JPH07302662A - 検査治具および検査治具用アダプター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 正確にＰＧＡパッケージ等のピン長さ不良を
検出することができる検査治具を提供することを目的と
する。 【構成】 検査を行う際には、ＰＧＡパッケージ２のピ
ン８ａ〜８ｃを対応する貫通穴５２ａ〜５２ｃに挿入し
て載置する。次に、プレスを下げて、ＰＧＡパッケージ
２を押し下げる。正常な長さのピン８ａ，８ｃにより、
受支具６２ａ，６２ｃが押し下げられる。これにより、
受支具６２ａ，６２ｃによって押し下げられた導電性ゴ
ム５４の下面が接触導電部５８ａ，５８ｃに接触する。
一方、長さ不良によって短いピン８ｂの場合には、受支
具６２ｂが十分に押し下げられず、導電性ゴム５４の下
面が接触導電部５８ａ，５８ｃに接触しない。したがっ
て、ケーブル６０を介して接続された検査回路により、
導電性ゴム５４と接触導電部間との導通を検査すること
により、非導通の部分がピン長さの不良であると検出す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はＰＧＡパッケージ等の
ピンの長さ検査を行うための検査治具に関するものであ
り、特にそのアダプターの改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＩＣの高集積化に伴って、図１３
に示すようなＰＧＡパッケージ２が採用されている。こ
のＰＧＡパッケージ２は、ベース材１０の中央部４にチ
ップを載置するように構成されている。中央部４に載置
されたチップから、その周囲に設けられたボンディング
パッド６に、ワイヤボンディングが行われる。各ボンデ
ィングパッド６は、対応するピン８にそれぞれ接続され
ている。したがって、ピン８をソケット（図示せず）に
差し込むことにより、チップを使用することができる。

【０００３】ところで、このようなＰＧＡパッケージ２
において、ピン８同士が互いに絶縁されていなければ、
チップを正常に動作させることができない。また、ピン
８が対応するボンディングパッド６に接続されていなけ
ればならない。そこで、ＰＧＡパッケージ２単体で、ピ
ン８間の絶縁が保たれているか、ピン８とボンディング
パッド６間の導通が保たれているかを検査する装置が用
いられている。

【０００４】図１０に、このような絶縁検査治具の原理
を示す。ピン８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ・・・に対応した
プローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ・・・が設け
られている。各プローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２
ｄ・・・は、バネ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ・・
・によって上方向に付勢されている。したがって、ピン
８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ・・・を、プローブ１２ａ，１
２ｂ，１２ｃ，１２ｄ・・・に押圧して接触させること
ができる。この状態で、各プローブに接続された絶縁・
導通検査回路により、各プローブ間の絶縁および導通を
検査する。このようにして、各ピンピン８ａ，８ｂ，８
ｃ，８ｄ・・・間の絶縁や導通を検査することができ
る。

【０００５】ところが、図１０に示すように、製造不良
により長さの短いピン８ｂがあった場合、プローブ１２
ｂに接触しない事態が生じる。このようにピン８ｂがプ
ローブに接触しないと、ピン８ｂと他のピンとがショー
トしていても、これを検出することができない。つま
り、図１０の装置においては、ピン８ａ，８ｂ，８ｃ，
８ｄ・・・の長さ不良は検出することができない。そこ
で、図１１に示すようなピン長さ検査治具によって、予
め、ピンの長さを検査してから、ピン間の絶縁を検査す
るようにしている。

【０００６】この検査治具は、バネ２２ａ〜２２ｄによ
って上方向に付勢された上下ピン（導電体）１６ａ〜１
６ｄを有している。さらに、上下ピン１６ａ〜１６ｄの
下部には、バネ（図示せず）によって上方向に付勢され
た接点１８ａ〜１８ｄ、２０ａ〜２０ｄが設けられてい
る。

【０００７】正常な長さのピン８ａの場合には、上下ピ
ン１６ａが十分に押し下げられて、接点１８ａ，２０ａ
が、上下ピン１６ａによって導通させられる。これに対
して、短いピン８ｂの場合には、上下ピン１６ｂが十分
押し下げられず、接点１８ｂ，２０ｂが導通しない。こ
れにより、ピン８ｂの不良を検出することができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の検査治具においては、次のような問題点が
あった。図１２に、上下ピン１６の上下と接点１８，２
０との関係を示す。ピン８が十分に短い場合には、図１
２Ａのような状態となって接点１８，２０が非導通とな
り、不良を検出することができる。また、ピン８が十分
な長さの場合には、図１２Ｄのような状態となって接点
１８，２０が導通となり、正常であると検出することが
できる。

