JPH073308Y2

JPH073308Y2 - 一体形差圧センサ

Info

Publication number: JPH073308Y2
Application number: JP11576988U
Authority: JP
Inventors: 佐一郎森田
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1988-09-02
Filing date: 1988-09-02
Publication date: 1995-01-30
Anticipated expiration: 2003-09-02
Also published as: JPH0237342U

Description

【考案の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉本考案は小形化、構造簡略化しコストダウン出来、特性
の良好な一体形差圧センサに関するものである。

〈従来の技術〉第４図は従来より一般に使用されているオリフイスによ
る流量測定システムの従来例の構成説明図である。

図において、Ａは測定流体の流れる管路である。

Ｂは管路Ａに設けられたオリフイスである。

ＣはオリフイスＢの上流、あるいは、下流の管路Ａに取
付けられた導管である。C1は導管を開閉する元弁であ
る。

Ｄは導管Ｃに接続された三方弁である。D1は三方弁Ｄに
設けられたストップ弁、D2は均圧弁である。

Ｅは、三方弁Ｄに接続された差圧測定装置である。

〈考案が解決しようとする課題〉しかしながら、この様な装置においては、三方弁Ｄと差
圧測定装置Ｅとは別体であり、相互の配管が必要とな
る。また、装置が複雑となり、装置の小型軽量化、コス
トダウンが図れない。

本考案は、この問題点を解決するものである。

本考案の目的は、配管等の部品の不要化等により小形
化、構造簡略化しコストダウン出来、特性の良好な一体
形差圧センサを提供するにある。

〈課題を解決するための手段〉この目的を達成するために、本考案は、測定流体中に配
置されるオリフィスあるいは絞り機構と、該オリフィス
あるいは絞り機構を挾持するフランジと、該フランジの
オリフィスあるいは絞り機構の上流側あるいは下流側に
それぞれ設けられ測定流体を取入れる測定流体取入れ口
と、該測定流体取入れ口の一方に一端が接続されたキャ
ピラリーチューブと、該キャピラリーチューブの他端に
一端が連通されたパイプ状の支持台と、該支持台の他端
に一面が接続された基板と、該基板の他面に一面が接続
されたシリコンチップと、該シリコンチップに設けられ
該シリコンチップにダイアフラムを形成するとともに前
記支持台と連通する第１測定室を前記基板と構成する凹
部と、前記ダイアフラムに設けられたセンサ素子と、前
記シリコンチップの外側周囲に設けられ前記他方の測定
流体取入れ口に連通するする第２測定室とを具備してな
る一体形差圧センサを構成したものである。

〈作用〉以上の構成において、キャピラリチューブを介して導入
された測定流体は、第１測定室に導入される。

一方、他方の測定流体取入れ口より導入された測定流体
は、第２測定室に導入される。

第１測定室と第２測定室との差圧により、ダイアフラム
は変位し、この変位はセンサ素子により検出され、差圧
に対応した電気信号出力が得られる。

以下、実施例に基づき詳細に説明する。

〈実施例〉第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図である。

図において、１は測定流体中に配置されるオリフィスで
ある。

２はオリフィスを挾持するフランジである。

３はフランジ２のオリフィスの上流側あるいは下流側に
それぞれ設けられ測定流体を取入れる測定流体取入れ口
である。

31は、第２図に示す如く、測定流体取入れ口３の一方に
設けられた取付けアダプタである。

取付けアダプタ31は、取付けブロック311とダイアフラ
ムボディ312とシールダィアフラム313とよりなる。

４は取付けアダプタ31に一端が接続されたキャピラリー
チューブである。

51は、第３図に示す如く、キャピラリーチューブ４の他
端に一端が連通されたパイプ状の支持台である。

52は支持台51の他端に一面が接続された基板である。

53は基板52の他面に一面が接続されたシリコンチップで
ある。

54はシリコンチップ53に設けられシリコンチップ53にダ
イアフラム531を形成するとともに、支持台51と連通す
る第１測定室532を基板52と構成する凹部である。

533はダイアフラム531に設けられたセンサ素子である。
この場合は、歪みゲージが用いられている。

55は、第２図に示す如く、シリコンチップ53の外側周囲
に設けられ他方の測定流体取入れ口３に連通するする第
２測定室である。

第２測定室55は、この場合は、シリコンチップ53と支持
台51の固定されるボディ56とシールダイアフラム57とで
形成される。

６はシールダイアフラム57を覆って設けられたニップル
である。

101は、ダイアフラムボディ312、シールダイアフラム31
3、キャピラリチューブ４、支持台５、基板52、第１測
定室532で構成される第１室に満たされた封入液であ
る。

