JPH07294716A - 液晶表示パネル用カラーフィルター - Google Patents
液晶表示パネル用カラーフィルターInfo
- Publication number
- JPH07294716A JPH07294716A JP8451394A JP8451394A JPH07294716A JP H07294716 A JPH07294716 A JP H07294716A JP 8451394 A JP8451394 A JP 8451394A JP 8451394 A JP8451394 A JP 8451394A JP H07294716 A JPH07294716 A JP H07294716A
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- JP
- Japan
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- colored layer
- color filter
- liquid crystal
- electrode film
- transparent electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 カラーフィルターにおいて着色層の段差での
透明電極膜の段切れによる電気的接続不良を低減抑制
し、表示欠陥の無い良好な表示画面を得る。 【構成】 透明基板上に形成された着色層１２，１３，
１４と、それを覆う透明電極膜からなるカラーフィルタ
ーにおいて、平面形状が一つ以上の凹部１６または突出
部１７を有する多角形の着色層１２，１３，１４を形成
し、かつ多角形の着色層１２，１３，１４の角のうち少
なくとも一つはフォトリソグラフィ工程の解像度以下で
かつ２７０°以上の角度をもたせることにより、パター
ンエッヂの段差での透明電極膜の段切れを防止すること
ができるので、表示欠陥の無い液晶表示装置を実現でき
る。
透明電極膜の段切れによる電気的接続不良を低減抑制
し、表示欠陥の無い良好な表示画面を得る。 【構成】 透明基板上に形成された着色層１２，１３，
１４と、それを覆う透明電極膜からなるカラーフィルタ
ーにおいて、平面形状が一つ以上の凹部１６または突出
部１７を有する多角形の着色層１２，１３，１４を形成
し、かつ多角形の着色層１２，１３，１４の角のうち少
なくとも一つはフォトリソグラフィ工程の解像度以下で
かつ２７０°以上の角度をもたせることにより、パター
ンエッヂの段差での透明電極膜の段切れを防止すること
ができるので、表示欠陥の無い液晶表示装置を実現でき
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネル用カラ
ーフィルターに関するものである。
ーフィルターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、液晶表示パネルはＯＡ用としてパ
ソコンやワークステーション、ＡＶ用として車載用ＴＶ
やナビゲーションシステムとして幅広く使用されてきて
おり、そのカラー化も急速に進んできている。液晶パネ
ルは点状の画素を幾何学的に配列することにより構成さ
れているが、万一ひとつの画素が動作不良となれば液晶
パネル上では黒点として現れる、いわゆる点欠陥なる表
示欠陥が生じる。この表示欠陥は視認性を著しく悪化さ
せるが、製造工法上すべてのパネルでしかも画面全体に
わたり全く表示欠陥が無い液晶表示パネルを製造するこ
とは極めて困難であり、いかに表示欠陥を低減するかと
いうことが液晶表示パネルの設計、製造上の大きな問題
である。
ソコンやワークステーション、ＡＶ用として車載用ＴＶ
やナビゲーションシステムとして幅広く使用されてきて
おり、そのカラー化も急速に進んできている。液晶パネ
ルは点状の画素を幾何学的に配列することにより構成さ
れているが、万一ひとつの画素が動作不良となれば液晶
パネル上では黒点として現れる、いわゆる点欠陥なる表
示欠陥が生じる。この表示欠陥は視認性を著しく悪化さ
せるが、製造工法上すべてのパネルでしかも画面全体に
わたり全く表示欠陥が無い液晶表示パネルを製造するこ
とは極めて困難であり、いかに表示欠陥を低減するかと
いうことが液晶表示パネルの設計、製造上の大きな問題
である。
【０００３】ここで従来の技術を図４と図５とを用いて
説明する。液晶表示パネルは、図４で示したように対向
する透明基板１，２を設け、一方の透明基板２の内面に
は表面に透明電極膜３を形成し、他方の透明基板１の内
面には金属膜等で形成した遮光層４とその後形成したそ
れぞれ赤、緑、青に着色した着色層５，６，７とその上
