JPH04148847A - 顕微式フーリエ変換赤外分光法における試料観察方法 - Google Patents
顕微式フーリエ変換赤外分光法における試料観察方法Info
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- JPH04148847A JPH04148847A JP27420590A JP27420590A JPH04148847A JP H04148847 A JPH04148847 A JP H04148847A JP 27420590 A JP27420590 A JP 27420590A JP 27420590 A JP27420590 A JP 27420590A JP H04148847 A JPH04148847 A JP H04148847A
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- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 title description 2
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、顕微式フーリエ変換赤外分光法における試料
観察力法に関する。
観察力法に関する。
第５図は、従来の一般的な顕微分光測定装置を示し、試
料観察時には、光源１゛からの可視光を試料２に照射し
、その透過光を対物鏡３で集光し、像面４に拡大像を形
成する。更に、この像面４からの光をリレーレンズ５を
介して拡大結像させ、その後、接眼レンズ６により像面
４を観察する。
料観察時には、光源１゛からの可視光を試料２に照射し
、その透過光を対物鏡３で集光し、像面４に拡大像を形
成する。更に、この像面４からの光をリレーレンズ５を
介して拡大結像させ、その後、接眼レンズ６により像面
４を観察する。
一方、分光測定を行う場合には、可視光を赤外光に切換
え、光路切換え用ミラー７を像面４とリレーレンズ５と
の間に介装するごとによりリレー光学系８に赤外光を導
き、その後、検出器９により分光スペクＩ・ルを得て、
解析を行う。
え、光路切換え用ミラー７を像面４とリレーレンズ５と
の間に介装するごとによりリレー光学系８に赤外光を導
き、その後、検出器９により分光スペクＩ・ルを得て、
解析を行う。
そして、例えば第６図（ａ）に示すような試料２中の測
定対象部位Ａのみの分光スベクＩ・ルを測定したい場合
、第５図に示すように、像面４に測定対象部位以外から
の光束を遮蔽するマスク１０．１１を設置し、測定対象
部位からの光束のみを分光して、その分光スペクトルを
得るのである。
定対象部位Ａのみの分光スベクＩ・ルを測定したい場合
、第５図に示すように、像面４に測定対象部位以外から
の光束を遮蔽するマスク１０．１１を設置し、測定対象
部位からの光束のみを分光して、その分光スペクトルを
得るのである。
つまり、第６図（１））に示すように、像面４に、各辺
がナイフェツジに形成され、旧っスリット長を仔意乙こ
変更できる長刀形のスリッＩ・からなる遮蔽マスク１０
．１１を設置し、測定対象部位Ａ以外の部位Ｆ３．Ｃか
らの光束を遮蔽し、Ｊｌ−つ測定対象部位へからの光束
が最大限に得られろようにスリット長を可変とし、測定
を行う。
がナイフェツジに形成され、旧っスリット長を仔意乙こ
変更できる長刀形のスリッＩ・からなる遮蔽マスク１０
．１１を設置し、測定対象部位Ａ以外の部位Ｆ３．Ｃか
らの光束を遮蔽し、Ｊｌ−つ測定対象部位へからの光束
が最大限に得られろようにスリット長を可変とし、測定
を行う。
しかしながら、」１記方法で測定対象を限定すると、７
Ａ６図（ｃ）に示すように、遮蔽マスク１ｏ、１１を通
して観測されるのは部位へのめであり、他の部位１３、
Ｃは返金されているために試料２の像全体における部位
Δの位置関係を目視観察により再確認することができな
い。ましで、測定対象が微小になるほど、あるい（」全
体像が′−１炙導体チップや生体細胞組織のように複雑
であるほど測定対象の位置関係を把握することが非常に
重要であるにも拘わらず、遮蔽マスク１０．１１を通し
ては非常に困難である。
Ａ６図（ｃ）に示すように、遮蔽マスク１ｏ、１１を通
して観測されるのは部位へのめであり、他の部位１３、
Ｃは返金されているために試料２の像全体における部位
Δの位置関係を目視観察により再確認することができな
い。ましで、測定対象が微小になるほど、あるい（」全
体像が′−１炙導体チップや生体細胞組織のように複雑
であるほど測定対象の位置関係を把握することが非常に
重要であるにも拘わらず、遮蔽マスク１０．１１を通し
