JPH073147U - Integrated circuit - Google Patents

Integrated circuit

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JPH073147U
JPH073147U JP3731193U JP3731193U JPH073147U JP H073147 U JPH073147 U JP H073147U JP 3731193 U JP3731193 U JP 3731193U JP 3731193 U JP3731193 U JP 3731193U JP H073147 U JPH073147 U JP H073147U
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 CMOS集積回路におけるラッチアップ現象
の発生の防止。 【構成】 第1の経路106と第2の経路107とを、
pウェル110とn基板111の境界線に沿って出力端
子101に接続し、n基板111の電位をVDD電位に
するためのnバルク108と、pウェル110の電位を
VSS電位にするためのpバルク109を形成すること
によって、pウェル110とn基板111の境界線付近
を、確実にそれぞれVSS電位,VDD電位にする。
(57) [Abstract] [Purpose] Preventing the occurrence of latch-up phenomenon in CMOS integrated circuits. [Configuration] The first route 106 and the second route 107
Connected to the output terminal 101 along the boundary line between the p well 110 and the n substrate 111, the n bulk 108 for setting the potential of the n substrate 111 to the VDD potential and the p bulk 108 for setting the potential of the p well 110 to the VSS potential. By forming the bulk 109, the vicinity of the boundary between the p well 110 and the n substrate 111 is surely set to the VSS potential and the VDD potential, respectively.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、相補型電界効果トランジスタ(以下CMOSと記載する)集積回路 のラッチアップを防止した集積回路の構成に関する。 The present invention relates to a structure of a complementary field effect transistor (hereinafter referred to as CMOS) integrated circuit which prevents latch-up.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

ラッチアップ現象とは、CMOS内のpウェルの電位を保つための電源とn基 板の電位を保つための電源との間に多量の電流が流れ、CMOS回路の動作をく るわせる現象である。このラッチアップ現象はCMOSの構造上形成してしまう 寄生バイポーラトランジスタによる、サイリスタ回路によって引き起こされる。 The latch-up phenomenon is a phenomenon in which a large amount of current flows between the power supply for maintaining the potential of the p-well in the CMOS and the power supply for maintaining the potential of the n-substrate, which impairs the operation of the CMOS circuit. is there. This latch-up phenomenon is caused by the thyristor circuit by the parasitic bipolar transistor which is formed due to the structure of CMOS.

【0003】 このラッチアップ現象を、図面を用いて説明する。図2はCMOSの構造を示 す断面図である。The latch-up phenomenon will be described with reference to the drawings. FIG. 2 is a sectional view showing the structure of the CMOS.

【0004】 図2に示すように、nバルク205はn基板203をVDD201電位にする ための電源との接触領域であり、pバルク206はp領域であるpウェル204 をVSS202電位にするための電源との接触領域である。As shown in FIG. 2, the n-bulk 205 is a contact region with a power supply for setting the n-substrate 203 to the VDD201 potential, and the p-bulk 206 is for setting the p-well 204, which is the p-region, to the VSS202 potential. This is the contact area with the power supply.

【0005】 pゲート207はn基板203上に形成されたp型のMOSトランジスタゲー トであり、nゲート208はpウェル204上に形成されたn型のMOSトラン ジスタゲートである。The p gate 207 is a p-type MOS transistor gate formed on the n substrate 203, and the n gate 208 is an n-type MOS transistor gate formed on the p well 204.

【0006】 内部抵抗Rp212はpウェル204内部の電位分布状態によって決まるpウ ェル204の内部抵抗を示し、内部抵抗Rn211はn基板203内部の電位分 布状態によって決まるn基板203の内部抵抗を示す。The internal resistance Rp 212 represents the internal resistance of the p well 204 determined by the potential distribution inside the p well 204, and the internal resistance Rn 211 represents the internal resistance of the n substrate 203 determined by the potential distribution inside the n substrate 203. Show.

【0007】 第1のトランジスタ209は、pゲート207のソースをエミッタとし、n基 板203をベースとし、pウェル204をコレクタとする寄生トランジスタであ る。The first transistor 209 is a parasitic transistor in which the source of the p gate 207 is the emitter, the n substrate 203 is the base, and the p well 204 is the collector.

