JPH0741512A - オレフィン重合用触媒及び該触媒を用いたポリオレフィンの製造方法 - Google Patents

オレフィン重合用触媒及び該触媒を用いたポリオレフィンの製造方法

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JPH0741512A
JPH0741512A JP18365093A JP18365093A JPH0741512A JP H0741512 A JPH0741512 A JP H0741512A JP 18365093 A JP18365093 A JP 18365093A JP 18365093 A JP18365093 A JP 18365093A JP H0741512 A JPH0741512 A JP H0741512A
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JP
Japan
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group
compound
catalyst
component
polymerization
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JP18365093A
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Nobuo Kawasaki
信夫 川崎
Masami Watanabe
正美 渡辺
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Idemitsu Kosan Co Ltd
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Idemitsu Kosan Co Ltd
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  • Transition And Organic Metals Composition Catalysts For Addition Polymerization (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高分子量でかつ組成が均一であって分子量分
布の狭いポリオレフィンを与える高活性可溶系重合用触
媒、及びこれを用いてポリオレフィンを効率よく製造す
る方法を提供すること。 【構成】 (A)一般式(I) 【化1】 (式中の各記号は明細書に記載のとおりである。)で示
される遷移金属化合物及び(B)該(A)成分の遷移金
属化合物又はその派生物と反応してイオン性の錯体を形
成しうる化合物を含有するオレフィン重合用触媒、並び
に上記重合用触媒の存在下、オレフィン類を単独重合又
は共重合させるポリオレフィンの製造方法である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はオレフィン重合用触媒及
び該触媒を用いたポリオレフィンの製造方法に関するも
のである。さらに詳しくいえば、本発明は、高分子量で
かつ組成が均一であって分子量分布の狭いポリオレフィ
ンを与える高活性可溶系重合用触媒、及びこの重合用触
媒を用いて、上記性質を有するポリオレフィンを効率よ
く製造する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、高活性可溶系オレフィン重合用触
媒としては、遷移金属化合物とアルミノキサンとの組合
わせからなるものが知られている(特開昭58−193
09号公報、特開昭60−217209号公報)。ま
た、可溶系オレフィン重合用触媒の活性種としては、カ
チオン種が有用であることが報告されている〔「ジャー
ナル・オブ・ジ・アメリカン・ケミカル・ソサエティ
(J. Am. Chem. Soc.) 」第81巻、第81ページ(1959
年)、第82巻、第1953ページ(1960年)、第10
7巻、第7219ページ(1985年)〕。また、この活性
種を単離し、オレフィン重合に適応した例としては、
「ジャーナル・オブ・ジ・アメリカン・ケミカル・ソサ
エティ(J. Am. Chem. Soc.) 」第108巻、第7410
ページ(1986年)、特表平1−502636号公報、特
開平3−139504号公報、ヨーロッパ公開特許第4
68651号などを、さらにこの活性種に有機アルミニ
ウム化合物を併用した例として、特開平3−20770
4号公報、国際特許公開92−1723号などを挙げる
ことができる。
【0003】また、特定の遷移金属化合物とアルミノキ
サンとからなる触媒を用いたオレフィンの重合方法が、
国際特許公開87−2370号、特開平4−18561
4号公報に開示されている。しかしながら、遷移金属化
合物とアルミノキサンとの組合せからなる触媒系は、ア
ルミノキサンの合成原料となるトリアルキルアルミニウ
ムが危険であり、かつ高価である上、遷移金属化合物に
対して多量に用いなければならないなどの欠点があり、
生産性において必ずしも工業的に適していなかった。ま
た、活性種を単離し、オレフィン重合に適用した例や、
該活性種と有機アルミニウム化合物を併用した例におい
ては、多量のアルミノキサンを使用しなければならない
という問題がある。
【0004】さらに、これらの従来技術において用いら
れるシクロペンタジエニル系配位子をもつ錯体により生
成する重合体は、反応温度が工業プロセスにおいて効率
的な70〜100℃、あるいはそれ以上で重合を行った
場合、得られる重合体の分子量が小さいという問題があ
った。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情のもとで、高分子量でかつ組成が均一であって分子
量分布の狭いポリオレフィンを与える新規な高活性可溶
系重合用触媒、及びこの重合用触媒を用いて、上記性質
を有するポリオレフィンを効率よく製造する方法を提供
することを目的としてなされたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、特定の遷移金
属化合物と、該遷移金属化合物又はその派生物と反応し
てイオン性の錯体を形成しうる化合物とを含有する重合
用触媒により、その目的を達成しうることを見出した。
本発明は、かかる知見に基づいて完成したものである。
すなわち、本発明は、(A)一般式(I)
【0007】
【化2】
【0008】(式中、Mは周期律表第3〜10族又はラ