【０００９】しかし、図１２Ｂのように、上下ピン１６
が保持体１７の底面１７ａと同じ高さまで押し下げられ
た場合には、接点１８，２０が導通したりしなかったり
するおそれがある。同様に、図１２Ｃのように、上下ピ
ン１６が保持体１７の底面１７ａからわずかに突出した
程度まで押し下げられた場合にも、接点１８，２０が導
通したりしなかったりするおそれがある。このため、図
１２Ｂ、図１２Ｃのような不安定な状態の部分では、正
常な検出を行えないおそれがあり、わずかに長さの異な
る不良ピンの場合にも、良品と判定されるおそれがあっ
た。したがって、ＰＧＡパッケージのように、ピン長さ
の許容値が０．２〜０．３ｍｍと小さいものの場合に
は、長さ不良を精度よく検出できないという問題があっ
た。

【００１０】この発明は上記のような問題点を解決し
て、ピンの長さ不良を確実に検出することのできる検査
治具を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１の検査治具は、
電気部品を載置するアダプター、電気部品をアダプター
に向けて押圧する押圧手段、を備えており、前記アダプ
ターが、複数の端子に対応して設けられた貫通穴を有す
る受支具保持部材、受支具保持部材の貫通穴に上下動可
能に挿入された受支具、受支具保持部材の下面を覆うよ
うに設けられた導電柔軟性部材、導電柔軟性部材の下に
設けられ、受支具保持部材の貫通穴に対応する貫通穴を
有するオンオフストローク調整部材、オンオフストロー
ク調整部材の下に設けられ、受支具保持部材の貫通穴に
対応する位置に接触導電部を有する基板部材を備えてい
ることを特徴としている。

【００１２】請求項３のアダプターは、複数の端子に対
応して設けられた貫通穴を有する受支具保持部材、受支
具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された受支具、
受支具保持部材の下面を覆うように設けられた導電柔軟
性部材、導電柔軟性部材の下に設けられ、受支具保持部
材の貫通穴に対応する貫通穴を有するオンオフストロー
ク調整部材、オンオフストローク調整部材の下に設けら
れ、受支具保持部材の貫通穴に対応する位置に接触導電
部を有するベース部材を備えたことを特徴としている。

【００１３】請求項４の検査治具は、電気部品の導電性
端子間を電気的に接続する接続手段、電気部品を載置す
るアダプター、電気部品をアダプターに向けて押圧する
押圧手段を備えており、前記アダプターが、複数の端子
に対応して設けられた貫通穴を有する受支具保持部材、
受支具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された導電
性受支具、受支具保持部材の下面を覆うように設けられ
た異方性導電性部材、異方性導電性部材の下に設けら
れ、受支具保持部材の貫通穴に対応する貫通穴を有する
オンオフストローク調整部材、オンオフストローク調整
部材の下に設けられ、受支具保持部材の貫通穴に対応す
る位置に接触導電部を有する基板部材を備えていること
を特徴としている。

【００１４】請求項７のアダプターは、複数の導電性端
子に対応して設けられた貫通穴を有する受支具保持部
材、受支具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された
導電性受支具、受支具保持部材の下面を覆うように設け
られた異方性導電性部材、異方性導電性部材の下に設け
られ、受支具保持部材の貫通穴に対応する貫通穴を有す
るオンオフストローク調整部材、オンオフストローク調
整部材の下に設けられ、受支具保持部材の貫通穴に対応
する位置に接触導電部を有するベース部材を備えたこと
を特徴としている。

【００１５】請求項９の検査治具は、電気部品の各導電
性端子に対応して設けられ、それぞれが各導電性端子に
電気的に接続される端子側導電部、電気部品を載置する
アダプター、電気部品をアダプターに向けて押圧する押
圧手段を備えており、前記アダプターが、複数の端子に
対応して設けられた貫通穴を有する受支具保持部材、受
支具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された導電性
受支具、受支具保持部材の下面を覆うように設けられた
異方性導電性部材、異方性導電性部材の下に設けられ、
受支具保持部材の貫通穴に対応する貫通穴を有するオン
オフストローク調整部材、オンオフストローク調整部材
の下に設けられ、受支具保持部材の貫通穴に対応する位
置に接触導電部を有する基板部材を備えていることを特
徴としている。

