JPH07302570A - 光学測定機における被測定物の位置決め方法および装置 - Google Patents
光学測定機における被測定物の位置決め方法および装置Info
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- JPH07302570A JPH07302570A JP11740194A JP11740194A JPH07302570A JP H07302570 A JPH07302570 A JP H07302570A JP 11740194 A JP11740194 A JP 11740194A JP 11740194 A JP11740194 A JP 11740194A JP H07302570 A JPH07302570 A JP H07302570A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 超精密部品の光学測定において被測定物の上
向きに置かれる被測定面を正確に位置決めし且つ光学軸
に対して正確に垂直に設置し得るようにした。 【構成】 垂直な設定面2に被測定物の一側面を密着し
た上、ストッパ−3、4で左右の位置決めを行い、次い
で上方より押動部材5を下降して被測定物の上面に当接
し、光学軸に沿った位置決めを行うと同時に被測定物の
上面を光学軸に垂直にする。
向きに置かれる被測定面を正確に位置決めし且つ光学軸
に対して正確に垂直に設置し得るようにした。 【構成】 垂直な設定面2に被測定物の一側面を密着し
た上、ストッパ−3、4で左右の位置決めを行い、次い
で上方より押動部材5を下降して被測定物の上面に当接
し、光学軸に沿った位置決めを行うと同時に被測定物の
上面を光学軸に垂直にする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバ−の光コネク
タ−のフェル−ル等の概して直方体状の超精密部品など
の被測定物(以下、単にワ−クと称する)を光学測定
機、例えば光学式顕微鏡と電子カメラの組合せによる測
定機にて測定するため、ワ−クを光学測定機の予定位置
に正確に位置決めするための方法および装置に関する。
タ−のフェル−ル等の概して直方体状の超精密部品など
の被測定物(以下、単にワ−クと称する)を光学測定
機、例えば光学式顕微鏡と電子カメラの組合せによる測
定機にて測定するため、ワ−クを光学測定機の予定位置
に正確に位置決めするための方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】直方体状のワ−クを顕微鏡で測定するた
め、その光学測定機には顕微鏡の下において光学軸に平
行に設定面が設けられ、該設定面にワ−クの1側面を接
触させ且つ該設定面に真空吸引することによって、該側
面に直角な上向きの面である被測定面を光学軸に垂直に
設置し、測定が行われた。例えば光コネクタ−のフェル
−ルの場合、そこに形成された複数の微小な貫通孔に関
しそれらの孔の間隔、孔径及び孔の形状などが0.1ミ
クロンのオ−ダ−で測定される。
め、その光学測定機には顕微鏡の下において光学軸に平
行に設定面が設けられ、該設定面にワ−クの1側面を接
触させ且つ該設定面に真空吸引することによって、該側
面に直角な上向きの面である被測定面を光学軸に垂直に
設置し、測定が行われた。例えば光コネクタ−のフェル
−ルの場合、そこに形成された複数の微小な貫通孔に関
しそれらの孔の間隔、孔径及び孔の形状などが0.1ミ
クロンのオ−ダ−で測定される。
【0003】従来技術ではワ−クは手作業により光学測
定機の設定面にセットされ、又は適当数のワ−クが、例
えば25個のワ−クが5列5行に治具又はマガジン内に
配置され、そのような治具を光学測定機の顕微鏡の下に
可調整にセットした上、該治具を移動してその内のワ−
クを順次に光学軸の真下にセットすることによって測定
が行なわれた。
定機の設定面にセットされ、又は適当数のワ−クが、例
えば25個のワ−クが5列5行に治具又はマガジン内に
配置され、そのような治具を光学測定機の顕微鏡の下に
可調整にセットした上、該治具を移動してその内のワ−
クを順次に光学軸の真下にセットすることによって測定
が行なわれた。
【0004】上記の治具では各ワ−クはその1側面が該
治具の各列又は各行の垂直面に密着するように真空によ
り吸引されており、測定の直前に、例えば光コネクタ−
のフェル−ルでは図9及び図10に示すように下部に段
部w0が形成されているので手作業によりワ−クを若干
上方に移動してその段部上面を治具の溝bの段部下面c
に衝合することによりワ−ク上面の位置決めが行なわれ
た。又は手作業によりワ−クの下面を光学軸に垂直な水
