JPH0738945U - Sample holder - Google Patents
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- JPH0738945U JPH0738945U JP6818093U JP6818093U JPH0738945U JP H0738945 U JPH0738945 U JP H0738945U JP 6818093 U JP6818093 U JP 6818093U JP 6818093 U JP6818093 U JP 6818093U JP H0738945 U JPH0738945 U JP H0738945U
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】サンプルの透過観察が可能で、サンプル下面に
傷をつけず、しかもサンプルの撓みを防止できるサンプ
ルホルダーを得ることにある。
【構成】サンプル１を検査するための検査装置に用いる
ためのものであって、前記サンプル１を載置する枠状の
サンプルホルダー本体５と、このサンプルホルダー本体
５の下端面にシール材３を介して固定され、光が透過可
能なガラス板４と、前記サンプルホルダー本体５の上端
面に前記サンプル１が載置固定される際に、その接合面
を気密構造とする気密手段３と、これにより構成される
密閉容器内に圧縮気体を供給して前記サンプル１の撓み
を矯正する空気管付のコンプレッサー１６とを備えたも
の。
(57) [Summary] [Purpose] To obtain a sample holder capable of observing a sample through transmission, without damaging the lower surface of the sample and preventing the sample from bending. Constitution: Used for an inspection device for inspecting a sample 1, a frame-shaped sample holder body 5 on which the sample 1 is placed, and a sealing material 3 on a lower end surface of the sample holder body 5. A glass plate 4 which is fixed through the glass plate 4 and through which light can be transmitted; and an airtight means 3 which has a joining surface having an airtight structure when the sample 1 is placed and fixed on the upper end surface of the sample holder body 5. And a compressor 16 with an air tube for correcting the bending of the sample 1 by supplying compressed gas into the closed container constituted by.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、例えば大型液晶基板、ガラス基板（以下サンプルと称する）等の検 査装置や観察ステーション等に使用されるサンプルホルダーに関する。 The present invention relates to a sample holder used for an inspection device or an inspection station for a large liquid crystal substrate, a glass substrate (hereinafter referred to as a sample), for example.
【０００２】[0002]
従来、大型液晶基板の検査装置のサンプルホルダーとしては、研磨された石定 盤やガラス基板の上に直接サンプルを固定保持するものがある。このサンプルホ ルダーの場合には、以下のような問題点がある。 Conventionally, as a sample holder for an inspection apparatus for a large-sized liquid crystal substrate, there is one that directly holds a sample on a polished stone plate or a glass substrate. This sample holder has the following problems.
【０００３】 （１）サンプルの透過観察ができない。 （２）サンプルホルダーの重量が重くなる。 （３）サンプル下面に傷がつく。(1) The sample cannot be observed for transmission. (2) The sample holder becomes heavy. (3) The bottom surface of the sample is scratched.
【０００４】 （４）石定盤やガラス基板上にたまったごみがサンプルに付着する。 （５）搬送ロボットによるサンプルの受け渡しが難しい。 このような問題点を改善するため、従来中空構造で吸着保持するサンプルホル ダーが使用されている。(4) The dust accumulated on the stone surface plate and the glass substrate adheres to the sample. (5) It is difficult for the transfer robot to deliver the sample. In order to improve such a problem, a sample holder that has a hollow structure and is adsorbed and held is conventionally used.
【０００５】 図４，図５はそれぞれ従来の中空構造で吸着保持するサンプルホルダーの異な る例を示すものである。図４（ａ）はその第１の例を示す斜視図で、図４（ｂ） は図４（ａ）の一部を示す断面図であり、矩形枠からなるホルダー本体３５Ａ、 複数の吸着パッド３６、真空ポンプ３７、ジョイント３８ａを有する空気管３８ から構成されている。図示しないサンプルを吸着保持するには、サンプルを吸着 パッド３６の上に載せた状態で真空ポンプ３７を動作させて吸着パッド３６内の 空気を空気管３８を介して吸引すれば、サンプルが吸着パッド３６により吸着保 持される。FIG. 4 and FIG. 5 show different examples of sample holders having a conventional hollow structure that are held by suction. FIG. 4A is a perspective view showing the first example, and FIG. 4B is a sectional view showing a part of FIG. 4A. The holder main body 35A has a rectangular frame and a plurality of suction pads. 36, a vacuum pump 37, and an air pipe 38 having a joint 38a. In order to adsorb and hold a sample (not shown), the vacuum pump 37 is operated while the sample is placed on the adsorption pad 36, and the air in the adsorption pad 36 is sucked through the air pipe 38. 36 is held by suction.