【００１６】請求項１２の検査治具は、電気部品を載置
するアダプター、電気部品をアダプターに向けて押圧す
る押圧手段を備えており、前記アダプターが、複数の端
子に対応して設けられた貫通穴を有する受支具保持部
材、受支具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された
導電性受支具、受支具保持部材の下面を覆うように設け
られた異方性導電性部材、異方性導電性部材の下に設け
られ、受支具保持部材の貫通穴に対応する貫通穴を有す
るオンオフストローク調整部材、オンオフストローク調
整部材の下に設けられ、受支具保持部材の貫通穴に対応
する位置に接触導電部を有する基板部材を備えているこ
とを特徴としている。

【００１７】請求項５、１０、１３の検査治具および請
求項８の検査治具用アダプターは、異方性導電部材と基
板部材との間に、受支具保持部材の貫通穴に対応する貫
通穴を有するオンオフストローク調整部材を設けたこと
を特徴としている。

【００１８】請求項２、６、１１、１４の検査治具は、
アダプターの下または電気回路の上に弾力部材を設けた
ことを特徴としている。

【００１９】

【作用】請求項１の検査治具および請求項３のアダプタ
ーは、導電柔軟性部材によって上下方向への弾力を得る
とともに、押圧によって導電柔軟性部材と接触導電部と
の間の導通を得るようにしている。したがって、受支具
によって導電性柔軟部材を押圧した際に、受支具の下面
によって導電柔軟性部材の上面が変形し、両者が十分に
電気的に接触する。

【００２０】請求項４、１２の検査治具および請求項７
のアダプターは、異方性導電性部材によって上下方向の
弾力を得るとともに、押圧によって導電性受支具と接触
導電部との間の導通を得るようにしている。したがっ
て、受支具によって導電性柔軟部材を押圧した際に、受
支具の下面によって導電柔軟性部材の上面が変形し、両
者が十分に電気的に接触する。

【００２１】請求項９の検査治具は、さらに、各導電性
端子に電気的に個々に接続される端子側導電部を備えて
いる。したがって、各導電性端子と接触導電部との間の
導通を個々に検査することができる。

【００２２】請求項５、１０、１３の検査治具および請
求項８の検査治具用アダプターは、異方性導電部材と基
板部材との間に、オンオフストローク調整部材を設けて
いる。したがって、この調整部材により検出精度を変え
ることができる。

【００２３】請求項２、６、１１、１４の検査治具は、
弾力部材を備えている。したがって、押圧手段による押
圧時に、アダプターの傾きやピン長さの差を吸収するこ
とができる。

【００２４】

【実施例】この発明の一実施例による検査治具３０を、
図２に示す。筐体３２の下部には剛性体であるベースブ
ロック３４が設けられている。ベースブロック３４の上
には、弾力部材であるスポンジ材３６が設けられてい
る。この実施例では、スポンジ材３６の厚みを、６ｍｍ
とした。このスポンジ材３６の上に、アダプター３８が
設けられている。このアダプター３８の上に、検査対象
としての電気部品であるＰＧＡパッケージ２が載置され
る。一方、筐体３２の上部には、押圧手段であるプレス
４２が設けられており、ＰＧＡパッケージ２をアダプタ
ー３８に向けて押圧する。

【００２５】図３に、アダプター３８の詳細を示す。受
支具保持部材５０には、ＰＧＡパッケージ２の端子（導
電性）であるピン８ａ〜８ｃに対応して、貫通穴５２ａ
〜５２ｃが設けられている。受支具保持部材５０の上下
方向長さは、５〜１０ｍｍ程度とした。また、貫通穴５
２ａ〜５２ｃは、直径１．６ｍｍ程度とした。貫通穴５
２ａ〜５２ｃの中には、セラミック等による受支具６２
ａ〜６２ｃが上下動可能に挿入されている。

【００２６】受支具保持部材５０の下面には、この貫通
穴５２ａ〜５２ｃを塞ぐように導電柔軟性部材である導
電性ゴム５４が設けられている。この導電性ゴム５４
は、弾力を有するとともに、導電性を有している。この
実施例では、導電性ゴム５４の厚さを０．２ｍｍとし
た。

【００２７】導電性ゴム５４の下には、オンオフストロ
ーク調整部材であるスペーサ５６が設けられている。ス
ペーサ５６は、プラスチック等の絶縁材料によって構成
されている。スペーサ５６には、貫通穴５２ａ〜５２ｃ
に対応して、貫通穴５６ａ〜５６ｃが設けられている。
この実施例では、スペーサ５６の厚さを０．２〜０．３
ｍｍとした。