102は第２測定室55に満たされた封入液である。封入液1
01,102は、この場合は、シリコンオイルが使用されてい
る。

以上の構成において、キャピラリチューブ４を介して導
入された測定流体は、第１測定室532に導入される。

一方、他方の測定流体取入れ口３より導入された測定流
体は、第２測定室55に導入される。

第１測定室532と第２測定室55との差圧により、ダイア
フラム531は変位し、この変位はセンサ素子533により検
出され、差圧に対応した電気信号出力が得られる。

この結果、（１）差圧測定装置本体部分と三方弁とオリフィスとを
一体に構成できたので、三方弁等が不要となり、小型、
軽量、コストダウンが図れる。

（２）差圧測定装置本体部分と三方弁間の配管が不要に
なる。

（３）三方弁を使用しないので、差圧センサに過大圧保
護機構を不要とし、小形化、構造簡略化、そして、コス
トダウンが可能となる。

（４）過大圧保護機構が不要となるので、ダイアフラム
の特性をそのまま用いる事ができ特性の勝れた一体形差
圧センサが得られる。

なお、前述の実施例においては、シールダイアフラム31
3,57を使用したが、測定流体が非腐蝕性の清浄な流体で
ある場合には、シールダイアフラム313を使用しなくて
も良いことは勿論である。

また、オリフィスでなく、絞り機構を使用しても良いこ
とは勿論である。

〈考案の効果〉以上説明したように、本考案は、測定流体中に配置され
るオリフィスあるいは絞り機構と、該オリフィスあるい
は絞り機構を挾持するフランジと、該フランジのオリフ
ィスあるいは絞り機構の上流側あるいは下流側にそれぞ
れ設けられ測定流体を取入れる測定流体取入れ口と、該
測定流体取入れ口の一方に一端が接続されたキャピラリ
ーチューブと、該キャピラリーチューブの他端に一端が
連通されたパイプ状の支持台と、該支持台の他端に一面
が接続された基板と、該基板の他面に一面が接続された
シリコンチップと、該シリコンチップに設けられ該シリ
コンチップにダイアフラムを形成するとともに前記支持
台と連通する第１測定室を前記基板と構成する凹部と、
前記ダイアフラムに設けられたセンサ素子と、前記シリ
コンチップの外側周囲に設けられ前記他方の測定流体取
入れ口に連通するする第２測定室とを具備してなる一体
形差圧センサを構成した。

従って、本考案によれば、小形化、構造簡略化しコスト
ダウン出来、特性の良好な一体形差圧センサを実現する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、第２図，
第３図は第１図の要部構成説明図、第４図は従来より一
般に使用されている従来例の構成説明図である。１…オリフィス、101,102,…封入液、２…フランジ、３
…測定流体取入れ口、31…取付けアダプタ、311…取付
けブロック、312…ダイアフラムボディ、313…シールダ
イアフラム、４…キャピラリチューブ、51…支持台、52
…基板、53…シリコンチップ、531…ダイアフラム、532
…第１測定室、533…センサ素子、54…凹部、55…第２
測定室、56…ボディ、57…シールダイアフラム、６…ニ
ップル。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】測定流体中に配置されるオリフィスあるい
は絞り機構と、該オリフィスあるいは絞り機構を挾持す
るフランジと、該フランジのオリフィスあるいは絞り機
構の上流側あるいは下流側にそれぞれ設けられ測定流体
を取入れる測定流体取入れ口と、該測定流体取入れ口の
一方に一端が接続されたキャピラリーチューブと、該キ
ャピラリーチューブの他端に一端が連通されたパイプ状
の支持台と、該支持台の他端に一面が接続された基板
と、該基板の他面に一面が接続されたシリコンチップ
と、該シリコンチップに設けられ該シリコンチップにダ
イアフラムを形成するとともに前記支持台と連通する第
１測定室を前記基板と構成する凹部と、前記ダイアフラ
ムに設けられたセンサ素子と、前記シリコンチップの外
側周囲に設けられ前記他方の測定流体取入れ口に連通す
るする第２測定室とを具備してなる一体形差圧センサ。