JPH07318818A

JPH07318818A - 空間光変調素子

Info

Publication number: JPH07318818A
Application number: JP10513894A
Authority: JP
Inventors: Masayoshi Sekine; 正慶関根; Hideaki Mitsutake; 英明光武; Takayuki Yagi; 隆行八木; Shigeyuki Suda; 繁幸須田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-05-19
Filing date: 1994-05-19
Publication date: 1995-12-08

Abstract

(57)【要約】【目的】空間解像性能を低下させることなく、画素単
位での輝度階調表現を実現し、製造コストを低くした、
空間光変調素子を提供する。【構成】空間的に配列された光変調素子であり、光変
調素子の各素子単位ごとに素子を制御する制御手段を有
し、制御手段が、入力値を保持する保持手段と、保持手
段が保持している入力値に応じたパルス幅を有するパル
ス信号を発生するパルス発生手段とを備える。このと
き、制御手段がアナログ回路を備えることができる。ま
たこのとき、制御手段がデジタル回路を備えることもで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は複数の単位素子を有する
空間光変調素子に関し、特に変形可能なミラーを用いて
光の進行方向を変調する手段に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、空間光変調素子として変形可能な
ミラーを用いたものがある。特に、空間光変調素子の成
す各画素のミラーとミラーを変形するための信号を印加
するアドレス回路を同一基板上に一体形成した例がＡｐ
ｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ３１（１
９７７）５２１に記載されている。また、同様に変形可
能なミラーによる最近の例としては、特開昭６１−１２
９６２７号公報、特開昭５８−１０７１４号公報、特公
平３−７８６２２号公報等があり、これらは変調素子の
成す各画素にミラーの変形状態を切り替えるためのスイ
ッチングトランジスタが同一基板上に形成されたもので
ある。また、この素子を応用した投影型大画面表示装置
も記載されている。

【０００３】図５は従来例の空間光変調素子を用いた投
影型大画面表示装置の概略構成図である。キセノンラン
プ等からなる光源５０１から発光される光は、照明系５
０２により集光され、空間光変調素子５０３を照明す
る。空間光変調素子５０３は２次元に配列された複数の
画素から構成されており、各画素は捩れた安定状態を２
状態持つミラーを有する。該ミラーの一方の安定状態か
らの反射光は結像光学系５０４によってスクリーン５０
５に向けて拡大投影され、他方の安定状態からの反射光
は遮光部５０６（一部のみ図示）で吸収される。

【０００４】図６は図５の空間光変調素子の構造図であ
り、図６（ａ）は１画素分の斜視図、図６（ｂ）は側面
断面図を示したものである。画素１２０は、図６（ａ）
の全体を示している。画素１２０は基本的には浅い井戸
を覆うはり（フラップ）であり、シリコン基板１２２、
絶縁スペーサ１２４、金属丁番層１２６、金属はり層１
２８、金属丁番層１２６および金属はり層１２８に形成
されたはりすなわち可動ミラー１３０、および可動ミラ
ー１３０にあるプラズマ・エッチ・アクセス孔１３２を
含む。金属丁番層１２６のうち、金属はり層１２８によ
って覆われていない一部分１３４および１３６が、可動
ミラー１３０を絶縁スペーサ１２４によって支持された
金属丁番層１２６および金属はり層１２８の部分に取付
ける捩れ丁番（トーション・ロッド）を形成する。プラ
ズマ・エッチ・アクセスすき間１３８は、可動ミラー１
３０と金属はり層１２８の他の部分と間の空間である。
電極１４０、１４１、１４２、および１４６が絶縁スペ
ーサ１２４およびシリコン基板１２２の間に延びてい
て、二酸化シリコン層１４４によってシリコン基板１２
２から隔離されている。図６（ｂ）は図６（ａ）の線Ｂ
−Ｂで切った断面図である。

【０００５】画素１２０の典型的な寸法を述べると、次
の通りである。可動ミラー１３０は四角で、一辺の長さ
が１２．５μｍである。絶縁スペーサ１２４は厚さが
４．０μｍ（図６（ｂ）の垂直方向）である。金属丁番
層１２６は厚さ８００Åであり、金属はり層１２８は厚
さ３６００Åである。金属丁番層の一部分１３４および
１３６はいずれも長さ４．６μｍ、幅１．８μｍであ
る。プラズマ・エッチ・アクセス孔１３２は２．０μｍ
平方であり、プラズマ・エッチ・アクセスすき間１３８
は幅２．０μｍである。