ては非常に困難である。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするとごろは、試料全体における測定部位の位置
確認及び移動を容易に行・）ことができる顕微式フーリ
エ変換赤外分光法における試！−１観察方法を提供する
ことにある。
目的とするとごろは、試料全体における測定部位の位置
確認及び移動を容易に行・）ことができる顕微式フーリ
エ変換赤外分光法における試！−１観察方法を提供する
ことにある。
上述の目的を達成するため１、本発明に係る顕微式フー
リエ変換赤外分光法における試料観察力法は、マスクを
像点に設けると共に、光路に対して開閉自在に構成し、
当該マスクを開放した状態で像点における結合像をテレ
ビカメラによってモニターし、当該テレビカメラからの
信号を画像処理装置に入カレで第１画像として記録した
後、前記マスクを絞り込んだ状態で再び像点における結
合像を前記テレビカメラによってモニターし、当該テレ
ビカメラからの信号を画像処理装置に入力し゛ζ第２画
像として前記第１画像と同一の画面上で合成像として観
察できるようにした点に特徴がある。
リエ変換赤外分光法における試料観察力法は、マスクを
像点に設けると共に、光路に対して開閉自在に構成し、
当該マスクを開放した状態で像点における結合像をテレ
ビカメラによってモニターし、当該テレビカメラからの
信号を画像処理装置に入カレで第１画像として記録した
後、前記マスクを絞り込んだ状態で再び像点における結
合像を前記テレビカメラによってモニターし、当該テレ
ビカメラからの信号を画像処理装置に入力し゛ζ第２画
像として前記第１画像と同一の画面上で合成像として観
察できるようにした点に特徴がある。
ト記特徴構成乙こよれば、試料の全体像を第１画像とし
て記録した後、試料中の測定対象部位の像を第２画像と
して前記第１画像と同・の画面上で合成して表示するた
め、試料全体における測定対象部位の位置関係が明確に
なると共に、容易に測定対象部位の変更が行えるため、
従来のものと比べて飛Ｗｌｌｆ的な測定時間の短縮及び
池１定精度の向トが可能となる。
て記録した後、試料中の測定対象部位の像を第２画像と
して前記第１画像と同・の画面上で合成して表示するた
め、試料全体における測定対象部位の位置関係が明確に
なると共に、容易に測定対象部位の変更が行えるため、
従来のものと比べて飛Ｗｌｌｆ的な測定時間の短縮及び
池１定精度の向トが可能となる。
以下、本発明の実施例を開面に基づいて説明する。
第１１ｆｆｉないし第４図Ｉｔ、本発明に係る顕微式フ
ーリエ変換赤外分光法における試料観察方法の一実施例
を示し、これらの図において第５図及び第６図に示す符
υと同一のものは同一物または相当物を示す。
ーリエ変換赤外分光法における試料観察方法の一実施例
を示し、これらの図において第５図及び第６図に示す符
υと同一のものは同一物または相当物を示す。
まず、試料観察時には、光ａ１゛からの可視光をミツ−
１２，１３およびコンデンサ鎮１４を介して試１パ［ス
テー；乏２ ′ に載置された試料２６．二照射する。
１２，１３およびコンデンサ鎮１４を介して試１パ［ス
テー；乏２ ′ に載置された試料２６．二照射する。
、１ｉＩＶ１＋ ２を透過した光または！！ａ射光己こ
よって励起された螢光や燐光などの光は、対物鏡３を介
して像点４で結像する。この像点４には、測定対象８１
（位取外からの光を遮蔽する例えば、各辺がナイフェツ
ジに形成され、且つスリット長を任意に変更できる長方
形のスリントから成る遮蔽マスク１０．１１が設置され
ているが、まず、試料２全体からの光が像点４を通過す
るように遮蔽マスク１０．１１を開放しておく（第４回
（ａ）参照）。
よって励起された螢光や燐光などの光は、対物鏡３を介
して像点４で結像する。この像点４には、測定対象８１
（位取外からの光を遮蔽する例えば、各辺がナイフェツ
ジに形成され、且つスリット長を任意に変更できる長方
形のスリントから成る遮蔽マスク１０．１１が設置され
ているが、まず、試料２全体からの光が像点４を通過す
るように遮蔽マスク１０．１１を開放しておく（第４回
（ａ）参照）。
その後、像点４を通過した光をテレビカメラ１５によっ
て像点４における試料２の全体像としてモニターし、そ
の後、テレビカメラ１５からの信号を画像処理装置１６
に入力して第１画像ａとして記録し、テレビモニタ１７
の画面上に表示する（第３図参照）。
て像点４における試料２の全体像としてモニターし、そ
の後、テレビカメラ１５からの信号を画像処理装置１６
に入力して第１画像ａとして記録し、テレビモニタ１７
の画面上に表示する（第３図参照）。
次に、遮蔽マスク１０．１１を試料２中の測定対象部位
