JPH07302544A - 蛍光表示管用排気装置 - Google Patents
蛍光表示管用排気装置Info
- Publication number
- JPH07302544A JPH07302544A JP11608094A JP11608094A JPH07302544A JP H07302544 A JPH07302544 A JP H07302544A JP 11608094 A JP11608094 A JP 11608094A JP 11608094 A JP11608094 A JP 11608094A JP H07302544 A JPH07302544 A JP H07302544A
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- JP
- Japan
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- filament
- display tube
- carbonate
- fluorescent display
- decomposition
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 炭酸塩の分解を最適条件で行って安定して高
いエミッション能力を有するフィラメントを得る。 【構成】 蛍光表示管１１1〜１１4が取り付けられるマ
ニホールド１４に炭酸塩分解時の圧力を測定して分解終
了時のタイミングを検出する測定子２１を有する電離真
空計２０と、この電離真空計２０が分解終了時のタイミ
ングを検出したときに通電時間を設定する制御回路２２
とを設けた。
いエミッション能力を有するフィラメントを得る。 【構成】 蛍光表示管１１1〜１１4が取り付けられるマ
ニホールド１４に炭酸塩分解時の圧力を測定して分解終
了時のタイミングを検出する測定子２１を有する電離真
空計２０と、この電離真空計２０が分解終了時のタイミ
ングを検出したときに通電時間を設定する制御回路２２
とを設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光表示管用排気装置
に係わり、特に高融点金属芯線に酸化物が被覆されて形
成された酸化物被覆カソードを用いた蛍光表示管の蛍光
表示管用排気装置に関するものである。
に係わり、特に高融点金属芯線に酸化物が被覆されて形
成された酸化物被覆カソードを用いた蛍光表示管の蛍光
表示管用排気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】蛍光表示管には、高融点金属芯線として
Ｗや３％Ｒｅ−Ｗなどの細線にＢａＣＯ3 ，（Ｂａ，Ｓ
ｒ）ＣＯ3 ，（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ）ＣＯ3 などの電子放
射性物質である炭酸塩を被覆したフィラメント状直熱型
酸化物被覆カソード（以下、フィラメントと呼ぶ）が使
用されている。
Ｗや３％Ｒｅ−Ｗなどの細線にＢａＣＯ3 ，（Ｂａ，Ｓ
ｒ）ＣＯ3 ，（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ）ＣＯ3 などの電子放
射性物質である炭酸塩を被覆したフィラメント状直熱型
酸化物被覆カソード（以下、フィラメントと呼ぶ）が使
用されている。
【０００３】例えば図３に斜視図で示すように表面に蛍
光表示体を形成する絶縁層１を形成したガラス基板２上
に両端部に一対の４２６合金などからなるフィラメント
支持体３ａ，３ｂを垂設し、これらのフィラメント支持
体３ａの先端にステンレス薄板などの弾性材からなるア
ンカー４を固着し、これらのアンカー４をその弾性に抗
して撓ませつつ、フィラメント支持体３ａとフィラメン
ト支持体３ｂとの間にフィラメント５を張架することに
より、フィラメント５を懸張保持している。
光表示体を形成する絶縁層１を形成したガラス基板２上
に両端部に一対の４２６合金などからなるフィラメント