【0008】 これに対して、第2のトランジスタ210は、nゲート208のソースをエミ ッタとし、pウェル204をベースとし、n基板203をコレクタとする寄生ト ランジスタである。On the other hand, the second transistor 210 is a parasitic transistor in which the source of the n gate 208 is an emitter, the p well 204 is a base, and the n substrate 203 is a collector.

【0009】 図3は、図2中のトランジスタの等価回路を示す回路図である。ある一定量以 上のトリガー電流Ia212が基板側に発生し、VSS202と第2のトランジ スタ210のベース間に内部抵抗Rp212による電位差が発生すると、第2の トランジスタ210はターンオンしてVDD201、VSS202間に内部抵抗 Rn211を介して電流Ib213が流れる。FIG. 3 is a circuit diagram showing an equivalent circuit of the transistor in FIG. When a trigger current Ia212 above a certain amount is generated on the substrate side and a potential difference due to the internal resistance Rp212 occurs between VSS202 and the base of the second transistor 210, the second transistor 210 is turned on and VDD201 and VSS202 are connected. A current Ib213 flows through the internal resistance Rn211.

【0010】 さらに、電流Ib213が第1のトランジスタ209をターンオンするに充分 な電流であれば、VDD201、VSS202間にトリガー電流Ia212が流 れ続ける。Further, if the current Ib 213 is sufficient to turn on the first transistor 209, the trigger current Ia 212 continues to flow between VDD 201 and VSS 202.

【0011】 以上の循環によって、つねにVDD201,VSS202間に大電流が流れ、 ラッチアップとなる。Due to the above circulation, a large current always flows between VDD 201 and VSS 202, which causes latch-up.

【0012】 このラッチアップ現象の対策の1つは、pバルク206、nバルク205の形 成位置をn基板203とpウェル204の境界付近にとり、電位分布を安定させ ることにより内部抵抗Rp212と内部抵抗Rn211との抵抗値を下げる手法 がある。One of the countermeasures against this latch-up phenomenon is to set the formation positions of the p bulk 206 and the n bulk 205 near the boundary between the n substrate 203 and the p well 204, and stabilize the potential distribution to reduce the internal resistance Rp212. There is a method of lowering the resistance value with the internal resistance Rn211.

【0013】 図4は従来の集積回路チップを直接ガラス基板上に実装するCOG用集積回路 の出力端子部分を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing an output terminal portion of a COG integrated circuit in which a conventional integrated circuit chip is directly mounted on a glass substrate.

【0014】 図4に示すように、中央に出力端子101が形成され、それを囲んでpゲート である第1のMOSトランジスタゲート102と、pゲートである第2のMOS トランジスタゲート103と、nゲートである第3のMOSトランジスタゲート 104と、nゲートである第4のMOSトランジスタゲート105が形成されて いる。As shown in FIG. 4, an output terminal 101 is formed in the center, and a first MOS transistor gate 102 that is a p gate, a second MOS transistor gate 103 that is a p gate, and n A third MOS transistor gate 104, which is a gate, and a fourth MOS transistor gate 105, which is an n gate, are formed.

【0015】 それぞれのMOSトランジスタゲート102、103、104、105の出力 は、第1の出力線306、第2の出力線307、第3の出力線308、第4の出 力線309によって最短距離で接続されている。The outputs of the respective MOS transistor gates 102, 103, 104, 105 are shortest distance by the first output line 306, the second output line 307, the third output line 308, and the fourth output line 309. Connected by.

【0016】 VDD電源をn基板111に接触させるための第1のnバルク310はVDD 電源に接触している活性領域3上にアルミニウムを形成し、コンタクトホール1 を形成することによってバルクの抵抗値を下げている。A first n-bulk 310 for contacting the VDD power supply with the n-substrate 111 is formed by forming aluminum on the active region 3 in contact with the VDD power supply and forming a contact hole 1 to thereby form a bulk resistance value. Is lowered.

