JP2600892Y2 - Sample holder - Google Patents
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Description
【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は、例えば大型液晶基板、
ガラス基板（以下サンプルと称する）等の検査装置や観
察ステーション等に使用されるサンプルホルダーに関す
る。The present invention relates to, for example, a large liquid crystal substrate,
The present invention relates to a sample holder used for an inspection device for glass substrates (hereinafter, referred to as a sample), an observation station, and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、大型液晶基板の検査装置のサンプ
ルホルダーとしては、研磨された石定盤やガラス基板の
上に直接サンプルを固定保持するものがある。このサン
プルホルダーの場合には、以下のような問題点がある。2. Description of the Related Art Conventionally, as a sample holder of an inspection apparatus for a large liquid crystal substrate, there is a sample holder for directly holding a sample on a polished stone surface plate or a glass substrate. In the case of this sample holder, there are the following problems.
【０００３】（１）サンプルの透過観察ができない。 （２）サンプルホルダーの重量が重くなる。 （３）サンプル下面に傷がつく。(1) Transmission observation of a sample cannot be performed. (2) The weight of the sample holder increases. (3) The lower surface of the sample is scratched.
【０００４】（４）石定盤やガラス基板上にたまったご
みがサンプルに付着する。 （５）搬送ロボットによるサンプルの受け渡しが難し
い。 このような問題点を改善するため、従来中空構造で吸着
保持するサンプルホルダーが使用されている。(4) Debris accumulated on a stone platen or a glass substrate adheres to a sample. (5) It is difficult to transfer samples by the transfer robot. In order to solve such a problem, a sample holder that has a hollow structure and adsorbs and retains the same has been used.
【０００５】図４，図５はそれぞれ従来の中空構造で吸
着保持するサンプルホルダーの異なる例を示すものであ
る。図４（ａ）はその第１の例を示す斜視図で、図４
（ｂ）は図４（ａ）の一部を示す断面図であり、矩形枠
からなるホルダー本体３５Ａ、複数の吸着パッド３６、
真空ポンプ３７、ジョイント３８ａを有する空気管３８
から構成されている。図示しないサンプルを吸着保持す
るには、サンプルを吸着パッド３６の上に載せた状態で
真空ポンプ３７を動作させて吸着パッド３６内の空気を
空気管３８を介して吸引すれば、サンプルが吸着パッド
３６により吸着保持される。FIGS. 4 and 5 show different examples of a sample holder for holding by suction with a conventional hollow structure. FIG. 4A is a perspective view showing a first example thereof.
4B is a cross-sectional view showing a part of FIG. 4A, in which a holder body 35A formed of a rectangular frame, a plurality of suction pads 36,
Vacuum pump 37, air tube 38 having joint 38a
It is composed of In order to adsorb and hold a sample (not shown), the vacuum pump 37 is operated while the sample is placed on the adsorption pad 36 to suck the air in the adsorption pad 36 through the air pipe 38. 36 holds it by suction.
【０００６】図５は矩形板からなるホルダー本体３５
Ｂ、吸着溝４０、真空ポンプ３７、ジョイント３８ａを
有する空気管３８から構成されている。図示しないサン
プルを吸着保持するには、サンプルをホルダー本体３５
Ｂの上（具体的には吸着溝４０の上）に載せた状態で真
空ポンプ３７を動作させて吸着溝４０内の空気を空気管
３８を介して吸引すれば、サンプルが吸着溝４０により
吸着保持される。FIG. 5 shows a holder body 35 made of a rectangular plate.
B, a suction groove 40, a vacuum pump 37, and an air pipe 38 having a joint 38a. To adsorb and hold a sample (not shown), the sample is held in the holder body 35.
When the vacuum pump 37 is operated and the air in the suction groove 40 is sucked through the air pipe 38 while being placed on the B (specifically, on the suction groove 40), the sample is sucked by the suction groove 40. Will be retained.