平面上に置き又は予定位置に合わせることによってワ−
クの被測定面たる上面の位置決めが行なわれたため、以
下に記載するような問題点があった。
治具の各列又は各行の垂直面に密着するように真空によ
り吸引されており、測定の直前に、例えば光コネクタ−
のフェル−ルでは図9及び図10に示すように下部に段
部w0が形成されているので手作業によりワ−クを若干
上方に移動してその段部上面を治具の溝bの段部下面c
に衝合することによりワ−ク上面の位置決めが行なわれ
た。又は手作業によりワ−クの下面を光学軸に垂直な水
平面上に置き又は予定位置に合わせることによってワ−
クの被測定面たる上面の位置決めが行なわれたため、以
下に記載するような問題点があった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】とくに超精密部品の光
学測定ではワ−クの被測定面たる上面は顕微鏡の光学軸
に垂直に且つ顕微鏡のレンズから常に一定位置にセット
されねばならない。しかしながら、ワ−クには寸法公差
内でのばらつきがあり、そのためワ−クの下面又は段部
を基準にセットすると、ワ−クの下面又は段部から上面
までの寸法上のばらつきにより上面位置の誤差を生じ
る。
学測定ではワ−クの被測定面たる上面は顕微鏡の光学軸
に垂直に且つ顕微鏡のレンズから常に一定位置にセット
されねばならない。しかしながら、ワ−クには寸法公差
内でのばらつきがあり、そのためワ−クの下面又は段部
を基準にセットすると、ワ−クの下面又は段部から上面
までの寸法上のばらつきにより上面位置の誤差を生じ
る。
【0006】また、直方体のワ−クの上面と下面が正確
に平行であるとは限らず、平行度の点でも僅かな誤差は
付随し、従ってワ−クの被測定面が光学軸に正確に垂直
に配置されるとは限らない。そのため顕微鏡で拡大され
る被測定面の位置はコンピュ−タ制御により画像拡大さ
れて0.1ミクロンオ−ダ−で測定され得るが、被測定
面の位置及び光学軸に対する垂直度、即ち水平度におけ
る僅かな誤差から、正確な測定を不可能もしくは困難に
しているという問題点があった。
に平行であるとは限らず、平行度の点でも僅かな誤差は
付随し、従ってワ−クの被測定面が光学軸に正確に垂直
に配置されるとは限らない。そのため顕微鏡で拡大され
る被測定面の位置はコンピュ−タ制御により画像拡大さ
れて0.1ミクロンオ−ダ−で測定され得るが、被測定
面の位置及び光学軸に対する垂直度、即ち水平度におけ
る僅かな誤差から、正確な測定を不可能もしくは困難に
しているという問題点があった。
【0007】本発明の目的は上記従来技術の問題点を解
決することであって、それ故、被測定物の上向きに置か
れる被測定面を正確に位置決めし且つ光学軸に対し正確
に垂直に配置することができる光学測定機における被測
定物の位置決め方法および装置を提供することである。
決することであって、それ故、被測定物の上向きに置か
れる被測定面を正確に位置決めし且つ光学軸に対し正確
に垂直に配置することができる光学測定機における被測
定物の位置決め方法および装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明による光学測定機
における被測定物の位置決め方法では、顕微鏡の下に在
って光学軸a平行に設けられた設定面2にワ−クwをそ
の一側面が該設定面に接触するように備え且つその位置
に保持し、設定面に備えられた一方が可動の一対のスト
ッパ−3、4によりワ−クを挾むことによって設定面に
おいて横方向の位置決めを行い、次いでワ−クに当接す
るようになっている下面の部分が光学軸に垂直な平面に
なっている押動部材5をワ−クの被測定面たる上面に当
接して該上面を予定位置に押下げ且つ同時に該上面を光
学軸に垂直にすることを特徴としている。
における被測定物の位置決め方法では、顕微鏡の下に在
って光学軸a平行に設けられた設定面2にワ−クwをそ
の一側面が該設定面に接触するように備え且つその位置
に保持し、設定面に備えられた一方が可動の一対のスト
ッパ−3、4によりワ−クを挾むことによって設定面に
おいて横方向の位置決めを行い、次いでワ−クに当接す
るようになっている下面の部分が光学軸に垂直な平面に
なっている押動部材5をワ−クの被測定面たる上面に当
接して該上面を予定位置に押下げ且つ同時に該上面を光
学軸に垂直にすることを特徴としている。
【0009】設定面におけるワ−クの保持は好ましくは
先端にコイルばねが備えられ且つ該先端で真空によりワ
−クを吸着する搬送部材22によって行なわれる。ま
た、好ましい形態では、光学軸は鉛直に設けられて、ス
トッパ−の挾持によりワ−クは水平方向に位置決めさ
