JPH07315477A - 容 器 - Google Patents

容 器

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JPH07315477A
JPH07315477A JP7049960A JP4996095A JPH07315477A JP H07315477 A JPH07315477 A JP H07315477A JP 7049960 A JP7049960 A JP 7049960A JP 4996095 A JP4996095 A JP 4996095A JP H07315477 A JPH07315477 A JP H07315477A
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JP
Japan
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box
box door
container
latching
wafer
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JP7049960A
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English (en)
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Randall S Williams
ランドール・エス・ウィリアムズ
Nicholas T Cheesebrow
ニコラス・ティー・チーズブロウ
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Fluoroware Inc
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Fluoroware Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 極力擦ったりひっかいたりしないで、ボック
スをボックスドアへラッチできる容器の提供。 【構成】 物品をほぼ粒子のない環境にシール状態で閉
じ込め、かつ処理装置と接続できる運搬可能なポッド２
０は開口した一端部に隣接して配置された複数の内向き
の溝を有するボックス２２と、ボックス２２に設けられ
た溝に隣接配置された複数のスロット６２を側壁に有し
てなるボックスドア２８と、ボックスドア２８内部に回
転可能に取付けられ、周辺部に複数のラッチ用先端４２
を有するスタープレート４０とを有する。ラッチ用先端
４２はスロット６２に位置できしかも、スタープレート
４０が回転するとラッチ用先端４２が外側へ回転してス
ロット６２を通じてボックス２２に設けられた溝に入り
込むようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、物体をほぼ粒子のな
い環境にシール状態で閉じ込め、かつ処理装置と接続で
きる運搬可能な容器に関し、詳しくは半導体ウェハーな
どの処理に際して粒子汚染物質を減らすための標準メカ
ニカルインターフェース（standardized mechanical in
terface)（以下単にＳＭＩＦという）システムに用いる
ための容器するわちポッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路を処理するときに粒子が存在し
たり発生したりすると、物理的な欠陥につながったりそ
の他の品質管理問題につながったりする可能性がある。
処理中の粒子汚染物質を極力抑えるために、当初はクリ
ーンルームが利用された。集積回路のサイズが小さくな
るにつれて、集積回路を汚染粒子のサイズも小さくな
り、その結果クリーンルームは実用的でなくなり、費用
がかさむようになった。ＳＭＩＦシステムは、ウェハー
を集積回路へ加工するときに粒子汚染物質を減らしたり
制御したりするうえで特有の利点のあることから、広く
用いられている。
【０００３】ＳＭＩＦ処理装置においては、ウェハーは
シール可能なボックスあるいはポッドの中に入れて貯
蔵、運搬される。一般に、ポッドはＳＭＩＦ処理装置に
設けられたエレベータドアと係合する取り外し可能なボ
ックスドアを有する。また、ポッドあるいはボックスも
ＳＭＩＦ処理装置とインターフェースする。エレベータ
ドアとボックスドアは、ウェハーが周囲の空気にさらさ
れないように、あるいは極力さらされないようにするた
めに、同時に開くようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】最も重要なのは、ポッ
ドあるいはボックスと協働する保持・シール・ラッチ機
構である。他の部品にを擦ったりひっかいたりするよう
な保持・ラッチ・シール機構は、装置の中に粒子を発生
する可能性がある。従って、ひっかいたり擦ったりする
ことのない、あるいは極力そうしたことのないような保
持・シール・ラッチ機構を用いることが重要である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はＳＭＩＦシステ
ムにおいて使用されるＳＭＩＦポッドがに最適な容器を
提供するものである。このポッドは、半導体ウェハーな
どの物品を、ＳＭＩＦステーションなどの間で運搬する
