JPH0735689A - 顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 観察画像とフーリエ変換機能により得たスペ
クトル画像とを一画像内に表示できる顕微式フーリエ変
換赤外分光測定装置を提供すること。 【構成】 顕微機能、フーリエ変換機能およびモニター
を有し、該モニター３０からの信号を、前記測定対象部
位の観察画像Ｍを表示する第１画像信号ｍとして出力す
る顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置本体３１と、フ
ーリエ変換機能により得たスペクトル画像Ｎを表示する
第２画像信号ｎを出力するフーリエ変換赤外分光用コン
トローラ３２と、第１および第２画像信号ｍ，ｎを合成
し、該第２画像信号ｎのスペクトル画像Ｎに、第１画像
信号ｍの観察画像Ｍを所定の重ね合わせモードにて重ね
合わせる画像重ね合わせ手段３３と、該画像重ね合わせ
手段から出力された合成画像ｍ’，ｎ’を表示する合成
画像表示手段３４とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は顕微式フーリエ変換赤外
分光測定装置に関し、更に詳しくは、顕微鏡によって観
察された試料の測定対象部位を示す観察画像と、測定対
象部位をフーリエ変換機能によりフーリエ変換赤外分光
測定して得たスペクトル画像とを表示する表示機構に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】図８は、一般的な顕微式フーリエ変換赤
外分光測定装置を示し、まず、図８において、試料観察
時には、可視光源１からの可視光をコンデンサ鏡２を介
して試料ステージ３に載置された試料４に照射する。試
料４を透過した光は、対物鏡５を介して像点６で結像す
る。この像点６には、測定対象部位Ａ以外からの光を遮
蔽する例えば、各辺がナイフエッジに形成され、且つス
リット長を任意に変更できる長方形のスリットから成る
遮蔽マスク７，８を設置し、試料４中の測定対象部位Ａ
からの光のみが遮蔽マスク７，８を通過するよう回転可
能に設定する。すなわち、例えば図９に示すような試料
４中の測定対象部位Ａのみの分光スペクトルを測定した
い場合、図１０、図１１に示すように、像点６に測定対
象部位Ａ以外からの光束を遮蔽するマスク７，８を設置
し、測定対象部位Ａからの光束のみを分光して、その分
光スペクトルを得るのである。

【０００３】さて、図１０に示したような長方形のスリ
ットからなる遮蔽マスク７，８を像点６に設置し、測定
対象部位Ａ以外の部位Ｂ、Ｃからの光束を遮蔽し、且つ
測定対象部位Ａからの光束が最大限に得られるようにス
リット長を可変とし、測定を行う。なお、遮蔽する手段
として他に、円形のピンホール等が用いられている。

【０００４】その後、図８に示すように、像点６を通過
した光をＣＣＤカメラ等のテレビカメラ９によって像点
６における結合像としてモニターし、テレビカメラ９か
らの信号をテレビモニタ３０の画面上に表示する。ま
た、ビデオプリンタにより画像のみのプリント出力も行
う。この画像は、測定対象部位Ａと、遮蔽マスク７，８
で遮蔽しない観察視部Ｂ，Ｃによる全体像とが重ね合わ
されたものであり、試料４中における測定対象部位Ａの
位置関係が明確となると共に、試料４を移動させること
により、測定対象部位の変更も容易に行える。

【０００５】而して、上記方法により測定対象部位を設
定した後、赤外光を用いて測定対象部位Ａの分光特性や
強度を測定するには、図１２に示すように、ミラー１０
を移動させ、赤外光源１１から発した赤外光を例えば二
光束干渉計等からなる干渉計１２を通過させて、波長ご
とにエネルギー強度変調をかけ、その後ミラー１０およ
びコンデンサ鏡２を介して試料４に照射し、その透過光
を対物鏡５を介して像点６で結像する。

