that determines an area of the defect based on a result of comparing the luminance of the reflected light received by the imaging unit with a predetermined threshold value;
An inspection device comprising:
The inspection apparatus is characterized in that the information processing unit compares the brightness of the reflected light within the defect area with one or more auxiliary thresholds different from the threshold value, and determines the characteristics of the defect based on the size or shape of the auxiliary area within the defect area for which the same comparison result is obtained .
前記情報処理部は、前記欠陥の領域と前記補助領域の面積比率に基づいて、前記欠陥の特性を判定する、請求項に記載の検査装置。 The inspection apparatus according to claim 2 , wherein the information processing section determines characteristics of the defect based on an area ratio of the defect area to the auxiliary area. 前記情報処理部は、前記補助領域と、前記欠陥の領域との面積比率が所定の第二規格値より小さい場合に、前記欠陥を金属異物と判定し、前記面積比率が前記第二規格値以上である場合に、前記欠陥を非金属異物と判定することを特徴とする、請求項に記載の検査装置。 4. The inspection device according to claim 3, wherein the information processing unit determines the defect to be a metallic foreign body when an area ratio between the auxiliary region and the defect region is smaller than a predetermined second standard value, and determines the defect to be a non-metallic foreign body when the area ratio is equal to or greater than the second standard value. 前記被検査物は、所定の巻き取り機構で巻き取られることにより、前記照明による照明
箇所に対して一方向に移動するシート状物品であり、
前記照明は前記一方向に垂直な方向に照明素子が並べられたライン型照明であり、
前記情報処理部は、前記ライン型照明からのライン状の照明光の反射光の時間的変化から、前記欠陥の領域、及び前記欠陥の領域内における前記反射光の輝度の分布を取得する、請求項1からのいずれか一項に記載の検査装置。
the inspection object is a sheet-like article that moves in one direction relative to an illumination location by the illumination light as it is wound up by a predetermined winding mechanism,
The lighting is a line-type lighting in which lighting elements are arranged in a direction perpendicular to the one direction,
5. The inspection device according to claim 1, wherein the information processing unit acquires the defect area and a distribution of luminance of the reflected light within the defect area from a temporal change in reflected light of line- shaped illumination light from the line-type illumination.
JP2020182272A 2020-10-30 2020-10-30 Inspection Equipment Active JP7524717B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020182272A JP7524717B2 (en) 2020-10-30 2020-10-30 Inspection Equipment
PCT/JP2021/008484 WO2022091444A1 (en) 2020-10-30 2021-03-04 Inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020182272A JP7524717B2 (en) 2020-10-30 2020-10-30 Inspection Equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022072690A JP2022072690A (en) 2022-05-17
JP7524717B2 true JP7524717B2 (en) 2024-07-30

Family

ID=81382204

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020182272A Active JP7524717B2 (en) 2020-10-30 2020-10-30 Inspection Equipment

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP7524717B2 (en)
WO (1) WO2022091444A1 (en)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011085521A (en) 2009-10-16 2011-04-28 Kaneka Corp Surface flaw inspection device for sheet-shaped article
JP2013072801A (en) 2011-09-28 2013-04-22 Nippon Reliance Kk Adjustment device for outputting data for adjusting surface inspection device, adjustment data outputting method, and program
JP2013160745A (en) 2012-02-09 2013-08-19 Toray Ind Inc Method and device for inspecting porous carbon fiber sheet-like material
JP2014020910A (en) 2012-07-18 2014-02-03 Omron Corp Defect inspection method and defect inspection device
JP2016125817A (en) 2014-12-26 2016-07-11 大日本印刷株式会社 Inspection system, and inspection method
JP2020003412A (en) 2018-06-29 2020-01-09 オムロン株式会社 Inspection result presentation device, inspection result presentation method, and inspection result presentation program

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3333568B2 (en) * 1993-01-12 2002-10-15 株式会社リコー Surface defect inspection equipment

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011085521A (en) 2009-10-16 2011-04-28 Kaneka Corp Surface flaw inspection device for sheet-shaped article
JP2013072801A (en) 2011-09-28 2013-04-22 Nippon Reliance Kk Adjustment device for outputting data for adjusting surface inspection device, adjustment data outputting method, and program
JP2013160745A (en) 2012-02-09 2013-08-19 Toray Ind Inc Method and device for inspecting porous carbon fiber sheet-like material
JP2014020910A (en) 2012-07-18 2014-02-03 Omron Corp Defect inspection method and defect inspection device
JP2016125817A (en) 2014-12-26 2016-07-11 大日本印刷株式会社 Inspection system, and inspection method
JP2020003412A (en) 2018-06-29 2020-01-09 オムロン株式会社 Inspection result presentation device, inspection result presentation method, and inspection result presentation program

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
表面欠陥検査装置による金属異物判別技術,紙パ技協誌,第68巻、第5号,日本,紙パルプ技術協会,2014年05月01日,第28-32頁

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022072690A (en) 2022-05-17
WO2022091444A1 (en) 2022-05-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10267747B2 (en) Surface defect inspecting device and method for steel sheets
KR101832081B1 (en) Surface defect detection method and surface defect detection device
US8194967B2 (en) Article visual inspection apparatus
US10041888B2 (en) Surface defect inspecting device and method for hot-dip coated steel sheets
JP5074998B2 (en) Appearance inspection method and apparatus for transparent film
TW201534897A (en) Sheet inspection device
JP2009293999A (en) Wood defect detector
JP2018059772A (en) Sheet inspection device
JP3021266B2 (en) Optical steel sheet surface inspection equipment
JP2010249624A (en) Apparatus and method for determining surface quality of moving material
JP2012251983A (en) Wrap film wrinkle inspection method and device
JPH11311510A (en) Method and apparatus for inspection of very small uneven part
WO2018168510A1 (en) Cylindrical body surface inspection device and cylindrical body surface inspection method
JP2009109243A (en) Device for inspecting resin sealing material
JP7524717B2 (en) Inspection Equipment
JP6566903B2 (en) Surface defect detection method and surface defect detection apparatus
JP7317286B2 (en) Defect detection device with rubber on topping rubber sheet
JP7087533B2 (en) Surface condition inspection device and surface condition inspection method
US20220405904A1 (en) Inspection method and inspection apparatus
KR100484812B1 (en) Inspection method of surface by image sensor and the same apparatus
JP2020034345A (en) Inspection system and inspection method
JP5297245B2 (en) Object surface inspection equipment
JP2009162579A (en) Quality evaluator as to section of paper and quality evaluation method using same
JP2000081396A (en) Method and apparatus for automatically judging quality of side surface of taking-up roll
JP6597981B2 (en) Method for determining abnormality of surface inspection apparatus and surface inspection apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230808

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240409

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20240604

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240618

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240701

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7524717

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150