ために使用される。ポッドは、開口した端部を備えたボ
ックスと、この開口した端部とシールを保った状態で係
合してこれを閉じるボックスドアとを有する。ボックス
は取り外し可能なキャリヤを有している。キャリヤはボ
ックスドアの上に着座する。また、キャリヤは物品を出
し入れするための開口した側部を有している。このポッ
ドの特徴は、ボックスドアの中に設けられたラッチ機構
である。ラッチ機構はスターホイールを利用している。
スターホイールの先端は回転して、ボックスドアに設け
られたスロットから外へ出て、ボックスの内部側壁に設
けられたスロットの中に伸びる。先端はそのあと下方へ
移動して、シールを保った状態でボックスドアをボック
スへ係合させる。スターホイールは同心状に設けられた
カム付きハブを取り囲んでいる。カム付きハブは斜めの
カム面を有し、このカム面にはスターホイールから半径
方向内側へ延びるカムフォロワーピンが係合する。ボッ
クスドアの中でのスターホイールの構造及び配置は、ス
ターホイールを少し回転させると、その先端が回転して
先端がボックスの内側からスロットの外側へ張り出すよ
うになっている。この張出した時点で、ストッパがスタ
ーホイールのそれ以上の回転を制限する。その結果、カ
ム付きハブをさらに回転してスターホイールを下方へ移
動させると、カムフォロワはカム面を伝わる。こうし
て、先端がボックスに設けられたスロットと係合し、ボ
ックスドアを下方へ移動させてシールを保った状態でボ
ックスドアをボックスと係合させる。一対の１方向バル
ブが、ポッドの内部のパージを行うために設けられてい
る。位置揃え用アームがポッドの上部内側から旋回する
ようになっている。位置揃え用アームはキャリヤの上部
と係合する係合フィンガと、キャリヤの開口した側部の
前を延びる保持部とを有する。ボックスドアとともにウ
ェハーキャリヤをボックスの中へ持ち上げると、フィン
ガがキャリヤの上部と係合し、保持部がキャリヤの開口
した側部の前で揺動してウェハーを所定の位置に保持す
る。位置揃え用アームは可撓性部分によって旋回するよ
うになっており、各部分をひっかいたり擦ったりしな
い。
【０００６】
【発明の目的及び利点】この発明の目的及び利点は、極
力擦ったりひっかいたりしないで、ボックスをボックス
ドアへラッチすることである。この発明の別の目的及び
利点は、ひっかいたり擦ったりすることがほとんどない
状態で回動及び揺動を行うような、キャリヤの中で物品
を位置合わせし、保持するための位置揃え用アームを提
供することである。この発明のもう一つの目的及び利点
は、カムピンとカム面がほぼ閉じ込められていて、汚染
や前記係合による粒子の発生が極力抑えられていること
である。この発明のさらにもう一つの目的及び利点は、
位置揃え用アームが、ウェハーキャリヤの上部へ下方へ
の圧力を加えることによって、ウェハーキャリヤを所定
の位置で固定するようになっていることである。
【０００７】
【実施例】以下、添付図面に基づいてこの発明の実施例
を説明する。図１には、参照番号２０で表されたＳＭＩ
Ｆポッドの分解図が示されている。このポッドは概して
言えば容器であり、開口した端部２４と開口した内部２
６とを備えたボックス２２と、開口した端部２４をシー
ルを保った状態で閉じるボックスドア２８と、ボックス
ドア２８の上面３４から延びる突起部３２に着座するウ
ェハーキャリヤ３０を主なものとして有している。ボッ
クスドア２８はハウジング３６を有する。ハウジング３
６は底部プレート３８を有し、底部プレート３８の中に
はスターホイール４０として形成されたプレートが収容
されている。スターホイール４０はラッチ用先端４２を
有している。スターホイール４０はカム付きハブ４３の
まわりを囲んでいる。図１においてはボックス２２の一
部が切り欠きされており、ボックス２２の中を下方へ延
びる位置揃え用アーム４４が見えるようになっている。
ボックス２２は上部パネル４６と、底部フランジ４８を
備えた周辺部４７と、四つのサイドパネル５０を有す
る。切り欠きされたボックス部分には、下方へ延びるリ
ップ５２も示されている。リップ５２は、シーリング面
５４と、実施例においてはフランジスロット５６として
形成されている内向の溝を有する。
【０００８】ボックスドア２８は、ボックスドア２８の
上面３４にシーリング面５８を有する。シーリング面５
８は、リップ５２のシーリング面５４と係合してこれと
協働するような形状を有する。ボックスドア２８は四つ
の側壁６０を有する。側壁６０の各々はスロット６２を
有する。スロット６２は、組み立てたときに底部フラン
ジ４８上のフランジスロット５６と位置が揃うように配
置されている。ボックスドア２８は、上面３４まで延び
る通気穴６３を有する。
【０００９】ウェハーキャリヤ３０は下部にＨ字形部分
６４を有する。Ｈ字形部分６４は、ボックスドア２８の
上面３４に設けられた突起部３２の中に着座する横棒６
５を有する。ウェハー（図示されていない）は、ウェハ
ーキャリヤ３０の開口した前部６６を通じて摺動によっ
て出し入れされる。ウェハーは、ウェハーキャリヤ３０
の側部７０と一体化されたリップ６８によって支持され
る。ウェハーキャリヤ３０の上部７０にはハンドル７２
が取付けられている。
【００１０】次に図２を参照する。図２ではＳＭＩＦポ
ッド２０の平面図が示されているが、ディスク７６が所