ンタノイド系列の金属元素、Xはσ結合性配位子、キレ
ート性配位子又はルイス塩基を示し、aは0〜6の整数
であり、Xが複数の場合、各Xは同じでも異なっていて
もよく、Y1 はS,Se,C,N,P,Si及びSnの
中から選ばれた元素を含む架橋基を示し、bは1以上の
整数であり、Y1 が複数の場合、各Y1 は同じでも異な
っていてもよい。Y2 はO,S,Se,C,N,P,S
i及びSnの中から選ばれた元素を含む架橋基を示し、
cは1以上の整数であり、Y2 が複数の場合、各Y2
同じでも異なっていてもよい。R1 及びR2 はそれぞれ
架橋基でO,S,Se,C,N,P,Si,Sn及びB
の中から選ばれた元素を含む基を示し、それらはたがい
に同じでも異なっていてもよく、d及びeはそれぞれ0
又は1である。Zは架橋基でO,S,Se,C,N,
P,Si,Sn及びBの中から選ばれた元素を含む基を
示し、fは0〜4の整数であり、Zが複数の場合、各Z
は同じでも異なっていてもよい。)で表される遷移金属
化合物、及び(B)該(A)成分の遷移金属化合物又は
その派生物と反応してイオン性の錯体を形成しうる化合
物を含有することを特徴とするオレフィン重合用触媒、
及び該オレフィン重合用触媒の存在下、オレフィン類を
単独重合又はオレフィン類と他のオレフィン類及び/又
は他の単量体とを共重合させることを特徴とするポリオ
レフィンの製造方法を提供するものである。
【0009】本発明の重合触媒においては、(A)成分
として、一般式(I)
【0010】
【化3】
【0011】で表される遷移金属化合物が用いられる。
上記一般式(I)において、Mは周期律表第3〜10族
又はランタノイド系列の金属元素を示す。Xはσ結合性
配位子、キレート性配位子又はルイス塩基を示し、aは
0〜6の整数であり、Xが複数の場合、各Xは同じでも
異なっていてもよい。Xの具体例としてはフッ素,塩
素,臭素,ヨウ素のハロゲン化物、メチル基,エチル
基,n−プロピル基,イソプロピル基,n−ブチル基,
イソブチル基などのアルキル基,メトキシ基,エトキシ
基,n−プロポキシ基,イソプロポキシ基,n−ブトキ
シ基,イソブトキシ基などのアルコキシ基などが挙げら
れる。Y1 はS,Se,C,N,P,Si及びSnの中
から選ばれた元素を含む架橋基を示し、bは1以上の整
数であり、Y1 が複数の場合、各Y1 は同じでも異なっ
ていてもよい。Y2 はO,S,Se,C,N,P,Si
及びSnの中から選ばれた元素を含む架橋基を示し、c
は1以上の整数であり、Y2 が複数の場合、各Y 2 は同
じでも異なっていてもよい。該Y1 及びY2 における元
素は、MとR1 及びR2 又はZとの架橋を形成できる元
素として選択される。Y2 の具体例としては−O−,−
S−,−Se−などのカルコゲン原子、−CH2 −,−
C(CH32 −,−C(C2 5 2 −,−C(C6
5 2 −などの炭化水素基、−NH−,−N(C
3 )−,−N(C2 5 )−,−N(C6 5 )−な
どの窒素原子含有基、−PH−,−P(CH3 )−,−
P(C2 5 )−,−P(C6 5 )−などのリン原子
含有基、−SiH2 −,−Si(CH3 2 −,−Si
(C2 5 2 −,−Si(C6 5 2 −などのケイ
素原子含有基、−SnH2−,−Sn(CH3 2 −,
−Sn(C2 5 2 −などの錫原子含有基などが挙げ
られる。また、Y1 の具体例としては上記Y2 として例
示したものの中から−O−を除いたものを挙げることが
できる。R1 及びR2 はそれぞれ架橋基でO,S,S
e,C,N,P,Si,Sn及びBの中から選ばれた元
素を含む基を示し、それらはたがいに同じでも異なって
いてもよく、d又はeはそれぞれ0又は1である。R1
及びR2 の具体例としてはベンゼン,ナフタレン,アン
トラセンなどの炭素数6〜20の環状炭化水素残基,ピ
リジン,キノリン,チオフェン,フランなどのヘテロ原
子を含む炭素数3〜20の環状化合物残基,−CH
2 −,−CH2 −CH2 −,−CH2 −CH2 −CH2
−などの炭素数1〜20の鎖状炭化水素基などが挙げら
れる。
【0012】Zは架橋基でO,S,Se,C,N,P,
Si,Sn及びBの中から選ばれた元素を含む基を示
し、fは0〜4の整数であり、Zが複数の場合、各Zは
同じでも異なっていてもよい。Zの具体例としては−O
−,−S−,−Se−などのカルコゲン原子、−NH
−,−PH−,−N(CH3 )−,−P(CH3 )−な
どの窒素又はリン原子含有基、−CH2 −,−C(CH
3 2 −などの炭素数1〜20の鎖状炭化水素基、ベン
ゼン,ナフタレン,アントラセンなどの炭素数6〜20
の環状炭化水素残基、ピリジン,キノリン,チオフェ
ン,フランなどのヘテロ原子を含む炭素数3〜20の環
状化合物残基、−SiH2 −,−Si(CH32 −な
どのケイ素原子含有基、−SnH2 −,−Sn(C
3 2 −などの錫原子含有基、−BH−,−B(CH
3 )−,−BF−などの硼素原子含有基などが挙げられ
る。
【0013】なお上記一般式(I)で表される化合物に
は、d,e及びfが共に0であるものは一般的には含ま
れない。上記一般式(I)で表される遷移金属化合物の
具体例としては、1,2−ベンゼンジチオキシジルコニ
ウムジクロリド;1,2−ベンゼンジチオキシジルコニ
ウムジメチル;1,2−ベンゼンジチオキシジルコニウ
ムジベンジル;1,2−ベンゼンジチオキシジルコニウ
ムジメトキシド;1,2−ベンゼンジチオキシジルコニ
ウムジイソプロポキシド;1,2−フェニレンジアミド
ジルコニウムジクロリド;1,2−フェニレンジアミド
ジルコニウムジメチル;1,2−フェニレンジアミドジ
ルコニウムジベンジル;1,2−フェニレンジアミドジ
ルコニウムジメトキシド;1,2−フェニレンジアミド
ジルコニウムジイソプロポキシド;N,N’−ジメチル
−1,2−フェニレンジアミドジルコニウムジクロリ
ド;N,N’−ジメチル−1,2−フェニレンジアミド
ジルコニウムジメチル;N,N’−ジメチル−1,2−
フェニレンジアミドジルコニウムジベンジル;N,N’
−ジメチル−1,2−フェニレンジアミドジルコニウム
ジメトキシド;N,N’−ジメチル−1,2−フェニレ
ンジアミドジルコニウムジイソプロポキシド;N,N’
−ジフェニル−1,2−フェニレンジアミドジルコニウ
ムジクロリド;N,N’−ジフェニル−1,2−フェニ
レンジアミドジルコニウムジメチル;N,N’−ジフェ
ニル−1,2−フェニレンジアミドジルコニウムジベン
ジル;N,N’−ジフェニル−1,2−フェニレンジア
