JPH07302540A - Image formation device and its manufacture - Google Patents

Image formation device and its manufacture

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JPH07302540A
JPH07302540A JP6093268A JP9326894A JPH07302540A JP H07302540 A JPH07302540 A JP H07302540A JP 6093268 A JP6093268 A JP 6093268A JP 9326894 A JP9326894 A JP 9326894A JP H07302540 A JPH07302540 A JP H07302540A
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image forming
spacer
plate
forming apparatus
frit glass
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昌宏 多川
Toshihiko Miyazaki
俊彦 宮▲崎▼
Tadashi Kaneko
正 金子
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J2329/86Vessels
    • H01J2329/8625Spacing members

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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent any damage of a spacer or an electron discharge element during a process for fabricating an image formation device. CONSTITUTION:A front surface plate 1 on which an image formation member is placed, a rear surface plate 2 on which plural electron discharge elements are placed, a support frame 3 for supporting the circumferential edges of the rear surface plate 2 and the front surface 1 between the rear surface 2 and the front surface plate 1, and a spacer 4 arranged as a column between the front surface plate 1 and the rear surface plate 2 are mutually bonded airtightly, by using frit glass. The coating thickness temporary baking of a support frame fixing frit glass 6 to be applied in advance to the rear surface plate 2 or the front surface plate 1 is made thicker than that of a spacer fixing frit glass 5 to be applied to the rear surface plate 2 or the front surface plate 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、薄型の画像形成装置の
製造方法、および画像形成装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a thin image forming apparatus and an image forming apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子放出素子として熱電子源と冷
陰極電子源の2種類が知られている。このうち冷陰極電
子源には電界放出型(以下、「FE型」と略す)、金属
/絶縁層/金属型(以下、「MIM型」と略す)や表面
伝導型電子放出素子などがある。
2. Description of the Related Art Conventionally, two types of electron emitters, a thermoelectron source and a cold cathode electron source, are known. Among them, the cold cathode electron source includes a field emission type (hereinafter abbreviated as “FE type”), a metal / insulating layer / metal type (hereinafter abbreviated as “MIM type”), a surface conduction type electron emitting device, and the like.

【0003】FE型の例としては、W.P.Dyke & W.W.Dol
an,"Field emission",Advance in Electron Physics,8,
89(1956)やC.A.Spindt,"Physical properties of thin-
film field emission cathodes with molybdenum cone
s",J.Appl.Phys.,47,5248(1976)等が知られている。
As an example of the FE type, WPDyke & WWDol
an, "Field emission", Advance in Electron Physics, 8,
89 (1956) and CASpindt, "Physical properties of thin-
film field emission cathodes with molybdenum cone
s ", J. Appl. Phys., 47, 5248 (1976) and the like.

【0004】MIM型の例としては、C.A.Mead,"The tu
nnel-emission amplifier",J.Appl.Phys.,32,646(1961)
等が知られている。
As an example of the MIM type, CAMead, "The tu
nnel-emission amplifier ", J.Appl.Phys., 32,646 (1961)
Etc. are known.

【0005】表面伝導型電子放出素子の例としては、E.
I.Elinson,Radio Eng.Electron Phys.,10,1290(1965)等
がある。
Examples of surface conduction electron-emitting devices include E.
I. Elinson, Radio Eng. Electron Phys., 10, 1290 (1965).

【0006】表面伝導型電子放出素子は基板上に形成さ
れた小面積の薄膜に、膜面に平行に電流を流すことによ
り、電子放出が生じる現象を利用するものである。
The surface conduction electron-emitting device utilizes a phenomenon in which electron emission occurs when a current is passed through a thin film of a small area formed on a substrate in parallel with the film surface.

【0007】この表面伝導型電子放出素子としては、前
記エリンソン等によるSnO2薄膜を用いたもの、Au
薄膜によるもの[G.Dittmer:"Thin Solid Films",9,31
7,(1972)]、In23/SnO2薄膜によるもの[M.Ha
rtwell and C.G.Fonstad:"IEEE Trans. ED Conf.",519,
(1975)]、カーボン薄膜によるもの[荒木久 他:”真
空”,第26巻,第1号,22頁(1983年)]等が
報告されている。
As the surface conduction electron-emitting device, one using the SnO 2 thin film by Erinson et al.
By thin film [G.Dittmer: "Thin Solid Films", 9,31
7, (1972)], In 2 O 3 / SnO 2 thin film [M.Ha
rtwell and CGFonstad: "IEEE Trans. ED Conf.", 519,
(1975)], a carbon thin film [Hiraki Araki et al .: "Vacuum", Vol. 26, No. 1, p. 22 (1983)] and the like.

【0008】ここで、上述の電子放出素子を応用して画
像を形成する、従来の画像形成装置を図6および図7に
基づいて説明する。
A conventional image forming apparatus for forming an image by applying the above-mentioned electron-emitting device will be described with reference to FIGS. 6 and 7.

【0009】図6は、従来の画像形成装置の構成を説明
するための分解斜視図、図7は、図6に示した画像形成
装置の縦断面図である。
FIG. 6 is an exploded perspective view for explaining the structure of a conventional image forming apparatus, and FIG. 7 is a vertical sectional view of the image forming apparatus shown in FIG.

【0010】画像形成装置は一般に、図6および図7に
示すように、電子放出素子群を搭載した背面板103
と、背面板103と対向配置され、電子放出素子群から
の電子線の照射により画像が形成される画像形成部材を
搭載した前面板102と、前面板102と背面板103
との間にあって、前面板102および背面板103の周
縁を前記電子放出素子群を囲むように支持する支持枠1
04とから構成され、前面板102、背面板103およ
び支持枠104の接合部は、フリットガラスにより固着
されている。
An image forming apparatus generally has a rear plate 103 having an electron-emitting device group mounted thereon, as shown in FIGS. 6 and 7.
And a front plate 102, which is arranged opposite to the rear plate 103 and has an image forming member on which an image is formed by irradiation of an electron beam from an electron-emitting device group, the front plate 102 and the rear plate 103.
And a supporting frame 1 for supporting the peripheral edges of the front plate 102 and the rear plate 103 so as to surround the electron-emitting device group.
04, and the joint portion of the front plate 102, the rear plate 103, and the support frame 104 is fixed by frit glass.

【0011】さらに画像形成装置は、内部を10-6To
rr程度以上の真空にして電子放出素子を動作させるの
で、このときの大気圧に耐えるような構造を持つ必要が
ある。
Further, the inside of the image forming apparatus is 10 −6 To
Since the electron-emitting device is operated in a vacuum of about rr or higher, it is necessary to have a structure that can withstand the atmospheric pressure at this time.