【００２８】スペーサ５６の下には、基板部材５８が設
けられている。基板部材５８の上面には、貫通穴５２ａ
〜５２ｃに対応する位置に、接触導電部５８ａ〜５８ｃ
が設けられている。この接触導電部５８ａ〜５８ｃに
は、それぞれ、導電性スルーホール５９ａ〜５９ｃが接
続され、基板部材５８の裏面に引き出されている。基板
部材５８の裏面においては、導電パターンが形成され、
各接触導電部５８ａ〜５８ｃに対応するコード６０（図
２参照）に接続されている。また、前述の導電性ゴム５
４からも対応するコード６０が接続されている。

【００２９】検査を行う際には、ＰＧＡパッケージ２の
ピン８ａ〜８ｃを対応する貫通穴５２ａ〜５２ｃに挿入
して載置する。この際、ストロークを調整するための、
ストローク調整スペーサ５１を、受支具保持部材５０の
上に載置する。ストローク調整スペーサ５１には、貫通
穴５２ａ〜５２ｃに対応して、貫通穴５１ａ〜５１ｃが
設けられている。

【００３０】次に、プレス４２を下げて、ＰＧＡパッケ
ージ２を押し下げる。この時の状態を示したのが、図１
である。正常な長さのピン８ａ，８ｃにより、受支具６
２ａ，６２ｃが押し下げられる。これにより、受支具６
２ａ，６２ｃによって押し下げられた導電性ゴム５４の
下面が接触導電部５８ａ，５８ｃに接触する。一方、長
さ不良によって短いピン８ｂの場合には、受支具６２ｂ
が十分に押し下げられず、導電性ゴム５４の下面が接触
導電部５８ｂに接触しない。したがって、ケーブル６０
を介して接続された検査回路により、導電性ゴム５４と
接触導電部間との導通を検査することにより、非導通の
部分がピン長さの不良であると検出することができる。

【００３１】検出精度は、スペーサ５６の厚さによって
決定される。この実施例では、スペーサ５６を０．２〜
０．３ｍｍとしたので、０．２〜０．３ｍｍ程度の長さ
不良を検出することができる。また、このスペーサ５６
の厚さを変更することにより、容易に検出精度を変更す
ることができる。

【００３２】なお、正常の長さよりも長いピンがあった
場合には、当該長い不良ピンの周囲のピンについて、導
電性ゴム５４と接触導電部間が非導通となり、不良を検
出することができる。

【００３３】また、この実施例では、アダプター３８の
傾きやピン８ａ〜８ｃの長さの差を吸収するためアダプ
ター３８の下にスポンジ材３６を設けているが、ＰＧＡ
パッケージ２の上にスポンジ材３６を設けてもよい。さ
らに、傾きの問題が無ければ、スポンジ材３６を設けな
くともよい。

【００３４】上記の実施例では、電気部品としてＰＧＡ
パッケージを例として説明したが、ベース材からピン状
に突出した複数の導電性端子を有する電気部品であれ
ば、どのようなものにも適用できる。

【００３５】さらに、上記実施例では、ベース材からピ
ン状に突出した複数の導電性端子を有する電気部品につ
いて説明したが、ベース材からピン状に突出した複数の
絶縁性端子を有する電気部品についても同様に適用でき
る。

【００３６】ところで、上記実施例では、使用する導電
性ゴム５４の材質等により、押圧を繰り返す内に、導電
性ゴム５４に変形を生じる場合もある。つまり、図４の
αに示すように、受支具６２ｂによって押圧されていな
いにもかかわらず、接触導電部５８ｂと接触してしまう
場合がある。このような状態になると、ピン８ｂが長さ
不良によって短い場合であっても、これを検出すること
ができなくなる。したがって、導電性ゴム５４として
は、経年変化の少ないものを用いることが好ましい。ま
た、使用期間に応じて導電性ゴム５４を取り替えること
が好ましい。

【００３７】図５に、他の実施例による検査治具３１を
示す。筐体３２の下部には剛性体であるベースブロック
３４が設けられている。ベースブロック３４の上には、
弾力部材であるスポンジ材３６が設けられている。この
実施例では、スポンジ材３６の厚みを、６ｍｍとした。
このスポンジ材３６の上に、アダプター３９が設けられ
ている。このアダプター３９の上に、検査対象としての
電気部品である未完成ＰＧＡパッケージ３が載置され
る。一方、筐体３２の上部には、押圧手段であるプレス
４２が設けられており、ＰＧＡパッケージ３をアダプタ
ー３９に向けて押圧する。