定の位置に設置されているウェハーキャリヤ３０と、位
置揃え用アーム４４が見えるように、ボックス２２の一
部が切り欠きされている。アライメントアーム４４は二
つのサポートアーム７８を有する。以下で詳しく説明す
るように、サポートアーム７８は位置揃え用アーム４４
をボックス２２へ連結している。各サポートアーム７８
は弾性を有する可撓性部分７９を有しており、位置揃え
用アーム４４が揺動できるようになっている。位置揃え
用アーム４４からはフィンガ８０が下方へ延びている。
ＳＭＩＦポッド２０が組み立てられたとき、フィンガ８
０はウェハーキャリヤ３０の上部７４と接触する。位置
揃え用アーム４４の中央部８５に設けられた矩形の開口
部８２は、ウェハーキャリヤ３０の上部７４の上に設け
られたハンドル７２に適合した寸法を有しており、位置
揃え用アーム４４が前述したハンドル７２と干渉するこ
となく自在に揺動できるようになっている。
【００１１】図３にはＳＭＩＦポッド２０が、ボックス
ドア２８をボックス２２に着座させて位置固定された状
態で断面が示されている。ウェハーキャリヤ３０は横棒
６５が突起部３２の間に保持され着座した状態でボック
スドア２８の上面３４に着座している。突起部３２には
ウェハーキャリヤ３０の着座部すなわち受容領域８１が
形成されている。位置揃え用アーム４４は図示した状態
において、フィンガ８０がウェハーキャリヤ３０の上部
７４と接触しており、またウェハーをウェハーキャリヤ
３０内の所定の位置に保持するため、保持アーム部分８
３がウェハーキャリヤ３０の開口した前部６６の前を下
方へ延びている。図中、ウェハー８４の位置が破線で示
されている。ボックス２２は透明なポリカーボネートプ
ラスチックから成形される。ボックスドア２８はカーボ
ンファイバフィラーが充填されたポリカーボネートから
形成される。カーボンファイバフィラーを充填すること
によって、ポリカーボネートは導電性を帯び、従って静
電気を消散させる。このため、ウェハーやディスク、及
び／あるいはキャリヤ３０における静電気の蓄積が極力
抑えられる。静電気は、帯電した物体が粒子を引き付
け、処理中の部材を汚染してしまうため、非常に好まし
くない。カーボンフィラーが充填されたポリカーボネー
トとして適しているのは、ミネソタ州ウィノナ(Winona
、Minnesota)のアール・ティー・ピー・カンパニ（Ｒ
ＴＰ Ｃｏ．）から入手可能なＥＳＤ３８０シリーズの
樹脂である。
【００１２】図３はボックス２２とボックスドア２８と
の係合も示している。ボックスドア２８は、リップ５２
がボックスドア２８の上面３４に設けられた溝８６と係
合た状態で、ボックス２２の底部フランジ４８の中にほ
ぼぴったりとはまっている。スターホイール４０は図示
した状態において、カム付きハブ４３のまわりを囲んで
いる。カム付きハブ４３はボックスドア２８へ取付けら
れたポスト８８に回転可能に取付けられている。また、
図示した状態において、スターホイール４０のラッチ用
先端４２のうちの二つは、ボックス２２の底部フランジ
４８の中に延びている。底部プレート３８はボックスド
ア２８の底部フランジ４８の中に着座しており、ボック
ス２８の内部９０を閉じ込めている。底部プレート３８
は、カム付きハブ４３にアクセスし、これを回転させる
ための開口部９２を有する。底部プレート３８はネジな
どの適当な手段によってボックスドア２８へ固定されて
おり、ポリカーボネートプラスチックから形成されてい
る。
【００１３】次に図４を参照すると、図４にはボックス
ドア２８の底面図が底部プレート３８が取り外した状態
で示されている。ここではスターホイール４０の二つの
主な位置が示されており、張り出した位置が破線で表さ
れていて、参照番号１０１で示されている。スターホイ
ール４０とカム付きハブ４３は同心状に配置されてお
り、カムフォロワはカムピン９６として形成されてい
る。カムピン９６はスターホイール４０から半径方向内
側へ延びて、カム付きハブ４３カム面（図４には示され
ていない）と係合している。カム付きハブ４３はポスト
８８に対し回転可能になっている。この回転は図のスタ
ーホイール４０から半径方向に延びるカムピン９６によ
って制限される。スターホイール４０は、スターホイー
ル４０の周辺部９８がボックスドア２８の内壁１００も
しくはスロット端部１０２との接触により制限されると
ころまで、カム付きハブ４３に対し部分的に回転が可能
である。カム付きハブ４３は、処理装置あるいは手動装
置が係合してハブを回転させるための係合穴９７を有す
る。スターホイール４０はポリカーボネートプラスチッ
クから形成されている。カム付きハブ４３は、イー・ア
イ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニ・イ
ンコーポレーテッド(E.I. Dupont de Nemours &Compan
y,Inc.) によって製造されている商標名デルリン(Delri
n)などのアセタールプラスチックから形成されている。
カムピン９６はステンレススチールから形成されて、ス
ターホイール４０に圧入されている。
【００１４】次に図５、図６及び図７を参照すると、こ
れらにはカム付きハブ４３が詳しく示されている。図５
は平面図であり、カム付きハブ４３を固定しまたその一
部を切除した状態で、スターホイール４０の一部が示さ