にスパッタ蒸着等で形成した透明電極膜８とを設け（以
降カラーフィルター９と称する）、そして透明基板１と
透明基板２との間に、液晶材料を挟み込むことにより構
成し、各々の透明電極膜３に所定の電圧を与えること
で、液晶分子１０の方向を変化させ、各色の光の透過を
制御し、カラー表示を可能とするものである。
説明する。液晶表示パネルは、図４で示したように対向
する透明基板１，２を設け、一方の透明基板２の内面に
は表面に透明電極膜３を形成し、他方の透明基板１の内
面には金属膜等で形成した遮光層４とその後形成したそ
れぞれ赤、緑、青に着色した着色層５，６，７とその上
にスパッタ蒸着等で形成した透明電極膜８とを設け（以
降カラーフィルター９と称する）、そして透明基板１と
透明基板２との間に、液晶材料を挟み込むことにより構
成し、各々の透明電極膜３に所定の電圧を与えること
で、液晶分子１０の方向を変化させ、各色の光の透過を
制御し、カラー表示を可能とするものである。
【０００４】カラーフィルター９の着色層５，６，７
は、図５に示したようにお互い重なり合わないように幾
何学的にパターニングしている。また、この着色層５，
６，７はフォトレジストと同様の感光性の材質を用いて
おり、通常のフォトリソグラフィ工程と同様に、フォト
マスクを用いた露光・現像により形成する。その後、ス
パッタ蒸着等により透明電極膜８を堆積し、カラーフィ
ルター９を形成する。
は、図５に示したようにお互い重なり合わないように幾
何学的にパターニングしている。また、この着色層５，
６，７はフォトレジストと同様の感光性の材質を用いて
おり、通常のフォトリソグラフィ工程と同様に、フォト
マスクを用いた露光・現像により形成する。その後、ス
パッタ蒸着等により透明電極膜８を堆積し、カラーフィ
ルター９を形成する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例の構成のように着色層５，６，７の上に透明電極膜
８を堆積した場合、その透明電極膜８の厚さが着色層
５，６，７より薄いため、着色層５，６，７の辺たるパ
ターンエッヂの段差で透明電極膜８の段切れが発生しや
すく、透明電極膜８の一部に電気的接続不良が生じる。
来例の構成のように着色層５，６，７の上に透明電極膜
８を堆積した場合、その透明電極膜８の厚さが着色層
５，６，７より薄いため、着色層５，６，７の辺たるパ
ターンエッヂの段差で透明電極膜８の段切れが発生しや
すく、透明電極膜８の一部に電気的接続不良が生じる。
【０００６】したがって、カラーフィルター側の透明電
極膜８が正規の電位にならず、透明電極膜３との間に所
定の電圧がかからないため液晶分子を完全に配向させる
ことができず、表示に異常が生じる。
極膜８が正規の電位にならず、透明電極膜３との間に所
定の電圧がかからないため液晶分子を完全に配向させる
ことができず、表示に異常が生じる。
【０００７】そこで、本発明はカラーフィルターの着色
層の段差による透明電極膜の段切れを防止し、透明電極
膜の部分的な電気的接続不良が生じない液晶表示パネル
用カラーフィルターを提供することを目的とするもので
ある。
層の段差による透明電極膜の段切れを防止し、透明電極
膜の部分的な電気的接続不良が生じない液晶表示パネル
用カラーフィルターを提供することを目的とするもので
ある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、透明基板上に形成された着色層と前記着色層
の一部または全部を覆う透明電極膜からなり、前記透明
基板の主面とほぼ平行な前記着色層の平面形状を前記着
色層の内側への凹部または前記着色層の外側への突出部
のうち少なくとも一方を有する構成としたものである。
また望ましくは着色層の辺たるパターンエッヂについ
て、凹部または突出部の前記パターンエッヂは直線で形
成することで前記着色層の平面形状は多角形とし、前記
多角形の角のうち少なくとも一つは２７０°以上の角度
を有しかつフォトリソグラフィ工程の解像度以下で作成
することで前記角のフォトリソグラフィ工程の解像度以
下の領域の前記パターンエッヂに末広がり状の傾斜をつ
けた構成とする。さらに望ましくは、着色層を幾何学的
な規則的配列とし、かつ隣接する前記着色層において、
対向する前記着色層の辺たるパターンエッヂ同士が平行
となるよう配列した構成である。
するため、透明基板上に形成された着色層と前記着色層
の一部または全部を覆う透明電極膜からなり、前記透明
基板の主面とほぼ平行な前記着色層の平面形状を前記着
色層の内側への凹部または前記着色層の外側への突出部
のうち少なくとも一方を有する構成としたものである。
また望ましくは着色層の辺たるパターンエッヂについ