【０００６】像点６には、予め可視光を用いて測定対象
部位の光束のみを透過させるように遮蔽マスク７，８を
設定してあるため、測定対象部位以外からの赤外光は遮
蔽される。そして、ミラー１３を光路外に外し、測定対
象部位Ａからの赤外光を直接検出器１４で検出し、周波
数分析することによって分光スペクトルを得る。すなわ
ち、顕微鏡の視野の中で測定対象部位を決めて測定した
スペクトルは、フーリエ変換赤外分光用コントローラＣ
によりＣＲＴモニターＨに出力してスペクトル画像を表
示する画像信号ｎによるスペクトル情報Ｉを得る。な
お、スペクトル情報ＩをプロッタＰにより出力すること
も可能である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来ではこのように、
顕微鏡によって観察された試料４の測定対象部位Ａを示
す観察画像Ｍはスペクトル画像Ｎとは別に表示されてき
た。したがって、報告データとしては、スペクトル画像
Ｎに観察画像Ｍを画像コピーや写真を添付してまとめる
ことが多かった。また、赤外光を用いて測定対象部位の
分光特性や強度を測定する間は、試料４の測定対象部位
Ａを観察することはできず、ＣＲＴモニターＨの画面で
はスペクトル画像Ｎしか得られなかった。

【０００８】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、顕微鏡によって観察
された試料の測定対象部位を示す観察画像と測定対象部
位をフーリエ変換機能によりフーリエ変換赤外分光測定
して得たスペクトル画像とを一画像内に表示できる顕微
式フーリエ変換赤外分光測定装置を提供することにあ
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置
は、試料の測定対象部位を観察するために試料の測定対
象部位を透過した光または照射光を像点で結像させる顕
微機能、赤外光を用いて前記測定対象部位のフーリエ変
換赤外分光測定を行うフーリエ変換機能および前記像点
を通過した光を像点における結合像としてモニターする
モニターを有し、該モニターからの信号を、前記測定対
象部位の観察画像を表示する第１画像信号として出力す
る顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置本体と、前記測
定対象部位を前記フーリエ変換機能によりフーリエ変換
赤外分光測定して得たスペクトル画像を表示する第２画
像信号を出力するフーリエ変換赤外分光用コントローラ
と、前記顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置本体およ
びフーリエ変換赤外分光用コントローラからそれぞれ第
１画像信号および第２画像信号を入力し、この第１およ
び第２画像信号を合成し、該第２画像信号の前記スペク
トル画像に、第１画像信号の前記観察画像を所定の重ね
合わせモードにて重ね合わせ、第１画像信号および第２
画像信号の合成画像信号を出力する画像重ね合わせ手段
と、該画像重ね合わせ手段から出力された出力観察画像
および出力スペクトル画像からなる合成画像を表示する
合成画像表示手段とを備えている。

【００１０】本発明における画像重ね合わせ手段として
は、フーリエ変換赤外分光用コントローラからの第２画
像信号とモニターからの第１画像信号とを入力してスペ
クトル画像と観察画像を取り込むスーパーインポーザを
挙げることができる。このスーパーインポーザが、所定
の重ね合わせモードに変換して合成画像信号を出力する
モード変換用コントローラに連動するモード変換用スイ
ッチパネルを具備するのが好ましい。

【００１１】また、画像重ね合わせ手段として、フーリ
エ変換赤外分光用コントローラに基板として組み込まれ
てなるスーパーインポーザも挙げることができる。この
スーパーインポーザはスペクトル画像内に観察画像を自
由な位置、大きさで表示できるものであって、このスー
パーインポーザはフーリエ変換赤外分光用コントローラ
からの第２画像信号とモニターからの第１画像信号とを
入力してスペクトル画像と観察画像を取り込み、さら
に、前記フーリエ変換赤外分光用コントローラは所定の
重ね合わせモードに変換して合成画像信号を出力するモ
ード変換用コントローラに連動するモード変換用スイッ
チパネルを具備しているものが好ましい。

【００１２】本発明における合成画像表示手段として
は、１つのＣＲＴモニターを挙げることができる。この
ＣＲＴモニター画面上に出力観察画像を動画像として表
示できる。また、合成画像表示手段が１つのＣＲＴモニ
ターであり、スーパーインポーザのモード変換用コント
ローラが、前記１つの該ＣＲＴモニター画面上に出力観
察画像を静止画像として表示する静止画像形成機能と、
該静止画像をフーリエ変換赤外分光測定中に表示可能な
静止画像メモリ機能とを有するものを挙げることができ
る。すなわち、後述するように、この出力観察画像を、
静止、いわゆるフリーズさせることができ、フリーズさ
れた出力観察画像と、出力スペクトル画像とを一致させ
て、両信号を光ディスク等に同時に保存することが可能
であり、ビデオプリンタ等での出力も可能である。逆
に、読み込みも可能である。