【０００６】画素１２０は、金属丁番層１２６および金
属はり層１２８とシリコン基板１２２上の電極１４２ま
たは１４６の間に電圧を印加することによって動作す
る。可動ミラー１３０と電極１４２または１４６とが空
隙キャパシタの２つの極板を形成し、印加された電圧に
よって２つの極板に誘起された反対の電荷が、可動ミラ
ー１３０をシリコン基板１２２に引寄せる静電力（引
力）を加え、これに対して電極１４０、１４１は可動ミ
ラー１３０と同じ電圧に保たれる。この引力により、可
動ミラー１３０は金属丁番層の一部分１３４および１３
６の所で捩れ、シリコン基板１２２に向って撓む。

【０００７】このような微細に加工された可動ミラーを
２次元に複数配列し、図５に示した光学配置に構成する
ことにより投影型の表示装置を実現している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】空間光変調素子を表示
装置に応用する場合、特にテレビジョン装置として用い
る場合には階調表示（８ビット、２５６階調程度）が不
可欠である。しかし、空間光変調素子は基本的に２値表
示を行う素子であり、安定的に多階調表示を行うことが
困難であった。したがって、複数の単位素子を組み合せ
てその面積比で階調を表現する面積変調方式、または単
位素子に変調をかける時間幅で階調を表現するパルス幅
変調方式が多階調表示手段として考えられる。

【０００９】まず、面積変調方式については、例えば８
ビット、２５６階調を表示する場合、２値表示の単位画
素を２５６個まとめて１画素とする必要があり、表示画
像の空間解像力が著しく低下してしまう。即ち、１６単
位素子平方で一画素を表すことになるので、１単位素子
のサイズを１０μｍ平方とすると１画素１６０μｍ平方
となり、幅３インチの空間変調素子の場合でせいぜい５
００画素程度の解像力しか得られない。

【００１０】一方、パルス幅変調方式においては、面積
変調方式と同様に８ビット、２５６階調を表示する場
合、フレーム数３０Ｈｚを走査するためには１３０μｓ
（＝１／３０／２５６）内に１画面走査を行う必要があ
る。例えば、走査線数が１０００本の表示系においては
１走査線の走査時間は０．１３μｓ以内になる。また、
１走査線分のデータを転送するのに必要なシフトレジス
タの転送は、１走査線分の画素数が２０００個の場合、
１サイクル当たりのシフト時間は０．０６ｎｓ以内にな
る。したがって、シフトレジスタの駆動周波数は約１６
ＧＨｚとなり、駆動系の負荷が非常に大きくなる。この
ため、製造コストが高くなり、また、発熱、放出ノイズ
が多くなる。

【００１１】このような点に鑑み本発明は、空間解像性
能を低下させることなく、画素単位での輝度階調表現を
実現し、製造コストを低くした、空間光変調素子を提供
することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の空間光変調素子
は、空間的に配列された光変調素子であり、前記光変調
素子の各素子単位ごとに前記素子を制御する制御手段を
有し、前記制御手段が、入力値を保持する保持手段と、
前記保持手段が保持している前記入力値に応じたパルス
幅を有するパルス信号を発生するパルス発生手段とを備
える。

【００１３】上記本発明の空間光変調素子は、前記制御
手段がアナログ回路を備えることができる。

【００１４】また、上記本発明の空間光変調素子は、前
記制御手段がデジタル回路を備えることができる。

【００１５】

【作用】光変調素子の各素子単位ごとに素子を制御する
制御手段を有し、制御手段が、入力値を保持する保持手
段と、保持手段が保持している入力値に応じたパルス幅
を有するパルス信号を発生するパルス発生手段とを備え
るので、このパルス信号によって光変調を行ない、パル
ス幅によってスクリーンに投光する時間を制御して、ス
クリーン映像の各画素ごとの輝度階調表現を行なうこと
ができる。