【０００７】[0007]
【考案が解決しようとする課題】以上述べた図４及び図
５の例では前述の問題点（１）〜（５）を改善できるも
のの、以下に述べる（ａ）〜（ｅ）のような問題点があ
る。 （ａ）サンプルが大きいと、サンプルの撓み量が大きく
なってしまう。この結果、対物移動型フォーカシング顕
微鏡において、サンプルの撓み量がフォーカス領域を越
えてしまう。The above-described examples of FIGS. 4 and 5 can solve the above-mentioned problems (1) to (5), but have the following problems (a) to (e). There is a point. (A) If the sample is large, the amount of deflection of the sample increases. As a result, in the objective moving focusing microscope, the amount of deflection of the sample exceeds the focus area.
【０００８】（ｂ）サンプルを干渉光学系で検査する検
査装置ではサンプルの撓み量が無視できない程大きい。 （ｃ）サンプルを移動させたり、載せ替えたとき、サン
プルが上下に振動してしまい、ピント合わせに時間がか
かる。従って、サンプルの全面検査装置においては検査
時間が大幅に長くなる。(B) In an inspection apparatus for inspecting a sample with an interference optical system, the amount of deflection of the sample is so large that it cannot be ignored. (C) When the sample is moved or mounted, the sample vibrates up and down, and it takes time to focus. Therefore, the inspection time is significantly long in the sample full-surface inspection apparatus.
【０００９】（ｄ）クリーンルーム内においては、ダウ
ンフローによりサンプルが振動してしまう。 （ｅ）テレビカメラ等でサンプルの広い面積を取り込む
と、サンプルの撓みによりピンボケが発生してしまう。(D) In a clean room, the sample vibrates due to the downflow. (E) If a large area of the sample is taken in by a television camera or the like, blurring of the sample causes blurring.
【００１０】一方、図４及び図５におけるサンプルの撓
みを防止するため、従来サンプルホルダー本体３５Ａ，
３５Ｂの真ん中にサンプル支持棒を立ててサンプルを下
から支える方法も利用されているが、この場合もサンプ
ル裏面に傷がつき、サンプル支持棒の透過観察ができな
いいう問題点がある。On the other hand, in order to prevent the sample from bending in FIGS. 4 and 5, a conventional sample holder body 35A,
A method of supporting a sample from below by setting a sample support rod in the middle of 35B is also used, but also in this case, there is a problem that the back surface of the sample is damaged and transmission observation of the sample support rod cannot be performed.
【００１１】そこで、本考案は、載置されるサンプル下
面に傷をつけずにサンプルの撓みを良好に防止でき、ま
たサンプルの透過観察をも可能なサンプルホルダーを提
供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a sample holder capable of favorably preventing the sample from being bent without damaging the lower surface of the sample to be placed, and also capable of observing the sample through transmission.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１に対応する考案は、液晶基板、ガラス基板
等の大型サンプルを保持するためのサンプルホルダーで
あって、前記サンプルを載置する枠状のサンプルホルダ
ー本体と、このサンプルホルダー本体の下端側を気密状
態に閉塞する閉塞部材を設け、前記サンプルホルダー本
体の上端面と前記サンプルの接合面との間を気密状態に
保持する気密手段を設け、前記閉塞部材と前記サンプル
とにより構成された密閉空間内の内圧を調整して前記サ
ンプルの撓みを矯正する撓み矯正手段を設けたことを特
徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a sample holder for holding a large sample such as a liquid crystal substrate or a glass substrate. A frame-shaped sample holder main body to be placed and a closing member for closing the lower end side of the sample holder main body in an airtight state are provided, and the space between the upper end surface of the sample holder main body and the joint surface of the sample is held in an airtight state. An airtight means is provided, and a bending correcting means for correcting a bending of the sample by adjusting an internal pressure in a closed space formed by the closing member and the sample is provided.
【００１３】前記目的を達成するために、請求項２に対
する考案は、前記閉塞部材を光が透過可能な透明体で形
成したことを特徴とする。In order to achieve the above object, the invention according to claim 2 is characterized in that the closing member is formed of a transparent body through which light can pass.
