JPH0737317Y2 - ウエハ搬送フォーク - Google Patents
ウエハ搬送フォークInfo
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- JPH0737317Y2 JPH0737317Y2 JP1989118264U JP11826489U JPH0737317Y2 JP H0737317 Y2 JPH0737317 Y2 JP H0737317Y2 JP 1989118264 U JP1989118264 U JP 1989118264U JP 11826489 U JP11826489 U JP 11826489U JP H0737317 Y2 JPH0737317 Y2 JP H0737317Y2
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- JP
- Japan
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- wafer transfer
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- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989118264U JPH0737317Y2 (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | ウエハ搬送フォーク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989118264U JPH0737317Y2 (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | ウエハ搬送フォーク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0357942U JPH0357942U (zh) | 1991-06-05 |
JPH0737317Y2 true JPH0737317Y2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=31666441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989118264U Expired - Lifetime JPH0737317Y2 (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | ウエハ搬送フォーク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0737317Y2 (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005050855A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Lintec Corp | 吸着搬送装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6236247A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-02-17 | Toshiba Mach Co Ltd | ウエハ搬送装置 |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP1989118264U patent/JPH0737317Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0357942U (zh) | 1991-06-05 |
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