ミドジルコニウムジメトキシド;N,N’−ジフェニル
−1,2−フェニレンジアミドジルコニウムジイソプロ
ポキシド;N,N’−ジ−t−ブチルジメチルジアミド
シリレンジルコニウムジクロリド;N,N’−ジ−t−
ブチルジメチルジアミドシリレンジルコニウムジメチ
ル;N,N’−ジ−t−ブチルジメチルジアミドシリレ
ンジルコニウムジベンジル;N,N’−ジ−t−ブチル
ジメチルジアミドシリレンジルコニウムジメトキシド;
N,N’−ジ−t−ブチルジメチルジアミドシリレンジ
ルコニウムジイソプロキシドなど、及びこれらの化合物
におけるジルコニウムを、チタニウム,ハフニウムに置
換したものを挙げることができる。もちろん、これらに
限定されるものではない。また、他の族又はランタノイ
ド系列の金属元素の類似化合物であってもよい。これら
の遷移金属化合物は一種用いてもよいし、二種以上を組
み合わせて用いてもよい。
【0014】本発明の重合用触媒においては、(B)成
分として前記遷移金属化合物又はその派生物と反応して
イオン性の錯体を形成しうる化合物が用いられる。この
(B)成分としては、(B−1)(A)成分の遷移金属
化合物と反応してイオン性の錯体を形成するイオン性化
合物,(B−2)アルミノキサン,(B−3)ルイス酸
を挙げることができる。(B−1)成分としては、前記
(A)成分の遷移金属化合物と反応して、イオン性の錯
体を形成するイオン性化合物であれば、いずれのもので
も使用できるが、次の一般式(II)、(III) (〔L1 −R3 k+p (〔Z〕- q ・・・〔II〕 (〔L2 k+p (〔Z〕- q ・・・〔III 〕 (ただし、L2 はM2 、R4 5 3 、R6 3C又はR7
3 である。) 〔(II),(III)式中、L1 はルイス塩基、〔Z〕
- は、非配位性アニオン〔Z 1 - 及び〔Z2 - 、こ
こで〔Z1 - は複数の基が元素に結合したアニオンす
なわち〔M1 1 2 ・・・An - (ここで、M1
周期律表第5〜15族元素、好ましくは周期律表第13
〜15族元素を示す。A1 〜An はそれぞれ水素原子,
ハロゲン原子,炭素数1〜20のアルキル基,炭素数2
〜40のジアルキルアミノ基,炭素数1〜20のアルコ
キシ基,炭素数6〜20のアリール基,炭素数6〜20
のアリールオキシ基,炭素数7〜40のアルキルアリー
ル基,炭素数7〜40のアリールアルキル基,炭素数1
〜20のハロゲン置換炭化水素基,炭素数1〜20のア
シルオキシ基,有機メタロイド基、又は炭素数2〜20
のヘテロ原子含有炭化水素基を示す。A1 〜An のうち
2つ以上が環を形成していてもよい。nは〔(中心金属
1 の原子価)+1〕の整数を示す。)、〔Z2
- は、酸解離定数の逆数の対数(pKa)が−10以下
のブレンステッド酸単独又はブレンステッド酸及びルイ
ス酸の組合わせの共役塩基、あるいは一般的に超強酸と
定義される共役塩基を示す。また、ルイス塩基が配位し
ていてもよい。また、R3 は水素原子,炭素数1〜20
のアルキル基,炭素数6〜20のアリール基,アルキル
アリール基又はアリールアルキル基を示し、R4 及びR
5 はそれぞれシクロペンタジエニル基,置換シクロペン
タジエニル基,インデニル基又はフルオレニル基、R6
は炭素数1〜20のアルキル基,アリール基,アルキル
アリール基又はアリールアルキル基を示す。R7 はテト
ラフェニルポルフィリン,フタロシアニン等の大環状配
位子を示す。kは〔L1 −R3 〕,〔L2 〕のイオン価
数で1〜3の整数、pは1以上の整数、q=(k×p)
である。M2 は、周期律表第1〜3、11〜13、17
族元素を含むものであり、M3 は、周期律表第7〜12
族元素を示す。〕で表されるものを好適に使用すること
ができる。
【0015】ここで、L1 の具体例としては、アンモニ
ア,メチルアミン,アニリン,ジメチルアミン,ジエチ
ルアミン,N−メチルアニリン,ジフェニルアミン,
N,N−ジメチルアニリン,トリメチルアミン,トリエ
チルアミン,トリ−n−ブチルアミン,メチルジフェニ
ルアミン,ピリジン,p−ブロモ−N,N−ジメチルア
ニリン,p−ニトロ−N,N−ジメチルアニリンなどの
アミン類、トリエチルホスフィン,トリフェニルホスフ
ィン,ジフェニルホスフィンなどのホスフィン類、テト
ラヒドロチオフェンなどのチオエーテル類、安息香酸エ
チルなどのエステル類、アセトニトリル,ベンゾニトリ
ルなどのニトリル類などを挙げることができる。R3
具体例としては水素,メチル基,エチル基,ベンジル
基,トリチル基などを挙げることができ、R4 ,R5
具体例としては、シクロペンタジエニル基,メチルシク
ロペンタジエニル基,エチルシクロペンタジエニル基,
ペンタメチルシクロペンタジエニル基などを挙げること
ができる。R6 の具体例としては、フェニル基,p−ト
リル基,p−メトキシフェニル基などを挙げることがで
き、R7 の具体例としてはテトラフェニルポルフィン,
フタロシアニン,アリル,メタリルなどを挙げることが
できる。また、M2 の具体例としては、Li,Na,
K,Ag,Cu,Br,I,I3 などを挙げることがで
き、M3 の具体例としては、Mn,Fe,Co,Ni,
Znなどを挙げることができる。
【0016】また、〔Z1 - 、すなわち〔M1 1
2 ・・・An 〕において、M1 の具体例としてはB、A
l,Si ,P,As,Sbなど、好ましくはB及びAl
が挙げられる。また、A1 ,A2 〜An の具体例として
は、ジアルキルアミノ基としてジメチルアミノ基,ジエ
チルアミノ基など、アルコキシ基若しくはアリールオキ
シ基としてメトキシ基,エトキシ基,n−ブトキシ基,
フェノキシ基など、炭化水素基としてメチル基,エチル
基,n−プロピル基,イソプロピル基,n−ブチル基,
イソブチル基,n−オクチル基,n−エイコシル基,フ
ェニル基,p−トリル基,ベンジル基,4−t−ブチル
フェニル基,3,5−ジメチルフェニル基など、ハロゲ
ン原子としてフッ素,塩素,臭素,ヨウ素,ヘテロ原子
含有炭化水素基としてp−フルオロフェニル基,3,5
−ジフルオロフェニル基,ペンタクロロフェニル基,
3,4,5−トリフルオロフェニル基,ペンタフルオロ
フェニル基,3,5−ビス(トリフルオロメチル)フェ
ニル基,ビス(トリメチルシリル)メチル基など、有機
メタロイド基としてペンタメチルアンチモン基、トリメ
チルシリル基,トリメチルゲルミル基,ジフェニルアル
シン基,ジシクロヘキシルアンチモン基,ジフェニル硼
素などが挙げられる。
【0017】また、非配位性のアニオンすなわちpKa