支持体３ａ，３ｂを垂設し、これらのフィラメント支持
体３ａの先端にステンレス薄板などの弾性材からなるア
ンカー４を固着し、これらのアンカー４をその弾性に抗
して撓ませつつ、フィラメント支持体３ａとフィラメン
ト支持体３ｂとの間にフィラメント５を張架することに
より、フィラメント５を懸張保持している。
【０００４】そして、これらの電極群が形成されたガラ
ス基板２上に図示しないフェイスガラスを低融点ガラス
にて封着させて真空容器を形成した後、同じく図示しな
いフェイスガラスに一体形成された排気管を通して真空
容器内の空気を油拡散ポンプなどにより排気させる。こ
こで約３５０℃程度の加熱を行い、真空度が１０-5〜１
０-6Ｔｏｒｒの圧力になったところで、一対のフィラメ
ント用配線層６の間に定電圧電源または定電流電源によ
り所定時間電圧を印加し、前述した炭酸塩をＢａＯ，
（Ｂａ，Ｓｒ）Ｏ，（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ）Ｏなどの酸化
物に分解し、放出されたＣＯ2 やＣＯを排気させた後、
排気管をガスバーナなどで封じ切る。この後、予め真空
容器内に固定されているゲッターを高周波誘導加熱によ
り加熱し、活性なＢａ膜を真空容器内に形成することに
より高真空を維持させる。
ス基板２上に図示しないフェイスガラスを低融点ガラス
にて封着させて真空容器を形成した後、同じく図示しな
いフェイスガラスに一体形成された排気管を通して真空
容器内の空気を油拡散ポンプなどにより排気させる。こ
こで約３５０℃程度の加熱を行い、真空度が１０-5〜１
０-6Ｔｏｒｒの圧力になったところで、一対のフィラメ
ント用配線層６の間に定電圧電源または定電流電源によ
り所定時間電圧を印加し、前述した炭酸塩をＢａＯ，
（Ｂａ，Ｓｒ）Ｏ，（Ｂａ，Ｓｒ，Ｃａ）Ｏなどの酸化
物に分解し、放出されたＣＯ2 やＣＯを排気させた後、
排気管をガスバーナなどで封じ切る。この後、予め真空
容器内に固定されているゲッターを高周波誘導加熱によ
り加熱し、活性なＢａ膜を真空容器内に形成することに
より高真空を維持させる。
【０００５】なお、フィラメント支持体３ａ，３ｂとフ
ィラメント用配線層６との間には、銀とフリットとを主
成分とする導電ペースト（例えばＮＰ−１０：ノリタケ
製）で通電がとられる。また、導電ペーストでは、充分
な接着力が得られないため、フィラメント支持体３ａ，
３ｂのガラス基板２への固定には結晶質のフリットガラ
スが使用される。また、フィラメント用配線層６は、銀
ペースト（例えばＮＰ−４０１１：ノリタケ製，Ｈ−４
１６８：昭栄化学製）またはアルミニウム薄膜で形成さ
れる。
ィラメント用配線層６との間には、銀とフリットとを主
成分とする導電ペースト（例えばＮＰ−１０：ノリタケ
製）で通電がとられる。また、導電ペーストでは、充分
な接着力が得られないため、フィラメント支持体３ａ，
３ｂのガラス基板２への固定には結晶質のフリットガラ
スが使用される。また、フィラメント用配線層６は、銀
ペースト（例えばＮＰ−４０１１：ノリタケ製，Ｈ−４
１６８：昭栄化学製）またはアルミニウム薄膜で形成さ
れる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成される蛍光表示管において、フィラメントに所
定時間通電して炭酸塩を酸化物に変換する際に次のよう
な問題があった。図４は、前述した酸化物被覆カソード
（フィラメント）が製作される過程において、炭酸塩分
解終了までの通電時間がフィラメントのコーティング膜
厚に対してどのように変化するかを示した図である。同
図から判るようにコーティング膜厚の変化で炭酸塩分解
に要する通電時間が大きく変化している。
うに構成される蛍光表示管において、フィラメントに所
定時間通電して炭酸塩を酸化物に変換する際に次のよう
な問題があった。図４は、前述した酸化物被覆カソード
（フィラメント）が製作される過程において、炭酸塩分
解終了までの通電時間がフィラメントのコーティング膜