れている。スターホイール４０とカム付きハブ４３は、
スターホイール４０の内側表面１０６とカム付きハブ４
３の外側周辺部１０８において互いに接触しており、互
いに対して回転できるようになっている。図６はカム付
きハブ４３の外面に形成された溝１０９を示しており、
この溝１０９は上側のカム面１１０と、下側のカム面１
１２と、上側のもどり止め１１４と、下側のもどり止め
１１６を有している。図示した状態において、カムピン
９６は上側のもどり止め１１４に位置している。図７の
カム付きハブ４３の側部の溝１０９は上側のカム面１１
０と、下側のカム面１１２と、上側のカム位置１１５
と、下側のカム位置１１７を有する。カム面１１０，１
１２を有するこれらの溝１０９は、カム付きハブ４３を
その外側周辺部１０８から半径方向内側へ削り込むこと
によって形成できる。図のもどり止め１１４，１１６
は、カム付きハブ４３の材料を削り取ってノッチ１１
８，１１９を形成することによって作られる。ノッチ１
１８，１１９は溝１０９に近づいているけれども、材料
を残していて適当なブリッジを形成しており、もどり止
め１１４，１１６を有する弾性部を提供している。
【００１５】図８、図９及び図１０はボックス２０の底
部フランジ４８と、スターホイール４０のラッチ用先端
４２と、ボックスドア２８の側壁６０と、協働するシー
リング面５４，５８を断面で示している。ボックスドア
２８の上面３４の溝８６には弾性材料１２０が保持され
ており、弾性材料１２０の上面はシーリング面５８を形
成している。シーリング面５８はリップ５２のシーリン
グ面５４と係合してシールを形成している。底部プレー
ト３８からストップポスト１２２が上方へ延びている。
ストップポスト１２２は、スターホイール４０の上下位
置に応じてスターホイール４０の回転を妨げるものであ
る。図８は、ボックスドア２８を最初持ち上げてボック
ス２２と係合させる時等における、ボックスドア２８に
対するボックス２２の関係を示している。この時、ラッ
チ用先端４２はボックスドア２８の中に完全に引っ込ん
でおり、リップ５２のシーリング面５４は弾性材料１２
０と接触しているが、これを圧縮はしてはいない。
【００１６】図９は図８と同じ相対的位置関係にあるボ
ックス２２とボックスドア２８を示している。しかし、
図９ではラッチ用先端４２はスロット６２を通り抜けて
外側へ延びており、底部フランジ４８のフランジスロッ
ト５６の中へ延びている。この図に示されているよう
に、ラッチ用先端４２は溝８６のラッチ用表面１２３の
上方で、好ましくはラッチ用表面１２３と非接触状態と
される。ラッチ用先端４２がこのようにスロット５６の
内面と接触せずにその中へ延びていることで、ひっかき
や、それに伴う粒子の発生を排除できる。
【００１７】図１０は、ラッチ用先端４２がラッチ用表
面１２３と係合しかつストップポスト１２２と係合した
状態を示している。スターホイール４０はボックスドア
２８及びスロット６２の比較的下部にある。ラッチ用先
端４２は弾性材料１２０を圧縮してシールを形成してい
る。図示した状態においてストップポスト１２２は、ス
ターホイール４０の時計方向（下から見て）への回転を
阻止している。
【００１８】次に図１１、図１２、図１３及び図１４を
参照すると、これらの図には位置揃え用アーム４４と、
位置揃え用アーム４４をボックス２２へ取付けるのに適
した機構の詳細が描かれている。位置揃え用アーム４４
をボックス２２へ固定するために、二つのコーナーブラ
ケット１２４と二つの楔部材１２６が用いられており、
これらにより位置揃え用アーム４４は他部品を擦ったり
ひっかいたりせずに揺動することができるようになって
いる。図１４の斜視図は主要な構成部材を分解した状態
で示している。ブラケット１２４は、楔部材１２６とサ
ポートアーム７８を受容するような寸法に設計された開
口部１２５を有する。楔部材１２６から延びる傾斜状の
小片１３０が、サポートアーム７８に設けられた開口部
１３２の中に嵌まり込んで、サポートアーム７８が楔部
材１２６に対して長手方向に動かないようにしている。
楔部材１２６に設けられたストップタブ１３４は、楔部
材１２６が長手方向に動いてブラケット１２４の開口部
１２５の外へ出てしまわないようにしている。
【００１９】図１５及び図１６には窒素あるいはその他
のガスでＳＭＩＦポッド２０をパージするためのパージ
装置の詳細が示されている。本実施例において使用され
ているパージ装置の主な構成部品が図１６に斜視図で示
されており、これはダイヤフラムバルブからなる１方向
バルブ１４２である。１方向バルブ１４２はプラスチッ
クか金属など弾性変形が可能な材料から形成されてい
る。図１５は、１方向バルブ１４２をバルブハウジング
１４３の中の適切な位置に配置した状態の断面図を示し
ている。図４に示したＳＭＩＦポッド２０の内部をパー
ジするために、このダイヤフラムバルブ１４２が２つ使
用されている。一方はガスのインレット用であり、他方
はポッド内部のガスのアウトレット用である。ダイヤフ
ラム１４５は斜めに切られた螺旋状のスリット１４４に
よって、軸方向の一方にしか伸びることができなくなっ
ている。こうしたバルブは、１０６６０ ニューヨー
ク、マウント・バーノン、サウス・コロンブス・アベニ
ュ ８９６(896 South Columbus Ave.,Mount Vernon 、
