JPH07328844A - 放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】仕上げ加工用電源として高周波交流電圧源等を
用いて、被加工体の加工面粗度を微細に仕上げるのを確
実にする放電間隙間の放電状態検出回路を備えた放電加
工装置。 【構成】高周波交流電圧源を荒加工や中加工等の加工工
程後の加工面粗度仕上げ用の仕上げ加工用電源として用
いる際の放電間隙の放電状態検出回路として、放電間隙
に放電状態検出回路が有する浮遊静電容量が影響しない
ように、放電間隙に抵抗と発光素子との直列回路を並列
に接続し、前記発光素子の発光出力を光電気信号変換の
受光素子により電気信号に変換し、該変換電気信号を増
幅、積分、及びＡ／Ｄ変換等して加工送りのサーボ制御
信号等の制御信号を得るように構成し、検出回路を放電
間隙と絶縁分離した状態の回路とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、放電加工用の放電間
隙、放電間隙状態、又は放電状態若しくは放電加工状態
（以下「放電間隙の放電状態」という。）検出回路、詳
しくは仕上げ加工用の放電間隙の放電状態検出回路、特
に前記仕上げ加工用の電源として高周波交流電圧源を用
いた場合の放電状態検出回路、及び該放電状態検出回路
の検出信号により加工のための各種制御、例えばサーボ
送り制御を行なう放電加工装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図７は、従来の放電間隙の放電状態検出
回路、及び該放電状態検出回路によって検出された信号
により放電加工のためのサーボ送り制御を行なう１回路
例の概略のブロックダイアグラム説明図を示すもので、
３０は後述する本発明者等の開発に係わるは仕上げ加工
用電源、１はワイヤ放電加工用ワイヤ電極又は穿孔・型
彫加工用総型電極、３は被加工体、３１は放電間隙電圧
検出用分圧回路、３２は検出分圧電圧を，必要に応じ半
波又は全波整流した後増幅する演算増幅器から成る反転
増幅回路、３３は増幅電圧を整流積分する積分回路、３
４は積分電圧の反転増幅回路で可変抵抗３４Ａの調整に
よりサーボゲイン（利得）を調整する利得調整回路、３
５は利得が調整された増幅電圧のサンプルホールド増幅
器、３６はサンプルホールドされた増幅電圧をデジタル
信号に変換するＡ／Ｄ変換器、３７は変換デジタル信号
の次段のＮＣ装置への入出力回路であって、発光素子と
受光素子とから成る回路絶縁用のフォトカプラ、３８は
同時２軸以上の４軸又は３軸の制御が可能な放電加工用
ＮＣ制御装置やマイクロコンピュータ等を内蔵する制御
装置、３９はモータドライバ、４０はＸＹ２軸、Ｚ軸、
あるいはさらにテーパ加工用ＵＶ２軸のサーボモータで
ある。

【０００３】前記３０は、放電加工に於て、ほぼ最終的
に仕上げ加工を行なう仕上げ加工用電源、特に後で詳し
く説明するが、例えば本発明特許出願人の先願発明に係
る下記特許出願 １．［出願日］ 平成６年２月１８日提出の特許願 ［整理番号］ Ｐ９４−００４ ［出願番号］ 平成６年特許願第５９，７７７号 ［発明の名称］ ワイヤ放電加工用電源回路及び電源用
回路装置 ２．［出願日］ 平成６年３月２３日提出の特許願 ［整理番号］ Ｐ９４−０３２ ［出願番号］ 平成６年特許願第９２，８３６号 ［発明の名称］ ワイヤ放電加工方法及びワイヤ放電加
工用電源回路 等に記載説明した、必要に応じ、１サイクル毎に休止時
間を有せしめ得る高周波交流電圧源から成る仕上げ加工
用電源で、その出力高周波交流電圧は、周波数が大凡１
ＭＨｚ前後又はそれ以上の高周波で、図示しない加工液
が両者間に流通介在せしめられる加工用電極１と被加工
体３間の微細な放電間隙に印加されて放電し、前段階迄
の中仕上げ加工等により、ほぼ所定の寸法・形状精度に
仕上げられた被加工体３の加工面の主として面粗度改善
（約３．５〜１μｍＲｍａｘ又はこれ以上迄）の仕上げ
加工をするものである。

【０００４】而して、前述のような仕上げ加工や、該仕
上げ加工に到る迄の最初の荒加工又はファーストカット
加工、次段の中加工又はセカンドカット加工、あるいは
さらに中仕上げ加工又はサードカット加工に於ける加工
のためのサーボ送り制御の放電間隙の放電状態検出回路
又は検出調整回路としては多種多様な物があるが、その
１例は、前述図７の如き構成のものであり、検出放電間
隙電圧は、分圧回路３１からＡ／Ｄ変換回路３６迄で、
所望ゲインに応じたデジタル信号に変換され、フォトカ
プラ３７を介し制御装置３８に送られて演算され、制御
装置３８内のＮＣ装置に入力設定手段３８Ａにより、加
工の目的等に応じ、作業者により入力された所望設定電
圧又は基準電圧との偏差に応じ、通常は偏差零で、送り
速度が零で、その送り方向が反転するゼロメソッドサー
ボ、又は前記偏差零で設定加工条件の加工速度に応じた
送り速度が設定される減速サーボ等のサーボ制御方式の
加工送りとなるようサーボモータ４０のドライバ３９に
ドライブ制御信号が供給されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、斯種高周波
交流電圧源による仕上げ加工には、放電間隙、及び該放
電間隙廻りの構造物や加工用電圧源給電回路部分等が有
する浮遊静電容量の値を仕上げ加工の目的に従い相応に
小さくしないと、浮遊容量の充放電による高い放電ピー
ク電流の放電が混じることになり、該高ピークの放電が
混じると、加工面が荒れ、目的とする加工面粗度（約
３．５〜１μｍＲｍａｘ、又はそれ以上）に仕上がらな
いことになる。又、前記のように浮遊容量が充分小さく
ないと、加えた高周波交流電圧が減衰し、そうでなくて
も加工効率がよくない乃至は加工効率が容易に著しく低
下することがある高周波交流電圧源による面粗度改善の
仕上げ加工の加工効率を低下させることになるから避け
る必要がある。