厚に対してどのように変化するかを示した図である。同
図から判るようにコーティング膜厚の変化で炭酸塩分解
に要する通電時間が大きく変化している。
【０００７】また、図５は、コーティング膜厚が一定の
フィラメントに対して炭酸塩分解のための通電時間を変
えたときにエミッション量がどのように変化するかを示
した図である。同図から判るように通電時間が長すぎる
と、エミッション能力が顕著に低下する。また、通電時
間が短すぎると、炭酸塩が十分に酸化物に変換されず、
排気終了後に大量のガス（ＣＯ2 やＣＯなど）が放出さ
れ、短寿命となる。
フィラメントに対して炭酸塩分解のための通電時間を変
えたときにエミッション量がどのように変化するかを示
した図である。同図から判るように通電時間が長すぎる
と、エミッション能力が顕著に低下する。また、通電時
間が短すぎると、炭酸塩が十分に酸化物に変換されず、
排気終了後に大量のガス（ＣＯ2 やＣＯなど）が放出さ
れ、短寿命となる。
【０００８】このようにコーティング膜厚を極めて高精
度にコントロールすることは極めて難しく、ロット間の
バラツキを含めると、±２μｍ程度のバラツキがある。
このようなバラツキのあるフィラメントに対して従来の
ように一定時間通電した場合、コーティング膜厚の大き
いものは分解が不十分となり、短寿命となったり、逆に
コーティング膜厚の小さいものは通電時間が長すぎてエ
ミッション能力が低下するという問題があった。
度にコントロールすることは極めて難しく、ロット間の
バラツキを含めると、±２μｍ程度のバラツキがある。
このようなバラツキのあるフィラメントに対して従来の
ように一定時間通電した場合、コーティング膜厚の大き
いものは分解が不十分となり、短寿命となったり、逆に
コーティング膜厚の小さいものは通電時間が長すぎてエ
ミッション能力が低下するという問題があった。
【０００９】したがって本発明は、前述した従来の課題
を解決するためになされたものであり、その目的は、炭
酸塩の分解を最適条件で行って安定して高いエミッショ
ン能力が得られるフィラメントを得ることができる蛍光
表示管用排気装置を提供することにある。
を解決するためになされたものであり、その目的は、炭
酸塩の分解を最適条件で行って安定して高いエミッショ
ン能力が得られるフィラメントを得ることができる蛍光
表示管用排気装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明による蛍光表示管用排気装置は、炭酸塩
分解時の圧力を測定して分解終了時のタイミングを検出
する圧力測定手段と、この圧力測定手段がタイミングを
検出したときに通電時間を設定する通電時間設定手段と
を設けたものである。
るために本発明による蛍光表示管用排気装置は、炭酸塩
分解時の圧力を測定して分解終了時のタイミングを検出
する圧力測定手段と、この圧力測定手段がタイミングを
検出したときに通電時間を設定する通電時間設定手段と
を設けたものである。
【００１１】
【作用】本発明においては、通電時間設定手段がフィラ
メントのコーティング膜厚が変化しても、そのフィラメ
ントに適合した時間だけ通電を行うため、炭酸塩の分解
が不十分であったり、通電時間が過剰であったりするこ
とがなく、安定して高いエミッション能力のフィラメン
トとなる。
メントのコーティング膜厚が変化しても、そのフィラメ
ントに適合した時間だけ通電を行うため、炭酸塩の分解
が不十分であったり、通電時間が過剰であったりするこ
とがなく、安定して高いエミッション能力のフィラメン
トとなる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。図１は、本発明による蛍光表示管用排気装置
の一実施例による構成を示すブロック図である。同図に
おいて、１１1〜１１4は蛍光表示管、１１ａ，１１ｂは
各蛍光表示管１１1〜１１4のフィラメント端子、１２は
各蛍光表示管１１1〜１１4のフィラメント端子１１ａ，