NY 10660) のダブ−オー−マジック・コーポレーション
（Ｄａｂ−Ｏ−Ｍａｇｉｃ Ｃｏｒｐ．）から入手が可
能である。雌リセプタクル１４９は、例えばＳＭＩＦポ
ッド２０にインターフェースする処理装置からのニップ
ル（図示しない）を受容できる形状を有する。１方向バ
ルブ１４２は、図に示されているような適当なブシュ１
５０とスナップリング１５４によって、バルブハウジン
グ１４３の中に保持されている。
【００２０】ボックス２２の開口した内部２６はボック
スドア２８貫く通気穴６３により１方向バルブ１４２に
接続されている。底部プレート３８にはリセプタクル１
４９へのアクセスのためのアクセス穴１５８が設けられ
ている。図１６のインレット用の１方向バルブ１４８の
ダイヤフラム１４５は、上記ニップルにより外側に伸び
て開かれる。
【００２１】ＳＭＩＦポッド２０の作用を以下に説明す
る。図１及び図３を参照すると、ボックス２２をボック
スドア２８から取り外して、処理、運搬、貯蔵のためウ
ェハーをウェハーキャリヤ３０の中に挿入する。次にウ
ェハーキャリヤ３０を突起部３２によるガイドを伴っ
て、ボックスドア２８の上面３４に適切に着座させられ
る。次にボックス２２を下げるか、あるいはボックスド
ア２８を上げて、ドア２２の開口した端部２４をボック
スドア２８で閉じる。ボックス２２の上部の内側表面１
２８がウェハーキャリヤ３０に近づくにつれて、位置揃
え用アーム４４のフィンガ８０がウェハーキャリヤ３０
の上部７４と接触して、位置揃え用アーム４４が弾力性
を有する可撓性部分７９で回り（図３参照）、保持アー
ム部８３がウェハーキャリヤ３０の開口した前部６６の
側に揺動して、ウェハーキャリヤ３０内に位置するウェ
ハーの端部に当接する。位置揃え用アーム４４がサポー
トアーム７８の可撓性部分７９で回るため、他部品をひ
っかいたり擦ったりせずに揺動あるいは回動が行われ
る。図１２及び図１４に最もよく示されているように、
可撓性部分７９は、サポートアーム７８の横方向に溝を
形成して材料を切除することで形成できる。保持アーム
部８３は上下方向に配置され、前記ウェハーキャリヤ３
０内のすべてのウェハーを保持するような形状になって
いる。
【００２２】図８及び図４に示されているように、ラッ
チ用先端４２が完全に引っ込んだ状態では、図７に示し
たようにカムピン９６は溝１０９の高い方の端部に位置
し、上側のもどり止め１１４によって位置固定される
（図６参照）。この状態での、ボックスドア２８に対す
るボックス２２の関係は図８に示されており、リップ５
２は弾性材料１２０と接触しているが、弾性材料１２０
を殆ど圧縮してはいない。関連する処理装置（図示され
ていない）などの外部装置によってカム付きハブ４３を
反時計方向（下から見て）に回すと、カム付きハブ４３
とともにスターホイール４０も回る。なぜなら、上側の
もどり止め１１４がカムピン９６を位置保持しているか
らである。スターホイール４０の回転に対する唯一の抵
抗は、スターホイール４０とポスト８８及び／もしくは
ハウジング３６との間の摩擦力である。この摩擦力は小
さいため、カムピン９６を上側のもどり止め１１４から
解放するには至らない。スターホイール４０の回転によ
って、ラッチ用先端４２は引っ込んだ位置から、図４に
おいて参照番号１０２によって示されているような完全
に張出した位置まで移動する。完全に張り出した位置に
おいては、スターホイール４０は、ボックス２２の内壁
１００に、適当に設置されたストッパ部材あるいはスロ
ット６２の側面によって、それ以上の回転を阻止され
る。カム付きハブ４３を続いて時計方向に回転させる
と、カムピン９６が上側のもどり止め１１４から解放さ
れ、カムピン９６はカム面１１０，１１２に沿って下側
のもどり止め１１６の方へ向かう。カム付きハブ４３に
対してほぼ下方へ向かうカムピン９６のこのような動き
の結果、スターホイール４０と対応するラッチ用先端４
２が相対的に下方へ下がる。スターホイール４０とラッ
チ用先端４２がボックスドア２８に対して下がると、ラ
ッチ用先端４２は図９に示されているようにボックス２
２のスロット５６の中でストップポスト１２２と接触す
る。
【００２３】カム付きハブ４３を反時計方向へ回転し続
けると、ボックス２２のスロット５６のラッチチング面
１２３に下方への力が加わり、ボックス２２はボックス
ドア２８に対して下方へ移動する。それに従って、溝８
６内の弾性材料１２０が圧縮され、リップ５２とシーリ
ング面との間でシールが形成され。反時計方向への回転
は、カムピン９６が下側のもどり止め１１６に達するま
で続けることができ、その時点で、もどり止め１１６が
カム付きハブ４３をスターホイール４０に対しロック
し、従ってラッチ用先端４２が、図１０に示されている
ように完全に外側に張出しかつ完全に下降した状態にロ
ックする。このようなロックによりボックス２２はボッ
クスドア２８に固定され、位置揃え用アーム４４がウェ
ハーキャリヤ３０を固定しさらにはウェハーキャリヤ３
０内のウェハーを保持することとなって、ＳＭＩＦポッ
ド２０が運搬可能な状態となる。
【００２４】ボックス２２をボックスドア２８から解放
するためには、カム付きハブ４３が手動装置、あるいは
処理装置のような自動化された装置によって時計方向に
回転される。底部プレート３８からボックスドア２８の