【０００６】 図５は矩形板からなるホルダー本体３５Ｂ、吸着溝４０、真空ポンプ３７、ジ ョイント３８ａを有する空気管３８から構成されている。図示しないサンプルを 吸着保持するには、サンプルをホルダー本体３５Ｂの上（具体的には吸着溝４０ の上）に載せた状態で真空ポンプ３７を動作させて吸着溝４０内の空気を空気管 ３８を介して吸引すれば、サンプルが吸着溝４０により吸着保持される。FIG. 5 is composed of a holder body 35B made of a rectangular plate, a suction groove 40, a vacuum pump 37, and an air pipe 38 having a joint 38a. To adsorb and hold a sample (not shown), the vacuum pump 37 is operated while the sample is placed on the holder main body 35B (specifically, on the adsorbing groove 40), and the air in the adsorbing groove 40 is moved by the air tube 38. When the sample is sucked through the suction groove 40, the sample is sucked and held by the suction groove 40.
【０００７】[0007]
以上述べた図４及び図５の例では前述の問題点（１）〜（５）を改善できるも のの、以下に述べる（ａ）〜（ｅ）のような問題点がある。 （ａ）サンプルが大きいと、サンプルの撓み量が大きくなってしまう。この結 果、対物移動型フォーカシング顕微鏡において、サンプルの撓み量がフォーカス 領域を越えてしまう。 Although the above-described problems (1) to (5) can be improved in the examples of FIGS. 4 and 5 described above, there are problems (a) to (e) described below. (A) When the sample is large, the amount of bending of the sample becomes large. As a result, in the objective moving type focusing microscope, the amount of deflection of the sample exceeds the focus area.
【０００８】 （ｂ）サンプルを干渉光学系で検査する検査装置ではサンプルの撓み量が無視 できない程大きい。 （ｃ）サンプルを移動させたり、載せ替えたとき、サンプルが上下に振動して しまい、ピント合わせに時間がかかる。従って、サンプルの全面検査装置におい ては検査時間が大幅に長くなる。(B) In the inspection device that inspects the sample with the interference optical system, the deflection amount of the sample is too large to be ignored. (C) When the sample is moved or replaced, the sample vibrates up and down, and it takes time to focus. Therefore, the inspection time is greatly lengthened in the sample full surface inspection apparatus.
【０００９】 （ｄ）クリーンルーム内においては、ダウンフローによりサンプルが振動して しまう。 （ｅ）テレビカメラ等でサンプルの広い面積を取り込むと、サンプルの撓みに よりピンボケが発生してしまう。(D) In the clean room, the sample vibrates due to downflow. (E) When a large area of the sample is taken in by a television camera or the like, the sample is bent and defocused.
【００１０】 一方、図４及び図５におけるサンプルの撓みを防止するため、従来サンプルホ ルダー本体３５Ａ，３５Ｂの真ん中にサンプル支持棒を立ててサンプルを下から 支える方法も利用されているが、この場合もサンプル裏面に傷がつき、サンプル 支持棒の透過観察ができないいう問題点がある。On the other hand, in order to prevent the sample from being bent in FIGS. 4 and 5, a method of supporting a sample from below by raising a sample support rod in the center of the sample holder bodies 35A and 35B is also used. Also in this case, there is a problem that the back surface of the sample is scratched and the sample support rod cannot be observed for transmission.