が−10以下のブレンステッド酸単独又はブレンステッ
ド酸及びルイス酸の組合わせの共役塩基〔Z2 - の具
体例としてはトリフルオロメタンスルホン酸アニオン
(CF3 SO3 - ,ビス(トリフルオロメタンスルホ
ニル)メチルアニオン,ビス(トリフルオロメタンスル
ホニル)ベンジルアニオン,ビス(トリフルオロメタン
スルホニル)アミド,過塩素酸アニオン(Cl
4 - ,トリフルオロ酢酸アニオン(CF3 CO2
-,ヘキサフルオロアンチモンアニオン(Sb
6 - ,フルオロスルホン酸アニオン(FS
3 - ,クロロスルホン酸アニオン(ClS
3 - ,フルオロスルホン酸アニオン/5−フッ化ア
ンチモン(FSO3 /SbF5 - ,フルオロスルホン
酸アニオン/5−フッ化砒素(FSO3 /As
5 - ,トリフルオロメタンスルホン酸/5−フッ化
アンチモン(CF3 SO3 /SbF5 - などを挙げる
ことができる。
【0018】このような前記(A)成分の遷移金属化合
物と反応してイオン性の錯体を形成するイオン性化合
物、すなわち(B−1)成分化合物の具体例としては、
テトラフェニル硼酸トリエチルアンモニウム,テトラフ
ェニル硼酸トリ−n−ブチルアンモニウム,テトラフェ
ニル硼酸トリメチルアンモニウム,テトラフェニル硼酸
テトラエチルアンモニウム,テトラフェニル硼酸メチル
(トリ−n−ブチル)アンモニウム,テトラフェニル硼
酸ベンジル(トリ−n−ブチル)アンモニウム,テトラ
フェニル硼酸ジメチルジフェニルアンモニウム,テトラ
フェニル硼酸トリフェニル(メチル)アンモニウム,テ
トラフェニル硼酸トリメチルアニリニウム,テトラフェ
ニル硼酸メチルピリジニウム,テトラフェニル硼酸ベン
ジルピリジニウム,テトラフェニル硼酸メチル(2−シ
アノピリジニウム),テトラキス(ペンタフルオロフェ
ニル)硼酸トリエチルアンモニウム,テトラキス(ペン
タフルオロフェニル)硼酸トリ−n−ブチルアンモニウ
ム,テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸トリフ
ェニルアンモニウム,テトラキス(ペンタフルオロフェ
ニル)硼酸テトラ−n−ブチルアンモニウム,テトラキ
ス(ペンタフルオロフェニル)硼酸テトラエチルアンモ
ニウム,テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸ベ
ンジル(トリ−n−ブチル)アンモニウム,テトラキス
(ペンタフルオロフェニル)硼酸メチルジフェニルアン
モニウム,テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸
トリフェニル(メチル)アンモニウム,テトラキス(ペ
ンタフルオロフェニル)硼酸メチルアニリニウム,テト
ラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸ジメチルアニリ
ニウム,テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸ト
リメチルアニリニウム,テトラキス(ペンタフルオロフ
ェニル)硼酸メチルピリジニウム,テトラキス(ペンタ
フルオロフェニル)硼酸ベンジルピリジニウム,テトラ
キス(ペンタフルオロフェニル)硼酸メチル(2−シア
ノピリジニウム),テトラキス(ペンタフルオロフェニ
ル)硼酸ベンジル(2−シアノピリジニウム),テトラ
キス(ペンタフルオロフェニル)硼酸メチル(4−シア
ノピリジニウム),テトラキス(ペンタフルオロフェニ
ル)硼酸トリフェニルホスホニウム,テトラキス〔ビス
(3,5−ジトリフルオロメチル)フェニル〕硼酸ジメ
チルアニリニウム,テトラフェニル硼酸フェロセニウ
ム,テトラフェニル硼酸銀,テトラフェニル硼酸トリチ
ル,テトラフェニル硼酸テトラフェニルポルフィリンマ
ンガン,テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸フ
ェロセニウム,テトラキス(ペンタフルオロフェニル)
硼酸(1,1’−ジメチルフェロセニウム),テトラキ
ス(ペンタフルオロフェニル)硼酸デカメチルフェロセ
ニウム,テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸
銀、テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸トリチ
ル,テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸リチウ
ム,テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸ナトリ
ウム,テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸テオ
ラフェニルポルフィリンマンガン,テトラフルオロ硼酸
銀,ヘキサフルオロ燐酸銀,ヘキサフルオロ砒素酸銀,
過塩素酸銀,トリフルオロ酢酸銀,トリフルオロメタン
スルホン酸銀などを挙げることができる。
【0019】この(B−1)成分である、該(A)成分
の遷移金属化合物と反応してイオン性の錯体を形成する
イオン性化合物は一種用いてもよく、また二種以上を組
み合わせて用いてもよい。一方、(B−2)成分のアル
ミノキサンとしては、一般式(IV)
【0020】
【化4】
【0021】(式中、R8 は炭素数1〜20、好ましく
は1〜12のアルキル基,アルケニル基,アリール基,
アリールアルキル基などの炭化水素基、sは重合度を示
し、通常3〜50、好ましくは7〜40の整数である)
で示される鎖状アルミノキサン、及び一般式(V)
【0022】
【化5】
【0023】(式中、R8 及びsは前記と同じであ
る。)で示される環状アルミノキサンを挙げることがで
きる。前記アルミノキサンの製造法としては、アルキル
アルミニウムと水などの縮合剤とを接触させる方法が挙
げられるが、その手段については特に限定はなく、公知
の方法に準じて反応させればよい。例えば、有機アル
ミニウム化合物を有機溶剤に溶解しておき、これを水と
接触させる方法、重合時に当初有機アルミニウム化合
物を加えておき、後に水を添加する方法、金属塩など
に含有されている結晶水、無機物や有機物への吸着水を
有機アルミニウム化合物と反応させる方法、テトラア
ルキルジアルミノキサンにトリアルキルアルミニウムを
反応させ、さらに水を反応させる方法などがある。な
お、アルミノキサンとしては、トルエン不溶性のもので
あってもよい。これらのアルミノキサンは一種用いても