【0017】 第2のnバルク311は第2の出力線307領域の活性領域3を介して第1の nバルク310と接続しており、活性領域3上にアルミニウムを形成しコンタク トホール1を形成することによってバルクの抵抗値を下げている。The second n bulk 311 is connected to the first n bulk 310 via the active region 3 in the second output line 307 region, and aluminum is formed on the active region 3 to form the contact hole 1. This reduces the bulk resistance.

【0018】 第3のnバルク315は第1の出力線306領域の活性領域3を介して第1の nバルク310と接続しており、活性領域3上にアルミニウムを形成しコンタク トホール1を形成することによってバルクの抵抗値を下げている。The third n bulk 315 is connected to the first n bulk 310 via the active region 3 of the first output line 306 region, and aluminum is formed on the active region 3 to form the contact hole 1. This reduces the bulk resistance.

【0019】 さらにpウェル110をVSS電源に接触させるための第1のpバルク312 は、VSSに接触している活性領域3上にアルミニウムを形成し、コンタクトホ ール1を形成することによってバルクの抵抗値を下げている。Further, the first p-bulk 312 for contacting the p-well 110 with the VSS power source is formed by forming aluminum on the active region 3 in contact with VSS and forming the contact hole 1. Has lowered the resistance value of.

【0020】 第2のpバルク313は第3の出力線308領域の活性領域3を介して第1の pバルク312と接続しており、活性領域3上にアルミニウムを形成しコンタク トホール1を形成することによってバルクの抵抗値を下げている。The second p bulk 313 is connected to the first p bulk 312 via the active region 3 of the third output line 308 region, and aluminum is formed on the active region 3 to form the contact hole 1. This reduces the bulk resistance.

【0021】 第3のpバルク314は第4の出力線309領域の活性領域3を介して第1の pバルク312と接続しており、活性領域3上にアルミニウムを形成しコンタク トホール1を形成することによってバルクの抵抗値を下げている。The third p bulk 314 is connected to the first p bulk 312 via the active region 3 in the fourth output line 309 region, and aluminum is formed on the active region 3 to form the contact hole 1. This reduces the bulk resistance.

【0022】[0022]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

図4に示す従来の構成では、最も電源抵抗の低い第1のnバルク310付近で は低抵抗のアルミニウムが形成されているので、確実にVDD電位になっていて 内部抵抗Rn211は比較的低くなる。 In the conventional configuration shown in FIG. 4, since low resistance aluminum is formed in the vicinity of the first n bulk 310 having the lowest power supply resistance, the VDD potential is reliably achieved and the internal resistance Rn211 is relatively low. .

【0023】 それに対して、第2のnバルク311と第2の出力線307領域は、高抵抗の 活性領域3を介してVDD電源に接続しているので、n基板111の電位は比較 的広い分布を持ち、pウェル110とn基板111とで形成されるp−n接合付 近の電位差が小さくなり、ラッチアップ現象の原因となる。On the other hand, the second n bulk 311 and the second output line 307 region are connected to the VDD power supply via the high resistance active region 3, so that the potential of the n substrate 111 is relatively wide. This has a distribution, and the potential difference near the pn junction formed by the p well 110 and the n substrate 111 becomes small, which causes a latch-up phenomenon.

【0024】 第1のpバルク312と第2のpバルク313、第3のpバルク314の関係 も同様である。The relationship between the first p bulk 312, the second p bulk 313, and the third p bulk 314 is similar.

【0025】 本考案はこれらの問題を解決し、集積回路のラッチアップ現象を防ぐことが可 能な集積回路の構成を提供することを目的とする。It is an object of the present invention to solve these problems and provide an integrated circuit configuration capable of preventing the latch-up phenomenon of the integrated circuit.

【0026】[0026]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

上記の目的を達成するため本考案の集積回路では以下の手段をとる。 In order to achieve the above object, the integrated circuit of the present invention takes the following means.