１１ｂに所定の電圧を供給するフィラメント通電用電
源、１３はフィラメント通電用電源１２から各蛍光表示
管１１1〜１１4のフィラメント端子１１ａ，１１ｂに耐
熱性クリップにより接触させて所定の電圧を印加するフ
ィラメント通電用配線、１４は各蛍光表示管１１1 〜１
１4 をその排気管部分で連結させるマニホールドであ
る。
説明する。図１は、本発明による蛍光表示管用排気装置
の一実施例による構成を示すブロック図である。同図に
おいて、１１1〜１１4は蛍光表示管、１１ａ，１１ｂは
各蛍光表示管１１1〜１１4のフィラメント端子、１２は
各蛍光表示管１１1〜１１4のフィラメント端子１１ａ，
１１ｂに所定の電圧を供給するフィラメント通電用電
源、１３はフィラメント通電用電源１２から各蛍光表示
管１１1〜１１4のフィラメント端子１１ａ，１１ｂに耐
熱性クリップにより接触させて所定の電圧を印加するフ
ィラメント通電用配線、１４は各蛍光表示管１１1 〜１
１4 をその排気管部分で連結させるマニホールドであ
る。
【００１３】また、１５はマニホールド１４に制御弁１
６を介して連結された油回転ポンプ、１７はマニホール
ド１４にメイン制御弁１８を介して連結された油拡散ポ
ンプ、１９は油回転ポンプ１５と油拡散ポンプ１７との
間に連結された制御弁、２０はマニホールド１４に電離
真空計測定子２１を介して結合された電離真空計であ
り、この電離真空計２０はその測定子２１の一端をマニ
ホールド１４内に露出させて内部の圧力を測定する。２
２はフィラメント通電用電源１２と電離真空計２０との
間に接続されかつ電離真空計２０のメータリレーによる
出力に対応してフィラメント通電用電源１２の各蛍光表
示管１１1 〜１１4 に対する通電時間を制御する制御回
路である。
６を介して連結された油回転ポンプ、１７はマニホール
ド１４にメイン制御弁１８を介して連結された油拡散ポ
ンプ、１９は油回転ポンプ１５と油拡散ポンプ１７との
間に連結された制御弁、２０はマニホールド１４に電離
真空計測定子２１を介して結合された電離真空計であ
り、この電離真空計２０はその測定子２１の一端をマニ
ホールド１４内に露出させて内部の圧力を測定する。２
２はフィラメント通電用電源１２と電離真空計２０との
間に接続されかつ電離真空計２０のメータリレーによる
出力に対応してフィラメント通電用電源１２の各蛍光表
示管１１1 〜１１4 に対する通電時間を制御する制御回
路である。
【００１４】このような構成において、マニホールド１
４に取り付けられた測定子２１および電離真空計２０を
動作させるとともにマニホールド１４の管球取り付け部
に蛍光表示管１１1〜１１4をそれぞれ取り付けた後、図
示しない電気炉により約３５０℃程度まで加熱しなが
ら、油回転ポンプ１５および油拡散ポンプ１７を駆動さ
せて約１０-6Ｔｏｒｒオーダーの真空度まで排気する。
この状態においてフィラメント通電用電源１２からフィ
ラメント通電用配線１３を介して各蛍光表示管１１1〜
１１4の各フィラメント端子１１ａ，１１ｂに蛍光表示
管１１1〜１１4の１本毎に順次通電を行い、炭酸塩を分
解させる。
４に取り付けられた測定子２１および電離真空計２０を
動作させるとともにマニホールド１４の管球取り付け部
に蛍光表示管１１1〜１１4をそれぞれ取り付けた後、図
示しない電気炉により約３５０℃程度まで加熱しなが
ら、油回転ポンプ１５および油拡散ポンプ１７を駆動さ
せて約１０-6Ｔｏｒｒオーダーの真空度まで排気する。
この状態においてフィラメント通電用電源１２からフィ
ラメント通電用配線１３を介して各蛍光表示管１１1〜
１１4の各フィラメント端子１１ａ，１１ｂに蛍光表示
管１１1〜１１4の１本毎に順次通電を行い、炭酸塩を分
解させる。
【００１５】この状態において、電離真空計２０により
測定される真空度が図２（ａ）に示すように瞬間的に約
１０-4Ｔｏｒｒ程度まで上昇した後、時間ｔ1 において
徐々に低下する。このとき、予め設定した圧力、例えば
２×１０-5Ｔｏｒｒ程度に達したときに電離真空計２０