【００１３】本発明における所定の重ね合わせモードと
しては、１つのＣＲＴモニター上に表示される出力観察
画像の拡大・縮小モードが好ましく、例えば、 Ａ．図４に示すように、試料の測定対象部位の観察位置
を確認するために１つのＣＲＴモニターの画面上に表示
される出力スペクトル画像によるスペクトルの全体スペ
クトルを有する枠内に、動画表示と同倍率の出力観察画
像を重ね合わせるモードや、 Ｂ．図５に示すように、１つのＣＲＴモニターの画面上
に表示される出力スペクトル画像によるスペクトルの部
分スペクトルを有する枠内に、動画表示と同倍率の出力
観察画像を重ね合わせるモード、あるいは、 Ｃ．図６に示すように、試料の測定対象部位の観察位置
を確認するために１つのＣＲＴモニターの画面上に表示
される出力スペクトル画像によるスペクトルの全体スペ
クトルを有する枠外に、縮小された出力観察画像を重ね
合わせるタイプのもの、すなわち、スペクトル全体が表
示されているモニター画面の向かって右上に縮小された
観察画像を表示したり、更に、 Ｄ．図７に示すように、１つのＣＲＴモニターの画面上
に表示される出力スペクトル画像によるスペクトルの部
分スペクトルを有する枠外に、縮小された出力観察画像
を重ね合わせるタイプのもの、すなわち、スペクトル部
分が表示されているモニター画面の向かって右上に縮小
された観察画像を表示したりするもの等を挙げることが
できる。なお、図５、図７においては、モニター画面の
向かって下側に、スペクトル全体が縮小された形態で表
示されている。

【００１４】さらに、本発明では、スーパーインポーザ
のモード変換用コントローラに、１つのＣＲＴモニター
画面上に出力観察画像を静止画像として表示する静止画
像形成機能を持たせた場合には、画像重ね合わせ手段か
ら出力された出力観察画像および出力スペクトル画像か
らなる合成画像をメモリするメモリ機能を有する光ディ
スク等の磁気記録媒体に出力観察画像および出力スペク
トル画像の２情報を同時に保存したり、該情報をプリン
タしておけば、２情報を１つのＣＲＴモニターに出力す
ることで、設置の面積が低減できるとともに、フーリエ
変換赤外分光測定中には、現在、スペクトル測定してい
る測定対象部位がどこなのかを静止画像で観察画像を表
示しながら測定ができる。そして、プロッタ出力したス
ペクトルがどこを測ったものなのかを一枚の紙に表示で
きたり、保存した２情報も、磁気記録媒体から呼び出せ
ば、出力観察画像および出力スペクトル画像が出てくる
ので後日、観察画像と出力スペクトル画像の測定対象部
位の不一致をもたらすおそれは無い。

【００１５】

【作用】画像重ね合わせ手段にスペクトル画像と観察画
像を取り込み、所定の重ね合わせモードに変換して合成
画像信号を合成画像表示手段へ出力することから、試料
の測定対象部位を出力観察画像で表示しながらの出力ス
ペクトル画像の測定が行える。すなわち、観察画像を、
その試料のフーリエ変換赤外分光測定により得たスペク
トル画像に画像重ね合わせ手段で合成し、合成画像表示
手段に表示させることができる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。な
お、本発明はそれによって限定を受けるものではない。
また、試料の測定対象部位を観察する顕微機能、赤外光
を用いてフーリエ変換赤外分光測定を行うフーリエ変換
機能は、本発明でも、従来例でも同等の機能を有し、し
たがって、本発明において、図９〜図１２に示された従
来例と同一符号のものは、同一又は相当物である。図１
は本発明の第１実施例を示す。図１において、顕微式フ
ーリエ変換赤外分光測定装置は、試料４の測定対象部位
Ａを観察するために試料４の測定対象部位Ａを透過した
光または照射光を像点６で結像させる顕微機能、赤外光
を用いて測定対象部位Ａのフーリエ変換赤外分光測定を
行うフーリエ変換機能および像点６を通過した光を像点
における結合像としてモニターするモニター３０を有
し、該モニター３０からの信号を、前記測定対象部位の
観察画像Ｍを表示する第１画像信号ｍとして出力する顕
微式フーリエ変換赤外分光測定装置本体３１と、前記測
定対象部位を前記フーリエ変換機能によりフーリエ変換
赤外分光測定して得たスペクトル画像Ｎを表示する第２
画像信号ｎを出力するフーリエ変換赤外分光用コントロ
ーラ３２と、顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置本体
３１およびフーリエ変換赤外分光用コントローラ３２か
らそれぞれ第１画像信号ｍおよび第２画像信号ｎを入力
し、この第１および第２画像信号ｍ，ｎを合成し、該第
２画像信号ｎのスペクトル画像Ｎに、第１画像信号ｍの
観察画像Ｍを所定の重ね合わせモードにて重ね合わせ、
第１画像信号ｍおよび第２画像信号ｎの合成画像信号ｔ
を出力する画像重ね合わせ手段３３と、該画像重ね合わ
せ手段から出力された出力観察画像ｍ’および出力スペ
クトル画像ｎ’からなる合成画像を表示する合成画像表
示手段３４とを主として備えている。