【０００６】ところが、前記図７の従来例のサーボ送り
制御の放電状態検出回路を備えた仕上げ加工回路によれ
ば、電極・被加工体間の放電間隙及びその廻りと、高周
波交流電圧源３０、及び該電圧源３０から放電間隙迄の
給電回路等の浮遊静電容量を工夫等して所望に低減せし
め得たとしても、前記放電間隙には加工用電源の制御や
加工送りのためのサーボ制御用放電状態検出回路とし
て、前記分圧回路３１からＡ／Ｄ変換回路３６迄の、通
常電源装置のボックス内にある電子回路が接続されてい
て、該電子回路は勿論、その回路構成や構造等によるも
のの、大凡約１００〜１０００ＰＦ前後の浮遊容量を有
しており、該検出回路部分の浮遊容量は、前述した高周
波交流電圧源による加工面粗度改善の仕上げ加工に際し
ての障害となるものである。そして、又、斯種高周波交
流電圧源を加工用電源とする仕上げ放電加工では、前述
の如く約１ＭＨｚ前後又はそれ以上の高周波で、かつ後
述するように主として加工効率上可成りの高電圧、例え
ば、正負の波高値電圧間で約３５０〜５００Ｖであっ
て、その放電間隙から放電状態検出回路の同軸ケーブル
等のリード線が引き出され、該検出回路や前記制御装置
３８等のある電源装置（ボックス）迄引き廻されること
となる所から、上記検出回路を含む近くにある制御回路
に対し誤動作等の雑音障害を生じさせると言う大きな問
題がある丈でなく、検出信号電力が大きく検出回路の回
路素子、例えば、入力側の分圧回路３１の抵抗等を大容
量とすると共に、可成り大掛かりな冷却手段を講ずるこ
とが必要になる等の問題があった。

【０００７】なお、、前記放電間隙、及び該放電間隙廻
りの浮遊容量としては、ワイヤ放電加工のそれは、通常
小さいか、又は容易に小さくできるのに対し、総型等の
電極を使用する所謂ラム型放電加工機の場合は、対向又
は加工面積に応じ浮遊容量が大きくなるだけでなく、電
極又はその支持体を加工ヘッド等に絶縁支持する構造等
によってもかなりの浮遊容量を有することになるが、例
えば、電極を単純形状の小径棒状電極とし、電極と被加
工体間の対向方向及び該方向と直角方向の相対制御移動
により目的とする形状加工を行なうようにするとか、又
は加工液中に金属、合金、炭素、又は硅素等の０．１〜
３．０μｍφサイズの粉末を数％前後混入した粉末混入
放電加工として加工中の放電間隙長を広くとるようにし
たり、あるいは放電回路に直列に静電容量を打ち消す線
輪を挿入したり、又該線輪に代えて高透磁性磁気回路
（例えば、特開昭５９−４２２２２号公報参照）等も使
用することができるもので、このため本発明の適用は、
ワイヤ放電加工に限らないものである。又、本発明の放
電状態検出信号は、制御装置３８の出力３８ｂとして加
工電源や加工パルスの制御等にも利用できるものであ
る。

【０００８】よって本発明は、浮遊容量が少なく、仕上
げ加工の際に適した放電間隙の放電状態検出回路、そし
て、仕上げ加工の際に加工用電源として高電圧の高周波
流電圧源を用いても、該検出回路近傍の各種の制御回路
等に雑音障害を生ぜしめることのない、かつ好適な構成
の該放電状態検出回を提供すること、及び該検出回路の
検出信号により加工のため各種の制御、例えば特にサー
ボ送り制御を行なうことにより、良好なサーボ送り制御
の下に面粗度向上を目的とする高周波交流電圧源による
仕上げ加工が確実に行なえるようにした放電加工装置を
提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前述の本発明の目的は、
（１） 加工用電源として、１次及び２次巻線をリング
コアに捲回して有する高周波結合トランスを備え、前記
１次巻線に供給される間歇的な高周波電流パルスにより
前記２次巻線に誘起される高周波交流電圧を、加工電極
と被加工体間の放電間隙に供給して仕上げ加工をする放
電加工装置に於て、前記放電間隙の放電状態検出回路と
して、抵抗と発光素子との直列回路を前記放電間隙に直
接並列に接続し、前記発光素子の発光出力を光−電気信
号変換の受光素子により電気信号に変換して前記放電間
隙の放電状態検出信号を得る放電加工装置とすることに
より、又、（２）前記発光素子と直列な抵抗を、前記放
電間隙に近い位置に設けられる電流制限用の分圧抵抗と
放電間隙から離隔した電源装置の検出回路側に設けられ
る第２の分圧抵抗との直列接続体により構成した放電状
態検出回路を有する前記（１）に記載の放電加工装置と
することにより、又、（３）前記電流制限用の分圧抵抗
が、前記第２の分圧抵抗の分圧値に対して充分大きな分
圧値を負荷する関係の抵抗値に選定され、かつ前記電流
制限用の分圧抵抗が放電間隙に供給される加工液と接触
して冷却されるように加工槽部に配置された構成の放電
状態検出回路を有する前記（２）記載の放電加工装置と
することにより、又、（４）前記発光素子と並列で逆極
性に整流素子を接続した放電状態検出回路を有する前記
（１）、（２）、又は（３）に記載の放電加工装置とす
ることにより、又、（５）前記発光素子が発光ダイオー
ド、前記受光素子がフォトトランジスタ又はフォトダイ
オードである放電状態検出回路を有する前記（１）、
（２）、（３）又は（４）に記載の放電加工装置とする
ことにより、又、（６）前記放電間隙に別異複数の放電
状態検出回路が並列に接続して設けられたものに於て、
加工用電源として前記高周波交流電圧を用いると共に放
電状態検出回路として前記抵抗と発光素子との直列回路
を放電間隙に直接並列に接続する前記検出回路を用いて
仕上げ加工をする際に、前記直列回路の検出回路以外の
検出回路を放電間隙から切り離す機械的開閉スイッチ
が、上記直列回路以外の検出回路と放電間隙間に設けら
れた前記（１）、（２）、（３）、（４）又は（５）に
記載の放電加工装置とすることにより、又、（７）前記
放電状態検出回路は、必要に応じて設けられる開閉スイ
ッチにより、必要に応じて放電間隙に接離されるもので
あって、該放電状態検出回路が放電間隙に接続され、得
られる放電状態検出信号により加工送りその他の制御要
素を制御する仕上げ加工に際しては、前記加工用高周波
交流電圧供給回路以外の加工用電圧パルス供給回路、及
び上記検出回路以外の放電間隙に接続されている放電状
態検出回路を機械的開閉スイッチにより放電間隙から機
械的に切り離すように構成とした前記（１）、（２）、
（３）、（４）又は（５）に記載の放電加工装置とする
ことにより、又、（８）前記放電状態検出回路の検出信
号を、放電間隙を送りにより制御するサーボ送り制御装
置の放電間隙検出信号とするようにした前記（１）、
（２）、（３）、（４）、（５）、（６）又は（７）に
記載の放電加工装置とすることにより、又、前述の本発
明の目的は、より一般的には、（９）電極と被加工体と
から成る放電間隙に仕上げ加工用の低エネルギで微小電
力の放電を生ぜしめ得る加工用電源を備えた放電加工装
置に於て、前記仕上げ加工の実施に際しては少なくとも
放電間隙に接続して用いられる放電状態検出回路であっ
て、抵抗と発光素子との直列回路を前記放電間隙に直接
並列に接続し、前記発光素子の発光出力を光−電気信号
変換の受光素子により電気信号に変換し、該変換電気信
号を増幅、積分、及びＡ／Ｄ変換等して加工送りのサー
ボ制御の制御信号とするようにした放電加工装置とする
ことにより達成されるものである。