【0012】特に、大面積の背面板および前面板を用い
た平面型画像形成装置にて、この前面板および背面板の
面に対して垂直に加わる大気圧の支持を行なう場合、各
板を厚くして対応させると、重量やコストなどの点で実
現性が乏しくなる。このため、支持枠104の内側にお
いて前面板102と背面板103との間に支柱としてス
ペーサー101を配置して、耐大気圧構造にすると共に
軽量化している。
In particular, in a flat image forming apparatus using a large-area back plate and front plate, when the atmospheric pressure applied perpendicularly to the surfaces of the front plate and the back plate is to be supported, each plate is thickened. Therefore, the feasibility becomes poor in terms of weight and cost. For this reason, the spacer 101 is arranged inside the support frame 104 between the front plate 102 and the rear plate 103 as a pillar to form an atmospheric pressure resistant structure and reduce the weight.

【0013】前記スペーサー103は、他の接合部と同
様にフリットガラスを用いて固定されている。また、背
面板103に形成された電子放出素子群とこれと対向位
置にある前面板102の画像形成部材との間隔を、精度
良く保つという機能も持っている。
The spacer 103 is fixed by using frit glass like other joints. Further, it also has a function of accurately maintaining the distance between the electron-emitting device group formed on the back plate 103 and the image forming member of the front plate 102 at the position opposite to the electron-emitting device group.

【0014】次に、上述した従来の画像形成装置の製造
方法について説明する。図8は、従来の画像形成装置の
製造方法を説明するための工程図である。
Next, a method of manufacturing the above-mentioned conventional image forming apparatus will be described. FIG. 8 is a process diagram for explaining a conventional method for manufacturing an image forming apparatus.

【0015】まず、図8(a)に示すように、前面板1
02に固定されたスペーサー101および支持枠104
に対応するように、背面板103上にスペーサー固定用
フリットガラス105および支持枠用フリットガラス1
06を塗布し、仮焼成を行なう。
First, as shown in FIG. 8A, the front plate 1
Spacer 101 and support frame 104 fixed to 02
So that the spacer fixing frit glass 105 and the supporting frame frit glass 1 are provided on the rear plate 103.
06 is applied and calcination is performed.

【0016】次いで、図8(b)に示すように、背面板
103上のスペーサー固定用フリットガラス105およ
び支持枠固定用フリットガラスの位置に、前面板102
に固定されたスペーサー101および支持枠104を合
わせる。
Then, as shown in FIG. 8B, the front plate 102 is placed at the positions of the spacer fixing frit glass 105 and the support frame fixing frit glass on the rear plate 103.
The spacer 101 and the support frame 104 fixed to the above are aligned.

【0017】その後、背面板103を支持した状態で前
面板102に荷重を加えながら本焼成を行ない、図8
(c)に示すように、前面板102に固定されたスペー
サー101および支持枠104と、背面板103とを固
定させている。
After that, main firing is carried out while applying a load to the front plate 102 with the back plate 103 being supported, as shown in FIG.
As shown in (c), the spacer 101 and the support frame 104 fixed to the front plate 102 and the rear plate 103 are fixed.

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前面板
または背面板に固定されたスペーサーおよび支持枠の高
さは、板表面の微妙なうねりや高さ方向の加工精度など
の影響によりばらついている。
However, the heights of the spacers and the support frame fixed to the front plate or the back plate are varied due to the influence of the subtle undulations on the plate surface and the processing accuracy in the height direction.

【0019】このため、位置合わせする際に板厚の薄い
スペーサーが、仮焼成して硬くなったフリットガラスに
板厚の厚い支持枠よりも先に接触してしまい、本焼成で
荷重を与えた時にスペーサーを破損するという問題点が
あった。
Therefore, during alignment, the thin spacers come into contact with the frit glass that has been hardened by pre-baking and comes into contact with the frit glass before the thick supporting frame, and a load is applied during the main baking. There was a problem that the spacer was sometimes broken.

【0020】また、位置合わせの際にずれて、スぺーサ
ーが背面板上の電子放出素子に接触して電子放出素子を
壊してしまうという問題点もあった。
Further, there is a problem that the spacers are misaligned at the time of alignment and the spacers come into contact with the electron-emitting devices on the back plate to destroy the electron-emitting devices.

【0021】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、
画像形成装置を製作する工程時のスペーサーあるいは電
子放出素子の破損を防止できる画像形成装置の製造方法
および画像形成装置を提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above problems of the prior art.
An object of the present invention is to provide a method of manufacturing an image forming apparatus and an image forming apparatus capable of preventing damage to a spacer or an electron emitting element during a process of manufacturing the image forming apparatus.

【0022】[0022]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、複数の電子放出素子を搭載した背面板と、
該背面板と対向して配置されると共に前記電子放出素子
から放出される電子線の照射により画像が形成される画
像形成部材を搭載した前面板と、前記背面板と前記前面
板の間にあって前記背面板および前記前面板の周縁を支
持する支持枠と、前記前面板と前記背面板の間に支柱と
して配置されたスペーサーとを少なくとも有し、これら
をフリットガラスを用いて互いに接合して気密構造にす
る画像形成装置の製造方法において、前記支持枠を固定
するために前記背面板または前記前面板に予め塗布され
るフリットガラスの仮焼成後の塗布厚を、前記スペーサ
ーを固定するために前記背面板または前記前面板に塗布
されるフリットガラスの仮焼成後の塗布厚よりも厚くす
ることを特徴とする。
The present invention for achieving the above object includes a back plate having a plurality of electron-emitting devices mounted thereon,
A front plate, which is disposed so as to face the back plate and which has an image forming member on which an image is formed by irradiation of an electron beam emitted from the electron-emitting device, and between the back plate and the front plate. It has at least a support frame that supports the peripheral edges of the back plate and the front plate, and a spacer that is arranged as a support between the front plate and the back plate, and these are joined together using frit glass to form an airtight structure. In the method of manufacturing an image forming apparatus, a coating thickness after pre-baking of frit glass which is previously applied to the back plate or the front plate to fix the support frame is set to the back plate or the back plate to fix the spacer. It is characterized in that it is thicker than the coating thickness of the frit glass applied to the front plate after the calcination.

【0023】この画像形成装置の製造方法では、前記フ
リットガラスを印刷技術を用いて塗布し、あるいは、前
記フリットガラスをディスペンサーを用いて塗布するこ
とが考えられる。
In the method of manufacturing the image forming apparatus, it is possible to apply the frit glass by using a printing technique or apply the frit glass by using a dispenser.