れ、ワ−クの上面は該押動部材による押し下げによって
予定位置に水平に位置決めされる。
先端にコイルばねが備えられ且つ該先端で真空によりワ
−クを吸着する搬送部材22によって行なわれる。ま
た、好ましい形態では、光学軸は鉛直に設けられて、ス
トッパ−の挾持によりワ−クは水平方向に位置決めさ
れ、ワ−クの上面は該押動部材による押し下げによって
予定位置に水平に位置決めされる。
【0010】また本発明による被測定物の位置決め装置
の特徴は、顕微鏡の光学軸に平行に設けられ且つワ−ク
の一側面が接触する設定面2と、ワ−クを真空で吸引し
て設定面に搬送し且つコイルばね22aを介してワ−ク
を設定面に押し付けて保持する搬送部材22と、設定面
に固定された第1のストッパ−3と、設定面に在って第
1のストッパ−との間でワ−クを挾む可動の第2のスト
ッパ−4と、第1のストッパ−と第2のストッパ−との
間に挾まれて位置決めされたワ−クの上面に当接して該
上面を予定位置に押し下げる押動部材5を含み、ワ−ク
に当接する押動部材の下面は光学軸に垂直な平面になっ
ており、設定面にはワ−クを真空で吸引する孔6が設け
られていることである。
の特徴は、顕微鏡の光学軸に平行に設けられ且つワ−ク
の一側面が接触する設定面2と、ワ−クを真空で吸引し
て設定面に搬送し且つコイルばね22aを介してワ−ク
を設定面に押し付けて保持する搬送部材22と、設定面
に固定された第1のストッパ−3と、設定面に在って第
1のストッパ−との間でワ−クを挾む可動の第2のスト
ッパ−4と、第1のストッパ−と第2のストッパ−との
間に挾まれて位置決めされたワ−クの上面に当接して該
上面を予定位置に押し下げる押動部材5を含み、ワ−ク
に当接する押動部材の下面は光学軸に垂直な平面になっ
ており、設定面にはワ−クを真空で吸引する孔6が設け
られていることである。
【0011】好ましい形態では、第1のストッパ−は一
対のピンからなり且つ第2のストッパ−は単一のピンか
らなり、一対のピンを結ぶ線は光学軸に平行になってい
る。また、第2のストッパ−を弾力で第1のストッパ−
に近づけるため第2のストッパ−に接続されたコイルば
ね10を含み、ワ−クをコイルバネの弾力でストッパ−
間に挾むようになっている。
対のピンからなり且つ第2のストッパ−は単一のピンか
らなり、一対のピンを結ぶ線は光学軸に平行になってい
る。また、第2のストッパ−を弾力で第1のストッパ−
に近づけるため第2のストッパ−に接続されたコイルば
ね10を含み、ワ−クをコイルバネの弾力でストッパ−
間に挾むようになっている。
【0012】
【作用】この位置決め方法では、顕微鏡の下に在る設定
面2に垂直な方向をX方向とすれば、ワ−クを設定面に
当接することによってX方向の位置決めが行なわれ、次
いでワ−クをストッパ−3、4で挾むことによって光学
軸及びX方向に垂直なY方向の位置決めが行なわれる。
そして、押動部材5をワ−ク上に下降してワ−クを押し
下げることにより光学軸方向たるZ方向の位置決め及び
ワ−クの被測定面がZ方向に垂直に位置決めされる。光
学軸を鉛直に設定すればワ−クの被測定面は水平に位置
づけられる。
面2に垂直な方向をX方向とすれば、ワ−クを設定面に
当接することによってX方向の位置決めが行なわれ、次
いでワ−クをストッパ−3、4で挾むことによって光学
軸及びX方向に垂直なY方向の位置決めが行なわれる。
そして、押動部材5をワ−ク上に下降してワ−クを押し
下げることにより光学軸方向たるZ方向の位置決め及び
ワ−クの被測定面がZ方向に垂直に位置決めされる。光
学軸を鉛直に設定すればワ−クの被測定面は水平に位置
づけられる。
【0013】本発明による位置決め装置では、搬送部材
22によってワ−クを設定面2に接触させ且つその先端
のコイルばねで押して保持し、その状態で第2のストッ
パ−4を移動して第1のストッパ−3と第2のストッパ
−4の間でワ−クを挾んで横方向(上記Y方向)の位置
決めを行う。次いで第2のストッパ−を移動してワ−ク
から離し、且つ押動部材5をワ−クの上に下降し、ワ−
クを若干押し下げることによって光学軸方向(Z方向)
の位置決めを行い、同時にワ−クの被測定面たる上面を
Z方向に垂直にする。このように位置決めすると、設定
面の真空孔6によりワ−クを吸着し、押動部材は上昇し
て元の位置に戻り、且つ搬送部材も後退する。
22によってワ−クを設定面2に接触させ且つその先端
のコイルばねで押して保持し、その状態で第2のストッ
パ−4を移動して第1のストッパ−3と第2のストッパ
−4の間でワ−クを挾んで横方向(上記Y方向)の位置
決めを行う。次いで第2のストッパ−を移動してワ−ク
から離し、且つ押動部材5をワ−クの上に下降し、ワ−