【００１１】 そこで、本考案は、サンプルの透過観察が可能で、サンプル下面に傷をつけず 、しかもサンプルの撓みを防止できるサンプルホルダーを提供することを目的と する。Therefore, an object of the present invention is to provide a sample holder capable of observing a sample through transmission, without damaging the lower surface of the sample and preventing the sample from bending.
【００１２】[0012]
前記目的を達成するため、請求項１に対応する考案は、液晶基板、ガラス基板 等のサンプルを検査するための検査装置に用いるためのものであって、前記サン プルを載置する枠状のサンプルホルダー本体と、このサンプルホルダー本体の下 端面に気密構成部材を介して固定され、光が透過可能な透明体と、前記サンプル ホルダー本体の上端面に前記サンプルが載置固定される際に、その接合面を気密 構造とする気密手段と、これにより構成される密閉容器内に圧縮気体を供給して 前記サンプルの撓みを矯正する撓み矯正手段とを備えたサンプルホルダーである 。 In order to achieve the above object, the invention corresponding to claim 1 is for use in an inspection device for inspecting a sample such as a liquid crystal substrate or a glass substrate, and has a frame-like shape on which the sample is placed. A sample holder body and a transparent body that is fixed to the lower end surface of the sample holder body via an airtight component, and is transparent to light, and when the sample is placed and fixed on the upper end surface of the sample holder body, A sample holder comprising an airtight means having an airtight structure at its joint surface, and a bending correction means for supplying a compressed gas into a closed container constituted by the bending surface to correct the bending of the sample.
【００１３】 前記目的を達成するため、請求項２に対応する考案は、液晶基板、ガラス基板 等のサンプルを検査するための検査装置に用いるためのものであって、前記サン プルを載置する枠状のサンプルホルダー本体と、このサンプルホルダー本体の下 端面に気密構成部材を介して固定され、光が透過可能な透明体と、前記サンプル ホルダー本体の上端面に前記サンプルが載置固定される際に、その接合面を気密 構造とする気密手段と、これにより構成される密閉容器内の空気を熱膨脹により 内圧を高めて前記サンプルの撓みを矯正する撓み矯正手段とを備えたサンプルホ ルダーである。In order to achieve the above object, the invention according to claim 2 is for use in an inspection device for inspecting a sample such as a liquid crystal substrate or a glass substrate, and the sample is placed on the inspection device. A frame-shaped sample holder body, a transparent body that is fixed to the lower end surface of the sample holder body via an airtight component, and is transparent to light, and the sample is placed and fixed on the upper end surface of the sample holder body. At this time, the sample holder is provided with an airtight means having an airtight structure at the joint surface, and a bending correction means for increasing the internal pressure of the air in the closed container constituted by this to increase the internal pressure to correct the bending of the sample. is there.
【００１４】[0014]
請求項１，２に対応する考案によれば、サンプルホルダー本体の下端面に透明 体が設けられ、かつ撓み矯正手段を備えているので、サンプルの透過観察が可能 で、サンプル下面に傷をつけず、しかもサンプルの撓みを防止できる。 According to the inventions corresponding to claims 1 and 2, since the transparent body is provided on the lower end surface of the sample holder body and the deflection correcting means is provided, it is possible to observe the sample transparently and scratch the lower surface of the sample. In addition, the sample can be prevented from bending.
【００１５】[0015]
【実施例】 以下、本考案の実施例について図面を参照して説明する。 図１は本考案の概念図であり、サンプル１、吸着溝２、シール材３、光の透過 可能な材料例えばガラス板、サンプル１を載置するサンプルホルダー本体５、真 空ポンプ１４、空気管１５、コンプレッサ１６、空気管１７から構成されている 。Embodiments Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a conceptual diagram of the present invention, in which a sample 1, an adsorption groove 2, a sealing material 3, a light-transmissive material such as a glass plate, a sample holder body 5 on which the sample 1 is mounted, a vacuum pump 14, an air tube. 15, a compressor 16, and an air pipe 17.