がそのメータリレーのオン信号を制御回路２２に対して
出力し、この制御回路２２がこの出力を入力したときに
フィラメント通電用電源１２に対してさらにそれから一
定時間（時間ｔ2 ）通電させた後、通電を一旦停止させ
る。次に時間ｔ3 休止後、次の蛍光表示管１１2 に対し
て通電を開始し、時間ｔ4 において同様に真空度が約２
×１０-5Ｔｏｒｒ程度まで低下した後、さらに時間ｔ2
だけ通電を続ける。
測定される真空度が図２（ａ）に示すように瞬間的に約
１０-4Ｔｏｒｒ程度まで上昇した後、時間ｔ1 において
徐々に低下する。このとき、予め設定した圧力、例えば
２×１０-5Ｔｏｒｒ程度に達したときに電離真空計２０
がそのメータリレーのオン信号を制御回路２２に対して
出力し、この制御回路２２がこの出力を入力したときに
フィラメント通電用電源１２に対してさらにそれから一
定時間（時間ｔ2 ）通電させた後、通電を一旦停止させ
る。次に時間ｔ3 休止後、次の蛍光表示管１１2 に対し
て通電を開始し、時間ｔ4 において同様に真空度が約２
×１０-5Ｔｏｒｒ程度まで低下した後、さらに時間ｔ2
だけ通電を続ける。
【００１６】以下、同様に蛍光表示管１１3，蛍光表示
管１１4に対して順次実施することによって炭酸塩の分
解を終了する。この場合、上記時間ｔ2および時間ｔ
3は、実験的に時間ｔ2 ，ｔ3 を変化させたときのカソ
ード特性の変化などを調べ、適正時間を決定する。通常
では、時間ｔ2 は５〜１０ｓｅｃ，停止時間ｔ3 は１〜
５ｓｅｃ程度の範囲である。
管１１4に対して順次実施することによって炭酸塩の分
解を終了する。この場合、上記時間ｔ2および時間ｔ
3は、実験的に時間ｔ2 ，ｔ3 を変化させたときのカソ
ード特性の変化などを調べ、適正時間を決定する。通常
では、時間ｔ2 は５〜１０ｓｅｃ，停止時間ｔ3 は１〜
５ｓｅｃ程度の範囲である。
【００１７】このような動作を行うことにより、フィラ
メントのコーティング膜厚、すなわち炭酸塩のコーティ
ング量にバラツキがあっても個々の蛍光表示管に対して
最適な条件で炭酸塩の分解が行え、安定した高いエミッ
ション能力を有するフィラメントが得られることにな
る。
メントのコーティング膜厚、すなわち炭酸塩のコーティ
ング量にバラツキがあっても個々の蛍光表示管に対して
最適な条件で炭酸塩の分解が行え、安定した高いエミッ
ション能力を有するフィラメントが得られることにな
る。
【００１８】なお、前述した実施例においては、電離真
空計２０でマニホールド１４内の全圧力の変化をモニタ
ーした例について説明したが、マスフィルターを利用し
てＣＯ2 やＣＯなどの特定のガス分圧をモニターして同
様な動作を行っても前述と同様の効果が得られる。
空計２０でマニホールド１４内の全圧力の変化をモニタ
ーした例について説明したが、マスフィルターを利用し
てＣＯ2 やＣＯなどの特定のガス分圧をモニターして同
様な動作を行っても前述と同様の効果が得られる。
【００１９】また、前述した実施例において、制御回路
２２は、電離真空計２０とフィラメント通電用電源１２
との間に外部接続型として設けた場合について説明した
が、本願発明はこれに限定されるものではなく、例えば
フィラメント通電用電源１２または電離真空計２０内に
収納する、いわゆる内蔵型で構成しても良いことは言う
までもない。
２２は、電離真空計２０とフィラメント通電用電源１２
との間に外部接続型として設けた場合について説明した
が、本願発明はこれに限定されるものではなく、例えば
フィラメント通電用電源１２または電離真空計２０内に
収納する、いわゆる内蔵型で構成しても良いことは言う
までもない。
【００２０】
【発明の効果】以上、説明したように本発明による蛍光
表示管の排気装置によれば、フィラメントの炭酸塩のコ
ーティング量の変動に左右されずに炭酸塩の分解を最適
条件で行えるので、安定して高いエミッション能力のフ
ィラメントを有する蛍光表示管が製造できるという極め
て優れた効果が得られる。
表示管の排気装置によれば、フィラメントの炭酸塩のコ