【００１０】

【作用】本発明の放電加工装置は、上述のような構成で
あるから、放電間隙に接続されている放電状態検出回路
は、抵抗とフォトカプラの発光素子とを直列に接続した
直列回路部分のみで、前記フォトカプラの以後の積分回
路や増幅回路あるいはさらにサンプルホールド増幅回路
やＡ／Ｄ変換器等は前記フォトカプラにより放電間隙か
ら絶縁されており、又この検出回路とは、必要に応じて
別異に設けられている他の放電間隙の放電状態検出回路
は、機械的開閉スイッチにより切り離されるので放電間
隙に対して設けられる放電状態検出回路による浮遊容量
を最小の状態とすることができ、更に、該検出回路入力
の放電間隙に近い側の分圧抵抗は検出回路の浮遊容量に
よる放電を抑制する高抵抗と言う構成であるから仕上げ
加工を好適にサーボ制御をした状態で、加工面が荒れな
く所定の微細面粗度に、かつ効率良い加工ができるよう
になった。又、上記のように、仕上げ加工の際に加工用
電源として、雑音障害の大きな高電圧の高周波交流電圧
を安全、確実に用いることを可能とした高効率の放電加
工装置を構成することができる。

【００１１】

【実施例】図１は、本発明実施例の放電間隙の放電状態
検出回路４１〜４７を、前記従来例の図７の放電状態検
出回路３１〜３７と並列に、放電間隙に機械的開閉スイ
ッチ４８により切換え接続可能に設けると共に仕上げ加
工用の高周波交流電圧源３０と、荒加工、中加工、中仕
上げ加工用等の通常型の間歇的な電圧パルス源５とを機
械的開閉スイッチ４９により切換え接続可能に設けた一
実施例を示すものである。

【００１２】図は、機械的開閉スイッチ４８及び４９の
切換えにより、電極１、被加工体３間の放電間隙には、
仕上げ加工用電源として高周波交流電圧源３０が、又放
電状態検出回路として本発明の一実施例回路が接続され
ている状態を示すもので、４１は各種発光ダイオード等
の発光素子４１Ａと、各種光導電素子やフォトダイオー
ド、又はフォトトランジスタ等の受光素子４１Ｂとから
なるフォトセンサ、フォトカプラ、又は光電変換素子
で、発光素子４１Ａと受光素子４１Ｂとは電気的に絶縁
されており、上記発光素子４１Ａは無誘導抵抗等の抵抗
４１Ｃと直列に接続して放電間隙に直接、勿論リード線
等を介してであるが、並列に接続される。４３Ａはフォ
トカプラ４１出力の積分回路、４２は反転増幅回路、４
４は更に反転増幅して、可変抵抗４４Ａの調整によりサ
ーボゲインが調整される利得調整回路、４３Ｂは積分回
路、４５はサンプルホールド増幅回路、４６はＡ／Ｄ変
換器、又４７は入出力回路で、前記回路４３Ａから回路
４７の間は前述した従来の検出回路３２〜３７部分と構
成上微差があるが、実質上同一のもので、その検出調整
されたデジタル信号はＮＣ制御装置等を有する制御装置
３８に入力して、入力手段３８Ａの入力信号等と所定演
算等処理され、サーボモータ４０のドライバ３９にドラ
イブ制御信号を出力する外、必要に応じ、例えば加工用
電源やパルスの条件、又は加工液供給装置の供給条件等
の加工条件を検出信号に応じて制御する制御信号３８Ｂ
を出力する。

【００１３】なお、図に於て発光素子４１Ａに並列に接
続された素子４１Ｄは整流素子であって、発光素子４１
Ａが発光ダイオードの場合に同様な発光ダイオードであ
っても良く、発光素子４１Ａの逆電圧に対する耐圧保護
のためと、加工用電源として高周波交流電圧源を用いた
場合に、該発光ダイオード４１Ａ部に於ける正負の電圧
降下を同一にして発光特性を良好に保つためである。

【００１４】以上の構成によれば、仕上げ加工に際して
は、電極１と被加工体３とからなる放電間隙には、仕上
げ加工用電源としての高周波交流電圧源３０のみが接続
されているだけで、仕上げ加工工程以前の中仕上げ加工
等の段階まで使用された、通常形の電子スイッチ素子の
制御オン・オフにより休止時間を置いて間歇的に電圧パ
ルスを供給する電圧パルス源５は、機械的開閉スイッチ
４９により放電間隙から完全に切り離され、又通常１個
以上複数個が設けられるであろう放電状態検出回路も機
械的開閉スイッチ４８により本発明の放電状態検出回路
のみが接続されているだけで、放電間隙には抵抗４１Ｃ
と発光素子４１Ａとの直列回路のみが並列接続されてい
る訳であるから、放電間隙廻り、又少なくとも放電間隙
廻り回路網による浮遊静電容量は最も少ない状態にある
わけで、放電間隙廻り回路網による浮遊静電容量による
高いピーク電流値のある放電や１放電当たりの放電エネ
ルギが所定値よりも大きくなると言うことは無く、した
がって加工面が荒れたりすることはなく、又逆に前記浮
遊容量が存在して、前記高周波交流電圧や仕上げ加工パ
ルス等が不測に減衰等されて加工効率を低下させると言
うこともなく、他方前記浮遊容量を増加させること無く
放電状態が検出できて、当該仕上げ加工の送りを好適
に、又は所望に制御して加工することができるから、被
加工体３加工面の太鼓特性や前加工段階までによる加工
形状のバラツキ等を所望に制御しつつ加工することがで
き、所望とする約３．５〜１μｍＲｍａｘの加工面粗度
出し仕上げ加工を迅速、確実にすることができることに
なる。