【００１６】 サンプルホルダー本体５の上部に、サンプル１を空気管１５を有する真空ポン プ１４により真空吸着するための吸着溝２を形成し、吸着溝２の両側には、シー ル材３を取り付け、真空低下を防ぐ構造となっている。サンプルホルダー本体５ の下部にガラス板をシール材３を介して取り付け、サンプルホルダー本体５の内 部を気密にすると共に、透過光が下から照らされる構造になっている。A suction groove 2 for vacuum-sucking the sample 1 by a vacuum pump 14 having an air tube 15 is formed on the upper part of the sample holder body 5, and seal materials 3 are attached to both sides of the suction groove 2. The structure is designed to prevent a vacuum drop. A glass plate is attached to the lower part of the sample holder main body 5 via a sealing material 3 to make the inside of the sample holder main body 5 airtight and to allow transmitted light to be illuminated from below.
【００１７】 そして、サンプル１、シール材３、ガラス板４、サンプルホルダー本体５で構 成される密閉空間内に空気管１７を有するコンプレッサー１７からの圧空（圧縮 空気）または空気が供給されるようになっている。Then, compressed air or air is supplied from a compressor 17 having an air pipe 17 into a closed space constituted by the sample 1, the sealing material 3, the glass plate 4, and the sample holder body 5. It has become.
【００１８】 このような構成のものにおいて、サンプル１が真空吸着されると、シール材３ が押し潰されて前記密閉空間が確実に気密状態となる。このとき、コンプレッサ ー１７からの圧空または空気を前記密閉空間内に供給すると、サンプル１の撓み が矯正される。In such a structure, when the sample 1 is vacuum-adsorbed, the sealing material 3 is crushed and the hermetically sealed space is surely brought into an airtight state. At this time, when compressed air or air from the compressor 17 is supplied into the closed space, the bending of the sample 1 is corrected.
【００１９】 いまサンプル１が例えばガラス基板で、サイズが５００[mm]×６００[mm]、厚 さが１．１[mm]とすると、サンプル１の自重が約７５０[g] となる。このサンプ ル１の自重をキャンセルする圧空を計算すると、１．０００２気圧となる。Now, assuming that the sample 1 is, for example, a glass substrate, the size is 500 [mm] × 600 [mm], and the thickness is 1.1 [mm], the self-weight of the sample 1 is about 750 [g]. Calculating the compressed air that cancels the own weight of this sample 1, it will be 1.0002 atmospheric pressure.
【００２０】 また、サンプル１の撓み量から撓み部分の体積を求めると、約３００[cm 3 ] となるので、これと同等の体積の空気を供給すれば、サンプル１の撓みが矯正さ れる。Further, when the volume of the bending portion is calculated from the bending amount of the sample 1, it becomes about 300 [cm 3 ], so that the bending of the sample 1 can be corrected by supplying the air of the same volume.
【００２１】 図２は本考案の第１実施例を示す構成図であるが、図１と同一部分には同一符 号を付して説明する。サンプルホルダー本体５の下面に、ガラス板４が空気漏れ が生じないように、シール材を介して固定されている。サンプル１がサンプルホ ルダー本体５上にセットされると、まず真空用電磁弁１０を用いてサンプル１を 真空吸着する。このとき、シール材３は、サンプル１によって押し潰され、サン プルホルダー本体５等で形成される前記密閉空間内部は完全に外気としゃ断され る。FIG. 2 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention. The same parts as those in FIG. The glass plate 4 is fixed to the lower surface of the sample holder body 5 via a sealing material so that air leakage does not occur. When the sample 1 is set on the sample holder main body 5, first, the sample 1 is vacuum-adsorbed by using the vacuum solenoid valve 10. At this time, the sealing material 3 is crushed by the sample 1, and the inside of the closed space formed by the sample holder body 5 and the like is completely cut off from the outside air.
【００２２】 シール材３としては、発塵しない材質、例えばシリコーン系のものがよい。 次に、電磁弁１１を開き、精密コントロールバルブ１２で、１．０００２気圧 に調整された圧空を前記密閉空間内部に供給する。すると、撓んでいたサンプル １は、圧空によって押し上げられ、水平状態となる。The sealing material 3 is preferably a material that does not generate dust, for example, a silicone-based material. Next, the solenoid valve 11 is opened, and the precision control valve 12 supplies compressed air adjusted to a pressure of 1.0002 to the inside of the closed space. Then, the bent sample 1 is pushed up by the compressed air and becomes horizontal.
