JPH0738823Y2 - 防振質量流量計 - Google Patents
防振質量流量計Info
- Publication number
- JPH0738823Y2 JPH0738823Y2 JP1988050266U JP5026688U JPH0738823Y2 JP H0738823 Y2 JPH0738823 Y2 JP H0738823Y2 JP 1988050266 U JP1988050266 U JP 1988050266U JP 5026688 U JP5026688 U JP 5026688U JP H0738823 Y2 JPH0738823 Y2 JP H0738823Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conduit
- outer casing
- flow tube
- mass flow
- coriolis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 技術分野 本考案は、流体の供給を受けて、任意方向に移動する、
例えば、塗装ロボットに装着されて、塗料の質量流量を
計量するコリオリ式の質量流量計に関する。
例えば、塗装ロボットに装着されて、塗料の質量流量を
計量するコリオリ式の質量流量計に関する。
従来技術 流体を流通する導管を２点間で支持し、導管の中央部に
おいて振動を与えると、流体の流れの向きと、導管の振
動軸とに対して直角方向にコリオリの力が発生し、この
コリオリの力が導管の振動周波数と流体の質量流量とに
比例することが知られており、特開昭54-52570号公報に
おいて、前述のごときコリオリの力を利用した質量流量
計が開示されている。この流量計は、第６図（Ａ），
（Ｂ）にしめすようにＵ字形の導管１を軸XX′に対称に
支持部材２で固着支持するとともに、軸XX′方向に延び
る往復部材３の一端が支持部材２に固着されている。こ
の往復動部材３の他端には、導管１の固着点を結ぶ軸Y
Y′回りの導管１の固有振動数と実質的に等しい振動数
で加振する電磁コイル４が配設されている。この電磁コ
イル４の軸上に磁石５が保持板６を介して導管１に装着
されており、図示しない駆動源によりZZ′方向に吸引反
発され、この結果、導管１は軸YY′の回りに駆動され
る。これによりＱ方向に流れる流体に対してコリオリの
力が作用し、XX′軸まわりに質量流量に比例した回転力
が生ずる。これを導管１の両腕に対称的に固設された遮
光板８により遮光され光検出器７に達する光量変化か
ら、導管１の両腕が中立面を通過する時間差を出し、こ
れからコリオリの力に比例した質量流量を求めている。
おいて振動を与えると、流体の流れの向きと、導管の振
動軸とに対して直角方向にコリオリの力が発生し、この
コリオリの力が導管の振動周波数と流体の質量流量とに
比例することが知られており、特開昭54-52570号公報に
おいて、前述のごときコリオリの力を利用した質量流量
計が開示されている。この流量計は、第６図（Ａ），
（Ｂ）にしめすようにＵ字形の導管１を軸XX′に対称に
支持部材２で固着支持するとともに、軸XX′方向に延び
る往復部材３の一端が支持部材２に固着されている。こ
の往復動部材３の他端には、導管１の固着点を結ぶ軸Y
Y′回りの導管１の固有振動数と実質的に等しい振動数
で加振する電磁コイル４が配設されている。この電磁コ
イル４の軸上に磁石５が保持板６を介して導管１に装着
されており、図示しない駆動源によりZZ′方向に吸引反
発され、この結果、導管１は軸YY′の回りに駆動され
る。これによりＱ方向に流れる流体に対してコリオリの
力が作用し、XX′軸まわりに質量流量に比例した回転力
が生ずる。これを導管１の両腕に対称的に固設された遮
光板８により遮光され光検出器７に達する光量変化か
ら、導管１の両腕が中立面を通過する時間差を出し、こ
れからコリオリの力に比例した質量流量を求めている。
従来技術の問題点 上述のコリオリ式質量流量計（以下単に質量流量計と呼
ぶ）は、加振の効率化を計るために導管１のYY′軸まわ
りの固有振動数で該導管を駆動しているが、コリオリの
力によるXX′軸まわりの発生トルクに小さく、このトル
クによる導管静止面からの振動変位も小さく、導管駆動
振幅に比し無視される程の大きさである。振動のエネル
ギは周波数の２乗に比例するが、一定の周波数では振幅
に比例する。従って、コリオリの力によるエネルギは、
駆動エネルギに対して極めて小さい値となり、それだけ