て、凹部または突出部の前記パターンエッヂは直線で形
成することで前記着色層の平面形状は多角形とし、前記
多角形の角のうち少なくとも一つは２７０°以上の角度
を有しかつフォトリソグラフィ工程の解像度以下で作成
することで前記角のフォトリソグラフィ工程の解像度以
下の領域の前記パターンエッヂに末広がり状の傾斜をつ
けた構成とする。さらに望ましくは、着色層を幾何学的
な規則的配列とし、かつ隣接する前記着色層において、
対向する前記着色層の辺たるパターンエッヂ同士が平行
となるよう配列した構成である。
【０００９】
【作用】本発明は上記構成により、カラーフィルターの
着色層の辺たるパターンエッヂ（以後パターンエッヂと
する）の長さが従来よりも長くなり、パターンエッヂの
段差で透明電極膜の段切れが生じる確率は低くなり、そ
の結果透明電極膜の電気的接続不良が低減できる。また
着色層のフォトリソグラフィ工程の解像度以下の部分
は、露光量が不十分な領域が段階的にできるためパター
ンエッヂの段差がなだらかな末広がり状の傾斜を持ち、
その結果パターンエッヂでの透明電極膜の段切れを防止
できるものである。
着色層の辺たるパターンエッヂ（以後パターンエッヂと
する）の長さが従来よりも長くなり、パターンエッヂの
段差で透明電極膜の段切れが生じる確率は低くなり、そ
の結果透明電極膜の電気的接続不良が低減できる。また
着色層のフォトリソグラフィ工程の解像度以下の部分
は、露光量が不十分な領域が段階的にできるためパター
ンエッヂの段差がなだらかな末広がり状の傾斜を持ち、
その結果パターンエッヂでの透明電極膜の段切れを防止
できるものである。
【００１０】
（実施例１）以下本発明の実施例について図１を用いて
説明する。図１において、透明基板（図示せず）上に金
属膜等で形成した遮光層１１を形成し、次に着色層
（赤）１２、着色層（緑）１３、着色層（青）１４を形
成する。この着色層１２，１３，１４はフォトレジスト
と同様の感光性の材質を用いており、通常のフォトリソ
グラフィ工程と同様に、フォトマスクを用いた露光・現
像により形成する。その後、スパッタ蒸着等により透明
電極膜（図示せず）を着色層の一部または全部に堆積
し、カラーフィルター１５を形成している。断面形状は
図４の従来例とほぼ同じである。
説明する。図１において、透明基板（図示せず）上に金
属膜等で形成した遮光層１１を形成し、次に着色層
（赤）１２、着色層（緑）１３、着色層（青）１４を形
成する。この着色層１２，１３，１４はフォトレジスト
と同様の感光性の材質を用いており、通常のフォトリソ
グラフィ工程と同様に、フォトマスクを用いた露光・現
像により形成する。その後、スパッタ蒸着等により透明
電極膜（図示せず）を着色層の一部または全部に堆積
し、カラーフィルター１５を形成している。断面形状は
図４の従来例とほぼ同じである。
【００１１】カラーフィルター１５の着色層１２，１
３，１４はそれぞれの画素毎に島状に形成し、透明基板
の主面とほぼ平行な着色層１２，１３，１４の平面形状
は着色層１２，１３，１４の内側への凹部１６、着色層
１２，１３，１４の外側への突出部１７をそれぞれ一つ
ずつ有し、凹部１６、突出部１７双方ともパターンエッ
ヂは直線としている。ゆえに着色層１２，１３，１４は
多角形となる。
３，１４はそれぞれの画素毎に島状に形成し、透明基板
の主面とほぼ平行な着色層１２，１３，１４の平面形状
は着色層１２，１３，１４の内側への凹部１６、着色層
１２，１３，１４の外側への突出部１７をそれぞれ一つ
ずつ有し、凹部１６、突出部１７双方ともパターンエッ
ヂは直線としている。ゆえに着色層１２，１３，１４は
多角形となる。
【００１２】また各着色層を幾何学的な規則的配列とし
ており、隣接する着色層において対向するパターンエッ
ヂ同士は平行となるように配列している。このため従来
の矩形の着色層５，６，７と比べ、着色層１２，１３，
１４のパターンエッジの長さは長くなり、またこの着色
層１２，１３，１４の配列は、着色層の面積をできるだ
け大きくするのに寄与している。このため透明電極膜を
形成した際パターンエッヂの段差で生じる透明電極膜の
段切れの発生は確率的に低くなり、透明電極膜の電気的
接続不良を防止することができる。
ており、隣接する着色層において対向するパターンエッ
ヂ同士は平行となるように配列している。このため従来
の矩形の着色層５，６，７と比べ、着色層１２，１３，
１４のパターンエッジの長さは長くなり、またこの着色
層１２，１３，１４の配列は、着色層の面積をできるだ
け大きくするのに寄与している。このため透明電極膜を
形成した際パターンエッヂの段差で生じる透明電極膜の
段切れの発生は確率的に低くなり、透明電極膜の電気的