【００１５】即ち、前述の図７の加工回路の場合、放電
状態検出回路３１〜３７の浮遊容量の存在により、加工
効率が悪いだけでなく、加工面粗度を３．５〜１μｍＲ
ｍａｘ、又はそれ以上の面粗度仕上げができず、このた
め従来約３．５〜１μｍＲｍａｘ、又はそれ以上の面粗
度仕上げのためには、放電状態検出回路３１〜３７を機
械的スイッチ等により放電間隙から切り離し、制御装置
３８のＮＣ装置に設定した或一定速度で加工するように
していたものであるが、かかるサーボ制御でない一定速
度の加工送りの加工では、被加工体３加工面の太鼓特性
や形状のバラツキ等を所望に制御する加工とすることが
できず不具合であったものである。

【００１６】而して、加工用電源を開閉スイッチ４９に
よる切換えにより間歇的な電圧パルス源５に切換えて、
荒加工とか中加工等をしようとする場合、前記電圧パル
ス源５の電源形式等にもよるが、その場合は図示のごと
く放電状態検出回路を開閉スイッチ４８により従来の検
出回路３１〜３７に切り替える場合の外、本発明の放電
状態検出回路４１〜４７をそのまま使用するとか、或い
は又該回路４１〜４７が荒加工等の加工に障害となるこ
とはないから、該回路４１〜４７はそのまま接続した状
態としておいて、従来の検出回路３１〜３７を稼働させ
る接続構成としても良い。

【００１７】図２は、前述した図１における放電加工を
ワイヤ放電加工の場合として、又前記間歇的な電圧パル
ス源５と高周波交流電圧源３０の具体例を示したもの
で、１は一対の間隔を置いて配置した位置決めガイド２
Ａ、２Ｂ間を所定の張力を付与した状態で軸方向に更新
送り移動させられるワイヤ電極、３は図示しないｘｙク
ロステーブルに載置したワークスタンド４に取り付けら
れ、ワイヤ電極軸方向と略直角方向から微小放電間隙を
介して相対向せしめられる被加工体で、図示しない加工
液供給手段による加工液供給介在の下に両者間に印加さ
れる間歇的な電圧パルス等の加工電圧により放電を生ぜ
しめて加工が行なわれるものである。そして、荒加工と
寸法形状精度出しの少なくともセカンドカット迄の第１
の加工工程の加工のための加工電圧、即ち、間歇的な電
圧パルスは、図示した一実施例のワイヤ放電加工用電圧
パルス源５から、給電接続線１１Ａ、１１Ｂとしては、
浮遊インダクタンス成分の小さい同軸又はシールド線を
介し、或いは更に、放電間隙近傍の引き回しリード線に
は、好ましくは浮遊キャパシタンス成分の小さい縒線を
利用するが如くにしてワイヤ電極１と被加工体３間に供
給印加される。

【００１８】前記電圧パルス源５は、直流電圧源６Ａと
電流容量に応じ複数個が並列に接続されるＭＯＳ−ＦＥ
Ｔトランジスタ等の電子スイッチ素子６Ｂと電流制限抵
抗６Ｃ及び逆電圧防止整流器６Ｄとの直列回路からな
る、従来最も通常の間歇的な電圧パルスの生成供給回路
６が、放電間隙に並列となるように給電接続線１１Ａ、
１１Ｂに接続され、前記間歇的な電圧パルスはパルス制
御装置７によるスイッチ素子６Ｂの制御により所望に生
成される。即ち、制御装置７の前記スイッチ素子６Ｂの
制御装置部分としては、スイッチ素子６Ｂを放電間隙の
放電状態検出信号により変更制御をする場合を除き、予
め選択設定した一定のオン時間信号τ_ＯＮとオフ時間信
号τ_ＯＦＦとを規則的に交互に繰り返して電圧パルスを
供給制御する場合と、スイッチ素子６Ｂのオン時間信号
を放電間隙に電圧パルスの印加開始時より放電間隙で放
電が開始するまでの該放電開始遅延期間の関数とし増大
する、即ち各放電パルスの放電持続時間を設定の一定値
とするよう電圧パルス印加開始後放電間隙での放電開始
時より前記オン時間信号の計測を開始し、計測完了によ
りスイッチ素子６Ｂをオフとしてオフ時間に移行させる
制御をするもの等があり、以下の説明では、主として前
記後者の場合について説明を加えるが、本発明は何等こ
れに限定されるものではない。

【００１９】前記電圧パルス源５には、前記スイッチ素
子６Ｂのオン・オフによる加工電圧パルス供給回路６に
加えて、該回路６による放電パルスの放電電流振幅Ｉｐ
を増大し、延ては加工平均電流を増大させて、加工速度
を一段と増加させるためのパルス電流増幅回路または電
流パルス供給回路８が、可変直流電圧源８Ａとスイッチ
素子８Ｂと逆電圧防止整流器８Ｃとから成る直列回路と
して回路６と並列に設けられている。この電流パルス供
給回路８は制御装置７によるスイッチ素子８Ｂのオン時
に急峻な立ち上がりの高電流を出力するように、所謂電
流制限抵抗がその直列回路中にない無抵抗回路、乃至は
スイッチ素子８Ｂの破損防止のために制御装置７に設け
られているスイッチ素子８Ｂの電流制御器７Ａの作動の
ための微小な検出抵抗の他には電流制限抵抗が挿入され
てない回路８であって、スイッチ素子６Ｂのオン時間信
号又は前記放電開始よりのオン時間信号は、ワイヤ放電
加工に於いては、大きくても数１０μＳ以内、通常数μ
Ｓ以内であるから、スイッチ素子８Ｂを回路６による印
加電圧パルスにより間隙での放電開始を検出して作動す
るオン時間信号の間オンさせるようにしても、スイッチ
素子８Ｂ又は、少なくとも回路８の電流飽和領域動作へ
の移行時間等の関係から該回路８に電流制限抵抗が設け
られていなくても破損を免れ得る場合があるが、上記ス
イッチ素子８Ｂの動作領域を不飽和領域と又は、少なく
とも回路８の電流がスイッチ素子８Ｂの飽和電流値より
も充分小さい（通常数分の一）範囲が動作領域となるよ
うに条件設定すれば、該スイッチ素子８Ｂの破損の問題
はなく、かつ該スイッチ素子８Ｂ乃至は回路８の電流オ
フ切れ特性が鋭く、急峻となるから好ましいものであ
る。

