JPH07294770A - 石英系導波路と光ファイバとの接続方法および接続部構造 - Google Patents

石英系導波路と光ファイバとの接続方法および接続部構造

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JPH07294770A
JPH07294770A JP9167594A JP9167594A JPH07294770A JP H07294770 A JPH07294770 A JP H07294770A JP 9167594 A JP9167594 A JP 9167594A JP 9167594 A JP9167594 A JP 9167594A JP H07294770 A JPH07294770 A JP H07294770A
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silica
based waveguide
waveguide
mode field
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Kazuhisa Matsumoto
和久 松本
Kenichi Morosawa
健一 諸沢
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Hitachi Cable Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 石英系光導波路と光ファイバとのモードフィ
ールド径の不一致による結合損失の増加を低減できる接
続方法及び接続部構造を実現する。 【構成】 石英系導波路1の端面1aにそのモードフィ
ールド径が当該石英系導波路1のモードフィールド径よ
りも小さい光ファイバ1の端面2aを突き合せ、光軸調
整後突き合せ部13にCO2 レーザ光を照射して両者を
融着接続する。融着接続前における石英系導波路1のモ
ードフィールド径に対する光ファイバ2のモードフィー
ルド径の割合を80〜95%とし、CO2 レーザ光照射によ
り2000℃程度の温度で3 〜6 秒間加熱することにより、
光ファイバ1の接続端部8のコア7内のGeがクラッド
4内に拡散し、その結果光ファイバ1のモードフィール
ド径が拡大して石英系導波路1のモードフィールド径と
一致する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、石英系導波路と光ファ
イバとの接続方法および接続部構造に関する。
【0002】
【従来の技術】石英系導波路は光ファイバとの整合性に
優れ、量産化が容易であることから次世代の光通信シス
テム用の光部品として有望である。特に石英基板上に形
成される石英系導波路は光ファイバとの融着接続が可能
であり、CO2 レーザ光を熱源とした融着接続方法が検
討されている。これは図4に示すように石英系導波路1
と光ファイバ2とを端面1a,2a同志突き合せ、光軸
調整後、突き合せ部に上方からCO2 レーザ光3を照射
して石英系導波路1と光ファイバ2の端部を溶融一体化
させて接続する方法である。この方法は突き合せ部での
反射を少なくでき、低損失化を図る上で極めて有利であ
る。
【0003】
【解決しようとする課題】ところで、石英系導波路と光
ファイバとを上記の方法で接続するには、両者を十分に
溶融させるために、突き合せ部の温度を2000℃程度の高
温とする必要がある。ここで問題となるのは、光ファイ
バのコア及び導波路のコアに添加された添加物が融着接
続の際に熱拡散し、その結果融着接続部の両者のモード
フィールド径に差が生じる点である。
【0004】一般に光ファイバのコアには屈折率を高め
るためにGe(ゲルマニウム)が添加されている。ま
た、現在実用化されている石英系導波路のコアにはTi
(チタン)が添加されている。GeとTiは石英系材料
中における熱拡散温度が異なり、融着時の加熱温度2000
℃程度ではGeの拡散の度合が大きいのに対し、Tiは
殆ど拡散しない。そのため、石英系導波路1と光ファイ
バ2との突き合せ部にCO2 レーザ光3を照射して両者
を融着させた場合、石英系導波路1と光ファイバ2のモ
ードフィールド径がそれぞれ変化する現象が生じる。そ
の結果当初一致していた石英系導波路1と光ファイバ2
のモードフィールド径が融着接続後は一致しなくなり、
結合損失が大きくなる。図5はその場合の接続部の断面
を示している。光ファイバ2の端面2a近傍のクラッド
4内に、コア5に添加されているGeが端面2aに向か
ってテーパ状に拡散し、コア径が実質上拡径している。
【0005】また、石英系導波路1と光ファイバ2との
従来の接続部構造は、石英系導波路1に光ファイバ2を
直接融着した構造のため機械的強度が小さく、また、こ
の接続部の構造では複数の光ファイバを一括して接続す
るのは困難である。
【0006】本発明は、前記した従来技術の問題点を解