クを若干押し下げることによって光学軸方向(Z方向)
の位置決めを行い、同時にワ−クの被測定面たる上面を
Z方向に垂直にする。このように位置決めすると、設定
面の真空孔6によりワ−クを吸着し、押動部材は上昇し
て元の位置に戻り、且つ搬送部材も後退する。
【0014】この場合、第1のストッパ−を一対のピン
で構成し且つ第2のストッパ−を単一のピンで構成すれ
ば構成が単純化され、作動上好ましいものになる。また
第2のストッパ−にコイルばね10を接続して該ばねの
弾力でワ−クを挾むようにすれば、ワ−クに無理な力が
作用せず、常に適度な力で挾むことができる。
で構成し且つ第2のストッパ−を単一のピンで構成すれ
ば構成が単純化され、作動上好ましいものになる。また
第2のストッパ−にコイルばね10を接続して該ばねの
弾力でワ−クを挾むようにすれば、ワ−クに無理な力が
作用せず、常に適度な力で挾むことができる。
【0015】
【実施例】次に図面を参照のもとに本発明の実施例に関
し説明する。図1は本発明による被測定物の位置決め装
置が組み込まれた光学測定機の要部を示すものであっ
て、図中、1は光学測定機の顕微鏡であり、該顕微鏡の
下にその光学軸aに平行に設定面2が設置される。図5
及び図6に示すように、設定面2に一側面が接触するよ
うにワ−クwが該設定面の所定位置に備えられ、ワ−ク
の測定されるべき面、即ち被測定面が上向きに、該面が
光学軸aに垂直になるようにセットされる。
し説明する。図1は本発明による被測定物の位置決め装
置が組み込まれた光学測定機の要部を示すものであっ
て、図中、1は光学測定機の顕微鏡であり、該顕微鏡の
下にその光学軸aに平行に設定面2が設置される。図5
及び図6に示すように、設定面2に一側面が接触するよ
うにワ−クwが該設定面の所定位置に備えられ、ワ−ク
の測定されるべき面、即ち被測定面が上向きに、該面が
光学軸aに垂直になるようにセットされる。
【0016】この設定面2には図示の例では一対の固定
ピン3、3からなる第1のストッパ−3と、該第1のス
トッパ−に対し進退するように可動に備えられた第2の
ストッパ−4が配置され、図示の例では第2のストッパ
−は単一のピンで構成されている。さらに、設定面2に
保持されたワ−クの上面に当接してワ−クを若干押し下
げる押動部材5が備えられ、および設定面2において位
置決めされたワ−クを吸着する真空吸引用の孔6が形成
されている。
ピン3、3からなる第1のストッパ−3と、該第1のス
トッパ−に対し進退するように可動に備えられた第2の
ストッパ−4が配置され、図示の例では第2のストッパ
−は単一のピンで構成されている。さらに、設定面2に
保持されたワ−クの上面に当接してワ−クを若干押し下
げる押動部材5が備えられ、および設定面2において位
置決めされたワ−クを吸着する真空吸引用の孔6が形成
されている。
【0017】本発明によるワ−クの位置決め方法は適当
なワ−ク搬送部材により光学測定機の設定面2における
第1のストッパ−3と第2のストッパ−4の間に備えら
れたワ−クに対しそれらのストッパ−で挾んで、設定面
に平行且つ光学軸aに垂直方向の位置決めを行い、次い
で押動部材5を作動してワ−クwの上面に当接し、該上
面を予定位置に押し下げると同時にワ−クの被測定面た
る上面を光学軸aに垂直に位置決めすることを特徴とし
ている。従って、ワ−クに当接する押動部材5の少なく
も下面の部分は光学軸に垂直な平面になっている。
なワ−ク搬送部材により光学測定機の設定面2における
第1のストッパ−3と第2のストッパ−4の間に備えら
れたワ−クに対しそれらのストッパ−で挾んで、設定面
に平行且つ光学軸aに垂直方向の位置決めを行い、次い
で押動部材5を作動してワ−クwの上面に当接し、該上
面を予定位置に押し下げると同時にワ−クの被測定面た
る上面を光学軸aに垂直に位置決めすることを特徴とし
ている。従って、ワ−クに当接する押動部材5の少なく
も下面の部分は光学軸に垂直な平面になっている。
【0018】図1及び図2は上記位置決め方法の実施に
好適に用いられる装置を例示するものであって、図2は
各部材の作動機構を示す。第2のストッパ−を構成する
単一のピン4は設定面2に形成された横方向又は水平方
向に延びる長孔7(図1)を貫通して第1のストッパ−
3に対し進退するようになっており、該ピン4は設定面
2の裏側に可動に備えられたスライダ−8に固定され
る。このスライダ−は図には省略されているが、その両
側に取付けられたロ−ラ又はベアリングがその位置に在
るレ−ル又はガイドに係合することによって設定面2に
平行に移動するようになっている。
好適に用いられる装置を例示するものであって、図2は
各部材の作動機構を示す。第2のストッパ−を構成する