【0024】また、前記スペーサーおよび前記支持枠を
予め前記背面板に固定しておく方法や、前記スペーサー
および前記支持枠を予め前記前面板に固定しておく方法
であってもよい。
Further, a method of fixing the spacer and the support frame to the back plate in advance, or a method of fixing the spacer and the support frame to the front plate in advance may be used.

【0025】そして、このような画像形成装置の製造方
法により製造された画像形成装置も本発明に属してい
る。
An image forming apparatus manufactured by such a method for manufacturing an image forming apparatus also belongs to the present invention.

【0026】このように製造された画像形成装置におい
て、前記背面板が補強板を有するものであっても良い。
In the image forming apparatus thus manufactured, the back plate may have a reinforcing plate.

【0027】これらの画像形成装置は、前記スペーサー
が前記支持枠と一体構成になっていることを特徴とする
ものが考えられ、前記気密接合してできた装置内部が真
空になっていることを特徴とするものや、前記スペーサ
ーを前記前面板と前記背面板の耐大気圧支持部材として
用いることを特徴とするものや、前記スペーサーを前記
前面板と前記背面板の間隔設定用部材として用いること
を特徴とするものや、前記電子放出素子として表面伝導
型電子放出素子を用いることを特徴とするものである。
It is conceivable that these image forming apparatuses are characterized in that the spacer is formed integrally with the support frame, and that the inside of the apparatus formed by the airtight joining is in a vacuum state. Characterized by using the spacer as an atmospheric pressure resistant support member for the front plate and the back plate, or using the spacer as a member for setting a gap between the front plate and the back plate Or a surface conduction electron-emitting device is used as the electron-emitting device.

【0028】[0028]

【作用】上述したとおりの本発明では、背面板、前面板
と、背面板と前面板の間で前記背面板および前記前面板
の周縁を支持する支持枠と、前記前面板と前記背面板の
間に支柱として配置されるスペーサーとを互いにフリッ
トガラスを用いて気密接合することにより画像形成装置
を構成する際、前記支持枠を固定するために前記背面板
または前記前面板に予め塗布されるフリットガラスの仮
焼成後の塗布厚を、前記スペーサーを固定するために前
記背面板または前記前面板に塗布されるフリットガラス
の仮焼成後の塗布厚よりも厚くする。
In the present invention as described above, a back plate, a front plate, a support frame for supporting the back plate and the peripheral edge of the front plate between the back plate and the front plate, and a pillar between the front plate and the back plate. When an image forming apparatus is configured by airtightly bonding the arranged spacers to each other using frit glass, pre-baking of the frit glass applied in advance to the back plate or the front plate to fix the support frame. The subsequent coating thickness is made thicker than the coating thickness of the frit glass applied to the back plate or the front plate for fixing the spacer after the calcination.

【0029】このことにより、前面板と背面板とを接合
する際には、前面板または背面板上で仮焼成されて硬く
なったフリットガラスに、板厚の厚い支持枠のみが接触
し、板厚の薄いスペーサーは接触しない。そしてこの状
態で、前面板と背面板とに荷重を加えながら本焼成を行
なうので、フリットガラスが溶融して軟らかくなってか
ら、このフリットガラスにスペーサーが接触する。この
ため、スペーサーが破損することなく画像形成装置が組
み立てられる。
As a result, when the front plate and the back plate are joined together, only the thick supporting frame comes into contact with the frit glass which has been hardened by being pre-baked on the front plate or the back plate, and the thick supporting frame is in contact with the frit glass. Thin spacers do not touch. In this state, since the main firing is performed while applying a load to the front plate and the back plate, the frit glass melts and becomes soft, and then the spacer comes into contact with the frit glass. Therefore, the image forming apparatus can be assembled without damaging the spacer.

【0030】さらには、組立時にスペーサーと前面板ま
たは背面板との間に隙間ができる為、スペーサーの加工
精度によるばらつきや、スペーサーを固定する前面板ま
たは背面板の表面のうねり等を精密に制御する必要がな
く、またスペーサーによって電子放出素子群または画像
形成部材を傷つけずに、前面板と背面板の位置合わせを
行なえる。
Furthermore, since a gap is formed between the spacer and the front plate or the rear plate during assembly, it is possible to precisely control variations due to the processing accuracy of the spacer and waviness of the surface of the front plate or the rear plate for fixing the spacer. The front plate and the back plate can be aligned without damaging the electron-emitting device group or the image forming member by the spacer.

【0031】[0031]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0032】図1は、本発明の画像形成装置の第1の実
施例の構成を縦断面図である。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing the configuration of the first embodiment of the image forming apparatus of the present invention.

【0033】本実施例の画像形成装置は、図1に示すよ
うに、電子放出素子群(不図示)を搭載した背面板2
と、背面板2と対向配置され、電子放出素子群からの電
子線の照射により画像が形成される画像形成部材を搭載
した前面板1と、前面板1と背面板2との間にあって、
前面板1および背面板2の周縁を前記電子放出素子群を
囲むように支持する支持枠3と、前面板1と背面板2の
間に大気圧支持部材または間隔設定用部材として配置さ
れたスペーサー4とから構成され、前面板1、背面板
2、支持枠3およびスペーサー4の接合部は、フリット
ガラスにより固定されている。これにより、画像形成装
置は気密容器となっている。
In the image forming apparatus of this embodiment, as shown in FIG. 1, a back plate 2 having an electron-emitting device group (not shown) mounted thereon.
Between the front plate 1 and the rear plate 2, and a front plate 1 that is arranged to face the rear plate 2 and has an image forming member on which an image is formed by irradiation of an electron beam from an electron-emitting device group.
A support frame 3 for supporting the peripheral edges of the front plate 1 and the rear plate 2 so as to surround the electron-emitting device group, and a spacer arranged between the front plate 1 and the rear plate 2 as an atmospheric pressure supporting member or a space setting member. The front plate 1, the rear plate 2, the support frame 3 and the spacer 4 are joined together by frit glass. As a result, the image forming apparatus is an airtight container.

【0034】なお、支持枠3とスペーサー4の高さは等
しくなっている。また、スペーサー4の形状、個数、配
置などは特に限定されるものではない。スペーサー4が
支持枠3と一体構成になっているものでもよい。
The heights of the support frame 3 and the spacer 4 are the same. Further, the shape, number, arrangement, etc. of the spacers 4 are not particularly limited. The spacer 4 may be integrated with the support frame 3.

【0035】図2は、予め前面板または背面板に塗布さ
れたフリットガラスを示したものである。
FIG. 2 shows frit glass applied to the front plate or the back plate in advance.