消すべく創案されたものであり、その第1の目的は、石
英系光導波路と光ファイバの融着接続におけるモードフ
ィールド径の不一致による結合損失の増加を低減できる
石英系導波路と光ファイバとの接続方法および接続部構
造を実現することにある。また、第2の目的は、一括し
て複数の光ファイバを高強度に接続でき、かつ信頼性の
高い石英系導波路と光ファイバとの接続部構造を実現す
ることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記第1の目的を達成す
るために、本発明に係る接続方法においては、石英系導
波路の端面にそのモードフィールド径が当該石英系導波
路のモードフィールド径よりも小さい光ファイバの端面
を突き合わせ、光軸調整後突き合せ部を加熱して両者を
融着接続するようにしたことを特徴とする(請求項
1)。この方法で、例えば、コアにTiが添加されてい
る石英系導波路とコアにGeが添加されている光ファイ
バとを融着接続することが望ましい(請求項2)。その
場合、融着接続前における石英系導波路のモードフィー
ルド径に対する光ファイバのモードフィールド径の割合
は80〜95%とすることが望ましい(請求項3)。
【0008】また、本発明に係る第1の接続部構造は、
石英系導波路の端面に当該石英系導波路のコアよりもコ
ア径の小さい光ファイバを融着接続した接続部構造であ
り、石英系導波路の端面に融着接続された光ファイバの
接続端部のクラッド内に、その光ファイバのコアに添加
されている屈折率制御用添加物が接続端の近傍から端面
にかけて漸次広くテーパ状に拡散していることを特徴と
する(請求項4)。
【0009】次に、上記第2の目的を達成するために、
本発明に係る第2の接続部構造は、複数本の光ファイバ
が互いに並列に配置されて石英系導波路の端面に接続さ
れている接続部構造を前提とし、複数本の光ファイバが
石英系ガラスの保持体によって一括して保持され、この
保持体が上記石英系導波路に融着接続されていることを
特徴とする(請求項5)。この第2の接続部構造におい
て、石英系導波路と保持体との接合部の上面あるいは下
面の少なくとも一方が段差無く接合されて融着されてい
ることが望ましい。
【0010】
【作用】上記本発明の接続方法によれば、石英系導波路
よりもモードフィールド径の小さい光ファイバを用いる
ようにしたので、溶融接続の際の加熱により、光ファイ
バの接続端部のクラッド内にコアの屈折率制御用添加物
が接続端の近傍から端面にかけて漸次広くテーパ状に拡
散し、これに伴ってその部分のコア径が実質上拡大し、
接続端部のモードフィールド径が石英系導波路のモード
フィールド径に近付く。したがって溶融接続の際の加熱
温度あるいは加熱時間を調節することにより両者の結合
部のモードフィールド径を一致させることができる。
【0011】上記第1の接続部構造はこの接続方法によ
って実現される。この第1の接続部構造によれば、融着
接続後の石英系導波路と光ファイバの両者のモードフィ
ールド径を一致させ、結合損失の増加を防ぐことができ
る。
【0012】次に、上記第2の接続部構造によれば、石
英系導波路の端面に接続された複数本の光ファイバが、
石英系導波路に融着して固定された保持体によって一括
して保持されているので、接続部の機械的強度が大き
い。更にこの構造は、複数本の光ファイバを保持体に一
括して保持させて、保持体を石英系導波路に融着するこ
とにより容易に実現できる。
【0013】
【実施例】次に、本発明の実施例について説明する。
【0014】[実施例1]図1は本発明に係る石英系導
波路と光ファイバとの接続方法および第1の接続部構造
の一実施例を示す断面図である。石英系導波路1と光フ
ァイバ2の融着接続は、従来例と同様に石英系導波路1
と光ファイバ2とを端面1a,2a同志突合わせて光軸
調整し、突き合せ部13に上方からCO2 レーザ光3を
照射することにより行う。ここで、石英系導波路1のコ
ア6には屈折率制御用添加物としてTiが添加されてお
り、そのモードフィールド径は 9.5μmである。一方、
光ファイバ2のコア7にはGeが添加されており、その
モードフィールド径は 7.9μmである。融着接続前の結
合損失は、モードフィールド径の不一致によって 0.2d
Bと大きな値になっていた。CO2 レーザ光3を 8Wで
5秒間照射すると、石英系導波路1と光ファイバ2との
突き合せ部13は2000℃程度の温度になり、両者は十分
に溶融して一体化する。その際、光ファイバ2のコア7
に添加されているGeが接続端部8のクラッド7内に拡
散してその部分のコア径が実質的に拡大し、結合部での
モードフィールド径が大きくなる。一方、石英系導波路
1のコア6はTi添加であるため拡散しにくく、2000℃
程度では殆ど拡散しない。つまり、光ファイバ2のモー
ドフィールド径のみが大きくなり、石英系導波路1と光
ファイバ2のモードフィールド径はほぼ等しくなる。こ
のことにより、融着終了後の石英系導波路1と光ファイ