接続不良を防止することができる。
【００１３】また着色層１２，１３，１４は、２７０°
の角１８を持つような形状としている。本実施例では一
つの着色層につき、４つの２７０°の角を有している。
この時着色層１２，１３，１４を形成するフォトリソグ
ラフィ工程において、フォトマスクには１１に示すよう
なフォトリソグラフィ工程の解像度以下の領域１１（図
１の黒く塗りつぶした直角二等辺三角形の部分）が生
じ、転写される。領域１１において、パターンエッヂを
構成する直角をはさむ二等辺三角形の二辺は、フォトリ
ソグラフィ工程の解像度以下の長さである。この領域１
１はフォトリソグラフィ工程の解像度以下なので露光不
十分な領域が段階的になり、この領域１１の着色層１
２，１３，１４におけるパターンエッヂの段差はなめら
かな末広がり状の傾斜を持つ。従って領域１１での透明
電極膜の段切れを効果的に防止することができる。なお
今回は２７０°の角としたが、２７０°以上の角であっ
ても差し支えない。
の角１８を持つような形状としている。本実施例では一
つの着色層につき、４つの２７０°の角を有している。
この時着色層１２，１３，１４を形成するフォトリソグ
ラフィ工程において、フォトマスクには１１に示すよう
なフォトリソグラフィ工程の解像度以下の領域１１（図
１の黒く塗りつぶした直角二等辺三角形の部分）が生
じ、転写される。領域１１において、パターンエッヂを
構成する直角をはさむ二等辺三角形の二辺は、フォトリ
ソグラフィ工程の解像度以下の長さである。この領域１
１はフォトリソグラフィ工程の解像度以下なので露光不
十分な領域が段階的になり、この領域１１の着色層１
２，１３，１４におけるパターンエッヂの段差はなめら
かな末広がり状の傾斜を持つ。従って領域１１での透明
電極膜の段切れを効果的に防止することができる。なお
今回は２７０°の角としたが、２７０°以上の角であっ
ても差し支えない。
【００１４】なお別の実施例として、着色層がストライ
プ状に形成されたカラーフィルターであっても、本発明
の構成をもって透明電極膜の段切れを防止することがで
きる。
プ状に形成されたカラーフィルターであっても、本発明
の構成をもって透明電極膜の段切れを防止することがで
きる。
【００１５】（実施例２）本発明の別の実施例について
図２，図３を用いて説明する。実施例１との違いは図２
において着色層２０，２１，２２の形状を複数の凹部を
有する形状としたものである。すなわち、着色層の長辺
のパターンエッヂが鋸刃状のパターンエッヂとしている
ことに違いがある。
図２，図３を用いて説明する。実施例１との違いは図２
において着色層２０，２１，２２の形状を複数の凹部を
有する形状としたものである。すなわち、着色層の長辺
のパターンエッヂが鋸刃状のパターンエッヂとしている
ことに違いがある。
【００１６】鋸刃状のパターンエッヂ２３はパターンエ
ッヂ２４及びパターンエッヂ２５の連続で構成されてお
り、パターンエッヂ２４及びパターンエッヂ２５の長さ
はフォトリソグラフィ工程の解像度以下でもそれ以上で
も良い。またパターンエッヂ２４とパターンエッヂ２５
がなす角２６は２７０°以上としている。
ッヂ２４及びパターンエッヂ２５の連続で構成されてお
り、パターンエッヂ２４及びパターンエッヂ２５の長さ
はフォトリソグラフィ工程の解像度以下でもそれ以上で
も良い。またパターンエッヂ２４とパターンエッヂ２５
がなす角２６は２７０°以上としている。
【００１７】この場合においてもフォトリソグラフィ工
程において、フォトマスクには角２６近傍で解像度以下
の部分が生じ、着色層２０，２１，２２には露光不十分
な領域が段階的になり、角２６近傍の着色層２０，２
１，２２におけるパターンエッヂの段差はなめらかな末
広がり状の傾斜を持つ。従って着色層２０，２１，２２
の角２６周辺はちょうどＵ字谷状となり、角２６周辺で
透明電極膜の段切れを効果的に防止することができる。
程において、フォトマスクには角２６近傍で解像度以下
の部分が生じ、着色層２０，２１，２２には露光不十分
な領域が段階的になり、角２６近傍の着色層２０，２
１，２２におけるパターンエッヂの段差はなめらかな末
広がり状の傾斜を持つ。従って着色層２０，２１，２２
の角２６周辺はちょうどＵ字谷状となり、角２６周辺で
透明電極膜の段切れを効果的に防止することができる。
【００１８】また別の実施例として図３に示したように
方形型の切り欠き３３を着色層３０，３１，３２のパタ
ーンエッヂに形成することにより複数の凹部を設けても
良い。この場合、切り欠き３３近傍のパターンエッヂは
Ｕ字谷状となる。
方形型の切り欠き３３を着色層３０，３１，３２のパタ