【００２０】前述の電流パルス供給回路８は、電圧パル
ス供給回路６と共に電圧パルス源５として、被加工体３
に最初に加工溝を形成する荒加工、即ちファーストカッ
ト加工工程と、該ファーストカット加工工程後の加工の
寸法・形状精度出し加工を行なうセカンドカット加工工
程、即ち加工電圧として間歇的な電圧パルスを用いる前
述第１の加工工程に用いられるもので、ゲート入力は切
換えスイッチ８Ｅにより制御装置７に接続されていて、
例えば前述のような回路６との関連制御が行われるもの
であるが、前記第１の加工工程であるセカンドカット加
工工程の加工の終了後、第２の加工工程である高周波交
流電圧を用いる加工面粗度出し加工の１乃至２の仕上げ
加工工程（例えば、サードカット加工工程、或いは更に
フォースカット加工工程）に移行するに際し、電圧パル
ス供給回路６を必要に応じ開閉スイッチ４９で切り離す
と共に、前記切換えスイッチ８Ｅを高周波の間歇パルス
のゲート信号回路８Ｄ側に切換えて、電流パルス供給回
路８を高周波電流パルス発生回路１０として機能せしめ
るものである。

【００２１】そして、その際、放電状態検出回路は、開
閉スイッチ４８により回路３１〜３７から回路４１〜４
７へ切換えられ、又前記高周波電流パルス発生回路１０
と、放電間隙間に設けられた高周波結合トランス１３と
前記寸法・形状精度出しの第１の加工工程から加工面粗
度等の仕上げの第２の加工工程に移行する際の回路切換
え開閉スイッチ１４とから成る函体状のボックスに収納
された回路装置１２とにより構成される高周波交流電圧
源３０は、以下の如き構成、及び切換え使用されるもの
である。

【００２２】高周波結合トランス１３は、前記高周波電
流パルス発生回路１０が出力する間歇的な高周波電流パ
ルス１個１個を１サイクルの高周波交流電圧に変換する
もので、高周波用フェライト等から成る高透磁率のリン
グコア１３Ａに１次巻線１３Ｂと２次巻線１３Ｃとが、
巻線比が１：１〜３、好ましくは１：１〜２、捲回数が
１次巻線１〜５ターン、好ましくは１〜２ターン、２次
巻線１〜１２ターン、好ましくは１〜４ターンの如く、
高周波数応答可能に何れも少ない巻数で、かつどちらか
と言えば電圧が高くて電流が小さい仕上げ加工用の高周
波交流電圧を得る目的から、１次巻線よりも２次巻線の
捲回数が同一以上となるように捲回してあるものであ
る。

【００２３】次に、前記高周波電流パルス発生回路１０
の出力と、前記ワイヤ電極１・被加工体３から成る放電
間隙間の給電接続線１１Ａ、１１Ｂと前記回路装置１２
の接続と切換え構成に付き説明すると、１次巻線１３Ｂ
を高周波電流パルス発生回路１０の出力と接離する開閉
スイッチと２次巻線１３Ｃを放電間隙と接離する開閉ス
イッチとは、前記高周波電流パルス発生回路１０の出力
両端と放電間隙のワイヤ電極１と被加工体３夫々の間に
接続される給電接続線１１Ａ、１１Ｂの回路部分に設け
られる給電回路開閉スイッチ１４Ａ、１４Ｂと、１次巻
線の入力両端を前記給電回路開閉スイッチ１４Ａ、１４
Ｂよりも高周波電流パルス発生回路１０側でその出力線
の両方に接続する間の一方又は両方の接続回路に挿設し
た１次巻線開閉スイッチ１４Ｃと、及び２次巻線の出力
両端を前記給電回路開閉スイッチ１４Ａ、１４Ｂよりも
放電間隙側でワイヤ電極１と被加工体３の両方に接続す
る間の一方又は両方の接続回路に挿設した２次巻線開閉
スイッチ１４Ｄとから成り、前記２つの給電回路開閉ス
イッチ１４Ａ、１４Ｂと、１次巻線及び２次巻線開閉ス
イッチ１４Ｃ、１４Ｄとは、前者の開閉スイッチ１４
Ａ、１４Ｂがオンのとき、後者の開閉スイッチ１４Ｃ、
１４Ｄがオフとなるように互いに逆に開閉せしめられる
ことによりその目的を達成するものであり、前記給電回
路開閉スイッチ１４Ａ、１４Ｂがオフで、１次及び２次
巻線開閉スイッチ１４Ｃ、１４Ｄがオンのとき、本発明
の目的とする第２の加工工程で使用する高周波交流電圧
による仕上げ加工用電源回路が構成されることになる。
なお、、図示では１次巻線及び２次巻線の各開閉スイッ
チとして、夫々各１個が設けられた場合で、かつ設けら
れる切換えスイッチの数を最も少ない数として構成した
場合であるが、スイッチの数により種々の切換え回路構
成と為し得ることは当然である。

【００２４】図３は、図２の加工電源回路を前述第２の
加工工程の仕上げ加工用電源回路として、即ち、開閉ス
イッチ４９をオフ、切換えスイッチ８Ｅによりゲート信
号回路８Ｄをオンにして高周波電流パルス発生回路１０
を機能させ、給電回路開閉スイッチ１４Ａ、１４Ｂをオ
フ、トランス１次及び２次巻線開閉スイッチ１４Ｃ、１
４Ｄを夫々オンとして作動させた場合のタイミングチャ
ートを２サイクル分、ほぼ理想的な波形として示したも
ので、ａは前記間歇パルスのゲート信号回路８Ｄから出
力してスイッチ素子８Ｂをオン・オフさせる高周波のゲ
ート信号、ｂは前記ゲート信号に基づき高周波電流パル
ス発生回路１０が出力し、トランス１３の１次巻線１３
Ｂに供給する電流パルス、ｃは前記パルス電流に基づき
２次巻線１３Ｃに誘起され放電間隙に印加される高周波
交流電圧と該高周波交流電圧印加に基づき放電間隙で放
電が発生した場合の放電間隙電圧波形、ｄは同放電間隙
の放電電流の例である。そしてこのような電流パルス発
生回路１０と結合トランス１３との組合わせによる発生
高周波交流電圧の波形成形（通常、急峻で滑らかな正弦
波状化、または更にＡＴ_ＯＦＦ＝０の連続波化等）に
は、２次巻線１３Ｃと放電間隙の放電回路に直列に所望
のインダクタンスを挿入することが有効で、そのための
手法としては、所定のインダクタンスを有するコイルを
直列に接続するとか、電極１又はガイド２Ａ，２Ｂ部に
於いてワイヤ電極１を囲繞するように高透磁率の磁気コ
アを設けるようにしても良い。