バ2の結合損失は低減され、0.05dBとなった。
【0015】以上述べたように光ファイバのコア7の添
加物がGeで熱拡散しやすく、石英系導波路1のコア6
の添加物がTiで熱拡散しにくいことを利用して、石英
系導波路1と光ファイバ2の融着接続部における結合損
失を低減することができる。
【0016】ところで、石英系導波路1と光ファイバ2
の融着接続においては、結合損失が小さいことに加え、
機械強度が大きいことが必要である。機械強度が大きく
するには、結合部において石英系導波路1と光ファイバ
2両者を十分に溶融させなければならない。また、過剰
に溶融してしまうと石英系導波路1のコア6及び光ファ
イバ2のコア7が変形して結合損失が大きくなる。即
ち、CO2 レーザ光3の照射条件(照射パワー及び照射
時間)には最適な範囲が存在する。従って、結合損失と
機械強度が両立するCO2 レーザ光3の照射条件の範囲
で光ファイバ2のモードフィールド径の変化量は制限さ
れる。
【0017】石英系導波路1(Ti添加コア)と光ファ
イバ2(Ge添加コア)との突き合せ部をCO2 レーザ
光3照射によって2000℃程度に加熱して融着接続を行う
場合のレーザ光照射時間は3 〜6 秒が適当である。この
照射条件の範囲では、石英系導波路1のモードフィール
ド径に対する光ファイバ2のモードフィールド径の割合
が80%未満であるとGeの熱拡散が不十分(光ファイバ
2のモードフィールド径が石英系導波路1のそれよりも
依然小)であり、95%を越えるとGeの熱拡散が過剰
(光ファイバ2のモードフィールド径が石英系導波路1
のそれよりも大)となり、いずれの場合もモードフィー
ルド径の不一致による結合損失の増加を招くことにな
る。これは光ファイバの加熱条件を様々に設定して行っ
たコア部のGeドーパントのクラッド部への拡散実験の
結果に基くものである。したがって石英系導波路1のモ
ードフィールド径に対する光ファイバ2のモードフィー
ルド径の割合が80〜95%であればモードフィールド径の
不一致による結合損失の増加を防ぐことができる。言い
換えれば、石英系導波路1のモードフィールド径の割合
を80〜95%に設定すれば、CO2 レーザ光3照射時間を
3 〜6 秒の範囲とすることによってモードフィールド径
の不一致による結合損失の増加が防げることになる。
【0018】[実施例2]図2は、本発明に係る石英系
導波路と光ファイバとの第2の接続部構造の一実施例を
示す斜視図である。石英系導波路1の端面1aには4本
の光ファイバ2を保持した保持体9が突合わせて設けら
れている。この保持体9は、石英系ガラスで作られたブ
ロック状の部材の内部に互いに平行にかつ等間隔に形成
された4つの保持孔10を有し、各保持孔10に光ファ
イバ2を固定することにより、4本の光ファイバ2を石
英系導波路1のコア6の端面の位置と一致するように等
間隔に配列した状態で保持している。そして、石英系導
波路1と光ファイバ2とを調芯し、結合効率が最大とな
った位置で石英系導波路1と保持体9との接合部11に
上方からCO2 レーザ光を照射することにより、石英系
導波路1の端面に溶融接続されている。その際、石英系
導波路1のコア6と光ファイバ2のコア12とが溶け合
うまでレーザ光照射がなされ、石英系導波路1と保持体
9、石英系導波路1と光ファイバ2、光ファイバ2と保
持体9が互いに溶融一体化している。したがってこの接
続部構造は、石英系導波路1と光ファイバ2との接合部
での反射が少なく、接続部の機械的強度も大きい。
【0019】図3は、本発明に係る第2の接続部構造の
他の実施例を示す断面図である。同図の構造において
は、石英系導波路1の上面に保持体9と同材質すなわち
石英系ガラスを主成分とするガラス層9が形成されてお
り、石英系導波路1と光ファイバ2とを調芯した後、石
英系導波路1と保持体9との接合部上面にCO2 レーザ
光3を照射することで、石英系導波路1の端面に保持体
9が溶融接続される。この場合も石英系導波路1のコア
6と光ファイバ2のコア12とが溶け合うまでCO2
ーザ光3の照射が行われ、石英系導波路1と保持体9、
石英系導波路1と光ファイバ2、光ファイバ2と保持体
9が互いに溶融一体化している。石英系導波路1と保持
体9との接合部を均等に溶融させるためには、両者の接
合面に段差がないことが望ましいので、この場合石英系
導波路1と保持体9との段差を無くすように石英系ガラ
ス層9の厚さが調整されている。この構造によれば、石
英系導波路1の上面にガラス層9が形成されていること
により、石英系導波路1と保持体9との接合部11に上
面からCO2 レーザ光3を照射することによる溶融接続
が容易となり、また接続部での機械的強度をさらに大き
なものとすることができる。なお、CO2 レーザ光3の
照射は上面からとは限らず、下面から照射して溶融させ
ることもできる。その場合、石英系導波路1の石英基板
15と保持体9とを段差なく突き合せてCO2 レーザ光