ーティング量の変動に左右されずに炭酸塩の分解を最適
条件で行えるので、安定して高いエミッション能力のフ
ィラメントを有する蛍光表示管が製造できるという極め
て優れた効果が得られる。
【図１】 本発明による蛍光表示管用排気装置の一実施
例による構成を示す図である。
例による構成を示す図である。
【図２】 本発明による蛍光表示管用排気装置の通電時
間と圧力変化との関係を示す図である。
間と圧力変化との関係を示す図である。
【図３】 蛍光表示管の構成を示す要部斜視図である。
【図４】 炭酸塩分解終了までの通電時間のコーティン
グ膜厚の依存性を示す図である。
グ膜厚の依存性を示す図である。
【図５】 炭酸塩分解時の通電時間とエミッション量と
の関係を示す図である。
の関係を示す図である。
１１1〜１１4…蛍光表示管、１１ａ，１１ｂ…フィラメ
ント端子、１２…フィラメント通電用電源、１３…フィ
ラメント通電用配線、１４…マニホールド、１５…油回
転ポンプ、１６…バルブ、１７…油拡散ポンプ、１８…
メインバルブ、１９…バルブ、２０…電離真空計、２１
…測定子、２２…制御装置。
ント端子、１２…フィラメント通電用電源、１３…フィ
ラメント通電用配線、１４…マニホールド、１５…油回
転ポンプ、１６…バルブ、１７…油拡散ポンプ、１８…
メインバルブ、１９…バルブ、２０…電離真空計、２１
…測定子、２２…制御装置。
Claims (1)
- 【請求項１】 高融点金属芯線にアルカリ土類炭酸塩を
被覆し、真空中にて通電加熱を行い、前記アルカリ土類
炭酸塩を分解し、酸化物に変換させて酸化物被覆カソー
ドを形成する蛍光表示管用排気装置において、 前記アルカリ土類炭酸塩分解時の圧力を測定し分解終了
時のタイミングを検出する圧力測定手段と、 前記圧力測定手段がタイミングを検出したときに通電時
間を設定する通電時間設定手段と、を設けたことを特徴
とする蛍光表示管用排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11608094A JPH07302544A (ja) | 1994-05-06 | 1994-05-06 | 蛍光表示管用排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11608094A JPH07302544A (ja) | 1994-05-06 | 1994-05-06 | 蛍光表示管用排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07302544A true JPH07302544A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14678224
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11608094A Pending JPH07302544A (ja) | 1994-05-06 | 1994-05-06 | 蛍光表示管用排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07302544A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100280351B1 (ko) * | 1997-02-21 | 2001-02-01 | 가네꼬 히사시 | 전자관의제조장치및그제조방법 |
-
1994
- 1994-05-06 JP JP11608094A patent/JPH07302544A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100280351B1 (ko) * | 1997-02-21 | 2001-02-01 | 가네꼬 히사시 | 전자관의제조장치및그제조방법 |
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