【００１７】更に、画像重ね合わせ手段３３はフーリエ
変換赤外分光用コントローラ３２からの第２画像信号ｎ
とモニター３０からの第１画像信号ｍとを入力してスペ
クトル画像Ｎと観察画像Ｍを取り込むスーパーインポー
ズ装置（スーパーインポーザ）であり、該スーパーイン
ポーズ装置３３は、例えば、図４に示すように、１つの
ＣＲＴモニター（後述する合成画像表示手段）３４の画
面３８上に表示される出力スペクトル画像Ｎによるスペ
クトルの全体スペクトルＳを有する枠内に、動画表示と
同倍率の出力観察画像Ｍ’を枠内全体に位置させて表示
できるものであるとともに、このスーパーインポーズ装
置３３が、所定の重ね合わせモードに変換して合成画像
信号を出力するモード変換用コントローラ（図示せず）
に連動するモード変換用スイッチパネル３５を具備して
いる。

【００１８】また、合成画像表示手段３４は１つのＣＲ
Ｔモニターであり、モニター３０がＣＣＤカメラであ
る。

【００１９】そして、顕微式フーリエ変換赤外分光測定
装置はスーパーインポーズ装置３３から出力された出力
観察画像ｍ’および出力スペクトル画像ｎ’からなる合
成画像ｔをメモリするメモリ機能を有する光ディスク３
６を有し、これに出力観察画像ｍ’および出力スペクト
ル画像ｎ’の２情報を同時に保存できるとともに、該情
報をプロッタできるプリンタ３７を有する。したがっ
て、前記２情報を１つのＣＲＴモニター３４に出力する
ことで、複雑な機構を必要とせずに装置の設置の面積が
低減できるとともに、フーリエ変換赤外分光測定中に
は、現在、スペクトル測定している測定対象部位がどこ
なのかを静止画像で観察画像Ｍを表示しながら測定がで
きる。そして、プロッタ出力した出力スペクトル画像
ｎ’がどこを測ったものなのかを、プリンタ３７により
一枚の紙に表示できたり、保存した２情報も、光ディス
ク３６から呼び出せば、出力観察画像ｍ’および出力ス
ペクトル画像ｎ’が出てくるので後日、観察画像と出力
スペクトル画像の測定対象部位の不一致をもたらすおそ
れは無い。

【００２０】このように本実施例では、スーパーインポ
ーズ装置３３のモード変換用コントローラに、スペクト
ル情報Ｎと観察画像Ｍを取り込み、図４〜図７で示す各
種の出力モードに変換してＣＲＴモニター３４あるいは
プリンタ３７に出力する。例えば、上述したような図４
に示すように、試料４の測定対象部位Ａの観察位置を確
認するために１つのＣＲＴモニター３４の画面３８上に
表示される出力スペクトル画像Ｎによるスペクトルの全
体スペクトルＳを有する枠内に、動画表示と同倍率の出
力観察画像Ｍ’が重ね合わされている。この重ね合わせ
モード切り換えは、本実施例では、スーパーインポーズ
装置３３に具備されたスイッチパネル３５で操作できる
ことから、試料４の測定対象部位Ａを出力観察画像Ｍ’
で表示しながらの出力スペクトル画像Ｎの全体スペクト
ルＳの測定が行える。したがって、このままをプリント
出力することでデータの信頼性向上につながる。なお、
図５、図７において、モニター画面３８の向かって下側
には、縮小された全体スペクトルＳ’が表示されてお
り、モニター画面３８上には部分スペクトルＳ’’が表
示されている。