【００１６】また、制御手段がアナログ回路を備えるの
で、少ない部品数で実現することができ、製造コストを
低くすることができる。

【００１７】さらに、制御手段がデジタル回路を備える
ので、特性変化がなく、より高画質なスクリーン映像を
得ることができる。

【００１８】

【実施例】本発明の第１の実施例について、図１ないし
図３を参照して説明する。

【００１９】図１は本発明の第１の実施例の１単位画素
におけるミラー制御回路の構成図である。図２は、図１
のミラー制御回路のパルス信号変換の動作説明図であ
る。図３は、本発明の空間光変調素子の一部拡大図であ
る。

【００２０】本発明の空間光変調素子の理解のために、
図３についてまず説明する。図３の空間光変調素子は縦
横ｍ×ｎ個（ｍ、ｎは正の整数）のマトリックス状の表
示画素を持ち、各画素がその反射光に変調をかけること
によって２次元画像を表現するものである。映像信号入
力ピン３０１は映像信号を入力し、アンプ３０２は入力
された映像信号を増幅する。シフトレジスタ３０３は増
幅された映像信号を伝達する。ラインセレクタ３０４は
映像信号を伝達する走査線を選択する。参照信号発生回
路３０５は参照信号１０８を発生する。各画素のミラー
制御回路３１０は、図１のミラー制御回路に相当し、制
御ライン１０６がアクティブな時のみシフトレジスタ３
０３の各記憶要素に接続された信号ライン１０７から映
像データを受けとり、可動ミラー１３０の動作を制御す
る。可動ミラー１３０は図６の可動ミラー１３０に相当
する。ミラー制御回路３１０と可動ミラー１３０は各表
示画素ごとにｍ×ｎ個配列されており、またその間を水
平垂直に一本ずつ制御ライン１０６および信号ライン１
０７が配置されている。更に、参照信号発生回路３０５
から発せられた参照信号１０８は、全画素に均一に分配
される構成になっている。

【００２１】本装置の動作を説明する。映像信号入力ピ
ン３０１から入力されたアナログ映像信号は、アンプ３
０２で所定の利得で増幅されたのち、シフトレジスタ３
０３に入力される。シフトレジスタ３０３はＣＣＤ電荷
結合素子等で構成されており、アナログ映像信号を順次
伝達する、いわゆるシリアル・パラレル変換機能を有し
ている。つまり、シフトレジスタ３０３は入力されたア
ナログ映像信号を図中右方向に順次シフトし、１走査線
分の情報に展開して記憶する。ラインセレクタ３０４は
アナログ映像信号を伝達するべき走査線の第ｊ行目の制
御ライン１０６ｊ（ｊは正の整数、ｊ≦ｎ）を選択し、
選択した制御ライン１０６ｊをアクティブにさせる。ミ
ラー制御回路３１０は、シフトレジスタ３０３の記憶要
素に接続された信号ライン１０７からアナログ映像信号
を受けとる。このように、シフトレジスタ３０３に一時
記憶された１ライン分の映像信号は第ｊ行目の各画素に
伝達されることになる。アクティブ化させる制御ライン
１０６を順次切り換えることによって、図５に示した空
間光変調素子５０３の全画素に対して、アナログ映像信
号を伝達している。

【００２２】次に、各画素の表示動作について説明す
る。全ての画素において、その構成要素であるミラー制
御回路３１０と可動ミラー１３０の構成および動作は同
等であるため、第ｉ列目の信号ライン１０７ｉ（ｉは正
の整数、ｉ≦ｍ）と、第ｊ行目の制御ライン１０６ｊの
画素について、図１を用いて説明する。

【００２３】図１のミラー制御回路の構成を説明する。
サンプル・アンド・ホールド回路（以下、Ｓ＆Ｈ回路と
記述する）１１１は第ｊ行目の制御ライン１０６ｊと第
ｉ列目の信号ライン１０７ｉとを入力する。コンパレー
タ１１２はＳ＆Ｈ回路１１１の出力と参照信号１０８と
を比較する。パワーアンプ１１３および１１４はともに
コンパレータ１１２の出力を入力する。パワーアンプ１
１４は反転アンプであり、パワーアンプ１１３と逆位相
の信号を出力する。パワーアンプ１１３および１１４の
出力は空間光変調素子の電極１４２および１４６に接続
され、静電力によって可動ミラー１３０を駆動する。