【0036】図2において、H1は支持枠を固定するフ
リットガラスの仮焼成後の厚さであり、H2はスペーサ
ーを固定するフリットガラスの仮焼成後の厚さである。
この図に示したように、支持枠固定用フリットガラス6
の仮焼成後の厚さH1>スペーサー固定用フリットガラ
ス5の仮焼成後の厚さH2という関係があり、この塗布
厚の差は支持枠およびスペーサーの高さ方向のばらつき
により異なるが、一般的には仮焼成後で50〜500μ
mとすることが好ましい。フリットガラスとしては軟化
温度が410℃以下のものが好ましく、画像形成装置を
構成する各部材よりも十分に融点の低いものを使用す
る。
In FIG. 2, H1 is the thickness of the frit glass for fixing the support frame after pre-baking, and H2 is the thickness of the frit glass for fixing the spacer after pre-baking.
As shown in this figure, the supporting frame fixing frit glass 6
The thickness H1 of the frit glass 5 for fixing the spacer is greater than the thickness H2 of the frit glass 5 for fixing the spacer. The difference in the coating thickness varies depending on the variations in the height direction of the support frame and the spacer. 50 to 500μ after calcination
It is preferably m. As the frit glass, one having a softening temperature of 410 ° C. or lower is preferable, and one having a melting point sufficiently lower than that of each member constituting the image forming apparatus is used.

【0037】フリットガラスには、結晶性のものや非結
晶性のものなど、成分の違いにより数種類のものがあ
り、結合時の温度や使用部材の膨張係数により適宜選択
することができる。フリットガラス単体は、粉体なので
塗布を行なう場合にはニトロセルロースやアクリルなど
のバインダーで粘度を調整した有機溶剤と混合させ、ペ
ースト状のフリットガラス混合体としている。本発明で
いう仮焼成は、フリットガラス中の有機溶剤を除去する
目的で行なわれている。
There are several types of frit glass, such as crystalline ones and non-crystalline ones, depending on the difference in components, and they can be appropriately selected depending on the temperature at the time of bonding and the expansion coefficient of the member used. Since the frit glass alone is a powder, when it is applied, it is mixed with an organic solvent whose viscosity is adjusted with a binder such as nitrocellulose or acrylic to form a pasty frit glass mixture. The calcination in the present invention is carried out for the purpose of removing the organic solvent in the frit glass.

【0038】次に、画像形成装置の製造方法について説
明する。
Next, a method of manufacturing the image forming apparatus will be described.

【0039】図3は、本発明の画像形成装置の第1の実
施例における製造方法を説明するための工程図である。
FIG. 3 is a process chart for explaining the manufacturing method in the first embodiment of the image forming apparatus of the invention.

【0040】図3において、前面板1、背面板2、支持
枠3は青板ガラスを切削加工したものを用いている。ス
ペーサー4は、青板ガラスを研磨することにより作製し
た。また、電子放出素子として表面伝導型電子放出素子
を背面板の上に作製した。
In FIG. 3, front plate 1, rear plate 2 and support frame 3 are made of soda lime glass by cutting. The spacer 4 was produced by polishing soda-lime glass. In addition, a surface conduction electron-emitting device was produced as an electron-emitting device on the back plate.

【0041】まず、前面板1の上にスクリーン印刷など
の印刷技術によりフリットガラスを塗布し、仮焼成を行
なった。軟化温度が490℃のフリットガラスを、48
0℃で10分間加熱保持することにより仮焼成した。次
に、この仮焼成したフリットガラスの上にスペーサー4
を位置決め固定し、550℃で10分間加熱保持するこ
とにより、本焼成を行なった(図3(a))。このと
き、スペーサー4の板面に対して垂直方向の高さを測定
しておく。
First, frit glass was applied onto the front plate 1 by a printing technique such as screen printing, and pre-baked. Frit glass with a softening temperature of 490 ° C
It was calcined by heating and holding it at 0 ° C. for 10 minutes. Next, a spacer 4 is placed on the calcined frit glass.
Was fixedly positioned and heated and held at 550 ° C. for 10 minutes to perform main firing (FIG. 3A). At this time, the height of the spacer 4 in the direction perpendicular to the plate surface is measured.

【0042】同様な工程により支持枠3を前面板1に固
定した。この時は軟化温度が410℃のフリットガラス
を用い、仮焼成を400℃で10分間加熱保持して行な
い、本焼成を450℃で10分間加熱保持して行なった
(図3(b))。このとき、支持枠3の板面に対して垂
直方向の高さを測定しておく。
The support frame 3 was fixed to the front plate 1 by the same process. At this time, a frit glass having a softening temperature of 410 ° C. was used, pre-baking was performed by heating and holding at 400 ° C. for 10 minutes, and main baking was performed by heating and holding at 450 ° C. for 10 minutes (FIG. 3B). At this time, the height of the support frame 3 in the direction perpendicular to the plate surface is measured.

【0043】次に、背面板2の上にスクリーン印刷など
の印刷技術によりスペーサー固定用フリットガラス5、
および支持枠固定用フリットガラス6を塗布し、仮焼成
を行なった。フリットガラス5,6としては軟化温度が
390℃のものを用い、380℃で10分加熱保持する
ことにより、フリットガラス5,6を仮焼成した(図3
(c))。
Next, the frit glass 5 for fixing the spacer is formed on the back plate 2 by a printing technique such as screen printing.
Then, the frit glass 6 for fixing the support frame was applied and calcined. The frit glasses 5 and 6 having a softening temperature of 390 ° C. were used, and the frit glasses 5 and 6 were pre-baked by heating and holding at 380 ° C. for 10 minutes (FIG. 3).
(C)).

【0044】この際、塗布したスペーサー固定用フリッ
トガラス5の厚さは仮焼成後で150μm、支持枠固定
用フリットガラス6の厚さは仮焼成後で400μmで、
この差は250μmだった。このときの厚さの差は、測
定しておいた、スペーサー4および支持枠3の、板面に
対する高さ方向のばらつきによって決めれば良い。
At this time, the thickness of the applied frit glass 5 for fixing the spacer is 150 μm after the calcination, and the thickness of the frit glass 6 for fixing the supporting frame is 400 μm after the calcination.
This difference was 250 μm. The difference in thickness at this time may be determined by the measured variation in the height direction of the spacer 4 and the support frame 3 with respect to the plate surface.

【0045】次に、これまでの工程で作製した前面板等
を背面板2上に位置決めをして固定した。この時、仮焼
成した支持枠固定用フリットガラス6の厚さの方が厚い
ので、スペーサー4は背面板2上に仮焼成したスペーサ
ー固定用フリットガラス5には接触しないので、位置決
め終了後も微調整が可能である(図3(d))。
Next, the front plate and the like manufactured in the above steps were positioned and fixed on the rear plate 2. At this time, since the calcined supporting frame fixing frit glass 6 is thicker, the spacers 4 do not contact the spacer fixing frit glass 5 calcined on the rear plate 2, and therefore, the spacers are slightly left after the positioning. Adjustment is possible (Fig. 3 (d)).