3の照射を行うようにする。
【0020】なお、実施例2の構造においても、石英系
導波路よりもモードフィールド径の小さい光ファイバを
用いることにより、石英系光導波路と光ファイバの融着
接続部における両者のモードフィールド径の不一致によ
る結合損失の増加を低減することができる。
【0021】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば以下のよう
な優れた効果を発揮できる。
【0022】(1)請求項1記載の接続方法によれば、
石英系導波路にそれよりもモードフィールド径の小さい
光ファイバを融着接続するようにしたので、溶融接続の
際の加熱によるコア内添加物のクラッドへの拡散により
光ファイバの接続端部のコア領域を拡大させて石英系導
波路のモードフィールド径と一致させることができ、石
英系導波路と光ファイバとのモードフィールド径の不一
致による結合損失の増加を防ぐことができる。
【0023】(2)請求項2記載の接続方法によれば、
光ファイバのコアに添加されたGeの拡散速度が石英系
導波路のコアに添加されたTiの拡散速度よりも格段速
いので、溶融接続の際の加熱によるコア内Geのクラッ
ドへの拡散により光ファイバの接続端部のコア領域を拡
大させて石英系導波路のモードフィールド径と一致させ
ることができる。
【0024】(3)請求項3記載の接続方法によれば、
融着接続前における石英系導波路のモードフィールド径
に対する光ファイバのモードフィールド径の割合を80〜
95%に設定することにより、Ti添加石英系導波路とG
e添加光ファイバとのモードフィールド径の不一致によ
る結合損失の増加を最も効果的に防ぐことができる。
【0025】(4)請求項4記載の接続部構造は、請求
項1記載の接続方法によって容易に実現でき、石英系導
波路と光ファイバとのモードフィールド径の不一致によ
る結合損失の増加を防ぐことができる。
【0026】(5)請求項5記載の接続部構造は、複数
本の光ファイバを保持体に一括保持させてその保持体を
石英系導波路に融着することにより容易に実現できる。
光ファイバが保持体によって保持されているので接続部
の機械的強度が大きく、信頼性が高い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る第1の接続部構造の一実施例を示
す断面図である。
【図2】本発明に係る第2の接続部構造の一実施例を示
す斜視図である。
【図3】本発明に係る第2の接続部構造の他の実施例を
示す断面図である。
【図4】従来のCO2 レーザ融着接続方法を示す斜視図
である。
【図5】従来の接続部構造を示す断面図である。
【符号の説明】
1 石英系導波路 1a 端面 2 光ファイバ 2a 端面 3 CO2 レーザ光 4 クラッド(光ファイバのクラッド) 6 コア(石英系導波路のコア) 7 コア(光ファイバのコア) 8 接続端部 9 保持体 13 突き合せ部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 石英系導波路の端面にそのモードフィー
    ルド径が当該石英系導波路のモードフィールド径よりも
    小さい光ファイバの端面を突き合せ、光軸調整後突き合
    せ部を加熱して両者を融着接続するようにしたことを特
    徴とする石英系導波路と光ファイバとの接続方法。
  2. 【請求項2】 コアにTiが添加されている石英系導波
    路とコアにGeが添加されている光ファイバとを融着接
    続するようにした請求項1記載の石英系導波路と光ファ
    イバとの接続方法。
  3. 【請求項3】 融着接続前における石英系導波路のモー
    ドフィールド径に対する光ファイバのモードフィールド
    径の割合を80〜95%に設定するようにした請求項2記載
    の石英系導波路と光ファイバとの接続方法。
  4. 【請求項4】 石英系導波路の端面に当該石英系導波路
    のコアよりもコア径の小さい光ファイバが融着接続され
    ており、当該光ファイバの接続端部のクラッド内に、当
    該光ファイバのコアに添加されている屈折率制御用添加
    物が接続端の近傍から端面にかけて漸次広くテーパ状に
    拡散していることを特徴とする石英系導波路と光ファイ
    バとの接続部構造。
  5. 【請求項5】 複数本の光ファイバが互いに並列に配置
    されて石英系導波路の端面に接続されている接続部構造
    において、複数本の光ファイバが石英系ガラスの保持体
    によって一括して保持されており、この保持体が上記石
    英系導波路に融着接続されていることを特徴とする石英
    系導波路と光ファイバとの接続部構造。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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