【００２１】図２、図３は、スーパーインポーズ装置４
３がフーリエ変換赤外分光用コントローラ４５に基板と
して組み込まれている本発明の第２実施例を示す。図
２、図３において、スーパーインポーズ装置４３が、フ
ーリエ変換赤外分光用コントローラ４５からの第２画像
信号（図示せず）とモニター３０からの第１画像信号ｍ
とを入力してスペクトル画像Ｎと観察画像Ｍを取り込
み、さらに、フーリエ変換赤外分光用コントローラ４５
は、所定の重ね合わせモードに変換して合成画像信号ｔ
を出力するモード変換用コントローラ（図示せず）に接
続されたマウス４６（図３参照）を具備している。

【００２２】この実施例のものは上記構成を有するか
ら、スーパーインポーズ装置４３が上記第１実施例のよ
うに箱状の装置自体で設置されるものではなくて、フー
リエ変換赤外分光用コントローラ４５に上記第１実施例
のスーパーインポーズ装置３３より小さい形状の基板と
して組み込まれる程度の大きさに構成されることから、
本顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置の設置の面積を
更に低減できる。

【００２３】また、本実施例でも上記第１実施例と同様
の効果を奏する。すなわち、スペクトル画像Ｎ内に観察
画像Ｍを自由な位置、大きさで表示できる基板形状のス
ーパーインポーズ装置４３を利用して、一画像内に２情
報を表示させることでモニターを１つだけにする。例え
ば、図６に示すように、試料４の測定対象部位Ａの観察
位置を確認するために１つのＣＲＴモニター３４の画面
３８上に表示される出力スペクトル画像によるスペクト
ルの全体スペクトルＳを有する枠外に、縮小された出力
観察画像Ｍ’’を重ね合わせるタイプのもの、すなわ
ち、スペクトル全体Ｓが表示されているモニター画面３
８の向かって右上に縮小された観察画像Ｍ’’を表示で
きる。この表示モードは、図６のシングル・スペクトル
表示モードから、例えば図７のダブル・スペクトル表示
モードに、キーボードあるいはマウス４６で切り替えが
可能である。しかも、分光測定中にも試料４の測定対象
部位Ａが分かるように、スーパーインポーズ装置４３に
静止画メモリ機能を設ける構成では、観察画像Ｍ’’を
分光測定中にも表示できる。また、観察画像Ｍ’’とス
ペクトル全体Ｓのデータを同時に光ディスク３６へ保存
することもできる。

【００２４】このように上記第１，第２の各実施例で
は、観察画像を、その試料のフーリエ変換赤外分光測定
により得たスペクトル情報にモニター上で合成し、表示
させることができる。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、画像重ね合わせ手段にスペクトル画像と観察画像を
取り込み、所定の重ね合わせモードに変換して合成画像
信号を合成画像表示手段へ出力することから、試料の測
定対象部位を出力観察画像で表示しながらの出力スペク
トル画像の測定が行える。すなわち、観察画像を、その
試料のフーリエ変換赤外分光測定により得たスペクトル
画像に画像重ね合わせ手段で合成し、合成画像表示手段
に表示させることができることから、前記出力観察画像
と出力スペクトル画像の２情報を１つのＣＲＴモニター
３４に出力することで、複雑な機構を必要とせずに装置
の設置の面積が低減できるとともに、フーリエ変換赤外
分光測定中には、現在、スペクトル測定している測定対
象部位がどこなのかを観察画像を表示しながら測定がで
きる。そして、プロッタ出力した出力スペクトル画像が
どこを測ったものなのかを、プリンタ等により一枚の紙
に表示できたり、保存した前記２情報も、光ディスク等
のメモリから呼び出せば、出力観察画像および出力スペ
クトル画像が出てくるので後日、これら２情報の測定対
象部位の不一致をもたらすおそれは無くなる利点を有す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す全体ブロック図であ
る。