【0046】この状態で上方より前面板1に荷重を加え
ながら430℃で10分間加熱保持することにより本焼
成を行なった。スペーサー固定用フリットガラス5と支
持枠固定用フリットガラス6は軟化温度が等しい為、本
焼成を行なう際には同時に軟化し上方からの荷重と自重
により支持枠固定用フリットガラス6の厚さが薄くなる
ので、スペーサー4は軟化したスペーサー固定用フリッ
トガラス5の上に接触する。その為、スペーサー4と、
仮焼成して硬くなったスペーサー固定用フリットガラス
5との衝撃が無くなり、スペーサー固定用フリットガラ
ス5が焼成されてスペーサー4と背面板2とが気密接合
された。このようにして耐大気圧支持構造を含んだ画像
形成装置が形成された(図3(e))。
In this state, main baking was carried out by heating the front plate 1 from above and holding it at 430 ° C. for 10 minutes while applying a load. Since the spacer fixing frit glass 5 and the supporting frame fixing frit glass 6 have the same softening temperature, they are simultaneously softened during the main firing, and the supporting frame fixing frit glass 6 is thin due to the load from above and its own weight. Therefore, the spacer 4 contacts the softened frit glass 5 for fixing the spacer. Therefore, spacer 4
The impact with the frit glass 5 for fixing the spacers, which had been hardened by the preliminary firing, disappeared, the frit glass 5 for fixing the spacers was fired, and the spacer 4 and the back plate 2 were airtightly joined. Thus, the image forming apparatus including the atmospheric pressure resistant support structure was formed (FIG. 3E).

【0047】組立工程終了後、上記工程で製作された容
器内を真空状態にするために、支持枠に設けられた排気
管(不図示)を介して容器内に真空に引き、その後、排
気管を封止した。
After the assembly process is completed, in order to bring the inside of the container manufactured in the above process into a vacuum state, the inside of the container is evacuated through an exhaust pipe (not shown) provided in the support frame, and then the exhaust pipe is evacuated. Was sealed.

【0048】このように予め前面板1および背面板2に
塗布する支持枠固定用フリットガラス6の仮焼成時の塗
布厚を、スペーサー固定用フリットガラス5の仮焼成時
の塗布厚よりも厚くすることにより、スペーサー4およ
び支持枠3が固定された前面板1を背面板2と位置合わ
せする際に、電子放出素子を破損させることなく、更に
はスペーサーの高さ方向のばらつきを精密に制御するこ
となしに画像形成装置を作製することができた。
In this way, the coating thickness of the frit glass 6 for fixing the support frame, which is applied to the front plate 1 and the rear plate 2 in advance, during calcination is made thicker than the coating thickness of the frit glass 5 for fixing spacers during calcination. Thus, when the front plate 1 to which the spacer 4 and the support frame 3 are fixed is aligned with the rear plate 2, the electron emitting elements are not damaged and the spacer height variation is precisely controlled. The image forming apparatus could be manufactured without any problem.

【0049】本実施例では、スペーサー4および支持枠
3を予め固定してから前面板1と背面板2との位置合わ
せを行なったが、これらは何ら制限されるものではな
く、スペーサー4および支持枠3を背面板2に予め固定
して行なってもよく、更には前面板1にはスペーサー4
を、背面板2には支持枠3を予め固定し、あるいは前面
板1には支持枠3を、背面板2にはスペーサー4を予め
固定しておいても構わない。これにより画像形成部材、
電子放出素子の破損を防止できる。
In this embodiment, the spacer 4 and the support frame 3 are fixed in advance and then the front plate 1 and the rear plate 2 are aligned with each other. However, these are not restrictive at all, and the spacer 4 and the support frame are supported. The frame 3 may be fixed to the rear plate 2 in advance, and further the front plate 1 may be provided with the spacers 4.
Alternatively, the support frame 3 may be fixed to the rear plate 2 in advance, or the support frame 3 may be fixed to the front plate 1 and the spacer 4 may be fixed to the rear plate 2. As a result, the image forming member,
It is possible to prevent damage to the electron-emitting device.

【0050】フリットガラスの塗布方法としては、ディ
スペンサーを用いてもよい。また、スペーサー4を前面
板1または背面板2に予め固定する際には、結晶性のフ
リットガラスを用いても構わない。さらに、支持枠固定
用フリットガラス6として、前面板1に固定したときと
軟化温度の異なるものを用いたが、同じ軟化温度のもの
を用いても良い。
A dispenser may be used as a method for applying the frit glass. When fixing the spacer 4 to the front plate 1 or the back plate 2 in advance, crystalline frit glass may be used. Furthermore, although the frit glass 6 for fixing the supporting frame has a different softening temperature from that when it is fixed to the front plate 1, it may have the same softening temperature.

【0051】(第2の実施例)図4は、本発明の、画像
形成装置の第2の実施例の構成を示す断面図である。
(Second Embodiment) FIG. 4 is a sectional view showing the arrangement of the second embodiment of the image forming apparatus according to the present invention.

【0052】本実施例の画像形成装置は図4に示すよう
に、第1の実施例と同様に前面板21、背面板22、支
持枠23およびスペーサー24をフリットガラスにより
気密接合して構成されている。また、スペーサー24が
支持枠23と一体構成になっているものでもよい。
As shown in FIG. 4, the image forming apparatus of this embodiment is constructed by air-tightly bonding the front plate 21, the rear plate 22, the support frame 23 and the spacer 24 with the frit glass as in the first embodiment. ing. Further, the spacer 24 may be integrated with the support frame 23.

【0053】第1の実施例とは、背面板22が2分割さ
れ、この背面板22の裏面に補強板固定用フリットガラ
ス28を介して補強板27を固定することで、合成背面
板を形成している所が異なっている。これにより、板厚
を薄くして背面板を軽くすることができ、製造工程にお
ける背面板の搬送が容易となる。また、補強板27は、
焼成時の加熱温度を考えると補強板27と背面板との接
合面で剥離が生じる恐れがあるので、背面板22の熱膨
張率と同じものが好ましい。
The first embodiment is different from the first embodiment in that the rear plate 22 is divided into two parts, and the reinforcing plate 27 is fixed to the rear surface of the rear plate 22 via the reinforcing plate fixing frit glass 28 to form a synthetic rear plate. What they do is different. As a result, the thickness of the back plate can be reduced and the back plate can be lightened, and the back plate can be easily transported in the manufacturing process. In addition, the reinforcing plate 27 is
Considering the heating temperature during firing, peeling may occur at the joint surface between the reinforcing plate 27 and the back plate, so that the same coefficient of thermal expansion as the back plate 22 is preferable.