単一のピン4は設定面2に形成された横方向又は水平方
向に延びる長孔7(図1)を貫通して第1のストッパ−
3に対し進退するようになっており、該ピン4は設定面
2の裏側に可動に備えられたスライダ−8に固定され
る。このスライダ−は図には省略されているが、その両
側に取付けられたロ−ラ又はベアリングがその位置に在
るレ−ル又はガイドに係合することによって設定面2に
平行に移動するようになっている。
【0019】スライダ−8を第1のストッパ−3から離
れる方向に移動するためエアシリンダ9が設置され、該
エアシリンダの機動軸先端がスライダ−8に衝合する。
スライダ−8にはコイルばね10が連結され、このばね
によりスライダ−8に対し第1のストッパ−3に近づく
方向の弾力が負荷される。なお、第1および第2のスト
ッパ−3、4はピン以外の部品、例えば板片などで構成
してもよいことは云うまでもない。
れる方向に移動するためエアシリンダ9が設置され、該
エアシリンダの機動軸先端がスライダ−8に衝合する。
スライダ−8にはコイルばね10が連結され、このばね
によりスライダ−8に対し第1のストッパ−3に近づく
方向の弾力が負荷される。なお、第1および第2のスト
ッパ−3、4はピン以外の部品、例えば板片などで構成
してもよいことは云うまでもない。
【0020】押動部材5に関連して、図2および図3に
示すように、ベ−ス11の上に可動に配置された架台1
2と、該架台を設定面2に平行に移動するエアシリンダ
13及び架台12の移動を案内する複数のガイドロ−ラ
14を含む。エアシリンダ13はブラケット15により
架台12に連結され、該エアシリンダの作動により架台
12と共に押動部材5を横方向に移動するようになって
いる。
示すように、ベ−ス11の上に可動に配置された架台1
2と、該架台を設定面2に平行に移動するエアシリンダ
13及び架台12の移動を案内する複数のガイドロ−ラ
14を含む。エアシリンダ13はブラケット15により
架台12に連結され、該エアシリンダの作動により架台
12と共に押動部材5を横方向に移動するようになって
いる。
【0021】押動部材5は上下可動のブロック16に固
定され、該ブロックは架台12の上に支持される。17
a、17bはブロック16の上下移動を案内するボ−ル
スライドである。押動部材5を上下に移動するため架台
12にエアシリンダ18と、該エアシリンダの機動軸先
端に連結されたカム19及びカムフォロアとしてのロ−
ラ20が設置され、該ロ−ラの軸がブロック16に連結
される。
定され、該ブロックは架台12の上に支持される。17
a、17bはブロック16の上下移動を案内するボ−ル
スライドである。押動部材5を上下に移動するため架台
12にエアシリンダ18と、該エアシリンダの機動軸先
端に連結されたカム19及びカムフォロアとしてのロ−
ラ20が設置され、該ロ−ラの軸がブロック16に連結
される。
【0022】図4に示すように、カム19は傾斜した長
孔として形成され、該長孔内にロ−ラ20が可動に嵌合
し、エアシリンダ18によってカム19が水平に進退さ
れると、それと共にロ−ラ20は上下に移動し、従って
ブロック16を介して押動部材5も上下に移動される。
図4に示すように、ロ−ラ20がカム19の上側の端部
に位置すると押動部材5は上昇した位置にある。
孔として形成され、該長孔内にロ−ラ20が可動に嵌合
し、エアシリンダ18によってカム19が水平に進退さ
れると、それと共にロ−ラ20は上下に移動し、従って
ブロック16を介して押動部材5も上下に移動される。
図4に示すように、ロ−ラ20がカム19の上側の端部
に位置すると押動部材5は上昇した位置にある。
【0023】エアシリンダ18の作動によりカム19が
図4において左方に移動するとロ−ラ20は下降し、下
側の端部に位置すると押動部材5は最も下降した位置を
占め、その際の押動部材5のワ−クに当接する下面がワ
−クの被測定面の予定位置に設定される。このようなカ
ム機構によれば、押動部材の上下移動を円滑に且つ正確
に行い得る利点があるが、他の機構及び/又は他の駆動
装置によって行ってもよい。
図4において左方に移動するとロ−ラ20は下降し、下
側の端部に位置すると押動部材5は最も下降した位置を
占め、その際の押動部材5のワ−クに当接する下面がワ
−クの被測定面の予定位置に設定される。このようなカ
ム機構によれば、押動部材の上下移動を円滑に且つ正確
に行い得る利点があるが、他の機構及び/又は他の駆動
装置によって行ってもよい。
【0024】なお、図2に示すように、ワ−クが備えら
れる設定面2の位置には、ワ−クを位置決めした後にワ
−クを吸着するため適当数の細孔からなる真空吸引用の
孔6が形成され、該孔6はチュ−ブ21により真空源に