【0027】 本考案の集積回路は、第1のMOSトランジスタゲート群と第2のMOSトラ ンジスタゲート群とによって構成する複数のMOSトランジスタゲート群によっ て周囲を囲まれた出力端子を備える集積回路にあって、出力端子への出力経路が 第1のMOSトランジスタゲート群の出力によって構成される第1の経路と第2 のMOSトランジスタゲート群の出力によって構成される第2の経路とを設け、 第1の経路と第2の経路とをn基板とpウェルとの境界線と平行に設けることを 特徴とする。The integrated circuit of the present invention is an integrated circuit having an output terminal surrounded by a plurality of MOS transistor gate groups each of which is composed of a first MOS transistor gate group and a second MOS transistor gate group. And an output path to the output terminal is provided with a first path formed by the output of the first MOS transistor gate group and a second path formed by the output of the second MOS transistor gate group, It is characterized in that the first path and the second path are provided in parallel with the boundary line between the n substrate and the p well.

【0028】 本考案の集積回路は、第1のMOSトランジスタゲート群および第2のMOS トランジスタゲート群は、n基板に形成されたMOSトランジスタゲートの出力 とpウェルに形成されたMOSトランジスタゲートの出力とから構成することを 特徴とする。In the integrated circuit of the present invention, the first MOS transistor gate group and the second MOS transistor gate group have the output of the MOS transistor gate formed on the n substrate and the output of the MOS transistor gate formed on the p well. It is characterized by being composed of and.

【0029】 本考案の集積回路は、第1の経路と第2の経路とpウェルまたはn基板に形成 されたMOSトランジスタゲート群と出力端子とに囲まれる領域に電源との接触 領域を設けることを特徴とする。In the integrated circuit of the present invention, a contact region with a power source is provided in a region surrounded by the first path, the second path, the MOS transistor gate group formed in the p-well or the n-substrate, and the output terminal. Is characterized by.

【0030】[0030]

【作用】[Action]

ラッチアップ現象発生の原因の1つは、図2におけるpウェル204とn基板 203との境界線の電位が、完全にpウェル204がVSS202電位に、n基 板111がVDD201電位になっていないことがある。 One of the causes of the latch-up phenomenon is that the potential of the boundary line between the p-well 204 and the n-substrate 203 in FIG. 2 is not completely the p-well 204 at the VSS202 potential and the n-substrate 111 at the VDD201 potential. Sometimes.

【0031】 このことは第1のトランジスタ209のベース電位とコレクタ電位との差が小 さくなると同時に、第2のトランジスタ210のベース電位とエミッタ電位との 差が小さくなり、それぞれのトランジスタがターンオンしやすくなるということ に相当する。This means that the difference between the base potential and the collector potential of the first transistor 209 becomes small, and at the same time, the difference between the base potential and the emitter potential of the second transistor 210 becomes small and each transistor turns on. It is equivalent to becoming easier.

【0032】 ところで、図4における第2の出力線307付近において、比較的抵抗値の高 い活性領域3のみで接続することは、それ以降の領域(第2のnバルク311を 含む)において、電位が確実にVDD電位になりにくいので、ラッチアップ現象 を起こし易くなる。By the way, in the vicinity of the second output line 307 in FIG. 4, connecting only in the active region 3 having a relatively high resistance value is effective in the subsequent regions (including the second n bulk 311). Since the potential does not easily reach the VDD potential, the latch-up phenomenon easily occurs.

【0033】 これは第3の出力線308、第4の出力線309付近においても同様である。The same applies to the vicinity of the third output line 308 and the fourth output line 309.

【0034】 そこで、第2の出力線と第3の出力線と第4の出力線とを引き回して、pウェ ルとn基板の境界線に沿って、第1の経路および第2の経路として出力端子に接 続することにより、第2の出力線と第3の出力線と第4の出力線付近の活性領域 にアルミニウムとコンタクトホールを形成して、抵抗値を下げて電位を安定させ る。Therefore, the second output line, the third output line, and the fourth output line are routed to form a first route and a second route along the boundary line between the p well and the n substrate. By connecting to the output terminal, aluminum and contact holes are formed in the active regions near the second output line, the third output line, and the fourth output line to lower the resistance and stabilize the potential. .