【0054】本実施例においても、前面板21、背面板
22、支持枠23は青板ガラスを切削加工したものを用
いた。また、スペーサー24は青板ガラスを研磨するこ
とにより作製した。
Also in this embodiment, the front plate 21, the rear plate 22, and the support frame 23 are made of soda lime glass by cutting. The spacer 24 was produced by polishing soda-lime glass.

【0055】本実施例を製造する際には、第1の実施例
と同様に、支持枠固定用フリットガラスとスペーサー固
定用フリットガラスの厚さの差は第1の実施例と同様に
250μmとした。
When manufacturing this embodiment, the difference in thickness between the frit glass for fixing the supporting frame and the frit glass for fixing the spacer is 250 μm as in the first embodiment, as in the first embodiment. did.

【0056】また、電子放出素子をして表面伝導型電子
放出素子を背面板の上に作製した。
A surface conduction electron-emitting device was prepared on the back plate as an electron-emitting device.

【0057】上記前面板21、支持枠23、スペーサー
24および合成背面板(背面板22と補強板27を一体
構造にしたもの)を第1の実施例で示した工程によって
組み立て、大型の画像形成装置を作製した。この際、塗
布したスペーサー固定用フリットガラスの厚さは仮焼成
後で150μm、支持枠固定用フリットガラスの厚さは
仮焼成後で400μmだった。このときの厚さの差は、
スペーサー24および支持枠23の、板面に対する高さ
方向のばらつきによって決めれば良い。
The front plate 21, the support frame 23, the spacers 24, and the synthetic rear plate (in which the rear plate 22 and the reinforcing plate 27 are integrated) are assembled by the steps shown in the first embodiment to form a large image. The device was made. At this time, the thickness of the applied frit glass for fixing the spacer was 150 μm after the calcination, and the thickness of the frit glass for fixing the supporting frame was 400 μm after the calcination. The difference in thickness at this time is
It may be determined according to variations in the height direction of the spacer 24 and the support frame 23 with respect to the plate surface.

【0058】組立工程終了後、上記工程で製作された容
器内を真空状態にするために、支持枠などに設けられた
排気管(不図示)を介して容器内を真空に引き、その
後、排気管を封止した。
After the assembly process is completed, in order to bring the inside of the container manufactured in the above process into a vacuum state, the inside of the container is evacuated through an exhaust pipe (not shown) provided in a support frame or the like, and then exhausted. The tube was sealed.

【0059】このように予め前面板21および背面板2
2に塗布する支持枠固定用フリットガラスの仮焼成時の
塗布厚を、スペーサー固定用フリットガラスの仮焼成時
の塗布厚よりも厚くすることにより、スペーサー24お
よび支持枠23が固定された前面板21を合成背面板
(背面板22と補強板27を一体構造にしたもの)と位
置合わせする際に、電子放出素子を破損させることな
く、更にはスペーサーの高さ方向のばらつきを精密に制
御することなしに画像形成装置を作製することができ
た。
As described above, the front plate 21 and the rear plate 2 are previously prepared.
The front plate on which the spacers 24 and the support frame 23 are fixed by making the coating thickness of the frit glass for fixing the supporting frame applied to the second coating is thicker than the coating thickness of the frit glass for fixing the spacer during preliminary firing. When aligning 21 with the synthetic back plate (the one in which the back plate 22 and the reinforcing plate 27 are integrated), the electron emitting devices are not damaged, and further, the variation in the height direction of the spacer is precisely controlled. The image forming apparatus could be manufactured without any problem.

【0060】本実施例では、スペーサー24および支持
枠23を予め固定してから前面板221と合成背面板
(背面板22と補強板27を一体構造にしたもの)との
位置合わせを行なったが、これらは何ら制限されるもの
ではなく、スペーサー24および支持枠23を合成背面
板(背面板22と補強板27を一体構造にしたもの)に
予め固定して行なってもよく、更には前面板21にはス
ペーサー24を、合成背面板(背面板22と補強板27
を一体構造にしたもの)には支持枠3を予め固定し、あ
るいは前面板21には支持枠23を、合成背面板(背面
板22と補強板27を一体構造にしたもの)にはスペー
サー24を予め固定しておいても構わない。これにより
画像形成部材、電子放出素子の破損を防止できる。
In this embodiment, the spacer 24 and the support frame 23 are fixed in advance, and then the front plate 221 and the synthetic rear plate (the rear plate 22 and the reinforcing plate 27 are integrally structured) are aligned. However, these are not limited in any way, and the spacer 24 and the support frame 23 may be fixed in advance to a synthetic back plate (which is a structure in which the back plate 22 and the reinforcing plate 27 are integrated), and further, the front plate. 21 includes a spacer 24, a synthetic back plate (a back plate 22 and a reinforcing plate 27).
Support frame 3 is fixed in advance to the front plate 21 or a support frame 23 to the front plate 21 and a spacer 24 to the synthetic back plate (the back plate 22 and the reinforcing plate 27 are integrally structured). May be fixed in advance. This can prevent damage to the image forming member and the electron-emitting device.

【0061】更に、背面板は2分割されたものに限られ
ず、任意に多数に分割できるものである。
Further, the back plate is not limited to being divided into two, but can be arbitrarily divided into a large number.

【0062】上述した第1および第2の実施例における
電子放出素子としては、従来技術の説明で述べた冷陰極
電子源を用いることができる。冷陰極電子源のうち例と
して表面伝導型電子放出素子を挙げてその構成を簡単に
説明する。図5は、表面伝導型電子放出素子の基本的な
構成の一例を示すものであり、(a)はその平面図、
(b)は縦断面図である。
The cold cathode electron source described in the description of the prior art can be used as the electron-emitting device in the above-mentioned first and second embodiments. A surface conduction electron-emitting device will be taken as an example of the cold cathode electron source and its configuration will be briefly described. FIG. 5 shows an example of a basic configuration of a surface conduction electron-emitting device, (a) is a plan view thereof,
(B) is a longitudinal sectional view.