【００３８】この実施例では、未完成状態のＰＧＡパッ
ケージ３を対象として検査を行うようにしている。未完
成のＰＧＡパッケージ３を図６に示す。図６Ａが平面図
であり、図６Ｂが線Ｂ−Ｂにおける断面図である。ＰＧ
Ａパッケージ２の周囲に結線部５が設けられている。図
６Ｂの断面に示すように、結線部５の中には結線導電部
７が設けられている。この結線導電部７は、各ピン８か
ら引き出された本体導電部９の全てと接続されている。
したがって、この結線部５がある状態では、全てのピン
８が電気的に接続された状態となっている。ＰＧＡパッ
ケージの製造工程においては、ピン８やボンディングパ
ッド６のメッキを行う際に、結線部５から電極を取るよ
うにしている。メッキ終了後、結線部５を分離線１１に
よって分離して、ＰＧＡパッケージ２を完成させてい
る。この実施例では、結線部５が分離されていない状
態、すなわち全ての電極８が電気的に接続されている状
態で、検査を行う。

【００３９】図７に、アダプター３９の詳細を示す。非
導電性の受支具保持部材５０には、ＰＧＡパッケージ３
の端子（導電性）であるピン８ａ〜８ｃに対応して、貫
通穴５２ａ〜５２ｃが設けられている。貫通穴５２ａ〜
５２ｃの中には、導電性の受支具６３ａ〜６３ｃが上下
動可能に挿入されている。

【００４０】受支具保持部材５０の下面には、この貫通
穴５２ａ〜５２ｃを塞ぐように異方性導電性部材である
異方性導電ゴム５５が設けられている。ここで、異方性
導電ゴム５５とは、所定の圧力が加えられた部分のみ、
表面と裏面とが電気的に導通するよう構成されたゴムで
ある。たとえば、日本合成ゴム株式会社の「ＰＣＲ（商
標）」等を用いることができる。

【００４１】異方性導電ゴム５５の下には、オンオフス
トローク調整部材であるスペーサ５６が設けられてい
る。スペーサ５６は、プラスチック等の絶縁材料によっ
て構成されている。スペーサ５６には、貫通穴５２ａ〜
５２ｃに対応して、貫通穴５６ａ〜５６ｃが設けられて
いる。

【００４２】スペーサ５６の下には、基板部材５８が設
けられている。基板部材５８の上面には、貫通穴５２ａ
〜５２ｃに対応する位置に、接触導電部５８ａ〜５８ｃ
が設けられている。この接触導電部５８ａ〜５８ｃに
は、それぞれ、導電性スルーホール５９ａ〜５９ｃが接
続され、基板部材５８の裏面に引き出されている。基板
部材５８の裏面においては、導電パターンが形成され、
各接触導電部５８ａ〜５８ｃに対応するコード６０（図
２参照）に接続されている。

【００４３】検査を行う際には、未完成ＰＧＡパッケー
ジ３のピン８ａ〜８ｃを対応する貫通穴５２ａ〜５２ｃ
に挿入して載置する。この際、ストロークを調整するた
めの、ストローク調整スペーサ５１を、受支具保持部材
５０の上に載置する。ストローク調整スペーサ５１に
は、貫通穴５２ａ〜５２ｃに対応して、貫通穴５１ａ〜
５１ｃが設けられている。

【００４４】次に、プレス４２を下げて、未完成ＰＧＡ
パッケージ３を押し下げる。この時の状態を示したの
が、図７である。正常な長さのピン８ａ，８ｃにより、
受支具６２ａ，６２ｃが押し下げられる。これにより、
受支具６２ａ，６２ｃによって押圧された異方性導電ゴ
ム５５の押圧部分が、上下面で導通するとともに、異方
性導電ゴム５５の下面が接触導電部５８ａ，５８ｃに接
触する。つまり、正常な長さのピンピン８ａ，８ｃは、
導電性受支具６３ａ，６３ｃ、異方性導電ゴム５５を介
して、対応する接触導電部５８ａ，５８ｃに、電気的に
接続される。また、前述のように、未完成ＰＧＡパッケ
ージ３のピン８は互いに電気的に接続されている。した
がって、したがって、ケーブル６０を介して接続された
検査回路により、各接触導電部間の導通が得られれば、
ピン長さは正常であると判断できる。