よく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。(B−
3)成分のルイス酸については特に制限はなく、有機化
合物でも固体状無機化合物でもよい。有機化合物として
は、硼素化合物やアルミニウム化合物などが、無機化合
物としてはマグネシウム化合物,アルミニウム化合物な
どが好ましく用いられる。該アルミニウム化合物として
は例えばビス(2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフ
ェノキシ)アルミニウムメチル,(1,1−ビ−2−ナ
フトキシ)アルミニウムメチルなどが、マグネシウム化
合物としては例えば塩化マグネシウム,ジエトキシマグ
ネシウムなどが、アルミニウム化合物としては酸化アル
ミニウム,塩化アルミニウムなどが、硼素化合物として
は例えばトリフェニル硼素,トリス(ペンタフルオロフ
ェニル)硼素,トリス〔3,5−ビス(トリフルオロメ
チル)フェニル〕硼素,トリス〔(4−フルオロメチ
ル)フェニル〕硼素,トリメチル硼素,トリエチル硼
素,トリ−n−ブチル硼素,トリス(フルオロメチル)
硼素,トリス(ペンタフルオロエチル)硼素,トリス
(ノナフルオロブチル)硼素,トリス(2,4,6−ト
リフルオロフェニル)硼素,トリス(3,5−ジフルオ
ロ)硼素,トリス〔3,5−ビス(トリフルオロメチ
ル)フェニル〕硼素,ビス(ペンタフルオロフェニル)
フルオロ硼素,ジフェニルフルオロ硼素,ビス(ペンタ
フルオロフェニル)クロロ硼素,ジメチルフルオロ硼
素,ジエチルフルオロ硼素,ジ−n−ブチルフルオロ硼
素,ペンタフルオロフェニルジフルオロ硼素,フェニル
ジフルオロ硼素,ペンタフルオロフェニルジクロロ硼
素,メチルジフルオロ硼素,エチルジフルオロ硼素,n
−ブチルジフルオロ硼素などが挙げられる。これらのル
イス酸は一種用いてもよく、また二種以上を組み合わせ
て用いてもよい。
【0024】本発明の重合用触媒における(A)触媒成
分と(B)触媒成分との使用割合は、(B)触媒成分と
して(B−1)化合物を用いた場合には、モル比で好ま
しくは10:1〜1:100、より好ましくは2:1〜
1:10の範囲が望ましく、また(B−2)化合物を用
いた場合には、モル比で好ましくは1:1〜1:100
0000、より好ましくは1:10〜1:10000の
範囲が望ましい。前記(A)触媒成分と(B−3)触媒
成分との使用割合は、モル比で、好ましくは1:0.1〜
1:2000、より好ましくは1:0.2〜1:100
0、さらに好ましくは1:0.5〜1:500の範囲が望
ましい。また、触媒成分(B)としては(B−1),
(B−2),(B−3)などを単独または二種以上組み
合わせて用いることもできる。本発明の重合用触媒は、
前記の(A)成分及び(B)成分を主成分として含有す
るものであってもよいし、また、(A)成分、(B)成
分及び(C)有機アルミニウム化合物を主成分として含
有するものであってもよい。ここで、(C)成分の有機
アルミニウム化合物としては、一般式(VI) R9 r AlQ3-r ・・・(VI) (式中、R9 は炭素数1〜10のアルキル基、Qは水素
原子、炭素数1〜20のアルコキシ基,炭素数6〜20
のアリール基又はハロゲン原子を示し、rは1〜3の整
数である)で示される化合物が用いられる。
【0025】前記一般式(VI) で示される化合物の具体
例としては、トリメチルアルミニウム,トリエチルアル
ミニウム,トリイソプロピルアルミニウム,トリイソブ
チルアルミニウム,ジメチルアルミニウムクロリド,ジ
エチルアルミニウムクロリド,メチルアルミニウムジク
ロリド,エチルアルミニウムジクロリド,ジメチルアル
ミニウムフルオリド,ジイソブチルアルミニウムヒドリ
ド,ジエチルアルミニウムヒドリド,エチルアルミニウ
ムセスキクロリド等が挙げられる。これらの有機アルミ
ニウム化合物は一種用いてもよく、二種以上を組合せて
用いてもよい。前記(A)触媒成分と(C)触媒成分と
の使用割合は、モル比で好ましくは1:1〜1:100
00、より好ましくは1:5〜1:2000、さらに好
ましくは1:10ないし1:1000の範囲が望まし
い。該(C)触媒成分を用いることにより、遷移金属当
たりの重合活性を向上させることができるが、あまり多
いと有機アルミニウム化合物が無駄になるとともに、重
合体中に多量に残存し、好ましくない。
【0026】本発明においては、触媒成分の少なくとも
一種を適当な担体に担持して用いることができる。該担
体の種類については特に制限はなく、無機酸化物担体、
それ以外の無機担体及び有機担体のいずれも用いること
ができるが、特に無機酸化物担体あるいはそれ以外の無
機担体が好ましい。無機酸化物担体としては、具体的に
は、SiO2 ,Al2 3 ,MgO,ZrO2 ,TiO
2 ,Fe2 3 ,B2 3 ,CaO,ZnO,BaO,
ThO2 やこれらの混合物、例えばシリカアルミナ,ゼ
オライト,フェライト,グラスファイバーなどが挙げら
れる。これらの中では、特にSiO2 ,Al2 3 が好
ましい。なお、上記無機酸化物担体は、少量の炭酸塩,
硝酸塩,硫酸塩などを含有してもよい。一方、上記以外
の担体として、MgCl2 ,Mg(OC2 5)2 などの
マグネシウム化合物などで代表される一般式MgR10 X
1 y で表されるマグネシウム化合物やその錯塩などを
挙げることができる。ここで、R10は炭素数1〜20の
アルキル基、炭素数1〜20のアルコキシ基又は炭素数
6〜20のアリール基、X1 はハロゲン原子又は炭素数
1〜20のアルキル基を示し、xは0〜2、yは0〜2
でり、かつx+y=2である。各R10及び各X1 はそれ
ぞれ同一でもよく、また異なってもいてもよい。
【0027】また、有機担体としては、ポリスチレン,
ポリエチレン,ポリプロピレン,置換ポリスチレン,ポ
リアリレートなどの重合体やスターチ,カーボンなどを
挙げることができる。本発明において用いられる担体と
しては、MgCl2 ,MgCl(OC2 5),Mg
(OC2 5)2 ,SiO2 ,Al2 3 などが好まし
い。また担体の性状は、その種類及び製法により異なる
が、平均粒径は通常1〜300μm、好ましくは10〜
200μm、より好ましくは20〜100μmである。
粒径が小さいと重合体中の微粉が増大し、粒径が大きい
と重合体中の粗大粒子が増大し嵩密度の低下やホッパー
の詰まりの原因になる。また、担体の比表面積は、通常
1〜1000m2 /g、好ましくは50〜500m2
g、細孔容積は通常0.1〜5cm3 /g、好ましくは0.