【００２４】図１のミラー制御回路の動作を説明する。
第ｊ行目の制御ライン１０６ｊは、Ｓ＆Ｈ回路１１１を
駆動するように接続されており、入力信号、すなわち第
ｉ列目の信号ライン１０７ｉからの信号の書き込みまた
は保持を制御している。例えば、制御ライン１０６ｊが
アクティブなとき、それまで記憶していた電圧情報を破
棄し、信号ライン１０７ｉから入力された信号の電圧を
新たに記憶する。また、反対に制御ライン１０６ｊが非
アクティブ状態のとき、信号ライン１０７ｉからどのよ
うな信号が入力されても、以前に記憶した信号の電圧を
保持し続ける。このときの保持電圧をＶｔとする。コン
パレータ１１２は参照信号１０８をもとに、Ｓ＆Ｈ回路
１１１の保持電圧Ｖｔをしきい値電圧としてパルス信号
Ｖｐに変換して出力する。

【００２５】図２を用いて、図１のミラー制御回路のパ
ルス信号変換の動作を説明する。参照信号１０８は連続
した三角波またはのこぎり波であり、本実施例において
は三角波を用いている。３種類のしきい値電圧Ｖｔ₁ 、
Ｖｔ₂ 、Ｖｔ₃ は、図１のコンパレータ１１２のしきい
値電圧Ｖｔである。コンパレータ１１２は参照信号１０
８としきい値電圧Ｖｔ_n （ｎ＝１、２、３）を常時比較
し、しきい値Ｖｔ_n よりも参照信号１０８の方が電位が
高いときにはハイレベル（以下、Ｈレベルと記述する）
のパルス信号を発生し、電位が高いときにはローレベル
（以下、Ｌレベルと記述する）のパルス信号を発生す
る。３種類のパルス信号Ｖｐ₁ 、Ｖｐ₂ 、Ｖｐ₃ は、そ
れぞれしきい値電圧がＶｔ₁ 、Ｖｔ₂ 、Ｖｔ₃ であった
ときのコンパレータ１１２の出力パルスである。

【００２６】まず、Ｖｔ_n が参照信号１０８の振幅の半
分程度であるＶｔ₁ の場合、出力パルス信号はＶｐ₁ の
ように、ＨレベルとＬレベルの割合がほぼ等しい、すな
わちデューティー比５０％のパルス信号が得られる。次
にＶｔ₁ よりもやや高い電位のＶｔ₂ がしきい値であっ
た場合、出力パルス信号はＶｐ₂ のように、Ｌレベル期
間よりもＨレベル期間が短いパルス信号が得られること
になる。逆にＶｔ₁ よりも低い電位のＶｔ₃ がしきい値
であった場合、出力パルス信号はＶｐ₃ のように、Ｈレ
ベル期間よりもＬレベル期間が短いパルス信号が得られ
ることになる。すなわち、このコンパレータ１１２は、
しきい値電圧Ｖｔ_n に比例したＬレベル時間を持つパル
ス信号Ｖｐ_n （ｎ＝１、２、３）を出力している。

【００２７】そこで、パルス信号Ｖｐ_n がＬレベルのと
きだけ、図５に示したスクリーン５０５に光を投光し、
Ｈレベルのときは、その他の方向に偏光するように、図
１に示した可動ミラー１３０を駆動する。この制御によ
ってスクリーン５０５における各可動ミラー１３０の共
役像の発光量（一定時間の積分光量）は、しきい値電圧
Ｖｔ_n すなわち空間光変調素子５０３の各画素に伝達さ
れた輝度信号レベルに比例したものになり、画素ごとの
輝度階調表現を実現している。

【００２８】ここで、参照信号１０８の周期ｔ_h は一定
なものとし、一般的には１フィールド期間より十分短い
時間が選ばれる。これは、パルス幅によって発光オン・
オフの制御を行なっているため、低い周波数を用いると
フリッカー（各画素および全画面がちらつく現象）が目
立つようになるためである。

【００２９】このフリッカーの防止と電力効率とを考慮
し、参照信号１０８の周波数を空間光変調素子の可動ミ
ラー１３０の共振周波数に一致させることが望ましい。
上記従来の技術で紹介した素子サイズの例では、共振周
波数は７０ｋＨｚ程度である。この周波数で可動ミラー
１３０を駆動した場合、最も小さい入力電圧ですむた
め、回路の耐圧設計等の負担が減り、かつ素子全体とし
て消費電力を低減させることになる。このような周波数
帯域であれば人間がフリッカーを感じることはなく、ち
らつき感のないスクリーン映像を得ることができる。