【００４５】一方、長さ不良によって短いピン８ｂの場
合には、受支具６２ｂが押し下げられず、異方性導電ゴ
ム５５が上下面で導通せず、異方性導電ゴム５５の下面
が接触導電部５８ｂに接触しない。したがって、ケーブ
ル６０を介して接続された検査回路により、各接触導電
部間の導通が得られなければ、当該ピンの長さは不良で
あると判断できる。

【００４６】なお、正常の長さよりも長いピンがあった
場合には、当該長い不良ピンの周囲のピンについて、各
接触導電部間が非導通となり、不良を検出することがで
きる。

【００４７】なお、この実施例では、図４のαに示すよ
うな異方性導電ゴム５５の経年変化が生じても、異方性
導電ゴム５５に所定の圧力が加わらなければ、上下面が
導通しない。あるいは、ピン８ｂが導電性受支具６３ｂ
に接触しない。したがって、異方性導電ゴム５５に経年
変化による歪が生じても、正確に不良ピンを検出するこ
とができる。

【００４８】なお、上記実施例ではスペーサ５６を設け
ているが、これを取り除いて実施してもよい。この場合
には、異方性導電ゴム５５が導通するしきい値圧力によ
って検出精度が決定される。

【００４９】上記実施例では、ピン８が互いに接続され
た未完成ＰＧＡパッケージ３を検査対象とした。ピン８
が互いに接続されていないＰＧＡパッケージ２に対し
て、アダプター３９を用いて同様の検査を行う場合に
は、図８に示すようにするとよい。つまり、アダプター
３９の上面中央部に接続手段である導電ゴム４１を設
け、これによって、各ピン８を互いに接続するようにし
てもよい。図８では、接続手段として導電ゴム４１を用
いているが、バネ付勢されたプローブ等、各ピン８を電
気的に接続できるものであればどのようなものでもよ
い。

【００５０】他の実施例を図９に示す。この実施例で
は、ピン８ａ，８ｂ・・・と接続されたボンディングパ
ッド９０ａ，９０ｂ・・・に、それぞれ個別に接触する
プローブ９２ａ，９２ｂ・・・を設けている。プローブ
９２ａ，９２ｂ・・・は、プローブ保持体９４にバネ付
勢されて保持されている。したがって、プローブ保持体
９４をＰＧＡパッケージ２に押圧することにより、各プ
ローブ９２ａ，９２ｂ・・・は、それぞれ、ボンディン
グパッド９０ａ，９０ｂ・・・に確実に接続される。

【００５１】プローブ保持体９４からは、各プローブ９
２ａ，９２ｂ・・・に、それぞれ接続されたプローブラ
インが引き出され、制御回路（図示せず）に与えられて
いる。また、制御回路には、各接触導電部５８ａ，５８
ｂ・・・に、それぞれ接続されたケーブルが与えられて
いる。制御回路は、まず、全てのプローブラインを互い
に導通させ、図５の実施例と同じようにして、ピン８の
長さを検査する。その結果、不良が無ければ、制御回路
は各プローブラインを互いに独立状態にする。この状態
で、各プローブ９２ａ，９２ｂ・・・と、対応する各接
触導電部５８ａ，５８ｂ・・・との導通を検出すること
により、ピン８ａ，８ｂ・・・の導通・絶縁検査を行
う。このように、図９の実施例によれば、ピン８ａ，８
ｂ・・・の長さ検査と、導通・絶縁検査を、一つの治具
で行うことができる。なお、この実施例においても、ス
ペーサ５６なしで実施することが可能である。

【００５２】上記各実施例においては、異方性導電ゴム
として、感圧性の異方性導電ゴムを用いているが、圧力
を加えなくとも導通しているような異方性導電ゴム（た
とえば、信越ポリマー(株)製の「シンエツ・インターコ
ネクター」）を用いてもよい。

【００５３】

【発明の効果】請求項１の検査治具および請求項３のア
ダプターは、導電柔軟性部材によって上下方向への弾力
を得るとともに、押圧によって導電柔軟性部材と接触導
電部との間の導通を得るようにしている。したがって、
受支具によって導電性柔軟部材を押圧した際に、受支具
の下面によって導電柔軟性部材の上面が変形し、両者が
十分に電気的に接触する。

【００５４】請求項４、１２の検査治具および請求項７
のアダプターは、異方性導電性部材によって上下方向の
弾力を得るとともに、押圧によって導電性受支具と接触
導電部との間の導通を得るようにしている。したがっ
て、受支具によって導電性柔軟部材を押圧した際に、受
支具の下面によって導電柔軟性部材の上面が変形し、両
者が十分に電気的に接触する。