【００２３】 ガラス板４の下には、透過照明用コンデンサレンズ９を配置し、サンプル１の 透過観察が可能になっている。また、Ｘステージ６、Ｙステージ７により、サン プル１の任意のポイントが顕微鏡１３で観察可能になっている。この場合、顕微 鏡１３の代わりにサンプル全面を検査するカメラユニットでもよい。A transmission illumination condenser lens 9 is arranged under the glass plate 4 so that the sample 1 can be observed through transmission. Further, the X stage 6 and the Y stage 7 allow an arbitrary point of the sample 1 to be observed by the microscope 13. In this case, a camera unit that inspects the entire surface of the sample may be used instead of the microscope 13.
【００２４】 Ｘステージ６、Ｙステージ７はいずれも中空構造となっており、コンデンサレ ンズ９とは干渉しない構造となっていて、除振台８の上に載置されている。 サンプル１の交換は、マニュアルまたはロボットを使用するが、ロボットで交 換するとき、サンプルホルダー本体５の四隅に図示しない超小型シリンダーを埋 め込み、サンプル交換時にシリンダーを上下させて基板を受け渡す構造となって いる。Each of the X stage 6 and the Y stage 7 has a hollow structure, does not interfere with the condenser lens 9, and is mounted on the vibration isolation table 8. The sample 1 can be exchanged manually or using a robot. When exchanging with a robot, ultra-small cylinders (not shown) are embedded in the four corners of the sample holder body 5, and when exchanging the sample, the cylinder is moved up and down to transfer the substrate. It has a structure.
【００２５】 サンプル１を取り出す時には、真空用電磁弁１０及び圧空用電磁弁１１を閉じ て行なう。 以上述べた第１実施例によれば、サンプル例えば、１辺が３００[mm]〜４００ [mm]の正四角形の大型液晶基板またはガラス基板の撓みが防止できるので、以下 のような効果が得られる。When the sample 1 is taken out, the vacuum solenoid valve 10 and the compressed air solenoid valve 11 are closed. According to the first embodiment described above, the sample, for example, a large square liquid crystal substrate or a glass substrate having a square shape of 300 [mm] to 400 [mm] on one side can be prevented from being bent, so that the following effects can be obtained. To be
【００２６】 １）対物移動型顕微鏡においては、サンプル１の撓み量がフォーカス範囲内に 収まる。 ２）サンプル１を移動したり載せ替えてもサンプル１の振動が少なくなり、高 速検査が可能になる。1) In the objective moving microscope, the amount of deflection of the sample 1 is within the focus range. 2) Even if the sample 1 is moved or replaced, the vibration of the sample 1 is reduced and high-speed inspection becomes possible.
【００２７】 ３）テレビカメラ等で、サンプル１の広い面積を取り込み、欠陥検査する装置 において、サンプル１のピンボケがなくなる。 ４）干渉光学系等によりサンプル１を観察する装置において、サンプル１の撓 みが干渉観察に悪影響を与えない。3) An out-of-focus image of sample 1 is eliminated in an apparatus for inspecting defects by taking in a large area of sample 1 with a television camera or the like. 4) In a device for observing the sample 1 with an interference optical system or the like, the bending of the sample 1 does not adversely affect the interference observation.
【００２８】 ５）サンプル保持は、サンプル周辺部だけなので、サンプル面に傷をつけたり 、ゴミが付着したりすることがない。 ６）空気を上から下に向けて吹き付けるダウンフロー式の検査室内のサンプル １の振動が抑えられる。5) Since the sample is held only in the peripheral part of the sample, the sample surface is not scratched or dust is not attached. 6) Vibration of the sample 1 in the down-flow type inspection chamber in which air is blown from the top to the bottom is suppressed.