【００１４】[0014]
【作用】請求項１に対応する考案によれば、閉塞部材と
前記サンプルとにより構成された密閉空間内の内圧を調
整することで、載置された大型サンプルの下面に傷をつ
けることなくサンプルの撓みを矯正することができる。
また、請求項２に対応する考案によれば、閉塞部材を光
が透過可能な透明体で形成することでサンプルの透過観
察をも可能にできる。According to the invention corresponding to claim 1, by adjusting the internal pressure in the enclosed space formed by the closing member and the sample, the sample can be sampled without damaging the lower surface of the placed large sample. Can be corrected.
Further, according to the invention corresponding to claim 2, the obstruction member is formed of a transparent body through which light can pass, so that transmission observation of the sample can be performed.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、本考案の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本考案の概念図であり、サンプル
１、吸着溝２、シール材３、光の透過可能な材料例えば
ガラス板、サンプル１を載置するサンプルホルダー本体
５、真空ポンプ１４、空気管１５、コンプレッサ１６、
空気管１７から構成されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a conceptual diagram of the present invention, in which a sample 1, a suction groove 2, a sealing material 3, a light-permeable material such as a glass plate, a sample holder main body 5 on which the sample 1 is placed, a vacuum pump 14, and an air pipe 15 are shown. , Compressor 16,
It is composed of an air pipe 17.
【００１６】サンプルホルダー本体５の上部に、サンプ
ル１を空気管１５を有する真空ポンプ１４により真空吸
着するための吸着溝２を形成し、吸着溝２の両側には、
シール材３を取り付け、真空低下を防ぐ構造となってい
る。サンプルホルダー本体５の下部にガラス板をシール
材３を介して取り付け、サンプルホルダー本体５の内部
を気密にすると共に、透過光が下から照らされる構造に
なっている。At the upper part of the sample holder body 5, a suction groove 2 for vacuum-sucking the sample 1 by a vacuum pump 14 having an air pipe 15 is formed.
A structure is provided in which a sealing material 3 is attached to prevent a reduction in vacuum. A glass plate is attached to the lower part of the sample holder main body 5 via the sealing material 3 so that the inside of the sample holder main body 5 is airtight and the transmitted light is illuminated from below.
【００１７】そして、サンプル１、シール材３、ガラス
板４、サンプルホルダー本体５で構成される密閉空間内
に空気管１７を有するコンプレッサー１７からの圧空
（圧縮空気）または空気が供給されるようになってい
る。Then, compressed air (compressed air) or air is supplied from a compressor 17 having an air pipe 17 into a closed space formed by the sample 1, the sealing material 3, the glass plate 4, and the sample holder body 5. Has become.
【００１８】このような構成のものにおいて、サンプル
１が真空吸着されると、シール材３が押し潰されて前記
密閉空間が確実に気密状態となる。このとき、コンプレ
ッサー１７からの圧空または空気を前記密閉空間内に供
給すると、サンプル１の撓みが矯正される。In such a structure, when the sample 1 is vacuum-adsorbed, the sealing material 3 is crushed and the sealed space is reliably airtight. At this time, if compressed air or air from the compressor 17 is supplied into the closed space, the bending of the sample 1 is corrected.
【００１９】いまサンプル１が例えばガラス基板で、サ
イズが５００[mm]×６００[mm]、厚さが１．１[mm]とす
ると、サンプル１の自重が約７５０[g] となる。このサ
ンプル１の自重をキャンセルする圧空を計算すると、
１．０００２気圧となる。If the sample 1 is a glass substrate, for example, having a size of 500 [mm] × 600 [mm] and a thickness of 1.1 [mm], the own weight of the sample 1 becomes about 750 [g]. Calculating the compressed air that cancels the self-weight of this sample 1,
1.0002 atm.
【００２０】また、サンプル１の撓み量から撓み部分の
体積を求めると、約３００[cm 3 ]となるので、これと
同等の体積の空気を供給すれば、サンプル１の撓みが矯
正される。Further, when the volume of the bent portion is obtained from the amount of bending of the sample 1, it is about 300 [cm 3 ]. If the same volume of air is supplied, the bending of the sample 1 is corrected.