外乱に弱く、誤差を生じ易い。例えば、第３図は予め定
められた指示に従った塗料の質量流量を質量流量計で測
定して塗装する例をしめすもので、塗装機10の指令に従
って作動アーム11が上下、左右等に３次元的に移動す
る。作動アーム11の先端にはノズル12が装着されてお
り、塗装機10の指令に基づいた量の塗料を噴射する。塗
料は図示しない塗料圧送手段により流入側フレキシブル
導管14内を矢標Ｑの向きに質量流量計13で計測されて、
流出側のフレキシブル導管15からノズル12に送られて、
該ノズル12より噴射される。質量流量計13の流量信号は
信号線16により変換器17から、４〜20mAの電流信号とし
て端子18から出力され、塗装機10の指令信号と比較さ
れ、また、指示、記録される。図示の状態では質量流量
計13は、作動アーム11に固設され、作動アーム11の移動
に従った運動をするため該運動に伴う微小振動及び加速
度が質量流量計13に作用し、第４図に示した質量流量を
一定とした質量流量対時間特性において、指示質量流量
値は脈動するという誤差の多い結果となった。
ぶ）は、加振の効率化を計るために導管１のYY′軸まわ
りの固有振動数で該導管を駆動しているが、コリオリの
力によるXX′軸まわりの発生トルクに小さく、このトル
クによる導管静止面からの振動変位も小さく、導管駆動
振幅に比し無視される程の大きさである。振動のエネル
ギは周波数の２乗に比例するが、一定の周波数では振幅
に比例する。従って、コリオリの力によるエネルギは、
駆動エネルギに対して極めて小さい値となり、それだけ
外乱に弱く、誤差を生じ易い。例えば、第３図は予め定
められた指示に従った塗料の質量流量を質量流量計で測
定して塗装する例をしめすもので、塗装機10の指令に従
って作動アーム11が上下、左右等に３次元的に移動す
る。作動アーム11の先端にはノズル12が装着されてお
り、塗装機10の指令に基づいた量の塗料を噴射する。塗
料は図示しない塗料圧送手段により流入側フレキシブル
導管14内を矢標Ｑの向きに質量流量計13で計測されて、
流出側のフレキシブル導管15からノズル12に送られて、
該ノズル12より噴射される。質量流量計13の流量信号は
信号線16により変換器17から、４〜20mAの電流信号とし
て端子18から出力され、塗装機10の指令信号と比較さ
れ、また、指示、記録される。図示の状態では質量流量
計13は、作動アーム11に固設され、作動アーム11の移動
に従った運動をするため該運動に伴う微小振動及び加速
度が質量流量計13に作用し、第４図に示した質量流量を
一定とした質量流量対時間特性において、指示質量流量
値は脈動するという誤差の多い結果となった。
以上に述べたように、コリオリ式質量流量計は、外部振
動のある場所では誤差が発生し易いという問題点があっ
た。
動のある場所では誤差が発生し易いという問題点があっ
た。
問題点解決の手段 本案考案は、上述の問題点を解決するために、質量流量
計本体部または該本体要部を筺体内に収納し、更に、該
本体部および筺体を複数の弾性支持体により支持収納す
る外筐において移動体と固設し、更に流体を導入し、流
出する流管をフレキシブル導管とし流量計本体に外部振
動が直接伝達するのを防ぎ、移動体と共に移動する質量
流量計の流量計測精度が低下しないようにすることを目
的としてなされたものである。
計本体部または該本体要部を筺体内に収納し、更に、該
本体部および筺体を複数の弾性支持体により支持収納す
る外筐において移動体と固設し、更に流体を導入し、流
出する流管をフレキシブル導管とし流量計本体に外部振
動が直接伝達するのを防ぎ、移動体と共に移動する質量
流量計の流量計測精度が低下しないようにすることを目
的としてなされたものである。
実施例 第１図は、本考案の一実施例をしめす図で、図中、20は
質量流量計の本体部であり、第６図にしめした原理に基
づくコリオリ式質量流量計で、図示しない流体源と連通
するフレキシブル導管22の端部に固着されている接続ナ
ット23と接続する流入口21,流出口24を配設した流管25
と、該流管25の26を支持点としたＵ字形の導管27（破
線）とからなり、該導管27には、流管25内を遮閉（図示
せず）することにより、流体が流通され流出口24より流
出するもので、駆動、検出手段等は省いてある。30は筺
体で、該筺体30は質量流量計の導管27および駆動、検出
手段等の要部を保護収納するもので、流管25に支持金具
32により固設されている。図において筺体30は質量流量