【００２５】前記ゲート信号回路８Ｄから出力する間歇
的なパルスのゲート信号は、本発明が適用される仕上げ
加工に於いては、図示ではＴ_ＯＮ＝１００ｎＳ、Ｔ
_ＯＦＦ＝１．０μＳで、大凡約Ｔ_ＯＮ＝５０ｎＳ〜１０
００ｎＳ程度のμＳオーダ以下で、Ｔ_ＯＦＦ＝５００ｎ
Ｓ〜１０μｓ又は数１０μＳ程度であり、Ｃの交流電圧
が相互に繋がるのを限度として、好ましくはＡＴ_ＯＦＦ
≧０となるよう条件設定をするものである。又、前記高
周波電流パルス発生回路１０の出力電流パルス波形ｂ
は、スイッチ素子８Ｂが、又は少なくとも回路８の電流
がスイッチ素子８Ｂの飽和電流値よりも充分小さい立上
がり電流の飽和領域作動状態となる前にゲート信号ａが
オフとなり、スイッチ素子８Ｂ、又は回路８の電流切れ
が高速で行われたものとして示されている。

【００２６】又、前記ｃ図の２次巻線１３Ｃの高周波交
流電圧は、近時のテストに依れば、外径約５５ｍｍφ、
内径約３０ｍｍφの、高透磁率Ｍｎ−Ｚｎフェライト
や、Ｎｉ−Ｚｎフェライト等のフェライトトロイダルコ
ア（例えば、ＴＤＫ製ＰＣ５０［又はＰＣ３０］Ｔ４０
×１６×２４）を２重積したコア１３Ａに、断面約３．
５ｍｍ^２のテフロン系樹脂被覆導線を１次巻線１３Ｂ：
１ターン、２次巻線１３Ｃ：２ターンとしたとき、直流
電圧源８Ａの出力約６０Ｖで正負に夫々約１５０〜１７
０Ｖ、電圧源８Ａの出力約２５Ｖで正負に夫々約６０〜
６５Ｖで、前述第２の加工工程である加工面粗度改善の
仕上げ加工（サードカット、及びフォースカット）に適
用可能な、好適に高電圧の高周波交流電圧が得られ、放
電電流波形ｄに示す如く、交流電圧１サイクルの初めの
半波で放電が発生すると、次の逆極性の半波に於いては
続いて放電が起こることになるが、平均加工電流が１Ａ
前後程度より小さい値で仕上げ加工を進行させることが
できる。例えば、前記正負約１５０〜１７０Ｖ、約１Ｍ
Ｈｚの高周波交流電圧で、第１の加工工程のセカンドカ
ット加工迄で約１０〜１３μｍＲｍａｘに仕上げた加工
面を、第２の加工工程のサードカットで加工することに
より、約３．５μｍＲｍａｘ程度又はそれ以上に仕上げ
ることができ、更に前記正負約６０Ｖの高周波交流電圧
でフォースカット加工することにより約１．５μｍＲｍ
ａｘ程度に仕上がるものである。

【００２７】そして、これは開閉スイッチ４８により放
電状態検出回路が、浮遊静電容量が非常に小さい本発明
の放電状態検出回路４１〜４７に切換えられ、又電圧パ
ルス源５中の電圧パルス供給回路６が開閉スイッチ４９
により切り離されていて高周波交流電圧の吸収・減衰が
少なく、かつ好適なサーボ制御の下に仕上げ加工が進行
せしめられるからである。そしてまた、高周波交流電圧
ｃ間の休止時間ＡＴ_ＯＦＦがより小さい、更には連続に
近い設定の場合には、放電間隙の平均電圧が所定レベル
以下の電圧検出となったときとか、所定の設定した周期
（１００μＳ〜１０ｍｓ毎に）、例えば１０〜１００μ
ｓ程度の間、スイッチ素子８Ｂのオン・オフを停止させ
る必要があるのは安全上当然である。