【００２１】図２は本考案の第１実施例を示す構成図で
あるが、図１と同一部分には同一符号を付して説明す
る。サンプルホルダー本体５の下面に、ガラス板４が空
気漏れが生じないように、シール材を介して固定されて
いる。サンプル１がサンプルホルダー本体５上にセット
されると、まず真空用電磁弁１０を用いてサンプル１を
真空吸着する。このとき、シール材３は、サンプル１に
よって押し潰され、サンプルホルダー本体５等で形成さ
れる前記密閉空間内部は完全に外気としゃ断される。FIG. 2 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention. The same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. The glass plate 4 is fixed to the lower surface of the sample holder main body 5 via a sealing material so that air leakage does not occur. When the sample 1 is set on the sample holder main body 5, the sample 1 is first vacuum-adsorbed by using the vacuum solenoid valve 10. At this time, the sealing material 3 is crushed by the sample 1, and the inside of the closed space formed by the sample holder main body 5 and the like is completely shut off from the outside air.
【００２２】シール材３としては、発塵しない材質、例
えばシリコーン系のものがよい。次に、電磁弁１１を開
き、精密コントロールバルブ１２で、１．０００２気圧
に調整された圧空を前記密閉空間内部に供給する。する
と、撓んでいたサンプル１は、圧空によって押し上げら
れ、水平状態となる。The sealing material 3 is preferably made of a material that does not generate dust, for example, a silicone-based material. Next, the solenoid valve 11 is opened, and the compressed air adjusted to 1.0002 atmosphere is supplied into the closed space by the precision control valve 12. Then, the bent sample 1 is pushed up by the compressed air to be in a horizontal state.
【００２３】ガラス板４の下には、透過照明用コンデン
サレンズ９を配置し、サンプル１の透過観察が可能にな
っている。また、Ｘステージ６、Ｙステージ７により、
サンプル１の任意のポイントが顕微鏡１３で観察可能に
なっている。この場合、顕微鏡１３の代わりにサンプル
全面を検査するカメラユニットでもよい。A transmission illumination condenser lens 9 is disposed below the glass plate 4 so that transmission observation of the sample 1 is possible. Also, by the X stage 6 and the Y stage 7,
An arbitrary point of the sample 1 can be observed with the microscope 13. In this case, a camera unit for inspecting the entire surface of the sample may be used instead of the microscope 13.
【００２４】Ｘステージ６、Ｙステージ７はいずれも中
空構造となっており、コンデンサレンズ９とは干渉しな
い構造となっていて、除振台８の上に載置されている。
サンプル１の交換は、マニュアルまたはロボットを使用
するが、ロボットで交換するとき、サンプルホルダー本
体５の四隅に図示しない超小型シリンダーを埋め込み、
サンプル交換時にシリンダーを上下させて基板を受け渡
す構造となっている。Each of the X stage 6 and the Y stage 7 has a hollow structure, does not interfere with the condenser lens 9, and is mounted on the vibration isolation table 8.
The sample 1 is exchanged using a manual or a robot. When the sample 1 is exchanged by a robot, an ultra-small cylinder (not shown) is embedded in the four corners of the sample holder body 5,
When exchanging samples, the cylinder is moved up and down to transfer the substrate.
【００２５】サンプル１を取り出す時には、真空用電磁
弁１０及び圧空用電磁弁１１を閉じて行なう。以上述べ
た第１実施例によれば、サンプル例えば、１辺が３００
[mm]〜４００[mm]の正四角形の大型液晶基板またはガラ
ス基板の撓みが防止できるので、以下のような効果が得
られる。When taking out the sample 1, the vacuum solenoid valve 10 and the compressed air solenoid valve 11 are closed. According to the first embodiment described above, the sample, for example, one side is 300
Since the deflection of a large square liquid crystal substrate or glass substrate of [mm] to 400 [mm] can be prevented, the following effects can be obtained.