方へ部分的に延びるポスト１２２は、カム付きハブ４３
を時計方向へ回転したときにスターホイール４０がすぐ
に回転しないようにしている。そのかわり、カムピン９
６がカム面１１０，１１２を伝って、スターホイール４
０とラッチ用先端４２をボックスドア２８に対して上昇
させる。スターホイール４０の上昇は、スターホイール
４０が、底部プレート３８から延びるポスト１２２を越
えるまで続く。ラッチ用先端４２と、スターホイール４
０と、ポスト１２２と、カム面１１０，１１２は、弾性
材料１２０が圧縮から実質的に解放され、ボックスドア
２８に対するボックス２２の位置がほぼ図９に示した位
置となるまで、スターホイール４０がラッチ用先端４２
と共に上昇し続けるように配置されている。この時点に
おいて、カム付きハブ４３を時計方向へ回転し続ける
と、スターホイール４０は張出し位置１０２から図４及
び図８に示した完全に引っ込んだ位置まで回転する。
【００２５】一般に、ボックスドア２８がボックス２２
へラッチされシールされているＳＭＩＦポッド２０は、
処理装置の外側へ設置される。ボックス２２の底部フラ
ンジ４８は処理装置へラッチ、シールされ、カム付きハ
ブ４３がこの処理装置により回転される。ウェハーキャ
リヤ３０とウェハーとが位置保持されたボックスドア２
８は、自動化装置によって処理装置内に下げられる。こ
のとき、ボックス２２は処理装置の外側へシールされた
ままである。次にウェハーが処理される。処理が終わっ
たあと、ウェハーは戻されて、再びボックス２２の中に
シールされる。
【００２６】ＳＭＩＦポッド２０を最初に処理装置にラ
ッチさせるときなどに、内部２６は極力汚染物質が存在
しないようにパージされる。処理装置からのニップル
（図示されていない）が雌リセプタクル１４９の中に伸
び、ダイヤフラム１４５を伸ばして１方向バルブ１４
６，１４８を開ける。次に窒素などのガスが図４に示さ
れているように１方向バルブ１４８の中に注入されて、
開口した内部２６内の元々のガスが１方向バルブ１４６
から外へパージされる。
【００２７】この発明は、その精神及び本質から逸脱す
ることなく、他の形によっても実現が可能である。従っ
て、叙述した実施例は単に説明のためのものであり、発
明を制限することはない。この発明の範囲に関しては、
上述した実施例よりも添付されている特許請求の範囲を
参照すべきである。例えば、カム面はスターホイールの
上に設けてもよいし、カムピンあるいは他の携帯のカム
フォロワをカムハブあるいはボックスドアハウジングへ
取付けてもよい。さらに、ボックス及びポッドは概略立
方体で図示されているが、円筒形等、他の任意の形状で
あっても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】ボックスの一部を切除して示した本発明の一実
施例によるＳＭＩＦポッドの分解斜視図である。
【図２】ボックスを切り欠きして示したＳＭＩＦポッド
の平面図であり、ボックスドアの上の所定の位置へ設置
されたウェハーキャリヤと、ボックスの内側上部へ取付
けられた位置揃え用アームの一部を示す図である。
【図３】図２の３−３線断面図である。
【図４】ボックスドアの底面図であり、底部プレートを
取り外して、スターホイールや、カム付きハブ、１方向
バルブを示した図である。
【図５】スターホイールに設けられたカム付きハブの平
面図であり、カムフォロワーピンとカム面とを示す図で
ある。
【図６】カム付きハブの正面図であり、カム面を示す図
である。
【図７】カム付きハブの側面図であり、もどり止めを有
するカム面を示す図である。
【図８】ボックスドアにボックスが配置された状態を示
す一部の断面図で、ボックスのラッチが解除された状態
を示す図である。
【図９】スターホイールのラッチ用先端がボックスの内
部側壁に形成されたスロットにに挿入されている状態を
示す、図８と同様な断面図である。
【図１０】スターホイールとラッチ用先端が垂直方向下
方へ移動して、ボックスをボックスドアへシールを保っ
た状態で係合させた状態を示す、図８及び図９と同様な
断面図である。
【図１１】ボックスの内側部分の底面図であり、保持ア
ームと、ボックスへのその取付けを示す図である。
【図１２】図１１の１２−１２線断面図である。
【図１３】図１２の１３−１３線断面図である。
【図１４】楔部分と、サポートアームと、位置揃え用ア
ームをボックスへ取付けるためのブラケットの分解図で
ある。
【図１５】図４の１５−１５線断面図であり、パージ用
のバルブを示す図である。
【図１６】ＳＭＩＦポッドをパージするのに利用される
１方向バルブを螺旋状ダイヤフラムが伸びた状態すなわ
ち開いた状態で示した斜視図である。
【符号の説明】
２０ ＳＭＩＦポッド ２２ ボックス ２４ 端部 ２６ 内部 ２８ ボックスドア ３０ ウェハーキャリヤ ３６ ハウジング ３８ 底部プレート ４０ スターホイール ４２ ラッチング用先端 ４３ カム付きハブ ４４ 位置揃え用アーム ４７ 周辺部 ５０ サイドパネル ５４ シーリング面 ５６ フランジスロット ５８ シーリング面 ６０ 側壁 ６２ スロット ７８ サポートアーム ７９ 可撓性部分 ８０ フィンガ ８１ 受容領域 ８３ 保持アーム部 ８４ ウェハー ９６ カムピン １０９ 溝 １１０，１１２ カム面 １１４，１１６ もどり止め １４２ １方向バルブ １４５ ダイヤフラム １４６，１４８ １方向バルブ