【0035】[0035]

【実施例】【Example】

以下図面を用いて本考案の実施例を説明する。図1は本考案の実施例における 集積回路の出力端子部分を示す平面図である。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view showing an output terminal portion of an integrated circuit according to an embodiment of the present invention.

【0036】 図1に示すように、中央に出力端子101が形成され、それを囲んでpゲート である第1のMOSトランジスタゲート102と、pゲートである第2のMOS トランジスタゲート103と、nゲートである第3のMOSトランジスタゲート 104と、nゲートである第4のMOSトランジスタゲート105とが形成され ている。As shown in FIG. 1, an output terminal 101 is formed in the center and surrounds it, a first MOS transistor gate 102 which is a p gate, a second MOS transistor gate 103 which is a p gate, and n. A third MOS transistor gate 104, which is a gate, and a fourth MOS transistor gate 105, which is an n gate, are formed.

【0037】 第1の経路106と第2の経路107とは、電源と基板の接触領域であるnバ ルク108とpバルク109との低抵抗化のさまたげにならないように、n基板 111とpウェル110との境界線に沿って、アルミニウムによって形成された 出力端子101への経路である。The first path 106 and the second path 107 are formed on the n-substrate 111 and the p-substrate 111 so that the resistance of the n-bulk 108 and the p-bulk 109, which is a contact region between the power source and the substrate, are not obstructed. A path along the boundary with the well 110 to the output terminal 101 formed of aluminum.

【0038】 第1のMOSトランジスタゲート群に相当するpゲートである第1のMOSト ランジスタゲート102の出力と、nゲートである第4のMOSトランジスタゲ ート105の出力とは、第1の経路106によって接続されている。The output of the first MOS transistor gate 102, which is a p-gate corresponding to the first MOS transistor gate group, and the output of the fourth MOS transistor gate 105, which is an n-gate, are They are connected by a route 106.

【0039】 第2のMOSトランジスタゲート群に相当するpゲートである第2のMOSト ランジスタゲート103の出力と、nゲートである第3のMOSトランジスタゲ ート104の出力とは、第2の経路107によって接続されている。The output of the second MOS transistor gate 103, which is a p-gate corresponding to the second MOS transistor gate group, and the output of the third MOS transistor gate 104, which is an n-gate, are They are connected by a path 107.

【0040】 第1のMOSトランジスタゲート102および第2のMOSトランジスタゲー ト103とpウェル110間に形成されたnバルク108は、VDD電源に接触 している活性領域3上にアルミニウムを形成しコンタクトホール1を形成するこ とによってバルクの抵抗値を下げ、第1のMOSトランジスタゲート102とp ウェル110との間、第2のMOSトランジスタゲート103とpウェル110 との間のn基板111領域を確実にVDD電位にしている。The n-bulk 108 formed between the first MOS transistor gate 102 and the second MOS transistor gate 103 and the p-well 110 is formed by forming aluminum on the active region 3 which is in contact with the VDD power supply. By forming the hole 1, the resistance value of the bulk is lowered, and the n substrate 111 region between the first MOS transistor gate 102 and the p well 110 and between the second MOS transistor gate 103 and the p well 110 is formed. Make sure that it is at the VDD potential.

【0041】 さらに第3のMOSトランジスタゲート104および第4のMOSトランジス タゲート105とpウェル110との間に形成されたpバルク109は、VSS 電源に接触している活性領域3上にアルミニウムを形成して、コンタクトホール 1を形成することによってバルクの抵抗値を下げ、第3のMOSトランジスタゲ ート104とn基板111との間、第4のMOSトランジスタゲート105とn 基板111との間のpウェル110領域を確実にVSS電位にしている。Furthermore, the p-bulk 109 formed between the p-well 110 and the third MOS transistor gate 104 and the fourth MOS transistor gate 105 forms aluminum on the active region 3 in contact with the VSS power supply. Then, by forming the contact hole 1, the resistance value of the bulk is lowered, and between the third MOS transistor gate 104 and the n substrate 111, and between the fourth MOS transistor gate 105 and the n substrate 111. The p well 110 region is surely set to the VSS potential.