【００２６】１）対物移動型顕微鏡においては、サンプ
ル１の撓み量がフォーカス範囲内に収まる。 ２）サンプル１を移動したり載せ替えてもサンプル１の
振動が少なくなり、高速検査が可能になる。1) In the objective moving microscope, the amount of deflection of the sample 1 falls within the focus range. 2) Even if the sample 1 is moved or replaced, the vibration of the sample 1 is reduced, and high-speed inspection can be performed.
【００２７】３）テレビカメラ等で、サンプル１の広い
面積を取り込み、欠陥検査する装置において、サンプル
１のピンボケがなくなる。 ４）干渉光学系等によりサンプル１を観察する装置にお
いて、サンプル１の撓みが干渉観察に悪影響を与えな
い。3) In a device for taking in a large area of the sample 1 with a television camera or the like and performing a defect inspection, the blur of the sample 1 is eliminated. 4) In an apparatus for observing the sample 1 using an interference optical system or the like, the bending of the sample 1 does not adversely affect the interference observation.
【００２８】５）サンプル保持は、サンプル周辺部だけ
なので、サンプル面に傷をつけたり、ゴミが付着したり
することがない。 ６）空気を上から下に向けて吹き付けるダウンフロー式
の検査室内のサンプル１の振動が抑えられる。5) Since the sample is held only at the periphery of the sample, there is no possibility that the sample surface is damaged or dust is attached. 6) The vibration of the sample 1 in the down-flow type inspection room in which air is blown downward from above is suppressed.
【００２９】図３は本考案の第２実施例の一部のみを示
す概略構成図であり、サンプルホルダー本体５とガラス
板４とサンプル１により形成される密閉空間内に供給す
る空気供給部の構造を示し、エアー溜め２１、ピストン
２２、モーター２３、ナット２４、送りネジ２５から構
成されている。FIG. 3 is a schematic diagram showing only a part of the second embodiment of the present invention, in which an air supply unit for supplying the air into a closed space formed by the sample holder body 5, the glass plate 4 and the sample 1. The structure is shown, and comprises an air reservoir 21, a piston 22, a motor 23, a nut 24, and a feed screw 25.
【００３０】このように構成されたものにおいて、サン
プルホルダー本体５上に、サンプル１が無いとき、モー
ター２３を回転駆動させ、ピストン２２を戻しエアー溜
め２１にエアが最もたくさん溜まる状態にしておく。次
に、サンプル１がサンプルホルダー本体５上に載せら
れ、サンプル１が真空吸着されたら、モーター２３を逆
に回転駆動させてピストン２２を送り出し、エアー溜め
２１の空気を約３００[cm 3 ] を前記密閉空間内に送り
込む。すると、エアー量の微妙な調整は、モーター２３
の回転量にて調整することにより、サンプル１の撓みが
矯正される。When the sample 1 is not present on the sample holder main body 5 in the above-described configuration, the motor 23 is driven to rotate, the piston 22 is returned, and the air is stored in the air reservoir 21 in the largest amount. Next, the sample 1 is placed on the sample holder main body 5, and when the sample 1 is sucked in vacuum, the motor 23 is rotated in the reverse direction to send out the piston 22, and the air in the air reservoir 21 is discharged by about 300 [cm 3 ]. It is sent into the closed space. Then, the fine adjustment of the air volume
By adjusting the amount of rotation, the deflection of the sample 1 is corrected.
【００３１】本考案は以上述べた実施例に限定されず、
種々変形して実施できる。例えば、前述の実施例ではサ
ンプル１の撓みを防止するため、コンプレッサー１６か
らの圧空を、サンプルホルダー本体５等で形成される密
閉容器内に供給するようにしたが、これに代えて以下の
ような構成としてもよい。すなわち、前記密閉容器内に
図示しない熱源を収納し、サンプル１がサンプルホルダ
ー本体５にセットされ、密閉空間が形成されたとき、熱
源を発熱させて密閉空間内の空気を熱膨脹させることに
より、サンプル１の撓みを矯正するようにしてもよい。
また、この変形例とは別に、この変形例と前述の実施例
を組み合わせてサンプル１の撓みを矯正することもでき
る。The present invention is not limited to the embodiment described above.