【００５５】請求項９の検査治具は、さらに、各導電性
端子に電気的に個々に接続される端子側導電部を備えて
いる。したがって、各導電性端子と接触導電部との間の
導通を個々に検査することができる。

【００５６】請求項５、１０、１３の検査治具および請
求項８の検査治具用アダプターは、異方性導電部材と基
板部材との間に、オンオフストローク調整部材を設けて
いる。したがって、この調整部材により検出精度を変え
ることができる。

【００５７】請求項２、６、１１、１４の検査治具は、
弾力部材を備えている。したがって、押圧手段による押
圧時に、アダプターの傾きやピン長さの差を吸収するこ
とができる。

【００５８】すなわち、この発明によれば、正確に導電
性端子の長さ不良を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例による検査治具のアダプタ
ー近傍の、押圧時における断面図である。

【図２】この発明の一実施例による検査治具の外観を示
す図である。

【図３】この発明の一実施例による検査治具のアダプタ
ー近傍の、非押圧時における断面図である。

【図４】図１の実施例による検査治具の経年変化を示す
図である。

【図５】他の実施例による検査治具の外観を示す図であ
る。

【図６】未完成ＰＧＡパッケージ３を示す図である。

【図７】図５の実施例による検査治具のアダプター近傍
の、押圧時における断面図である。

【図８】他の実施例による検査治具を示す図である。

【図９】さらに他の実施例による検査治具を示す図であ
る。

【図１０】絶縁検査治具を示す図である。

【図１１】従来の長さ検査治具を示す図である。

【図１２】従来の長さ検査治具の接点近傍を示す断面図
である。

【図１３】ＰＧＡパッケージを示す図である。

【符号の説明】

５０・・・受支具保持部材 ５４・・・導電性ゴム ５６・・・スペーサ ５８・・・基板部材

【手続補正書】

【提出日】平成６年４月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４４】次に、プレス４２を下げて、未完成ＰＧＡ
パッケージ３を押し下げる。この時の状態を示したの
が、図７である。正常な長さのピン８ａ，８ｃにより、
導電性受支具６３ａ，６３ｃが押し下げられる。これに
より、導電性受支具６３ａ，６３ｃによって押圧された
異方性導電ゴム５５の押圧部分が、上下面で導通すると
ともに、異方性導電ゴム５５の下面が接触導電部５８
ａ，５８ｃに接触する。つまり、正常な長さのピンピン
８ａ，８ｃは、導電性受支具６３ａ，６３ｃ、異方性導
電ゴム５５を介して、対応する接触導電部５８ａ，５８
ｃに、電気的に接続される。また、前述のように、未完
成ＰＧＡパッケージ３のピン８は互いに電気的に接続さ
れている。したがって、したがって、ケーブル６０を介
して接続された検査回路により、各接触導電部間の導通
が得られれば、ピン長さは正常であると判断できる。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４５】一方、長さ不良によって短いピン８ｂの場
合には、導電性受支具６３ｂが押し下げられず、異方性
導電ゴム５５が上下面で導通せず、異方性導電ゴム５５
の下面が接触導電部５８ｂに接触しない。したがって、
ケーブル６０を介して接続された検査回路により、各接
触導電部間の導通が得られなければ、当該ピンの長さは
不良であると判断できる。