3〜3cm3 /gである。比表面積又は細孔容積のいず
れかが上記範囲を逸脱すると、触媒活性が低下すること
がある。なお、比表面積及び細孔容積は、例えばBET
法に従って吸着された窒素ガスの体積から求めることが
できる(ジャーナル・オブ・ジ・アメリカン・ケミカル
・ソサィエティ,第60巻,第309ページ(1983
年)参照)。さらに、上記担体は、通常150〜100
0℃、好ましくは200〜800℃で焼成して用いるこ
とが望ましい。
【0028】触媒成分の少なくとも一種を前記担体に担
持させる場合、(A)触媒成分及び(B)触媒成分の少
なくとも一方を、好ましくは(A)触媒成分及び(B)
触媒成分の両方を担持させるのが望ましい。該担体に、
(A)成分及び(B)成分の少なくとも一方を担持させ
る方法については、特に制限されないが、例えば
(A)成分及び(B)成分の少なくとも一方と担体とを
混合する方法、担体を有機アルミニウム化合物又はハ
ロゲン含有ケイ素化合物で処理したのち、不活性溶媒中
で(A)成分及び(B)成分の少なくとも一方と混合す
る方法、担体と(A)成分及び/又は(B)成分と有
機アルミニウム化合物又はハロゲン含有ケイ素化合物と
を反応させる方法、(A)成分又は(B)成分を担体
に担持させたのち、(B)成分又は(A)成分と混合す
る方法、(A)成分と(B)成分との接触反応物を担
体と混合する方法、(A)成分と(B)成分との接触
反応に際して、担体を共存させる方法などを用いること
ができる。なお、上記、及びの反応において、
(C)成分の有機アルミニウム化合物を添加することも
できる。
【0029】このようにして得られた触媒は、いったん
溶媒留去を行って固体として取り出してから重合に用い
てもよいし、そのまま重合に用いてもよい。また、本発
明においては、(A)成分及び(B)成分の少なくとも
一方の担体への担持操作を重合系内で行うことにより触
媒を生成させることができる。例えば(A)成分及び
(B)成分の少なくとも一方と担体とさらに必要により
前記(C)成分の有機アルミニウム化合物を加え、エチ
レンなどのオレフィンを常圧〜20kg/cm2 加え
て、−20〜200℃で1分〜2時間程度予備重合を行
い触媒粒子を生成させる方法を用いることができる。
【0030】本発明においては、前記化合物(B−1)
成分と担体との使用割合は、重量比で好ましくは1:5
〜1:10000、より好ましくは1:10〜1:50
0とするのが望ましく、(B−2)成分と担体との使用
割合は、重量比で好ましくは1:0.5〜1:1000、
より好ましくは1:1〜1:50とするのが望ましく、
(B−3)成分と担体との使用割合は、重量比で好まし
くは1:5〜1:10000、より好ましくは1:10
〜1:500とするのが望ましい。触媒成分(B)とし
て二種以上を混合して用いる場合は、各(B)成分と担
体との使用割合が重量比で上記範囲内にあることが望ま
しい。また、(A)成分と担体との使用割合は、重量比
で、好ましくは1:5〜1:10000、より好ましく
は1:10〜1:500とするのが望ましい。該(B)
成分〔(B−1)成分,(B−2)成分又は(B−3)
成分〕と担体との使用割合、又は(A)成分と担体との
使用割合が上記範囲を逸脱すると、活性が低下すること
がある。このようにして調製された本発明の重合用触媒
の平均粒径は、通常2〜200μm、好ましくは10〜
150μm、特に好ましくは20〜100μmであり、
比表面積は、通常20〜1000m2 /g、好ましくは
50〜500m2 /gである。平均粒径が2μm未満で
あると重合体中の微粉が増大することがあり、200μ
mを超えると重合体中の粗大粒子が増大することがあ
る。比表面積が20m2 /g未満であると活性が低下す
ることがあり、1000m2 /gを超えると重合体の嵩
密度が低下することがある。また、本発明の触媒におい
て、担体100g中の遷移金属量は、通常0.05〜10
g、特に0.1〜2gであることが好ましい。遷移金属量
が上記範囲外であると、活性が低くなることがある。こ
のように担体に担持することによって工業的に有利な高
い嵩密度と優れた粒径分布を有する重合体を得ることが
できる。
【0031】本発明のポリオレフィンの製造方法による
と、上述した重合用触媒を用いて、オレフィン類の単独
重合、又はオレフィン類と他のオレフィン類及び/又は
他の単量体との共重合(つまり、異種のオレフィン類相
互との共重合,オレフィン類と他の単量体との共重合、
あるいは異種のオレフィン類相互と他の単量体との共重
合)を好適に行うことができる。該オレフィン類につい
ては特に制限はないが、炭素数2〜20のα−オレフィ
ンが好ましい。このα−オレフィンとしては、、例えば
エチレン,プロピレン,1−ブテン,3−メチル−1−
ブテン,1−ペンテン,1−ヘキセン,4−メチル−1
−ペンテン,1−オクテン,1−デセン,1−ドデセ
ン,1−テトラデセン,1−ヘキサデセン,1−オクタ
デセン,1−エイコセンなどを挙げることができる。ま
た、上述した他のオレフィン類についても、上記オレフ
ィン類の中から適宜選定すればよい。
【0032】本発明においては、上記オレフィン類は一
種用いてもよいし、二種以上を組み合わせて用いてもよ
い。二種以上のオレフィンの共重合を行う場合、上記オ
レフィン類を任意に組み合わせることができる。その際
の使用割合は、例えばプロピレンとエチレン、又はエチ
レンと炭素数3〜10のα−オレフィンとを共重合させ
る場合、プロピレンとエチレン、又はエチレンと炭素数
3〜10のα−オレフィンとの共重合比率(モル比)
は、通常99.9:0.1〜0.1:99.9、好ましくは99.