Various modifications can be made. For example, in the above-described embodiment, the compressed air from the compressor 16 is supplied into the closed container formed by the sample holder main body 5 and the like in order to prevent the sample 1 from being bent. The configuration may be any. That is, a heat source (not shown) is accommodated in the closed container, and when the sample 1 is set on the sample holder main body 5 and the closed space is formed, the heat source is heated to thermally expand the air in the closed space. The first deflection may be corrected.
Apart from this modification, the deformation of the sample 1 can be corrected by combining this modification with the above-described embodiment.
【００３２】[0032]
【考案の効果】本考案によれば、サンプルの下面に傷を
つけることなくサンプルの撓みを良好に防止でき、また
サンプルの透過観察をも可能にしたサンプルホルダーを
提供することができる。According to the present invention, it is possible to provide a sample holder which can favorably prevent the sample from being bent without damaging the lower surface of the sample, and which also enables the transmission observation of the sample.
【図１】本考案によるサンプルホルダーの概念図。FIG. 1 is a conceptual diagram of a sample holder according to the present invention.
【図２】本考案によるサンプルホルダーの第１実施例を
示す概略構成図。FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of a sample holder according to the present invention.
【図３】本考案によるサンプルホルダーの第２実施例を
示す概略構成図。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a second embodiment of the sample holder according to the present invention.
【図４】従来のサンプルホルダーの第１の例を示す概略
構成図。FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a first example of a conventional sample holder.
【図５】従来のサンプルホルダーの第２の例を示す概略
構成図。FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing a second example of a conventional sample holder.
１…サンプル、２…吸着溝、３…シール材、４…ガラス
板、５…サンプルホルダー本体、６…Ｘステージ、７…
Ｙステージ、８…除振台、９…コンデンサレンズ、１０
…真空用電磁弁、１１…圧空用電磁弁、１２…精密圧空
コントロールバルブ、１３…顕微鏡、２１…エアー溜
め、２２…ピストン、２３…モーター、２４…ナット、
２５…送りネジ。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sample, 2 ... Suction groove, 3 ... Seal material, 4 ... Glass plate, 5 ... Sample holder main body, 6 ... X stage, 7 ...
Y stage, 8: anti-vibration table, 9: condenser lens, 10
... Vacuum solenoid valve, 11 ... Pneumatic solenoid valve, 12 ... Precision pneumatic control valve, 13 ... Microscope, 21 ... Air reservoir, 22 ... Piston, 23 ... Motor, 24 ... Nut,
25 ... Feed screw.
Claims (2)
を保持するためのサンプルホルダーであって、前記サン
プルを載置する枠状のサンプルホルダー本体と、このサ
ンプルホルダー本体の下端側を気密状態に閉塞する閉塞
部材を設け、前記サンプルホルダー本体の上端面と前記
サンプルの接合面との間を気密状態に保持する気密手段
を設け、前記閉塞部材と前記サンプルとにより構成され
た密閉空間内の内圧を調整して前記サンプルの撓みを矯
正する撓み矯正手段を設けたことを特徴とするサンプル
ホルダー。1. A sample holder for holding a large sample such as a liquid crystal substrate or a glass substrate, wherein a frame-shaped sample holder body on which the sample is placed and a lower end side of the sample holder body are hermetically sealed. A sealing member for closing is provided, and airtight means for maintaining an airtight state between an upper end surface of the sample holder main body and the joint surface of the sample is provided, and an internal pressure in a closed space formed by the closing member and the sample is provided. A sample holder provided with a deflection correcting means for correcting the deflection of the sample by adjusting the deflection.
形成したことを特徴とする請求項１記載のサンプルホル
ダー。2. The sample holder according to claim 1, wherein the closing member is formed of a transparent body through which light can pass.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP1993068180U JP2600892Y2 (en) | 1993-12-21 | 1993-12-21 | Sample holder |
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Publications (2)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990727 |
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