【0042】 以上の説明ではn基板とpウェルを用いて説明したが、nウェルとp基板、p ウェルとnウェルの構成でも同様に本考案は適用できる。In the above description, the n-type substrate and the p-type well are used, but the present invention can be similarly applied to the configurations of the n-type and p-type substrates and the p-type and n-type wells.

【0043】[0043]

【考案の効果】[Effect of device]

以上の説明で明らかなように、本考案の構成による集積回路によって、従来の 第1のトランジスタのベース電位とコレクタ電位の差が大きくなり、さらに第2 のトランジスタのベース電位とエミッタ電位の差が大きくなる。このためラッチ アップ現象を引き起こしにくい集積回路が得られる。 As is clear from the above description, the integrated circuit according to the present invention increases the difference between the base potential and the collector potential of the conventional first transistor, and further increases the difference between the base potential and the emitter potential of the second transistor. growing. Therefore, it is possible to obtain an integrated circuit that is less likely to cause the latch-up phenomenon.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の実施例における集積回路の出力端子部
分を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an output terminal portion of an integrated circuit according to an embodiment of the present invention.

【図2】CMOSの断面構造を示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a sectional structure of a CMOS.

【図3】CMOS構造の等価回路を示す回路図である。FIG. 3 is a circuit diagram showing an equivalent circuit of a CMOS structure.

【図4】従来の集積回路の出力端子部分を示す平面図で
ある。
FIG. 4 is a plan view showing an output terminal portion of a conventional integrated circuit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 出力端子 102 第1のMOSトランジスタゲート 103 第2のMOSトランジスタゲート 104 第3のMOSトランジスタゲート 105 第4のMOSトランジスタゲート 106 第1の経路 107 第2の経路 108 nバルク 109 pバルク 110 pウェル 111 n基板 101 output terminal 102 first MOS transistor gate 103 second MOS transistor gate 104 third MOS transistor gate 105 fourth MOS transistor gate 106 first path 107 second path 108 n-bulk 109 p-bulk 110 p-well 111 n substrate

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 第1のMOSトランジスタゲート群と第
2のMOSトランジスタゲート群とによって構成される
複数のMOSトランジスタゲート群によって周囲を囲ま
れた出力端子を備える集積回路にあって、出力端子への
出力経路が第1のMOSトランジスタゲート群の出力に
よって構成される第1の経路と第2のMOSトランジス
タゲート群の出力によって構成される第2の経路とを設
け、第1の経路と第2の経路とをn基板とpウェルとの
境界線と平行に設けることを特徴とする集積回路。
1. An integrated circuit having an output terminal surrounded by a plurality of MOS transistor gate groups each including a first MOS transistor gate group and a second MOS transistor gate group, the output circuit comprising: Of the first MOS transistor gate group and a second path constituted by the output of the second MOS transistor gate group are provided as the output paths of the first and second paths. Is provided in parallel with the boundary line between the n substrate and the p well.
【請求項2】 請求項1記載の第1のMOSトランジス
タゲート群および第2のMOSトランジスタゲート群
は、n基板に形成されたMOSトランジスタゲートの出
力とpウェルに形成されたMOSトランジスタゲートの
出力とから構成することを特徴とする集積回路。
2. The first MOS transistor gate group and the second MOS transistor gate group according to claim 1, wherein the output of the MOS transistor gate formed on the n substrate and the output of the MOS transistor gate formed on the p well are provided. An integrated circuit comprising:
【請求項3】 請求項1記載の第1の経路と第2の経路
とpウェルまたはn基板に形成されたMOSトランジス
タゲート群と出力端子とに囲まれる領域に電源との接触
領域を設けることを特徴とする集積回路。
3. A contact region with a power supply is provided in a region surrounded by the first path, the second path, the MOS transistor gate group formed on the p well or the n substrate, and the output terminal according to claim 1. An integrated circuit characterized by.
JP1993037311U 1993-06-15 1993-06-15 Integrated circuit Expired - Lifetime JP2603410Y2 (en)

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