【図２】本発明の第２実施例を示す全体ブロック図であ
る。

【図３】上記第２実施例における要部構成説明図であ
る。

【図４】本発明における重ね合わせモードの第１の例を
示す図である。

【図５】本発明における重ね合わせモードの第２の例を
示す図である。

【図６】本発明における重ね合わせモードの第３の例を
示す図である。

【図７】本発明における重ね合わせモードの第４の例を
示す図である。

【図８】従来例の測定対象部位設定動作を示す全体構成
説明図である。

【図９】一般的な顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置
の測定方法を説明するための図である。

【図１０】同じく一般的な顕微式フーリエ変換赤外分光
測定装置の測定方法を説明するための図である。

【図１１】同じく一般的な顕微式フーリエ変換赤外分光
測定装置の測定方法を説明するための図である。

【図１２】従来例の分光測定動作を示す全体構成説明図
である。

【符号の説明】

４…試料、６…像点、３０…ＣＣＤカメラ（モニタ
ー）、３１…顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置本
体、３２，４５…フーリエ変換赤外分光用コントロー
ラ、３３，４３…スーパーインポーズ装置（画像重ね合
わせ手段）、３４…ＣＲＴモニター（合成画像表示手
段）、Ｍ…観察画像、ｍ…第１画像信号、Ｎ…スペクト
ル画像、ｎ…第２画像信号、ｔ…合成画像信号、ｍ’…
出力観察画像、ｎ’…出力スペクトル画像。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料の測定対象部位を観察するために試
   料の測定対象部位を透過した光または照射光を像点で結
   像させる顕微機能、赤外光を用いて前記測定対象部位の
   フーリエ変換赤外分光測定を行うフーリエ変換機能およ
   び前記像点を通過した光を像点における結合像としてモ
   ニターするモニターを有し、該モニターからの信号を、
   前記測定対象部位の観察画像を表示する第１画像信号と
   して出力する顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置本体
   と、前記測定対象部位を前記フーリエ変換機能によりフ
   ーリエ変換赤外分光測定して得たスペクトル画像を表示
   する第２画像信号を出力するフーリエ変換赤外分光用コ
   ントローラと、前記顕微式フーリエ変換赤外分光測定装
   置本体およびフーリエ変換赤外分光用コントローラから
   それぞれ第１画像信号および第２画像信号を入力し、こ
   の第１および第２画像信号を合成し、該第２画像信号の
   前記スペクトル画像に、第１画像信号の前記観察画像を
   所定の重ね合わせモードにて重ね合わせ、第１画像信号
   および第２画像信号の合成画像信号を出力する画像重ね
   合わせ手段と、該画像重ね合わせ手段から出力された出
   力観察画像および出力スペクトル画像からなる合成画像
   を表示する合成画像表示手段とを備えた顕微式フーリエ
   変換赤外分光測定装置。
2. 【請求項２】 画像重ね合わせ手段が、フーリエ変換赤
   外分光用コントローラからの第２画像信号とモニターか
   らの第１画像信号とを入力してスペクトル画像と観察画
   像を取り込むスーパーインポーザであり、該スーパーイ
   ンポーザが、所定の重ね合わせモードに変換して合成画
   像信号を出力するモード変換用コントローラに連動する
   モード変換用スイッチパネルを具備している請求項１に
   記載の顕微式フーリエ変換赤外分光測定装置。
3. 【請求項３】 画像重ね合わせ手段が、フーリエ変換赤
   外分光用コントローラに基板として組み込まれてなるス
   ーパーインポーザであり、該スーパーインポーザが、フ
   ーリエ変換赤外分光用コントローラからの第２画像信号
   とモニターからの第１画像信号とを入力してスペクトル
   画像と観察画像を取り込み、さらに、前記フーリエ変換
   赤外分光用コントローラは所定の重ね合わせモードに変
   換して合成画像信号を出力するモード変換用コントロー
   ラに連動するモード変換用スイッチパネルを具備してい
   る請求項１に記載の顕微式フーリエ変換赤外分光測定装
   置。
4. 【請求項４】 合成画像表示手段が１つのＣＲＴモニタ
   ーであり、画像重ね合わせ手段のモード変換用コントロ
   ーラが、前記１つの該ＣＲＴモニター画面上に出力観察
   画像を静止画像として表示する静止画像形成機能と、該
   静止画像をフーリエ変換赤外分光測定中に表示可能な静
   止画像メモリ機能とを有する請求項１ないし請求項３の
   いずれかに記載の顕微式フーリエ変換赤外分光測定装
   置。