Ａからの光ののが通過するように設定しく第４図（ｂ）
参照）、遮蔽マスク１０．１１を通過した光は、再びテ
レビカメラ１５によって像点４における測定対象部位Ａ
の像としてモニターし、テレビ力、ノラ１５からの信号
を画像処理装置１６乙こ入力し７て第２画像すとしてテ
レビモニタＩ７の画面上に表示された第１画像ａと同一
画面Ｉ−に合成像として表示する（第３図芥照）。
Ａからの光ののが通過するように設定しく第４図（ｂ）
参照）、遮蔽マスク１０．１１を通過した光は、再びテ
レビカメラ１５によって像点４における測定対象部位Ａ
の像としてモニターし、テレビ力、ノラ１５からの信号
を画像処理装置１６乙こ入力し７て第２画像すとしてテ
レビモニタＩ７の画面上に表示された第１画像ａと同一
画面Ｉ−に合成像として表示する（第３図芥照）。
従−２７て、どの合成像を観察する場合、遮蔽マスク１
０．１１により遮蔽されていない測定対象部位Ａは、遮
蔽マスク１０．１１１ごより遮蔽された部伸に比べ−Ｃ
像点４におし」る結合像と（）この第１画像、■と第２
画像ｌ）とか合成されるため輝度か高くなり、試才′１
２におＵる遮ａ段マスクｌ０１１１の設定４Ｉ’ｉ、置
を確認できる。しかも、測定対象以外の像も同一画面上
で確認できるため、試料２を移動さゼない限り、試料２
中における測定対象部位Ａの位ｉ６関係が明確となると
共に、測定対象部位の変更、即ち１、遮蔽マスク１０１
１の移動も容易に行える。
０．１１により遮蔽されていない測定対象部位Ａは、遮
蔽マスク１０．１１１ごより遮蔽された部伸に比べ−Ｃ
像点４におし」る結合像と（）この第１画像、■と第２
画像ｌ）とか合成されるため輝度か高くなり、試才′１
２におＵる遮ａ段マスクｌ０１１１の設定４Ｉ’ｉ、置
を確認できる。しかも、測定対象以外の像も同一画面上
で確認できるため、試料２を移動さゼない限り、試料２
中における測定対象部位Ａの位ｉ６関係が明確となると
共に、測定対象部位の変更、即ち１、遮蔽マスク１０１
１の移動も容易に行える。
而して、１記力法により／１１１１定対象部位Ａの位置
をに認し７た後、赤外光を用いて測定対象部位Ａの分光
特性や強度を測定するには、第２図に示すように、ミラ
ー１２を移動さゼた後、光源１から発した赤夕Ｉ光を例
えば三光束干渉計等からなる干渉計１８を通過させて、
波長ごとにエネルギー強度変調をかけ、その後ミラー１
９．２０．１３およびｍｌンデンザ鏡１４を介し゛ζ試
料２に照射し、その透過光を対物鏡３を介して像点４で
結像する。
をに認し７た後、赤外光を用いて測定対象部位Ａの分光
特性や強度を測定するには、第２図に示すように、ミラ
ー１２を移動さゼた後、光源１から発した赤夕Ｉ光を例
えば三光束干渉計等からなる干渉計１８を通過させて、
波長ごとにエネルギー強度変調をかけ、その後ミラー１
９．２０．１３およびｍｌンデンザ鏡１４を介し゛ζ試
料２に照射し、その透過光を対物鏡３を介して像点４で
結像する。
像点４には、予め可視光を用いて測定対象部位Ａの光束
のみを透過さセるよ・）に遮蔽マスク１０．１１を設定
しであるため、測定対象部位Ａ以外からの赤外光は遮蔽
される。そして、ミラー２１を光路１１喝こ導入し、測
定対象以外八からの赤外光をＩＪ Ｉ７光学系８に導入
する。赤外光は］渉計１８によって波長毎に周波数の異
なるエネルギー変調を受ｉＪているので、測定対象部位
Ａからの赤外光を直接検出器９で検出し、周波数分析す
ることによって分光スペクトルを得る。
のみを透過さセるよ・）に遮蔽マスク１０．１１を設定
しであるため、測定対象部位Ａ以外からの赤外光は遮蔽
される。そして、ミラー２１を光路１１喝こ導入し、測
定対象以外八からの赤外光をＩＪ Ｉ７光学系８に導入
する。赤外光は］渉計１８によって波長毎に周波数の異
なるエネルギー変調を受ｉＪているので、測定対象部位
Ａからの赤外光を直接検出器９で検出し、周波数分析す
ることによって分光スペクトルを得る。
」−述の実施例では透過式の顕微式フーリエ変換赤外分
光法について説明したが、反射式で測定を行う場合には
、第２図に示すように、矢印Ｐ方向にミラー１９を移動
さセ、ミラー２２．２３．２４を介して試料２に光を照
射してその反射光を用いて同様に測定を行えばよい。
光法について説明したが、反射式で測定を行う場合には
、第２図に示すように、矢印Ｐ方向にミラー１９を移動
さセ、ミラー２２．２３．２４を介して試料２に光を照
射してその反射光を用いて同様に測定を行えばよい。
なお、本実施例では、遮蔽マスクとし゛Ｃ長方形のスリ
ットからなるマスクを用いたが、遮蔽する手段として他
に、円形のビンボール等を用いてもよい。
ットからなるマスクを用いたが、遮蔽する手段として他
に、円形のビンボール等を用いてもよい。