【００２９】 図３は本考案の第２実施例の一部のみを示す概略構成図であり、サンプルホル ダー本体５とガラス板４とサンプル１により形成される密閉空間内に供給する空 気供給部の構造を示し、エアー溜め２１、ピストン２２、モーター２３、ナット ２４、送りネジ２５から構成されている。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing only a part of the second embodiment of the present invention, in which air is supplied into a closed space formed by the sample holder body 5, the glass plate 4 and the sample 1. The structure of the part is shown, and it comprises an air reservoir 21, a piston 22, a motor 23, a nut 24, and a feed screw 25.
【００３０】 このように構成されたものにおいて、サンプルホルダー本体５上に、サンプル １が無いとき、モーター２３を回転駆動させ、ピストン２２を戻しエアー溜め２ １にエアが最もたくさん溜まる状態にしておく。次に、サンプル１がサンプルホ ルダー本体５上に載せられ、サンプル１が真空吸着されたら、モーター２３を逆 に回転駆動させてピストン２２を送り出し、エアー溜め２１の空気を約３００[c m 3 ] を前記密閉空間内に送り込む。すると、エアー量の微妙な調整は、モータ ー２３の回転量にて調整することにより、サンプル１の撓みが矯正される。In the above-described structure, when the sample 1 is not present on the sample holder body 5, the motor 23 is driven to rotate and the piston 22 is returned so that the air is stored in the air reservoir 21 in the maximum amount. . Next, the sample 1 is placed on the sample holder body 5, and when the sample 1 is vacuum-adsorbed, the motor 23 is driven to rotate in the opposite direction to send out the piston 22 and the air in the air reservoir 21 is about 300 [cm 3 ]. Is fed into the closed space. Then, the subtle adjustment of the air amount is corrected by adjusting the rotation amount of the motor 23, whereby the bending of the sample 1 is corrected.
【００３１】 本考案は以上述べた実施例に限定されず、種々変形して実施できる。例えば、 前述の実施例ではサンプル１の撓みを防止するため、コンプレッサー１６からの 圧空を、サンプルホルダー本体５等で形成される密閉容器内に供給するようにし たが、これに代えて以下のような構成としてもよい。すなわち、前記密閉容器内 に図示しない熱源を収納し、サンプル１がサンプルホルダー本体５にセットされ 、密閉空間が形成されたとき、熱源を発熱させて密閉空間内の空気を熱膨脹させ ることにより、サンプル１の撓みを矯正するようにしてもよい。また、この変形 例とは別に、この変形例と前述の実施例を組み合わせてサンプル１の撓みを矯正 することもできる。The present invention is not limited to the above-described embodiments, but can be implemented with various modifications. For example, in the above-described embodiment, in order to prevent the sample 1 from bending, the compressed air from the compressor 16 is supplied into the closed container formed by the sample holder body 5 or the like. It may have any configuration. That is, when a heat source (not shown) is housed in the closed container, the sample 1 is set in the sample holder body 5 and a closed space is formed, the heat source is heated to thermally expand the air in the closed space. The bending of the sample 1 may be corrected. In addition to this modification, the modification of the sample 1 can be corrected by combining this modification with the above-described embodiment.
【００３２】[0032]
本考案によれば、サンプルの透過観察が可能で、サンプル下面に傷をつけず、 しかもサンプルの撓みを防止できるサンプルホルダーを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a sample holder that allows observation of a sample through transmission, does not damage the lower surface of the sample, and can prevent the sample from bending.
【図１】本考案によるサンプルホルダーの概念図。FIG. 1 is a conceptual diagram of a sample holder according to the present invention.
【図２】本考案によるサンプルホルダーの第１実施例を
示す概略構成図。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of a sample holder according to the present invention.
【図３】本考案によるサンプルホルダーの第２実施例を
示す概略構成図。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a second embodiment of the sample holder according to the present invention.
【図４】従来のサンプルホルダーの第１の例を示す概略
構成図。FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a first example of a conventional sample holder.
【図５】従来のサンプルホルダーの第２の例を示す概略
構成図。FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing a second example of a conventional sample holder.