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ベース材からピン状に突出した複数の端子
   を有する電気部品の検査を行うための検査治具であっ
   て、 電気部品を載置するアダプター、 電気部品をアダプターに向けて押圧する押圧手段、 を備えており、 前記アダプターが、 複数の端子に対応して設けられた貫通穴を有する受支具
   保持部材、 受支具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された受支
   具、 受支具保持部材の下面を覆うように設けられた導電柔軟
   性部材、 導電柔軟性部材の下に設けられ、受支具保持部材の貫通
   穴に対応する貫通穴を有するオンオフストローク調整部
   材、 オンオフストローク調整部材の下に設けられ、受支具保
   持部材の貫通穴に対応する位置に接触導電部を有する基
   板部材、 を備えていることを特徴とする検査治具。
2. 【請求項２】請求項１の検査治具において、 アダプターの下または電気回路の上に弾力部材を設けた
   ことを特徴とするもの。
3. 【請求項３】ベース材からピン状に突出した複数の端子
   を有する電気部品の検査を行うための検査治具に用いる
   アダプターであって、 複数の端子に対応して設けられた貫通穴を有する受支具
   保持部材、 受支具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された受支
   具、 受支具保持部材の下面を覆うように設けられた導電柔軟
   性部材、 導電柔軟性部材の下に設けられ、受支具保持部材の貫通
   穴に対応する貫通穴を有するオンオフストローク調整部
   材、 オンオフストローク調整部材の下に設けられ、受支具保
   持部材の貫通穴に対応する位置に接触導電部を有するベ
   ース部材、 を備えたことを特徴とする検査治具用アダプター。
4. 【請求項４】ベース材からピン状に突出した複数の導電
   性端子を有する電気部品の検査を行うための検査治具で
   あって、 電気部品の導電性端子間を電気的に接続する接続手段、 電気部品を載置するアダプター、 電気部品をアダプターに向けて押圧する押圧手段、 を備えており、 前記アダプターが、 複数の端子に対応して設けられた貫通穴を有する受支具
   保持部材、 受支具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された導電
   性受支具、 受支具保持部材の下面を覆うように設けられた異方性導
   電性部材、 異方性導電性部材の下に設けられ、受支具保持部材の貫
   通穴に対応する位置に接触導電部を有する基板部材、 を備えていることを特徴とする検査治具。
5. 【請求項５】請求項４の検査治具において、 異方性導電部材と基板部材との間に、受支具保持部材の
   貫通穴に対応する貫通穴を有するオンオフストローク調
   整部材を設けたことを特徴とするもの。
6. 【請求項６】請求項４または５の検査治具において、 アダプターの下または電気回路の上に弾力部材を設けた
   ことを特徴とするもの。
7. 【請求項７】ベース材からピン状に突出した複数の導電
   性端子を有する電気部品の検査を行うための検査治具に
   用いるアダプターであって、 複数の導電性端子に対応して設けられた貫通穴を有する
   受支具保持部材、 受支具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された導電
   性受支具、 受支具保持部材の下面を覆うように設けられた異方性導
   電性部材、 異方性導電性部材の下に設けられ、受支具保持部材の貫
   通穴に対応する位置に接触導電部を有するベース部材、 を備えたことを特徴とする検査治具用アダプター。
8. 【請求項８】請求項７の検査治具用アダプターにおい
   て、 異方性導電部材と基板部材との間に、受支具保持部材の
   貫通穴に対応する貫通穴を有するオンオフストローク調
   整部材を設けたことを特徴とするもの。
9. 【請求項９】ベース材からピン状に突出した複数の導電
   性端子を有する電気部品の検査を行うための検査治具で
   あって、 電気部品の各導電性端子に対応して設けられ、それぞれ
   が各導電性端子に電気的に接続される端子側導電部、 電気部品を載置するアダプター、 電気部品をアダプターに向けて押圧する押圧手段、 を備えており、 前記アダプターが、 複数の端子に対応して設けられた貫通穴を有する受支具
   保持部材、 受支具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された導電
   性受支具、 受支具保持部材の下面を覆うように設けられた異方性導
   電性部材、 異方性導電性部材の下に設けられ、受支具保持部材の貫
   通穴に対応する位置に接触導電部を有する基板部材、 を備えていることを特徴とする検査治具。
10. 【請求項１０】請求項９の検査治具において、 異方性導電部材と基板部材との間に、受支具保持部材の
    貫通穴に対応する貫通穴を有するオンオフストローク調
    整部材を設けたことを特徴とするもの。
11. 【請求項１１】請求項９または１０の検査治具におい
    て、 アダプターの下または電気回路の上に弾力部材を設けた
    ことを特徴とするもの。
12. 【請求項１２】ベース材からピン状に突出し、互いに電
    気的に接続された複数の導電性端子を有する電気部品の
    検査を行うための検査治具であって、 電気部品を載置するアダプター、 電気部品をアダプターに向けて押圧する押圧手段、 を備えており、 前記アダプターが、 複数の端子に対応して設けられた貫通穴を有する受支具
    保持部材、 受支具保持部材の貫通穴に上下動可能に挿入された導電
    性受支具、 受支具保持部材の下面を覆うように設けられた異方性導
    電性部材、 異方性導電性部材の下に設けられ、受支具保持部材の貫
    通穴に対応する位置に接触導電部を有する基板部材、 を備えていることを特徴とする検査治具。
13. 【請求項１３】請求項１２の検査治具において、 異方性導電部材と基板部材との間に、受支具保持部材の
    貫通穴に対応する貫通穴を有するオンオフストローク調
    整部材を設けたことを特徴とするもの。
14. 【請求項１４】請求項１２または１３の検査治具におい
    て、 アダプターの下または電気回路の上に弾力部材を設けた
    ことを特徴とするもの。