以」−説明したように、本発明によれば、試料の全体像
を第１画像として記録した後、試料中の測定対象部位の
像を第２画像とし゛Ｃ前記第１両像と同一の画面］−で
合成して表示するため、試料全体におりる測定対象部位
の位置関係が明確になると共に、容易に測定対象部位の
変更が行えるため、従来のものと比べて飛躍的な測定時
間の短縮及び測定精度の向１−か可能々なったのである
。
を第１画像として記録した後、試料中の測定対象部位の
像を第２画像とし゛Ｃ前記第１両像と同一の画面］−で
合成して表示するため、試料全体におりる測定対象部位
の位置関係が明確になると共に、容易に測定対象部位の
変更が行えるため、従来のものと比べて飛躍的な測定時
間の短縮及び測定精度の向１−か可能々なったのである
。
第１図ないし第４図は本発明の一実施例を示し、第１図
は顕微式フーリエ変換赤外線分光光爪側におりる測定対
象部位の位置確認用光学配置図、第２ｒ／Ｉは赤外光分
光測定用光学配置図、第３図および第４図（、ｌ試料観
察のための動作説明図である。 第！５図及び第６図は従来例を示し、第５図は従来の顕
微分光測定装置の構成図、第６図は遮蔽マスクによるＪ
ｌ−測定対象部位の遮蔽方法を説明するための平面図で
ある。 １．１” 光源、２ 試料、４ 像点、１．０．１１遮
蔽マスク、１５−ラ゛用／ヒカメラ、１６ 画像処理
装置、ａ 第１画像、ｂ 第２画像。 出 願 人 株式会社 堀場製作所 代 理 人 弁理士 藤本英夫 第５図 逅 時開・ト 第６ 図 （ａ） （ｂ）
は顕微式フーリエ変換赤外線分光光爪側におりる測定対
象部位の位置確認用光学配置図、第２ｒ／Ｉは赤外光分
光測定用光学配置図、第３図および第４図（、ｌ試料観
察のための動作説明図である。 第！５図及び第６図は従来例を示し、第５図は従来の顕
微分光測定装置の構成図、第６図は遮蔽マスクによるＪ
ｌ−測定対象部位の遮蔽方法を説明するための平面図で
ある。 １．１” 光源、２ 試料、４ 像点、１．０．１１遮
蔽マスク、１５−ラ゛用／ヒカメラ、１６ 画像処理
装置、ａ 第１画像、ｂ 第２画像。 出 願 人 株式会社 堀場製作所 代 理 人 弁理士 藤本英夫 第５図 逅 時開・ト 第６ 図 （ａ） （ｂ）
Claims (1)
- 光源からの光を試料に照射し、該試料からの反射あるい
は透過光をマスクを介して分光測定する顕微式フーリエ
変換赤外分光法において、前記マスクを像点に設けると
共に、光路に対して開閉自在に構成し、当該マスクを開
放した状態で像点における結合像をテレビカメラによっ
てモニターし、当該テレビカメラからの信号を画像処理
装置に入力して第１画像として記録した後、前記マスク
を絞り込んだ状態で再び像点における結合像を前記テレ
ビカメラによってモニターし、当該テレビカメラからの
信号を画像処理装置に入力して第２画像として前記第１
画像と同一の画面上で合成像として観察できるようにし
たことを特徴とする顕微式フーリエ変換赤外分光法にお
ける試料観察方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27420590A JPH04148847A (ja) | 1990-10-13 | 1990-10-13 | 顕微式フーリエ変換赤外分光法における試料観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27420590A JPH04148847A (ja) | 1990-10-13 | 1990-10-13 | 顕微式フーリエ変換赤外分光法における試料観察方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04148847A true JPH04148847A (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=17538502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27420590A Pending JPH04148847A (ja) | 1990-10-13 | 1990-10-13 | 顕微式フーリエ変換赤外分光法における試料観察方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04148847A (ja) |
-
1990
- 1990-10-13 JP JP27420590A patent/JPH04148847A/ja active Pending
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