【００３０】以上述べたミラー制御回路３１０は、可動
ミラー１３０と同数だけ、２次元状に配置される。ミラ
ー制御回路３１０の各回路要素Ｓ＆Ｈ回路１１１、コン
パレータ１１２、パワーアンプ１１３および１１４はそ
れぞれ数個のトランジスタで構成できるので、面積を小
さくすることができる。このため、空間光変調素子５０
３の表面に実装した場合でも、可動ミラー１３０部分の
面積が全素子表面積のうちに占める割合、すなわち開口
率は大きく減少することはない。また特開平２−８８１
２号公報で開示されているように、制御回路のトランジ
スタを可動ミラー１３０より下のシリコン基板１２２上
に直接構成することで、開口率を全く低下させないこと
も可能である。

【００３１】また各素子の扱う信号の周波数は、参照信
号１０８が数１０ｋＨｚ〜数１００ｋＨｚ程度であり、
最も速い信号ライン１０７はＮＴＳＣ標準テレビの場
合、画素クロック周波数と同様の１０数ＭＨｚ程度であ
る。このような周波数範囲の回路は容易に構成でき、製
造コストを低く抑えることができる。

【００３２】本発明の第２の実施例について、図３およ
び図４を参照して説明する。

【００３３】本装置のミラー制御回路をデジタル回路で
構成する場合について説明する。例として各画素の階調
表現は８ビットとする。

【００３４】ここで、図３における各部の基本的動作は
第１の実施例と同様であるが、映像データが入力される
シフトレジスタ３０３は各段が８ビット幅のデジタルシ
フトレジスタであり、参照信号発生回路３０５は８ビッ
トのバイナリカウンタである。また、参照信号１０８は
８ビットであり、１クロックごとにゼロから１ずつ数値
が大きくなる２進数で、全てのビットが１になった後、
またゼロに戻るという動作を無限に繰り返す信号であ
る。

【００３５】図４は本発明の第２の実施例のデジタル回
路を用いたミラー制御回路の構成図である。制御ライン
１０６は、第１の実施例と同様、各走査線ごとの信号の
書き込みを制御する信号であり、第ｊ行目の制御ライン
１０６ｊが入力されている。信号ライン１０７は、８本
の信号線幅を持つデータバスであり、第ｉ列目の信号ラ
イン１０７ｉが入力されている。８ビットのラッチ４１
１は信号ライン１０７ｉを入力し、制御ライン１０６ｊ
でラッチする。８ビットのマグネチュートコンパレータ
４１２はラッチ４１１の８ビットの出力を入力し、８ビ
ットの参照信号１０８と比較し、比較した結果を１ビッ
トで出力し、電極１４６に入力する。インバータ４１３
はマグネチュートコンパレータ４１２の出力を反転し、
電極１４２に入力する。

【００３６】図４のミラー制御回路の動作を説明する。
第１の実施例と同様、シフトレジスタ３０３に記憶され
た映像データは、信号ライン１０７を介して各画素のラ
ッチ４１１に入力され、その後に、ラインアドレス選択
信号である制御ライン１０６をアクティブ状態（例えば
ＬレベルからＨレベル）へ変化させる。この操作によっ
て選択された画素は、信号ライン１０７の映像データを
保持することができる。この映像データは、最も暗い値
はゼロ、最も明るい値は２５５であるとする。マグネチ
ュートコンパレータ４１２はこの保持された映像信号
と、参照信号１０８の値を常に比較する。

【００３７】ここで、ラッチ４１１の保持している値を
Ｖｄｔとする。参照信号１０８の値が０〜Ｖｄｔに至る
までの時間、マグネチュートコンパレータ４１２のＡ＜
Ｂ出力（参照信号１０８がＶｄｔ未満のときの出力）は
Ｌレベルとなる。次に参照信号１０８がＶｄｔを越え２
５５に至るまでの時間、マグネチュートコンパレータ４
１２のＡ＜Ｂ出力（参照信号１０８がＶｄｔ以上のとき
の出力）はＨレベルとなる。つまりマグネチュートコン
パレータ４１２のＡ＜Ｂ出力は、Ｖｄｔが参照信号１０
８よりも高い値である時間が長いならば長い時間Ｌレベ
ルの信号を発生し、Ｌレベルの信号の長さはＶｄｔの値
の大きさに比例している。よってマグネチュートコンパ
レータ４１２のＡ＜Ｂ出力信号がＬレベルのとき可動ミ
ラー１３０を図５に示したスクリーン５０５の方向に傾
けることで、スクリーン上の各画素の発光量を変化させ
ることができる。