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 物品をほぼ粒子のない環境にシール状態
    で閉じ込め、かつ処理装置と接続できる運搬可能な容器
    であって、 ａ）開口した内部と、開口した一端部と、この開口した
    一端部に隣接して配置された複数の内向きの溝とを有す
    るボックスと、 ｂ）複数の側壁を備えたハウジングを有する取り外し可
    能なボックスドアであって、前記側壁が前記ボックスに
    設けられた溝に隣接配置された複数のスロットを有して
    なるボックスドアと、 ｃ）前記ボックスドアの前記ハウジングの開口した内部
    に回転可能に取付けられ、周辺部に複数のラッチ用先端
    を有してなるプレートであって、前記ラッチ用先端の各
    々が前記スロットに位置できしかも、当該プレートが回
    転すると前記ラッチ用先端が外側へ回転して前記スロッ
    トを通じて前記ボックスに設けられた前記溝に入り込む
    ようになっているプレートと、 を有する容器。
  2. 【請求項２】 前記プレートが、前記ラッチ用先端が前
    記スロットを通って外側に張り出す張出位置と、前記ラ
    ッチ用先端が前記スロット内に引っ込んだ後退位置とを
    有し、さらに、前記プレートが前記張出位置にあるとき
    に前記ラッチ用先端を昇降させるための昇降装置が設け
    られている請求項１記載の容器。
  3. 【請求項３】 前記ラッチ用先端の昇降装置が、カム面
    とカムフォロワとを有し、前記カムフォロワが前記プレ
    ート側に設けられ、前記カム面がボックスドア側に設け
    られている請求項２記載の容器。
  4. 【請求項４】 前記ラッチ用先端の昇降装置が、カム面
    とカムフォロワとを有し、前記カム面が前記プレート上
    に設けられており、前記カムフォロワがボックスドア側
    に設けられている請求項２記載の容器。
  5. 【請求項５】 カム付きハブとカムフォロワとが設けら
    れ、前記カム付きハブが前記ボックスドア内に回転可能
    に取付けられて、前記プレートによって囲まれており、
    前記カム付きハブがカム面を有し、前記カムフォロワが
    プレートへ固定されていて前記カム面と係合しており、
    前記プレートが前記カム付きハブに対して回転可能であ
    り、かつ上下方向に可動である請求項１記載の容器。
  6. 【請求項６】 前記プレートを所定の位置にロックする
    ために、前記カム面にもどり止めが設けられている請求
    項５記載の容器。
  7. 【請求項７】 前記物品がウェハーからなり、前記ボッ
    クスドアが上面を有し、さらに、ボックスドアの上面に
    載置されるウェハーキャリヤが備えられており、このウ
    ェハーキャリヤがウェハーディスクを受容するための開
    口した側部を有する請求項１記載の容器。
  8. 【請求項８】 一端に係合フィンガを、他端にウェハー
    係合部を有する位置揃え用アームを備えており、該位置
    揃え用アームが一端と他端との中間において前記ボック
    スに揺動可能に取付けられて、前記ボックスドアが前記
    ウェハーキャリヤとともに前記ボックスに受容される
    と、前記フィンガが前記ウェハーキャリヤと係合し、ア
    ライメントアームが揺動して、ウェハーディスクの位置
    を揃えて保持を行う位置に動く請求項７記載の容器。
  9. 【請求項９】 前記位置揃え用アームが弾性部を有し、
    この弾性部により前記位置揃え用アームが揺動でき、か
    つ当該位置揃え用アームが位置を揃えて保持を行う位置
    から離れる方向に付勢されている請求項８記載の容器。
  10. 【請求項１０】 前記ボックスドアが静電気を消散させ
    る材料から形成されている請求項１記載の容器。
  11. 【請求項１１】 前記開口した内部をパージするために
    前記ボックスドアの中に二つのバルブが配置されてお
    り、これらのバルブが螺旋状のスリットを有する弾力性
    のダイヤフラムを有している請求項１記載の容器。
  12. 【請求項１２】 ウェハーをほぼ粒子のない環境にシー
    ル状態で閉じ込め、かつ処理装置と接続できる運搬可能
    な容器であって、 ａ）ウェハーを収容するための開口した内部と開口した
    端部とを有するボックスと、 ｂ）前記ボックスによって受容されて開口した端部を閉
    じるような寸法を有するボックスドアであって、前記内
    部と対向する表面を有し、この表面がウェハーキャリヤ
    受容部を有するボックスドアと、 ｃ）ウェハーを積み重ねた状態で保持するためのウェハ
    ーキャリヤであって、前記ボックスドアが有する、前記
    内部と対向する表面に設けられた前記受容部によって受
    容されるような寸法を有し、かつウェハーを受容するた
    めの開口した側部を有するウェハーキャリヤと、 ｄ）係合フィンガと保持アーム部とを両端に有し、かつ
    これらの端部の中間において前記ボックスへ揺動可能に
    取付けられてなる位置揃え用アームであって、前記保持