【００２８】なお、上述の間歇的な電圧パルス源５を使
用する加工に於ては、通常の電圧パルス供給回路６に、
放電電流振幅（Ｉｐ）を著増させる電流パルス供給回路
８を付加並用し、コンデンサ充放電の際のような高い放
電電流振幅の放電を行なわせるようにしているため、そ
の際には放電状態検出回路を浮遊容量の小さい検出回路
４１〜４７に切換える等の必要は生じないのであるが、
前記回路６と回路８とを切り離し及び接続自在に構成
し、前記通常の電圧パルス供給回路６より微小電圧パル
スを供給して前記第２の加工工程のサードカット、更に
はフォースカット等の加工面粗度出し仕上げ加工をする
ようにした場合には、前述本発明の放電状態検出回路の
浮遊容量の少ない検出回路４１〜４７への切換えは、有
用かつ有効なものであることは既に明らかである。図４
は、本発明の更に好ましい改良された放電間隙の放電状
態検出回路４１〜４７を有する前述図１と同様な実施例
ブロックダイヤグラム説明図で、前述図１との相違点
は、前記放電状態検出回路４１〜４７の入力部フォトカ
プラ４１の発光素子４１Ａと直列な入力抵抗４１Ｃを、
放電間隙に近い位置に設けられる電流制限用の大容量・
高抵抗値の分圧抵抗４１Ｃ−１と、放電間隙から離隔し
た検出回路４１〜４７や制御装置３８等が設けられる電
源装置や制御部側に設けられる前記の分圧抵抗４１Ｃ−
２との直列接続体から成る構成としたもので、図中一点
破線５０の左側、分圧抵抗４１Ｃ−１のある側が放電加
工機本体側で、好ましくは放電間隙に供給される加工液
と接触するように、図示しない加工槽等の部分に配置さ
れ、前記一点破線５０の右側は前述電源装置や制御部側
であるが、機械的開閉スイッチ４８は、一点破線５０お
左側の機械本体側等適宜の位置に設けることができる。
即ち、前述図１の構成で、放電状態検出回路４１〜４７
を放電間隙に接続し、前述図２の如き高周波交流電圧源
３０により加工面粗度出しの放電仕上げ加工を行なう
と、前記高周波交流電圧の周波数は約１ＭＨｚ程度又は
それ以上の高周波で、正負のピーク・ツウ・ピークの電
圧は約３５０〜５００Ｖの高電圧である所から、検出回
路４１〜４７の上記入力抵抗４１Ｃとしては、抵抗値が
約３ＫΩ程度で、定格容量約２０Ｗ程度のものが冷却フ
ァン等の冷却手段付きで必要となり、設置スペース等が
必要となる丈でなく、放電間隙から検出回路４１〜４７
のある電源装置や制御部へ検出回路リード線を引き廻し
て来ると、近くにある制御回路等の各種の回路に各種の
誤作動等の雑音障害を生じさせ、加工制御作動や加工が
巧く進行しないと言うことが少なくなかったものであ
る。そこで、本発明では、前記入力抵抗４１Ｃを、高抵
抗値、例えば約２．５ＫΩで、大容量、例えば約２０Ｗ
の電流制限用の分圧抵抗４１Ｃ−１と、低抵抗値、例え
ば１００Ωで小容量、例えば１〜２Ｗの第２の分圧抵抗
４１Ｃ−２との２つに分けて直列にした構成とし、そし
て前者の電流制限用の分圧抵抗４１Ｃ−１を放電加工機
側に、そして冷却のために放電間隙等の加工部を収納す
る加工槽中の加工液中に浸漬するか、加工槽又は加工部
に供給する加工液を必要に応じて分流噴射等させる構成
として冷却するようにするものである。そして、かくす
ることにより、検出回路内に設けられる第２の分圧抵抗
４１Ｃ−２は格別のスペースを要せず、又放電間隙電圧
は充分に分圧（約１／２６）されて検出回路に入力する
ので近くにある制御回路等の雑音障害も生じなくなる。
図５は前記電流制限用の分圧抵抗４１Ｃ−１がワイヤ放
電加工機本体の加工槽部分に設けられた状態の一例を示
す説明図で、被加工体３を載置するワークスタンド４
は、図示しないベッド上のクロステーブルに取り付けら
れた加工槽内に設けられ、被加工体３は必要に応じて加
工液中に浸漬された状態で、ガイド２Ａ、２Ｂを内包す
る加工液噴射ノズル１８Ａ、１８Ｂ間を更新移動するワ
イヤ電極１により切断、切抜き等のワイヤ放電加工され
るもので、前記放電加工用電源の出力端子の一方（正極
側）が前記ワークスタンド４に、そして他方がノズル１
８Ａ、１８Ｂ内でワイヤ電極１を接触する図示しない給
電子に端子１９Ａ、１９Ｂを介して接続されている。而
して、前記分圧抵抗４１Ｃ−１としては、好ましくは無
誘導性の、かつ耐水性のセメント抵抗、メタルクラッド
抵抗、又は琺瑯抵抗等で、取付台兼放熱フィン台２０に
取り付けられて加工槽内のワークスタンド４廻り等適宜
の位置に設置され、一方の端子４１Ｃ−１Ａはワークス
タンド４（又はノズル１８Ｂ部の端子１９Ｂ）に、そし
て他方の端子４１Ｃ−１Ｂが電源装置や制御部と加工機
本体間の検出信号電送用の同軸ケーブル２１の一方の端
子２１Ｂ、そして該同軸ケーブル２１の他方の端子２１
Ａがノズル１８Ｂの端子１９Ｂ（又はワークスタンド
４）に接続される。前記分圧抵抗４１Ｃ−１は加工槽中
の加工液中に浸漬冷却されるか、図示のようにノズル１
８Ａ、１８Ｂの加工液供給管２２から分岐した管路２２
Ａ（又は独立に設けた管路）によって供給される冷却ノ
ズル２３の噴射加工液により所望に冷却される。図６の
Ａ、及びＢは検出回路の分圧抵抗回路の変形例を示すも
ので、既述の如く本発明に於ける分圧抵抗回路は検出回
路の入出力端子間（１９Ｂ又は２１Ａと４１Ｃ−１Ｂ又
は２１Ｂ間等）、又は線間電圧を低くするための構成で
あるから、Ａ図のように機械本体側出力端子２１Ａと２
１Ｂ間に分圧抵抗４１Ｃ−１Ｃを接続するか、Ｂ図のよ
うに電源装置や制御部の入力、同軸ケーブル２１の他端
の抵抗４１Ｃ−２と発光素子４１Ａとの直列回路に並列
に分圧抵抗４１Ｃ−２Ｃを接続し、検出回路入力電圧の
低減させる構成も有効なものである。

【００２９】以上、本発明の放電加工装置に付き、図示
した実施例により説明を加えたが、本発明は特許請求の
範囲に記載する本発明の精神を逸脱しない範囲で各部に
各種の変更を加えて実施し得るものである。例えば、図
２に於て、電流パルス供給回路８が設けられていない形
式のワイヤ放電加工用電源回路の場合は、間歇電圧パル
ス発生回路６の電流制限抵抗６Ｄを短絡等させる抵抗低
減回路を付設し、スイッチ素子６Ｂのゲート信号回路に
ゲート信号回路８Ｄを切換え接続する構成としても良
く、又ゲート信号回路８Ｄは、パルス制御装置７内にそ
の一部の構成として内設構成し得るだけだなく、さらに
制御装置７内に於て、記憶した切換制御データを読み出
す等してソフト的に切換え作動せしめ得るものであり、
又更に、仕上げ加工用高周波交流電圧の更なる高周波
化、例えば２ＭＨｚとするために、例えば電流パルス供
給回路８を２組並列に設け、例えば夫々をτ_ＯＮ＝１０
０ｎｓで、τ_ＯＦＦ＝９００ｎｓの１ＭＨｚの高周波
（電流）パルス発生回路の２組を約１８０°（π）位相
差を有せしめて、高周波交流電圧の１サイクルが約５０
０ｎｓ以内で終了するように調整すればよく、又更に前
記高周波交流電圧源としても、これを通常の例えば、ト
ランジスタインバータ方式の高周波交流電圧源とし、之
を整合回路を介して放電間隙に接続する方式のものも用
い得るものであり、かかる構成変更は本発明の各部に於
て可能なものである。

【発明の効果】本発明の放電加工装置は、上述のような
構成であるから、仕上げ加工に際し放電間隙に接続され
ている放電状態検出回路は、抵抗とフォトカプラの発光
素子とを直列に接続した直列回路部分のみで、前記フォ
トカプラ以後の積分回路や増幅回路、或いは更にサンプ
ルホールド増幅回路やＡ／Ｄ変換器等は前記フォトカプ
ラにより放電間隙から絶縁されており、又この検出回路
とは必要に応じて別異に設けられる他の検出回路等は、
機械的開閉スイッチにより切り離されるので、放電間隙
に対して設けられる放電状態検出回路による浮遊容量を
最小の状態とすることができ、仕上げ加工を好適にサー
ボ制御をした状態で、加工面荒れがなく所定の微細面粗
度に、かつ効率良い加工ができるようになる。又、本発
明によれば、前記発光素子と直列な抵抗を、前記放電間
隙に近い位置に設けられる電流制限用の分圧抵抗と放電
間隙から離隔した電源装置の検出回路側に設けられる第
２の分圧抵抗との直列接続体により構成したので、放電
状態検出回路や該回路が設けられる電源装置や制御部等
に高周波高電圧による雑音障害を生じさせることがな
く、高周波交流電圧源を放電加工の仕上げ加工用電源と
して安全かつ有効に利用することができるようになっ
た。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の放電状態検出回路の実施例を示すブロ
ックダイアグラム図。