計の要部のみを収納したが、流管25を含めてもよい。40
は、外筐で、上述の質量流量計の本体および要部を収納
した筺体を複数の弾性支持体33で弾性支持収納する。弾
性支持体33は合成ゴム等からなる防振効果をもっている
もので、流管25側面にビス等で固設された支持金具32で
上部を２個の弾性支持体33で懸架し、筺体30下部は１個
の弾性支持体33で支持している。外筐40は、作動アーム
11をＵボルトベース45を介してＵボルト46と、外筐40の
ベースプレート41とで挟持することにより移動可能に作
動アーム11に結合される。作動アーム11と外筐40との結
合は、作動アーム11′にしめした外筐40下部で行なうこ
ともあり、Ｕボルトベース45′、Ｕボルト46′は、この
場合における結合手段である。外筐40は外部接合され弾
性支持されるので、強固な板状のアッパープレート42、
ベースプレート41、ロアープレート43とからなり、カバ
44で封止され、流管25と外筐40とは側板の開口47により
接触しないようにしている。
質量流量計の本体部であり、第６図にしめした原理に基
づくコリオリ式質量流量計で、図示しない流体源と連通
するフレキシブル導管22の端部に固着されている接続ナ
ット23と接続する流入口21,流出口24を配設した流管25
と、該流管25の26を支持点としたＵ字形の導管27（破
線）とからなり、該導管27には、流管25内を遮閉（図示
せず）することにより、流体が流通され流出口24より流
出するもので、駆動、検出手段等は省いてある。30は筺
体で、該筺体30は質量流量計の導管27および駆動、検出
手段等の要部を保護収納するもので、流管25に支持金具
32により固設されている。図において筺体30は質量流量
計の要部のみを収納したが、流管25を含めてもよい。40
は、外筐で、上述の質量流量計の本体および要部を収納
した筺体を複数の弾性支持体33で弾性支持収納する。弾
性支持体33は合成ゴム等からなる防振効果をもっている
もので、流管25側面にビス等で固設された支持金具32で
上部を２個の弾性支持体33で懸架し、筺体30下部は１個
の弾性支持体33で支持している。外筐40は、作動アーム
11をＵボルトベース45を介してＵボルト46と、外筐40の
ベースプレート41とで挟持することにより移動可能に作
動アーム11に結合される。作動アーム11と外筐40との結
合は、作動アーム11′にしめした外筐40下部で行なうこ
ともあり、Ｕボルトベース45′、Ｕボルト46′は、この
場合における結合手段である。外筐40は外部接合され弾
性支持されるので、強固な板状のアッパープレート42、
ベースプレート41、ロアープレート43とからなり、カバ
44で封止され、流管25と外筐40とは側板の開口47により
接触しないようにしている。
以上に述べた本考案の防振質量流量計による質量流量の
計測結果では、第４図と同一条件で、第５図にしめした
質量流量時間特性において振動影響のない高精度な流量
測定が得られる。
計測結果では、第４図と同一条件で、第５図にしめした
質量流量時間特性において振動影響のない高精度な流量
測定が得られる。
第１図において、弾性支持手段33は同一形状複数を配設
してるが、第２図は、他の弾性支持手段をしめす概略説
明図で、質量流量計20と、筺体30とはスポンジ、又は、
軟質ゴム材等のクッション材60,61で弾性支持し、第１
図の場合と同様の効果をもつものである。
してるが、第２図は、他の弾性支持手段をしめす概略説
明図で、質量流量計20と、筺体30とはスポンジ、又は、
軟質ゴム材等のクッション材60,61で弾性支持し、第１
図の場合と同様の効果をもつものである。
効果 以上に述べたように、本考案によれば、固有振動数で駆
動し、同一振動数の極めて小さいコリオリの力を検出す
るコリオリ式質量流量計の外部振動の影響を受け易い特
性のため、振動のある場所又は運動する移動体に取付け
て使用することができなかった従来のコリオリ式流量計
を、振動の影響なく使用することを可能とし、従って、
利用範囲の拡大ができ、しかも簡易な手段により安価な
質量流量計を提供することができる。
動し、同一振動数の極めて小さいコリオリの力を検出す
るコリオリ式質量流量計の外部振動の影響を受け易い特
性のため、振動のある場所又は運動する移動体に取付け
て使用することができなかった従来のコリオリ式流量計
を、振動の影響なく使用することを可能とし、従って、
利用範囲の拡大ができ、しかも簡易な手段により安価な