    アーム部がウェハーを横切る方向に配置されており、前
    記ボックスドアが前記ウェハーキャリヤとともに前記ボ
    ックスに受容されると、前記係合フィンガがウェハーキ
    ャリヤを係止し、かつ前記保持アームが揺動してウェハ
    ーの位置を揃えて保持を行うための位置に動くように構
    成された位置揃え用アームと、 を有する容器。
  13. 【請求項１３】 前記位置揃え用アームが弾性を有する
    可撓性部を備えたサポートアームを有し、前記サポート
    アームが前記ボックスに固定されている請求項１２記載
    の容器。
  14. 【請求項１４】 前記ボックスドアが、スロットを備え
    た複数の側壁と、ラッチ用先端を備えた回転可能なプレ
    ートとを有し、前記プレートがそのラッチ用先端をスロ
    ットと隣接させることができる形状を有しており、前記
    プレートが回転すると、ラッチ用先端が張り出して前記
    スロットから突出するようになっており、前記ボックス
    が前記ラッチ用先端を受容するための複数溝を有する請
    求項１２記載の容器。
  15. 【請求項１５】 前記ラッチ用先端を上げたり下げたり
    するための昇降装置が設けられている請求項１４記載の
    容器。
  16. 【請求項１６】 前記ラッチ用先端を上げたり下げたり
    するための昇降装置が、前記ボックスドアへ回転可能に
    取付けられた、カム面を有するハブと、前記カム面と係
    合するカムフォロワとを有し、前記カムフォロワが前記
    回転可能なプレートへ取付けられている請求項１５記載
    の容器。
  17. 【請求項１７】 前記カム面がカムフォロワをロックす
    るためのもどり止めを有する請求項１６記載の容器。
  18. 【請求項１８】 前記ボックスドアが静電気を消散させ
    る材料から形成されている請求項１２記載の容器。
  19. 【請求項１９】 前記開口した内部をパージするために
    前記ボックスドア内に二つのバルブが配置されており、
    これらのバルブが螺旋状のスリットを有する弾力性のダ
    イヤフラムを有している請求項１２記載の容器。
  20. 【請求項２０】 ウェハーをほぼ粒子のない環境にシー
    ル状態で閉じ込め、かつ処理装置と接続できる運搬可能
    な容器であって、 ａ）ウェハーを収容するためのボックスであって、シー
    リング面と、周辺部を備えた開口した一端部とを有し、
    前記周辺部がラッチ用表面を有してなるボックスと、 ｂ）前記ボックスに受容されて前記開口した一端部を閉
    じるボックスドアであって、シーリング面と側壁を有
    し、前記側壁に前記ラッチ用表面に隣接する開口部が設
    けられたボックスドアと、 ｃ）前記ボックスドアに上下摺動可能かつ回転可能に取
    付けられたスターホイールであって、周辺部に位置する
    複数のラッチ用先端を有し、該ラッチ用先端が細長い開
    口部に隣接して配置され、当該スターホイールが正逆方
    向に回転すると各ラッチ用先端が前記細長い開口部を介
    して外側及び内側へ回転し、前記ラッチ用先端が外側へ
    回転したときラッチ用先端が前記ラッチ用表面の上方に
    張り出すように構成されたスターホイールと、 を有する容器。
  21. 【請求項２１】 前記ラッチ用先端が前記ラッチ用表面
    の上方に張出したとき前記スターホイールを上げたり下
    げたりするための昇降装置が設けられ、スターホイール
    下げるとラッチ用先端がラッチ用表面と係合し、前記ボ
    ックスドアの前記シーリング面をボックスのシーリング
    面とシール係合する請求項２０記載の容器。
  22. 【請求項２２】 ウェハーキャリヤが設けられ、前記ボ
    ックスドアが前記ウェハーキャリヤの着座部を備えた上
    面を有し、前記着座部が前記ウェハーキャリヤを受容す
    る請求項２１記載の容器。
  23. 【請求項２３】 前記ボックスドアの内部に前記スター
    ホイールと同心状にカム付きハブが回転可能に取付けら
    れており、該カム付きハブがカム面を有し、前記スター
    ホイールが前記カム面と係合するためのカムフォロワを
    有する請求項２０記載の容器。
  24. 【請求項２４】 一端に係合フィンガを他端にウェハー
    係合部を有する位置揃え用アームとを有し、該位置揃え
    用アームが前記二つの端部の中間において前記ボックス
    へ揺動可能に取付けられており、前記ボックスドアが前
    記ウェハーキャリヤとともに前記ボックスに受容される
    と、前記フィンガが前記ウェハーキャリヤと係合し、前
    記位置揃え用アームが揺動して、前記ウェハーディスク
    の位置を揃えて保持するための位置に動く請求項２１記
    載の容器。
  25. 【請求項２５】 前記ボックスドアが静電気を消散させ
    る材料から形成されている請求項２０記載の容器。
JP7049960A 1994-05-24 1995-03-09 容 器 Pending JPH07315477A (ja)

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