１…サンプル、２…吸着溝、３…シール材、４…ガラス
板、５…サンプルホルダー本体、６…Ｘステージ、７…
Ｙステージ、８…除振台、９…コンデンサレンズ、１０
…真空用電磁弁、１１…圧空用電磁弁、１２…精密圧空
コントロールバルブ、１３…顕微鏡、２１…エアー溜
め、２２…ピストン、２３…モーター、２４…ナット、
２５…送りネジ。1 ... Sample, 2 ... Suction groove, 3 ... Sealant, 4 ... Glass plate, 5 ... Sample holder body, 6 ... X stage, 7 ...
Y stage, 8 ... Vibration isolation table, 9 ... Condenser lens, 10
... electromagnetic valve for vacuum, 11 ... electromagnetic valve for air pressure, 12 ... precision air pressure control valve, 13 ... microscope, 21 ... air reservoir, 22 ... piston, 23 ... motor, 24 ... nut,
25 ... Lead screw.
Claims (2)
査するための検査装置に用いるためのものであって、前
記サンプルを載置する枠状のサンプルホルダー本体と、
このサンプルホルダー本体の下端面に気密構成部材を介
して固定され、光が透過可能な透明体と、前記サンプル
ホルダー本体の上端面に前記サンプルが載置固定される
際に、その接合面を気密構造とする気密手段と、これに
より構成される密閉容器内に圧縮気体を供給して前記サ
ンプルの撓みを矯正する撓み矯正手段とを備えたサンプ
ルホルダー。1. A frame-shaped sample holder body for use in an inspection device for inspecting a sample such as a liquid crystal substrate or a glass substrate, and a frame-shaped sample holder body for mounting the sample.
The sample holder main body is fixed to the lower end surface via an airtight component, and a transparent body that allows light to pass through, and the joint surface when the sample is placed and fixed on the upper end surface of the sample holder main body is airtight. A sample holder provided with an airtight means having a structure, and a bend correcting means for correcting the bend of the sample by supplying a compressed gas into a closed container constituted by the structure.
査するための検査装置に用いるためのものであって、前
記サンプルを載置する枠状のサンプルホルダー本体と、
このサンプルホルダー本体の下端面に気密構成部材を介
して固定され、光が透過可能な透明体と、前記サンプル
ホルダー本体の上端面に前記サンプルが載置固定される
際に、その接合面を気密構造とする気密手段と、これに
より構成される密閉容器内の空気を熱膨脹により内圧を
高めて前記サンプルの撓みを矯正する撓み矯正手段とを
備えたサンプルホルダー。2. A frame-shaped sample holder body for use in an inspection device for inspecting a sample such as a liquid crystal substrate or a glass substrate, and a frame-shaped sample holder body for mounting the sample.
The sample holder main body is fixed to the lower end surface via an airtight component, and a transparent body that allows light to pass through, and the joint surface when the sample is placed and fixed on the upper end surface of the sample holder main body is airtight. A sample holder provided with an airtight means having a structure and a bending correction means for correcting the bending of the sample by increasing the internal pressure of the air in the closed container constituted by the thermal expansion to increase the internal pressure.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993068180U JP2600892Y2 (en) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | Sample holder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993068180U JP2600892Y2 (en) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | Sample holder |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0738945U true JPH0738945U (en) | 1995-07-14 |
| JP2600892Y2 JP2600892Y2 (en) | 1999-10-25 |
Family
ID=13366330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993068180U Expired - Fee Related JP2600892Y2 (en) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | Sample holder |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2600892Y2 (en) |
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-
1993
- 1993-12-21 JP JP1993068180U patent/JP2600892Y2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015132497A (en) * | 2014-01-10 | 2015-07-23 | セイコーエプソン株式会社 | Inspection device and inspection method |
| CN110596161A (en) * | 2019-10-21 | 2019-12-20 | 散裂中子源科学中心 | Automatic sample changing device and neutron reflection experimental device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2600892Y2 (en) | 1999-10-25 |
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