【００３８】ここで、参照信号発生回路３０５、ラッチ
４１１、マグネチュートコンパレータ４１２のクロック
周波数は、第１の実施例で説明した原理によって、可動
ミラー１３０の共振周波数の２５６倍を用いることが好
ましい。前述の共振周波数の例では２０ＭＨｚ程度と低
いので、小さい回路で実現でき、発熱も少ないため、高
密度な実装が可能である。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、以下の
効果を有する。

【００４０】第１の実施例で示したように、ミラー制御
回路の出力パルス信号で可動ミラーを駆動し、そのパル
ス幅で可動ミラーの駆動時間を制御することによって、
空間解像性能を低下させることなく、画素単位での輝度
階調表現ができるという効果を有する。また、ミラー制
御回路をアナログ回路で構成することによって、部品数
を少なくすることができるため、製造コストを低く抑え
ることができるという効果を有する。さらに、低い基本
周波数で素子全体を駆動することによって、回路を容易
に構成できるため、製造コストを低くすることができ、
発熱、放出ノイズも少なくすることができるという効果
を有する。特に映像周波数が高い高解像テレビにおいて
は、この効果が大きい。

【００４１】第２の実施例で示したように、ミラー制御
回路をデジタル回路で構成することによって、素子温
度、プロセスのばらつきなどによる特性変化がないた
め、より高画質なスクリーン映像を得ることができると
いう効果を有する。また、共振周波数を低くすることに
よって、回路規模を小さくすることができ、発熱も少な
いため、高密度な実装が可能であるという効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の１単位画素におけるミ
ラー制御回路の構成図

【図２】図１のミラー制御回路のパルス信号変換の動作
説明図

【図３】本発明の空間光変調素子の一部拡大図

【図４】本発明の第２の実施例のデジタル回路を用いた
ミラー制御回路の構成図

【図５】従来例の空間光変調素子を用いた投影型大画面
表示装置の概略構成図

【図６】図５の空間光変調素子の構造図

【符号の説明】

１０６制御ライン１０７信号ライン１０８参照信号１１１サンプル・アンド
・ホールド回路１１２コンパレータ１１３、１１４パワーアンプ１２０画素１２２シリコン基板１２４絶縁スペーサ１２６金属丁番層１２８はり層１３０可動ミラー１３２プラズマ・エッチ
・アクセス孔１３４、１３６金属丁番層１２６
の一部分１３８プラズマ・エッチ
・アクセスすき間１４０、１４１、１４２、１４６電極１４４二酸化シリコン層３０１映像信号入力ピン３０２アンプ３０３シフトレジスタ３０４ラインセレクタ３０５参照信号発生回路３１０ミラー制御回路４１１ラッチ４１２マグネチュートコ
ンパレータ４１３インバータ５０１光源５０２照明系５０３空間光変調素子５０４結像光学系５０５スクリーン５０６遮光部ｔ_h 参照信号１０８の
周期Ｖｔ₁ 、Ｖｔ₂ 、Ｖｔ₃ コンパレータ１１
２のしきい値電圧Ｖｐ₁ 、Ｖｐ₂ 、Ｖｐ₃ パルス信号

フロントページの続き (72)発明者須田繁幸東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】空間的に配列された光変調素子におい
て、前記光変調素子の各素子単位ごとに前記素子を制御する
制御手段を有し、前記制御手段が、入力値を保持する保持手段と、前記保
持手段が保持している前記入力値に応じたパルス幅を有
するパルス信号を発生するパルス発生手段とを備えるこ
とを特徴とする、空間光変調素子。
【請求項２】前記制御手段がアナログ回路を備える、
請求項１に記載の空間光変調素子。
【請求項３】前記制御手段がデジタル回路を備える、
請求項１に記載の空間光変調素子。