連通する。
れる設定面2の位置には、ワ−クを位置決めした後にワ
−クを吸着するため適当数の細孔からなる真空吸引用の
孔6が形成され、該孔6はチュ−ブ21により真空源に
連通する。
【0025】図5はワ−クを設定面2に備えるための搬
送部材22の一例を示し、この種の搬送部材は先端にコ
イルばね22aを備え、該ばねを介して真空によりワ−
クを吸引する。搬送部材22には通常、一対のエアシリ
ンダが備えられ、その一方で設定面2に垂直に、他方で
設定面2に平行に移動し、図5に矢印で示すように作動
して、マガジン23内のワ−クを吸引、搬送して設定面
2に移動する。このような吸引用の孔6及び搬送部材2
2は既知のものであるため、それらについての詳細な記
載は省略する。
送部材22の一例を示し、この種の搬送部材は先端にコ
イルばね22aを備え、該ばねを介して真空によりワ−
クを吸引する。搬送部材22には通常、一対のエアシリ
ンダが備えられ、その一方で設定面2に垂直に、他方で
設定面2に平行に移動し、図5に矢印で示すように作動
して、マガジン23内のワ−クを吸引、搬送して設定面
2に移動する。このような吸引用の孔6及び搬送部材2
2は既知のものであるため、それらについての詳細な記
載は省略する。
【0026】次にこの装置の作用に関し説明する。先
ず、搬送部材22により、測定すべきワ−クwを設定面
2のピン3とピン4の間に備える。この際、図2に示す
ようにエアシリンダ9によりピン4はピン3から最も離
れた位置に置かれ、ワ−クは図6の(ロ)に示すよう
に、それらのピンの間に位置する。次いで図6の(イ)
に示すように、搬送部材22は設定面2に近接した状態
を保ち、その吸引を解除し、先端のばね22aの弾力で
ワ−クを設定面2に押し、従ってワ−クの一側面が設定
面に接触した状態に保たれる。この設定面への接触によ
り設定面2に垂直方向(X方向)の位置決めが行われ
る。
ず、搬送部材22により、測定すべきワ−クwを設定面
2のピン3とピン4の間に備える。この際、図2に示す
ようにエアシリンダ9によりピン4はピン3から最も離
れた位置に置かれ、ワ−クは図6の(ロ)に示すよう
に、それらのピンの間に位置する。次いで図6の(イ)
に示すように、搬送部材22は設定面2に近接した状態
を保ち、その吸引を解除し、先端のばね22aの弾力で
ワ−クを設定面2に押し、従ってワ−クの一側面が設定
面に接触した状態に保たれる。この設定面への接触によ
り設定面2に垂直方向(X方向)の位置決めが行われ
る。
【0027】次いでエアシリンダ9の作動軸を引っ込め
るとコイルばね10の弾力で第2のストッパ−たるピン
4はピン3に向かって移動し、図7の(イ)に示すよう
にピン3とピン4の間でワ−クを挾み、設定面2に平行
且つ光学軸aに垂直な方向(Y方向)の位置決めが行わ
れる。次いでエアシリンダ9の作動によりその機動軸を
伸長し、図7の(ロ)に示すようにピン4を離す。
るとコイルばね10の弾力で第2のストッパ−たるピン
4はピン3に向かって移動し、図7の(イ)に示すよう
にピン3とピン4の間でワ−クを挾み、設定面2に平行
且つ光学軸aに垂直な方向(Y方向)の位置決めが行わ
れる。次いでエアシリンダ9の作動によりその機動軸を
伸長し、図7の(ロ)に示すようにピン4を離す。
【0028】さらにエアシリンダ13の作動により押動
部材5をワ−クの真上、即ち光学軸の位置に前進した
後、エアシリンダ18を作動してカム19を一往復する
ことにより、先ずロ−ラ20が下降し、従って図7の
(ハ)に示すように、押動部材5が下降してワ−クwの
上面に当接し、従ってワ−クを予定位置に押し下げ、そ
れと同時にワ−クの上面を光学軸に垂直にする。
部材5をワ−クの真上、即ち光学軸の位置に前進した
後、エアシリンダ18を作動してカム19を一往復する
ことにより、先ずロ−ラ20が下降し、従って図7の
(ハ)に示すように、押動部材5が下降してワ−クwの
上面に当接し、従ってワ−クを予定位置に押し下げ、そ
れと同時にワ−クの上面を光学軸に垂直にする。
【0029】この押動部材による押し下げにより光学軸
の方向(Z方向)の位置決めが行われる。押動部材5は
該押下げ後、直ちに元の位置に戻り、それと同時に真空
孔6が作用してワ−クを吸引し、且つ搬送部材22は元
の位置に戻り、測定可能な状態になる。なお、これら一
連のエアシリンダ9、13、18及び真空孔6、搬送部
材22はコントロ−ラにより所定のタイミングで作動す
る。一つのワ−クのセッティングに要する時間は一例で
は8秒である。
の方向(Z方向)の位置決めが行われる。押動部材5は
該押下げ後、直ちに元の位置に戻り、それと同時に真空
孔6が作用してワ−クを吸引し、且つ搬送部材22は元