ーンエッヂに形成することにより複数の凹部を設けても
良い。この場合、切り欠き３３近傍のパターンエッヂは
Ｕ字谷状となる。
【００１９】尚本実施例では着色層の長辺について従来
の形状と異なる形状としたが、着色層の短辺に施しても
同様の効果が得られることは言うまでもない。
の形状と異なる形状としたが、着色層の短辺に施しても
同様の効果が得られることは言うまでもない。
【００２０】また特許請求の範囲及び発明の詳細な説明
中で使用した多角形とは、フォトリソグラフィ工程の解
像度の影響で多角形の全ての角が面取りされた形状を含
み、実際にはこのような形状となっている。
中で使用した多角形とは、フォトリソグラフィ工程の解
像度の影響で多角形の全ての角が面取りされた形状を含
み、実際にはこのような形状となっている。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、透明電極膜の電気的接続不良を防止することが
できる。これにより、液晶表示パネルの表示不良を低減
でき、歩留まりの向上を図ることができる。
よれば、透明電極膜の電気的接続不良を防止することが
できる。これにより、液晶表示パネルの表示不良を低減
でき、歩留まりの向上を図ることができる。
【図１】本発明の一実施例の液晶表示パネル用カラーフ
ィルターの平面図
ィルターの平面図
【図２】（ａ）は本発明の他の実施例の液晶表示パネル
用カラーフィルターの平面図 （ｂ）は同拡大図
用カラーフィルターの平面図 （ｂ）は同拡大図
【図３】本発明の他の実施例の液晶表示パネル用カラー
フィルターの平面図
フィルターの平面図
【図４】従来の液晶表示パネルの断面図
【図５】従来の液晶表示パネル用カラーフィルターの平
面図
面図
１２ 着色層（赤） １３ 着色層（緑） １４ 着色層（青） １５ カラーフィルター １６ 凹部 １７ 突出部 １８ 角
Claims (3)
- 【請求項１】 透明基板上に形成された着色層と前記着
色層の一部または全部を覆う透明電極膜からなり、前記
透明基板の主面とほぼ平行な前記着色層の平面形状を、
前記着色層の内側への凹部または前記着色層の外側への
突出部のうち少なくとも一方を有する形状とした液晶表
示パネル用カラーフィルター。 - 【請求項２】 着色層の辺たるパターンエッヂについ
て、凹部または突出部の前記パターンエッヂは直線で形
成することで前記着色層の平面形状は多角形とし、前記
多角形の角のうち少なくとも一つは２７０°以上の角度
を有しかつフォトリソグラフィ工程の解像度以下で作成
することで前記角のフォトリソグラフィ工程の解像度以
下の領域の前記パターンエッヂに末広がり状の傾斜をつ
けた請求項１記載の液晶表示パネル用カラーフィルタ
ー。 - 【請求項３】 着色層を幾何学的な規則的配列とし、か
つ隣接する前記着色層において、対向する前記着色層の
辺たるパターンエッヂ同士が平行となるよう配列した請
求項１または請求項２記載の液晶表示パネル用カラーフ
ィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8451394A JPH07294716A (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | 液晶表示パネル用カラーフィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8451394A JPH07294716A (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | 液晶表示パネル用カラーフィルター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07294716A true JPH07294716A (ja) | 1995-11-10 |
Family
ID=13832726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8451394A Pending JPH07294716A (ja) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | 液晶表示パネル用カラーフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07294716A (ja) |
-
1994
- 1994-04-22 JP JP8451394A patent/JPH07294716A/ja active Pending
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