質量流量計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】 第１図は、本考案の防振質量流量計の概要構成図で、
（Ａ）図は平面図、（Ｂ）図は側面図、第２図は、他の
実施例を示す概略図、第３図は、質量流量計を装着した
塗装材の例を示す概略図、第4,5図は、第３図の使用例
における従来の流量特性と本考案の流量特性をしめす
図、第６図は、コリオリ式流量計の説明図である。 20……質量流量計本体、30……筺体、40……外筐、33,6
0,61……弾性支持体。
（Ａ）図は平面図、（Ｂ）図は側面図、第２図は、他の
実施例を示す概略図、第３図は、質量流量計を装着した
塗装材の例を示す概略図、第4,5図は、第３図の使用例
における従来の流量特性と本考案の流量特性をしめす
図、第６図は、コリオリ式流量計の説明図である。 20……質量流量計本体、30……筺体、40……外筐、33,6
0,61……弾性支持体。
Claims (1)
- 【請求項１】流管と、両端が該流管に接続支持され該流
管に導入された流体が流れる導管を有し、該導管を前記
流管の支持位置まわりに交番駆動したとき前記導管に作
用するコリオリの力から質量流量を求める本体部と、該
本体部または該本体部の要部を収納する筺体とからなる
コリオリ流量計において、移動体に固着された作動アー
ムと、該作動アームに固着され前記コリオリ流量計を収
納する外筐と、該外筐内において、前記コリオリ流量計
を該外筐に対し支持する弾性支持体と、前記移動体に少
くとも一部が固着されるフレキシブル管で、前記外筐と
非接触に前記流管の流入・流出口に接続されるフレキシ
ブル導管とからなることを特徴とする防振質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988050266U JPH0738823Y2 (ja) | 1988-04-14 | 1988-04-14 | 防振質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988050266U JPH0738823Y2 (ja) | 1988-04-14 | 1988-04-14 | 防振質量流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01154418U JPH01154418U (ja) | 1989-10-24 |
| JPH0738823Y2 true JPH0738823Y2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=31276325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988050266U Expired - Lifetime JPH0738823Y2 (ja) | 1988-04-14 | 1988-04-14 | 防振質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0738823Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110003268A (ko) * | 2009-07-03 | 2011-01-11 | 가부시키가이샤 키엔스 | 코리올리 질량 유량계 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58178217A (ja) * | 1982-04-13 | 1983-10-19 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | 質量流量計 |
-
1988
- 1988-04-14 JP JP1988050266U patent/JPH0738823Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20110003268A (ko) * | 2009-07-03 | 2011-01-11 | 가부시키가이샤 키엔스 | 코리올리 질량 유량계 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01154418U (ja) | 1989-10-24 |
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