5:0.5〜75.0:25.0の範囲で選ばれる。また、本
発明においては、上記オレフィン類と他の単量体とを共
重合させてもよく、この際用いられる他の単量体として
は、例えばスチレン,p−メチルスチレン,イソプロピ
ルスチレン,t−ブチルスチレンなどのビニル芳香族化
合物、ブタジエン;イソプレン;1,5−ヘキサジエン
などの鎖状ジオレフィン類、ノルボルネン;1,4,
5,8−ジメタノ−1,2,3,4,4a,5,8,8
a−オクタヒドロナフタレン;2−ノルボルネンなどの
環状オレフィン類、ノルボルナジエン,5−エチリデン
ノルボルネン,5−ビニルノルボルネン,ジシクロペン
タジエンなどの環状ジオレフィン類、アクリル酸エチ
ル,メタクリル酸メチルなどの不飽和エステル類、β−
プロピオラクトン,β−ブチロラクトン,γ−ブチロラ
クトンなどのラクトン類、ε−カプロラクタム,δ−バ
レロラクタムなどのラクタム類、エポキシプロパン;
1,2−エポキシブタンなどのエポキシド類などを挙げ
ることができる。なお、本発明の重合触媒は、前記オレ
フィン類の重合に用いられるだけでなく、オレフィン類
以外の重合にも用いることができる。
【0033】本発明において、重合方法は特に制限され
ず、スラリー重合法,気相重合法,塊状重合法,溶液重
合法,懸濁重合法などのいずれの方法を用いてもよい
が、スラリー重合法,気相重合法が特に好ましい。重合
条件については、重合温度は通常−100〜250℃、
好ましくは−50〜200℃、より好ましくは0〜13
0℃である。また、反応原料に対する触媒の使用割合
は、原料モノマー/上記(A)成分(モル比)が好まし
くは1〜10 8 、特に100〜105 となることが好ま
しい。さらに、重合時間は通常5分〜10時間、反応圧
力は好ましくは常圧〜200kg/cm2 G、特に好ま
しくは常圧〜100kg/cm2 Gである。重合体の分
子量の調節方法としては、各触媒成分の種類,使用量,
重合温度の選択、さらには水素存在下での重合などがあ
る。重合溶媒を用いる場合、例えば、ベンゼン,トルエ
ン,キシレン,エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素、
シクロペンタン,シクロヘキサン,メチルシクロヘキサ
ンなどの脂環式炭化水素、ペンタン,ヘキサン,ヘプタ
ン,オクタンなどの脂肪族炭化水素、クロロホルム,ジ
クロロメタンなどのハロゲン化炭化水素などを用いるこ
とができる。これらの溶媒は一種を単独で用いてもよ
く、二種以上のものを組み合わせてもよい。また、α−
オレフィンなどのモノマーを溶媒として用いてもよい。
なお、重合方法によっては無溶媒で行うことができる。
このようにして得られる重合体の分子量は特に制限され
るものではないが、極限粘度〔η〕(135℃デカリン
中で測定)は、0.1デシリットル/g以上が好ましく、
特に0.2デシリットル/g以上が好ましい。
【0034】本発明においては、前記重合用触媒を用い
て予備重合を行うことができる。予備重合は、固体触媒
成分に、例えば、少量のオレフィンを接触させることに
より行うことができるが、その方法に特に制限はなく、
公知の方法を用いることができる。予備重合に用いるオ
レフィンについては特に制限はなく、前記に例示したも
のと同様のもの、例えばエチレン、炭素数3〜20のα
−オレフィン、あるいはこれらの混合物などを挙げるこ
とができるが、該重合において用いるオレフィンと同じ
オレフィンを用いることが有利である。また、予備重合
温度は、通常−20〜200℃、好ましくは−10〜1
30℃、より好ましくは0〜80℃である。予備重合に
おいては、溶媒として、不活性炭化水素,脂肪族炭化水
素,芳香族炭化水素,モノマーなどを用いることができ
る。これらの中で特に好ましいのは脂肪族炭化水素であ
る。また、予備重合は無溶媒で行ってもよい。予備重合
においては、予備重合生成物の極限粘度〔η〕(135
℃デカリン中で測定)が0.2デシリットル/g以上、特
に0.5デシリットル/g以上、触媒中の遷移金属成分1
ミリモル当たりに対する予備重合生成物の量が1〜10
000g、特に10〜1000gとなるように条件を調
整することが望ましい。
【0035】
【実施例】次に本発明を実施例および比較例によりさら
に詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなん
ら限定されるものではない。 実施例1 ポリエチレンの製造 加熱減圧乾燥した1リットルオートクレーブに、窒素雰
囲気下、室温でトルエン400ミリリットル及びトリイ
ソブチルアルミニウム(TIBA)1ミリモルを入れ、
攪拌しながら溶液の温度を60℃に昇温したのち、60
℃で1,2−フェニレンジアミドチタニウムジクロリド
(A−1と略記する)2マイクロモル及びテトラキス
(ペンタフルオロフェニル)硼酸N,N’−ジメチルア
ンモニウム(〔PhNMe2 H〕〔B(C
6 5 4 〕、B−1と略記する)2マイクロモルを入
れ、80℃に昇温した。80℃でエチレンを8気圧連続
的に導入しながら1時間重合を行った。反応終了後、反
応液をメタノール−塩酸溶液に投入し、得られたポリマ
ーをメタノールで3回洗浄したのち、減圧下で乾燥し
た。ポリマーの収量は0.3g、融点(Tm)は138℃
であった。なおポリマーは130℃のデカリンに不溶で
あった。また、上記1,2−フェニレンジアミドチタニ
ウムジクロリド(A−1)は次に示す構造を有してい
る。
【0036】
【化6】
【0037】実施例2 エチレン・1−オクテン共重合
体の製造 加熱減圧乾燥した1リットルオートクレーブに、窒素雰
囲気下、室温でトルエン360ミリリットル、1−オク
テン40ミリリットル及びトリイソブチルアルミニウム
(TIBA)1ミリモルを入れ、攪拌しながら溶液の温
度を60℃に昇温したのち、60℃で1,2−フェニレ
ンジアミドチタニウムジクロリド(A−1)2マイクロ
モル及びテトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸ジ
メチルアンモニウム(〔PhNMe2 H〕〔B(C6
5 4 〕、B−1)2マイクロモルを入れ、80℃に昇
温した。80℃でエチレンを8気圧連続的に導入しなが
ら1時間重合を行った。反応終了後、反応液をメタノー
ル−塩酸溶液に投入し、得られたポリマーをメタノール
で3回洗浄したのち、減圧下で乾燥した。ポリマーの収
量は0.2g、融点(Tm)は119℃であった。なおポ
リマーは130℃のデカリンに不溶であった。
【0038】実施例3 ポリエチレンの製造 実施例1において、TIBA及び化合物B−1の代わり
にメチルアルミノキサン(MAOと略記する)2ミリモ
ルを用いた以外は、実施例1と同様にしてエチレンの重
合を行った。ポリマーの収量は0.9g、融点(Tm)は
134℃であった。なおポリマーは130℃のデカリン
に不溶であった。
【0039】実施例4 エチレン・1−オクテン共重合
体の製造 実施例2において、TIBA及び化合物B−1の代わり
にメチルアルミノキサン(MAO)2ミリモルを用いた
以外は、実施例2と同様にしてL−LDPEを製造し
た。得られたポリマーの収量は0.3g、融点(Tm)は
121℃であった。なおポリマーは130℃のデカリン
に不溶であった。
【0040】実施例5〜8 化合物A−1の代わりにN,N’−ジ−t−ブチルジメ
チルジアミドシリレンチタニウムジクロリド(A−2と
略記する)を用いた以外は、それぞれ実施例1〜4と同
様にして実施した。結果を第1表に示す。なお、N,
N’−ジ−t−ブチルジメチルジアミドシリレンチタニ
ウムジクロリド(A−2)は次に示す構造を有してい
る。
【0041】
【化7】
【0042】実施例9〜12 化合物A−1の代わりに1,2−ベンゼンジチオキシジ
ルコニウムジクロリド(A−3と略記する)を用いた以
外は、それぞれ実施例1〜4と同様にして実施した。結
果を第1表に示す。なお、1,2−ベンゼンジチオキシ
ジルコニウムジクロリド(A−3)は次に示す構造を有
している。
【0043】比較例1 触媒をビスシクロペンタジエニルジルコニウムジクロリ
ドに変えたこと以外は、実施例2と同様にして、エチレ
ン・1−オクテン共重合体を得た。得られたポリマーの
収量は65gであり、融点は117℃であった。130
℃のデカリン中で測定した極限粘度〔η〕は、2.8デシ
リットル/gであった。
【0044】
【化8】
【0045】
【表1】
【0046】A−1:1,2−フェニレンジアミドチタ
ニウムジクロリド A−2:N,N’−ジ−t−ブチルジメチルジアミドシ
リレンチタニウムジクロリド A−3:1,2−ベンゼンジチオキシジルコニウムジク
ロリド TIBA:トリイソブチルアルミニウム B−1:テトラキス(ペンタフルオロフェニル)硼酸
N,N’−ジメチルアンモニウム MAO:メチルアルミノキサン
【0047】
【発明の効果】本発明のオレフィン系重合用触媒は、高
活性可溶系触媒であって、この触媒を用いることによ
り、高分子量でかつ均一であって分子量分布の狭いポリ
オレフィンが効率よく得られる。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)一般式(I) 【化1】 (式中、Mは周期律表第3〜10族又はランタノイド系
    列の金属元素、Xはσ結合性配位子,キレート性配位子
    又はルイス塩基を示し、aは0〜6の整数であり、Xが
    複数の場合、各Xは同じでも異なっていてもよく、Y1
    はS,Se,C,N,P,Si及びSnの中から選ばれ
    た元素を含む架橋基を示し、bは1以上の整数であり、
    1 が複数の場合、各Y1 は同じでも異なっていてもよ
    い。Y2 はO,S,Se,C,N,P,Si及びSnの
    中から選ばれた元素を含む架橋基を示し、cは1以上の
    整数であり、Y2 が複数の場合、各Y2 は同じでも異な
    っていてもよい。R1 及びR2 はそれぞれ架橋基でO,
    S,Se,C,N,P,Si,Sn及びBの中から選ば
    れた元素を含む基を示し、それらはたがいに同じでも異
    なっていてもよく、d及びeはそれぞれ0又は1であ
    る。Zは架橋基でO,S,Se,C,N,P,Si,S
    n及びBの中から選ばれた元素を含む基を示し、fは0
    〜4の整数であり、Zが複数の場合、各Zは同じでも異
    なっていてもよい。)で表される遷移金属化合物、及び
    (B)該(A)成分の遷移金属化合物又はその派生物と
    反応してイオン性の錯体を形成しうる化合物を含有する
    ことを特徴とするオレフィン重合用触媒。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のオレフィン重合用触媒の
    存在下、オレフィン類を単独重合又はオレフィン類と他
    のオレフィン類及び/又は他の単量体とを共重合させる
    ことを特徴とするポリオレフィンの製造方法。
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JP18365093A Pending JPH0741512A (ja) 1993-07-26 1993-07-26 オレフィン重合用触媒及び該触媒を用いたポリオレフィンの製造方法

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JP (1) JPH0741512A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7175756B2 (en) 2003-07-31 2007-02-13 Fanuc Ltd Device for treating working fluid for electric discharge machining

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