の位置に戻り、測定可能な状態になる。なお、これら一
連のエアシリンダ9、13、18及び真空孔6、搬送部
材22はコントロ−ラにより所定のタイミングで作動す
る。一つのワ−クのセッティングに要する時間は一例で
は8秒である。
【0030】この押動部材5によるワ−クの押し下げに
よりワ−クの上面は光学軸aに垂直になる。もしストッ
パ−3に当接するワ−クの側面w2と被測定面たるワ−
クの上面w1が正確に直角でなく若干の誤差がある場合
には図8の(イ)、(ロ)に示すように、ワ−クの側面
w2は第1のストッパ−の一つのピン3から離れて、そ
の上面w1が光学軸に垂直に保たれる。従って、光学軸
が鉛直であれば、ワ−ク上面は水平に位置決めされる。
よりワ−クの上面は光学軸aに垂直になる。もしストッ
パ−3に当接するワ−クの側面w2と被測定面たるワ−
クの上面w1が正確に直角でなく若干の誤差がある場合
には図8の(イ)、(ロ)に示すように、ワ−クの側面
w2は第1のストッパ−の一つのピン3から離れて、そ
の上面w1が光学軸に垂直に保たれる。従って、光学軸
が鉛直であれば、ワ−ク上面は水平に位置決めされる。
【0031】
【発明の効果】上記のように、本発明によれば、ワ−ク
の高さ寸法及びワ−クの側面と上面の直角度に加工上の
ばらつきがあってもワ−クの被測定面たる上面の位置決
めを正確に行うことができ、且つ該ワ−ク上面を光学軸
に正確に垂直に置くことができ、従って顕微鏡によるワ
−クの測定精度を向上する。
の高さ寸法及びワ−クの側面と上面の直角度に加工上の
ばらつきがあってもワ−クの被測定面たる上面の位置決
めを正確に行うことができ、且つ該ワ−ク上面を光学軸
に正確に垂直に置くことができ、従って顕微鏡によるワ
−クの測定精度を向上する。
【0032】また設定面へのワ−クのセッティングを真
空により先端でワ−クを吸着する搬送部材で行えば、ワ
−クのセットを容易且つ迅速にし、作業能率を向上す
る。また、ワ−クの被測定面を水平にすれば、装置の構
成を容易にし、取扱上、便利である。
空により先端でワ−クを吸着する搬送部材で行えば、ワ
−クのセットを容易且つ迅速にし、作業能率を向上す
る。また、ワ−クの被測定面を水平にすれば、装置の構
成を容易にし、取扱上、便利である。
【0033】ワ−クの横方向の位置決めを行う一対のス
トッパ−をそれぞれピンで構成すれば、装置の構成を単
純化し、コンパクトになる。さらにワ−クの横方向の位
置決めのためのストッパ−によるワ−クの挾持をコイル
ばねの弾力で行えば、ワ−クに無理な力が作用せず、常
に一定の適度な力で挾持することができる。
トッパ−をそれぞれピンで構成すれば、装置の構成を単
純化し、コンパクトになる。さらにワ−クの横方向の位
置決めのためのストッパ−によるワ−クの挾持をコイル
ばねの弾力で行えば、ワ−クに無理な力が作用せず、常
に一定の適度な力で挾持することができる。
【図1】本発明の一例による被測定物の位置決め装置を
備えた光学測定機の要部を示す斜視図である。
備えた光学測定機の要部を示す斜視図である。
【図2】その位置決め装置の作動機構を示す平面図であ
る。
る。
【図3】図2に示す作動機構の側断面図である。
【図4】この位置決め装置に含まれる押動部材の上下移
動用機構の一例を示す概略側面図である。
動用機構の一例を示す概略側面図である。
【図5】被測定物を光学測定機の所定位置にセットする
搬送部材を示す平面図である。
搬送部材を示す平面図である。
【図6】図6の(イ)及び(ロ)は搬送部材により被測
定物を所定位置にセットした状態を示す側断面図及び正
面図である。
定物を所定位置にセットした状態を示す側断面図及び正
面図である。
【図7】図7の(イ)、(ロ)、(ハ)はそれぞれ作動
段階を示す正面図である。
段階を示す正面図である。
【図8】図8の(イ)、(ロ)はそれぞれ直角度に不正
確さがある被測定物をセットした状態を示す正面図であ
る。
確さがある被測定物をセットした状態を示す正面図であ
る。
【図9】被測定物の一例を示す斜視図である。
【図10】従来の治具を用いて被測定物がセットされた
状態を示す断面図である。
状態を示す断面図である。
2 設定面 3 第1のストッパ− 4 第2のストッパ− 5 押動部材 6 真空吸引用の孔 10 コイルばね 22 搬送部材
Claims (6)
- 【請求項1】 直方体状の被測定物の被測定面を顕微鏡
の光学軸に垂直に且つ予定位置に位置決めする方法であ
って、顕微鏡の下に在って前記光学軸に平行に設けられ
た設定面に被測定物をその一側面が該設定面に接触する
ように備え且つ保持し、前記設定面に備えられた一方が
可動の一対のストッパ−により被測定物を挾むことによ