【図２】図１の放電加工用電源回路部分の一詳細例を示
す回路構成図。

【図３】図２の回路を仕上げ加工用電源回路として作動
させたときの一部分のタイミングチャート図。

【図４】本発明の改良された放電状態検出回路の実施例
を示すブロックダイヤグラム図。

【図５】本発明の実施例の部分の構成を示す説明図。

【図６】Ａ、Ｂ 本発明実施例の部分の変形例を示す回路説明図。

【図７】従来例の放電状態検出回路のブロックダイアグ
ラム図。

【符号の説明】

１，ワイヤ電極、加工用電極 ２Ａ，２Ｂ，位置決ガイド ３，被加工体 ４，ワークスタンド ５，ワイヤ放電加工用電圧パルス源 ６，電圧パルスの生成供給回路 ６Ａ，直流電圧源 ６Ｂ，電子スイッチ素子 ６Ｃ，電流制限抵抗 ６Ｄ，逆電圧防止整流器 ７，パルス制御装置 ８，電流電流パルス供給回路 ８Ａ，可変直流電圧源 ８Ｂ，電子スイッチ素子 ８Ｃ，逆電圧防止整流器 ８Ｄ，ゲート信号回路 ８Ｅ，切換えスイッチ １０，高周波電流パルス発生回路 １１Ａ，１１Ｂ，給電接続線 １２，回路装置 １３，高周波結合トランス １３Ａ，リングコア １３Ｂ，１次巻線 １３Ｃ，２次巻線 １４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ，１４Ｄ，開閉スイッチ １８Ａ，１８Ｂ，加工液噴射ノズル １９Ａ，１９Ｂ，端子 ２０，抵抗取付台 ２１，同軸ケーブル ２２，加工液供給管 ２３，冷却ノズル ３０，仕上げ加工用電源 ３１，放電間隙電圧検出用分圧回路 ３２，４２，反転増幅回路 ３３，４３Ａ，４３Ｂ，積分回路 ３４，４４，利得調整回路 ３５，４５，サンプルホールド増幅器 ３６，４６，Ａ／Ｄ変換器 ３７，４１，４７，フォトカプラ ３８，制御装置 ３９，モータドライバ ４０，サーボモータ ４１Ａ，発光素子 ４１Ｂ，受光素子 ４１Ｃ，抵抗 ４１Ｃ−１，４１Ｃ−２，４１Ｃ−１Ｃ，４１Ｃ−２
Ｃ，分圧抵抗 ４１Ｄ，整流器 ４８，４９，開閉スイッチ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡部 善博 神奈川県横浜市都筑区仲町台３丁目12番１ 号 株式会社ソディック技術研修センター 内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工用電源として、１次及び２次巻線を
   リングコアに捲回して有する高周波結合トランスを備
   え、前記１次巻線に供給される間歇的な高周波電流パル
   スにより前記２次巻線に誘起される高周波交流電圧を、
   加工電極と被加工体間の放電間隙に供給して仕上げ加工
   をする放電加工装置に於て、 前記放電間隙の放電状態検出回路として、抵抗と発光素
   子との直列回路を前記放電間隙に直接並列に接続し、前
   記発光素子の発光出力を光−電気信号変換の受光素子に
   より電気信号に変換して前記放電間隙の放電状態検出信
   号を得るようにしたことを特徴とする放電加工装置。
2. 【請求項２】 前記発光素子と直列な抵抗を、前記放電
   間隙に近い位置に設けられる電流制限用の分圧抵抗と放
   電間隙から離隔した電源装置の検出回路側に設けられる
   第２の分圧抵抗との直列接続体により構成して成ること
   を特徴とする前記請求項１記載の放電加工装置。
3. 【請求項３】 前記電流制限用の分圧抵抗が、前記第２
   の分圧抵抗の分圧値に対して充分大きな分圧値を負荷す
   る関係の抵抗値に選定され、かつ前記電流制限用の分圧
   抵抗が放電間隙に供給される加工液と接触して冷却され
   るように加工槽部に配置されて成ることを特徴とする前
   記請求項２記載の放電加工装置。
4. 【請求項４】 前記発光素子と並列で逆極性に整流素子
   を接続して成ることを特徴とする請求項１、２、又は３
   に記載の放電加工装置。
5. 【請求項５】 前記発光素子が発光ダイオード、前記受
   光素子がフォトトランジスタ又はフォトダイオードであ
   る前記請求項１、２、３又は４に記載の放電加工装置。
6. 【請求項６】 前記放電間隙に別異複数の放電状態検出
   回路が並列に接続して設けられたものに於て、 加工用電源として前記高周波交流電圧を用いると共に放
   電状態検出回路として前記抵抗と発光素子との直列回路
   を放電間隙に直接並列に接続する前記検出回路を用いて
   仕上げ加工をする際に、前記直列回路の検出回路以外の
   検出回路を放電間隙から切り離す機械的開閉スイッチ
   が、上記直列回路以外の検出回路と放電間隙間に設けら
   れていることを特徴とする請求項１、２、３、４、又は
   ５に記載の放電加工装置。
7. 【請求項７】 前記放電状態検出回路は、必要に応じて
   設けられる開閉スイッチにより、必要に応じて放電間隙
   に接離されるものであって、該放電状態検出回路が放電
   間隙に接続され、得られる放電状態検出信号により加工
   送りその他の制御要素を制御する仕上げ加工に際して
   は、前記加工用高周波交流電圧供給回路以外の加工用電
   圧パルス供給回路、及び上記検出回路以外の放電間隙に
   接続されている放電状態検出回路を機械的開閉スイッチ
   により放電間隙から機械的に切り離すように構成して成
   ることを特徴とする請求項１、２、３、４又は５に記載
   の放電加工装置。
8. 【請求項８】 前記放電状態検出回路の検出信号を、放
   電間隙を送りにより制御するサーボ送り制御装置の放電
   間隙検出信号とするようにした請求項１、２、３、４、
   ５、６、又は７に記載の放電加工装置。
9. 【請求項９】 電極と被加工体とから成る放電間隙に仕
   上げ加工用の低エネルギで微小電力の放電を生ぜしめ得
   る加工用電源を備えた放電加工装置に於て、 前記仕上げ加工の実施に際しては少なくとも放電間隙に
   接続して用いられる放電状態検出回路であって、抵抗と
   発光素子との直列回路を前記放電間隙に直接並列に接続
   し、前記発光素子の発光出力を光−電気信号変換の受光
   素子により電気信号に変換し、該変換電気信号を増幅、
   積分、及びＡ／Ｄ変換等して加工送りのサーボ制御の制
   御信号とするようにしたことを特徴とする放電加工装
   置。