【0063】表面伝導型電子放出素子は図5に示すよう
に、絶縁性基板11を備えており、絶縁性基板11上に
は、素子電極15,16が一定間隔L1でそれぞれ配置
されている。この絶縁性基板上11の各素子電極15,
16の間には、薄膜導電体14が形成されている。薄膜
導電体14には、電子を放出する電子放出部13が薄膜
導電体14に通電加熱を施すことにより形成されている
(特開平2−56822号公報、特開平4−28139
号公報参照)。
As shown in FIG. 5, the surface conduction electron-emitting device has an insulating substrate 11, and device electrodes 15 and 16 are arranged on the insulating substrate 11 at regular intervals L1. Each device electrode 15 on this insulating substrate 11,
A thin-film conductor 14 is formed between 16. The thin-film conductor 14 is formed with an electron-emitting portion 13 that emits electrons by heating the thin-film conductor 14 by energization and heating (JP-A-2-56822 and JP-A-4-28139).
(See the official gazette).

【0064】電子放出部13としては粒径が数十オング
ストローム程度の導電性微粒子からなり、電子放出部1
3以外の薄膜14は微粒子膜からなる。
The electron emitting portion 13 is made of conductive fine particles having a particle size of about several tens of angstroms.
The thin films 14 other than 3 are fine particle films.

【0065】なおここで述べる微粒子膜とは、複数の微
粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒子
が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互いに
隣接、あるいは重なり合った状態(島状も含む)の膜を
さす。
The fine particle film described here is a film in which a plurality of fine particles are aggregated, and its fine structure is not only in a state where the fine particles are individually dispersed and arranged but also in a state where the fine particles are adjacent to each other or overlap each other (island). (Including the shape).

【0066】またこれとは別に薄膜14には、導電性微
粒子が分散されたカーボン薄膜等の場合がある。
In addition to this, the thin film 14 may be a carbon thin film in which conductive fine particles are dispersed.

【0067】薄膜導電体14の具体例を挙げるならば、
Pb、Ru、Ag、Ti、In、Cu、Cr、Fe、Z
n、Sn、Ta、W、Pbなどの金属、PbO、SnO
2、In23、PbO、Sb23などの酸化物、HfB
2、ZrB2、LaB6、CeB6、YB4、GdB4などの
硼化物、TiC、ZrC、HfC、TaC、SiC、W
Cなどの炭化物、TiN、ZrN、HfNなどの窒化
物、Si、Geなどの半導体、カーボン、AgMg、N
iCuなどである。
To give a specific example of the thin film conductor 14,
Pb, Ru, Ag, Ti, In, Cu, Cr, Fe, Z
n, Sn, Ta, W, Pb and other metals, PbO, SnO
Oxides such as 2 , In 2 O 3 , PbO and Sb 2 O 3 , HfB
2, boride such as ZrB2, LaB6, CeB6, YB4, GdB4, TiC, ZrC, HfC, TaC, SiC, W
Carbides such as C, nitrides such as TiN, ZrN and HfN, semiconductors such as Si and Ge, carbon, AgMg, N
iCu and the like.

【0068】そして、薄膜導電体14は、真空蒸着法、
スパッタ法、化学的気相堆積法、分散塗布法、ディッピ
ング法、スピナー法などによって形成される。
The thin film conductor 14 is formed by vacuum vapor deposition,
It is formed by a sputtering method, a chemical vapor deposition method, a dispersion coating method, a dipping method, a spinner method, or the like.

【0069】この表面伝導型電子放出素子の製造方法の
一例について説明すると、図5において、まず、絶縁性
基板11として青板ガラスを用い、絶縁性基板11上に
Niを用いて素子電極15,16を形成した。この時、
素子電極間隔L1を3μm、素子電極幅W1を500μ
m、素子電極の厚さdを1000Åとした。
An example of a method of manufacturing this surface conduction electron-emitting device will be described. First, in FIG. 5, soda lime glass is used as the insulating substrate 11, and Ni is used on the insulating substrate 11 to form the device electrodes 15 and 16. Was formed. At this time,
Element electrode interval L1 is 3 μm, element electrode width W1 is 500 μm
m, and the thickness d of the device electrode was 1000Å.

【0070】次に、素子電極上を含む所望の位置に有機
パラジウム(ccp−4230:奥野製薬株式会社製)
含有溶液を塗布した後、300℃で10分間の加熱処理
をして、酸化パラジウム(PdO)微粒子(平均粒径:
70Å)からなる薄膜導電体14を形成した。この時、
薄膜導電体14の幅W2は300μmとした。
Next, organopalladium (ccp-4230: manufactured by Okuno Chemical Industries Co., Ltd.) is placed at desired positions including on the device electrodes.
After applying the containing solution, heat treatment is performed at 300 ° C. for 10 minutes to obtain palladium oxide (PdO) fine particles (average particle diameter:
A thin film conductor 14 made of 70Å) was formed. At this time,
The width W2 of the thin film conductor 14 was 300 μm.

【0071】なお本発明は、このような表面伝導型電子
放出素子に限られず、従来技術の説明で述べたようなF
E型、MIM型等を用いても良い。
The present invention is not limited to such a surface conduction electron-emitting device, and the F-type electron emitting device described in the description of the prior art is used.
You may use E type, MIM type, etc.

【0072】[0072]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、支持枠を
固定するために背面板または前面板に予め塗布されるフ
リットガラスの仮焼成後の塗布厚を、スペーサーを固定
するために背面板または前面板に塗布されるフリットガ
ラスの仮焼成後の塗布厚よりも厚くしたうえで画像形成
装置を組み立てることにより、接合工程でスペーサーを
破損させることなく、スペーサーを背面板または前面板
に固定することができ、スペーサーの加工精度によるば
らつきや、スペーサーを固定する前面板または背面板の
表面のうねり等を精密に制御することなく、またスペー
サーによって電子放出素子群または画像形成部材を傷つ
けずに、前面板と背面板との位置合わせを行なうことが
できる。これにより、画像形成装置の製造が容易になる
と共に、歩留りが向上する。
As described above, according to the present invention, the coating thickness after pre-baking of the frit glass which is previously applied to the back plate or the front plate to fix the support frame is set to the back plate to fix the spacer. Alternatively, by fixing the spacer to the back plate or the front plate without damaging the spacer in the joining process by making it thicker than the coating thickness of the frit glass applied to the front plate after the preliminary firing. It is possible to precisely control the variation due to the processing accuracy of the spacer, the undulation of the surface of the front plate or the rear plate that fixes the spacer, and the spacer does not damage the electron-emitting device group or the image forming member. The front plate and the rear plate can be aligned with each other. This facilitates the manufacture of the image forming apparatus and improves the yield.

【0073】さらに、背面板の裏面にフリットガラスを
介して補強板を固定し、合成背面板を形成することよ
り、背面板の板厚を薄くして背面板を軽くすることがで
き、製造工程における背面板の搬送が容易となる。
Further, by fixing the reinforcing plate to the back surface of the back plate via the frit glass and forming the synthetic back plate, the back plate can be made thinner and the back plate can be made lighter. The rear plate can be easily transported.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の画像形成装置の第1の実施例の構成を
縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of the configuration of a first embodiment of an image forming apparatus of the present invention.