って前記設定面において横方向の位置決めを行い、次い
で被測定物に当接するようになっている下面の部分が前
記光学軸に垂直な平面になっている押動部材を被測定物
の被測定面たる上面に当接して該上面を予定位置に押下
げ且つ同時に該上面を前記光学軸に垂直にすることを特
徴とする光学測定機における被測定物の位置決め方法。 - 【請求項2】 前記設定面における被測定物の保持は先
端にコイルばねが備えられ且つ該先端で真空により被測
定物を吸着する搬送部材によって行われることを特徴と
する請求項1に記載の光学測定機における被測定物の位
置決め方法。 - 【請求項3】 前記光学軸は鉛直に設けられ、従って前
記設定面は鉛直面として構成され、前記ストッパ−の挾
持により被測定物は水平方向に位置決めされ、前記押動
部材の前記下面の部分は水平面であり、被測定物の上面
は該押動部材による押し下げによって予定位置に水平に
位置決めされることを特徴とする請求項1に記載の光学
測定機における被測定物の位置決め方法。 - 【請求項4】 直方体状の被測定物の被測定面を顕微鏡
の光学軸に垂直に且つ予定位置に位置決めする装置にお
いて、 前記光学軸に平行に設けられ且つ被測定物の一側面が接
触する設定面と、被測定物を真空で吸引して前記設定面
に搬送し且つコイルばねを介して被測定物を前記設定面
に押し付けて保持する搬送部材と、前記設定面に固定さ
れた第1のストッパ−と、前記設定面に在って前記第1
のストッパ−との間で被測定物を挾む可動の第2のスト
ッパ−と、前記第1のストッパ−と前記第2のストッパ
−との間に挾まれて位置決めされた被測定物の上面に当
接して該上面を予定位置に押し下げる押動部材を含み、
被測定物に当接する前記押動部材の下面は前記光学軸に
垂直な平面になっており、前記設定面には被測定物を真
空で吸引する孔が設けられていることを特徴とする光学
測定機における被測定物の位置決め装置。 - 【請求項5】 前記第1のストッパ−は一対のピンから
なり且つ前記第2のストッパ−は単一のピンからなり、
前記一対のピンを結ぶ線は前記光学軸に平行になってい
ることを特徴とする請求項4に記載の光学測定機におけ
る被測定物の位置決め装置。 - 【請求項6】 前記第2のストッパ−を弾力で前記第1
のストッパ−に近づけるため前記第2のストッパ−に接
続されたコイルばねを含み、被測定物を前記コイルばね
の弾力で前記ストッパ−間に挾むことを特徴とする請求
項4に記載の光学測定機における被測定物の位置決め装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11740194A JPH07302570A (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 光学測定機における被測定物の位置決め方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11740194A JPH07302570A (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 光学測定機における被測定物の位置決め方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07302570A true JPH07302570A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14710743
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11740194A Pending JPH07302570A (ja) | 1994-05-09 | 1994-05-09 | 光学測定機における被測定物の位置決め方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07302570A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011134621A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
-
1994
- 1994-05-09 JP JP11740194A patent/JPH07302570A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011134621A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
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