【図2】予め前面板または背面板に塗布されたフリット
ガラスを示した図である。
FIG. 2 is a view showing frit glass applied to a front plate or a back plate in advance.

【図3】本発明の画像形成装置の第1の実施例における
製造方法を説明するための工程図である。
FIG. 3 is a process drawing for explaining the manufacturing method in the first embodiment of the image forming apparatus of the invention.

【図4】本発明の、画像形成装置の第2の実施例の構成
を示す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing the configuration of a second embodiment of the image forming apparatus of the present invention.

【図5】表面伝導型電子放出素子の基本的な構成の一例
を示すものであり、(a)はその平面図、(b)は縦断
面図である。
5A and 5B show an example of a basic configuration of a surface conduction electron-emitting device, in which FIG. 5A is a plan view thereof and FIG. 5B is a vertical sectional view thereof.

【図6】従来の画像形成装置の構成を説明するための分
解斜視図である。
FIG. 6 is an exploded perspective view for explaining the configuration of a conventional image forming apparatus.

【図7】図6に示した画像形成装置の縦断面図である。7 is a vertical cross-sectional view of the image forming apparatus shown in FIG.

【図8】従来の画像形成装置の製造方法を説明するため
の工程図である。
FIG. 8 is a process chart for explaining a conventional method for manufacturing an image forming apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,21 前面板 2,22 背面板 3,23 支持枠 4 スペーサー 5 スペーサー固定用フリットガラス 6 支持枠固定用スリットガラス 11 絶縁性基板 13 電子放出部 14 薄膜導電体 15,16 素子電極 27 補強板 28 補強板固定用フリットガラス 1, 21 Front plate 2, 22 Back plate 3, 23 Support frame 4 Spacer 5 Frit glass for fixing spacer 6 Slit glass for fixing support frame 11 Insulating substrate 13 Electron emitting portion 14 Thin film conductor 15, 16 Element electrode 27 Reinforcing plate 28 Frit glass for fixing reinforcing plate

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の電子放出素子を搭載した背面板
と、該背面板と対向して配置されると共に前記電子放出
素子から放出される電子線の照射により画像が形成され
る画像形成部材を搭載した前面板と、前記背面板と前記
前面板の間にあって前記背面板および前記前面板の周縁
を支持する支持枠と、前記前面板と前記背面板の間に支
柱として配置されるスペーサーとを少なくとも有し、こ
れらをフリットガラスを用いて互いに接合して気密構造
にする画像形成装置の製造方法において、 前記支持枠を固定するために前記背面板または前記前面
板に予め塗布されるフリットガラスの仮焼成後の塗布厚
を、前記スペーサーを固定するために前記背面板または
前記前面板に塗布されるフリットガラスの仮焼成後の塗
布厚よりも厚くすることを特徴とする、画像形成装置の
製造方法。
1. A back plate on which a plurality of electron-emitting devices are mounted, and an image forming member which is disposed so as to face the back plate and on which an image is formed by irradiation of an electron beam emitted from the electron-emitting devices. There is at least a mounted front plate, a support frame between the back plate and the front plate for supporting the back plate and the peripheral edges of the front plate, and a spacer arranged as a support between the front plate and the back plate. In the method for manufacturing an image forming apparatus in which these are bonded to each other by using frit glass to form an airtight structure, the frit glass that is pre-applied to the back plate or the front plate in order to fix the support frame is pre-baked. The subsequent coating thickness is set to be thicker than the coating thickness of the frit glass applied to the back plate or the front plate for fixing the spacer after the calcination. That, manufacturing method of an image forming apparatus.
【請求項2】 前記フリットガラスを印刷技術を用いて
塗布することを特徴とする、請求項1に記載の画像形成
装置の製造方法。
2. The method of manufacturing an image forming apparatus according to claim 1, wherein the frit glass is applied using a printing technique.
【請求項3】 前記フリットガラスをディスペンサーを
用いて塗布することを特徴とする、請求項1に記載の画
像形成装置の製造方法。
3. The method of manufacturing an image forming apparatus according to claim 1, wherein the frit glass is applied using a dispenser.
【請求項4】 前記スペーサーおよび前記支持枠を予め
前記背面板に固定することを特徴とする、請求項1乃至
3のいずれか1項に記載の画像形成装置の製造方法。
4. The method of manufacturing an image forming apparatus according to claim 1, wherein the spacer and the support frame are fixed to the back plate in advance.
【請求項5】 前記スペーサーおよび前記支持枠を予め
前記前面板に固定することを特徴とする、請求項1乃至
3のいずれか1項に記載の画像形成装置の製造方法。
5. The method of manufacturing an image forming apparatus according to claim 1, wherein the spacer and the support frame are fixed to the front plate in advance.
【請求項6】 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の
画像形成装置の製造方法により製造された画像形成装
置。
6. An image forming apparatus manufactured by the method for manufacturing an image forming apparatus according to claim 1.
【請求項7】 前記背面板が補強板を有することを特徴
とする、請求項6に記載の画像形成装置。
7. The image forming apparatus according to claim 6, wherein the back plate has a reinforcing plate.
【請求項8】 前記スペーサーが前記支持枠と一体構成
になっていることを特徴とする、請求項6または7に記
載の画像形成装置。
8. The image forming apparatus according to claim 6, wherein the spacer is integrated with the support frame.
【請求項9】 前記気密接合してできた装置内部が真空
になっていることを特徴とする、請求項6または7に記
載の画像形成装置。
9. The image forming apparatus according to claim 6, wherein the inside of the apparatus formed by the airtight bonding is evacuated.
【請求項10】 前記スペーサーを前記前面板と前記背
面板の耐大気圧支持部材として用いることを特徴とす
る、請求項6または7に記載の画像形成装置。
10. The image forming apparatus according to claim 6, wherein the spacer is used as an atmospheric pressure resistant support member for the front plate and the rear plate.
【請求項11】 前記スペーサーを前記前面板と前記背
面板の間隔設定用部材として用いることを特徴とする、
請求項6または7に記載の画像形成装置。
11. The spacer is used as a member for setting a gap between the front plate and the rear plate.
The image forming apparatus according to claim 6.
【請求項12】 前記電子放出素子として表面伝導型電
子放出素子を用いることを特徴とする、請求項6または
7に記載の画像形成装置。
12. The image forming apparatus according to claim 6, wherein a surface conduction electron-emitting device is used as the electron-emitting device.
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