JPH07294614A - Ｓｑｕｉｄ素子 - Google Patents
Ｓｑｕｉｄ素子Info
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- JPH07294614A JPH07294614A JP10746194A JP10746194A JPH07294614A JP H07294614 A JPH07294614 A JP H07294614A JP 10746194 A JP10746194 A JP 10746194A JP 10746194 A JP10746194 A JP 10746194A JP H07294614 A JPH07294614 A JP H07294614A
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- JP
- Japan
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- squid
- pickup coil
- coil
- loop
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡易な構成で、かつ耐衝撃性等に対する信頼
度の高いＳＱＵＩＤ素子を提供する。 【構成】 基板２上に、ＳＱＵＩＤループ３と、外部磁
束を検出するピックアップコイル５と、ピックアップコ
イル５とループをなすように形成されるとともにピック
アップコイル５が検出した外部磁束をＳＱＵＩＤループ
３に磁気的に結合する入力コイル６とを一体形成し、例
えば基板２の外周付近にピックアップコイル５を形成
し、その内側に電極を形成し、ＳＱＵＩＤループ３を介
してピックアップコイル５と入力コイル６を接続するよ
うに構成した。
度の高いＳＱＵＩＤ素子を提供する。 【構成】 基板２上に、ＳＱＵＩＤループ３と、外部磁
束を検出するピックアップコイル５と、ピックアップコ
イル５とループをなすように形成されるとともにピック
アップコイル５が検出した外部磁束をＳＱＵＩＤループ
３に磁気的に結合する入力コイル６とを一体形成し、例
えば基板２の外周付近にピックアップコイル５を形成
し、その内側に電極を形成し、ＳＱＵＩＤループ３を介
してピックアップコイル５と入力コイル６を接続するよ
うに構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、人体や小動物等から発
生する磁場を計測する医療診断装置（詳細には心磁波、
脳磁波、眼筋磁場等の生体磁気を計測する装置）、また
は、地磁気計測用装置、あるいは物性測定装置（詳細に
は物質の帯磁率を計測する装置）、さらには通信装置
（詳細には磁気的信号伝送用のインターフェイス）等に
適したＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interfer
ence Device ：超伝導量子干渉デバイス）素子に関す
る。ここに、ＳＱＵＩＤとは、液体ヘリウムや液体窒素
等により断熱容器（クライオスタットやデュワー等）内
で低温状態に維持され、ループ内にジョセフソン接合を
含む超伝導ループであるＳＱＵＩＤループに直流電流を
バイアス電流として印加して駆動し、このＳＱＵＩＤル
ープ内に、ピックアップコイルや入力コイル等を介して
外部からの磁束を結合して印加すると、ＳＱＵＩＤルー
プに周回電流が誘起され、ループ内のジョセフソン接合
における量子的な干渉効果により、印加された外部磁束
の微弱な変化を出力電圧の大きな変化に変換するトラン
スデューサとして動作することを利用して、微小磁束変
化を測定する素子である。ＳＱＵＩＤには、ＳＱＵＩＤ
ループ内にジョセフソン接合を１個だけ含むｒｆＳＱＵ
ＩＤと、ＳＱＵＩＤループ内にジョセフソン接合を２個
含むｄｃＳＱＵＩＤなどがある。
生する磁場を計測する医療診断装置（詳細には心磁波、
脳磁波、眼筋磁場等の生体磁気を計測する装置）、また
は、地磁気計測用装置、あるいは物性測定装置（詳細に
は物質の帯磁率を計測する装置）、さらには通信装置
（詳細には磁気的信号伝送用のインターフェイス）等に
適したＳＱＵＩＤ（Superconducting Quantum Interfer
ence Device ：超伝導量子干渉デバイス）素子に関す
る。ここに、ＳＱＵＩＤとは、液体ヘリウムや液体窒素
等により断熱容器（クライオスタットやデュワー等）内
で低温状態に維持され、ループ内にジョセフソン接合を
含む超伝導ループであるＳＱＵＩＤループに直流電流を
バイアス電流として印加して駆動し、このＳＱＵＩＤル
ープ内に、ピックアップコイルや入力コイル等を介して
外部からの磁束を結合して印加すると、ＳＱＵＩＤルー
プに周回電流が誘起され、ループ内のジョセフソン接合
における量子的な干渉効果により、印加された外部磁束
の微弱な変化を出力電圧の大きな変化に変換するトラン
スデューサとして動作することを利用して、微小磁束変
化を測定する素子である。ＳＱＵＩＤには、ＳＱＵＩＤ
ループ内にジョセフソン接合を１個だけ含むｒｆＳＱＵ
ＩＤと、ＳＱＵＩＤループ内にジョセフソン接合を２個
含むｄｃＳＱＵＩＤなどがある。
【０００２】
【従来の技術】従来のＳＱＵＩＤ磁束計は、外部磁場を
検出するピックアップコイルと、ピックアップコイルの
検出した外部磁束をセンサであるＳＱＵＩＤループに磁
気的結合する入力コイルを、それぞれ別個に作製し、両
者を超伝導接続することにより構成されていた。
検出するピックアップコイルと、ピックアップコイルの
検出した外部磁束をセンサであるＳＱＵＩＤループに磁
気的結合する入力コイルを、それぞれ別個に作製し、両
者を超伝導接続することにより構成されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のＳ
ＱＵＩＤ磁束計の構成では、ピックアップコイルとＳＱ
ＵＩＤ素子内の入力コイルとの間の超伝導接続に高度な
技術が必要であること、また、超伝導接続部が機械的衝
撃に弱く信頼性の点で劣ること、などの問題点があっ
た。本発明は、上記の問題点を解決するためになされた
ものであり、簡易な構成で、かつ耐衝撃性等に対する信
頼度の高いＳＱＵＩＤ素子を提供することを目的とす
る。
ＱＵＩＤ磁束計の構成では、ピックアップコイルとＳＱ
ＵＩＤ素子内の入力コイルとの間の超伝導接続に高度な
技術が必要であること、また、超伝導接続部が機械的衝
撃に弱く信頼性の点で劣ること、などの問題点があっ
た。本発明は、上記の問題点を解決するためになされた
ものであり、簡易な構成で、かつ耐衝撃性等に対する信
頼度の高いＳＱＵＩＤ素子を提供することを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係るＳＱＵＩＤ素子は、基板上に、ＳＱＵ
ＩＤループと、外部磁束を検出するピックアップコイル
と、当該ピックアップコイルとループをなすように形成
されるとともに当該ピックアップコイルが検出した外部
磁束を前記ＳＱＵＩＤループに磁気的に結合する入力コ
イルと、を一体形成して構成される。上記において、ピ
ックアップコイルは、前記基板の外周付近に形成しても
よい。また、上記において、ＳＱＵＩＤ素子は信号入出
力用の電極を有し、前記ＳＱＵＩＤ素子の信号入出力用
の電極は前記ピックアップコイルの内側に形成されるよ
うに構成してもよい。そして、上記において、ピックア
ップコイルと入力コイルとの接続は、前記ＳＱＵＩＤル
ープを介して行われるように構成してもよい。
め、本発明に係るＳＱＵＩＤ素子は、基板上に、ＳＱＵ
ＩＤループと、外部磁束を検出するピックアップコイル
と、当該ピックアップコイルとループをなすように形成
されるとともに当該ピックアップコイルが検出した外部
磁束を前記ＳＱＵＩＤループに磁気的に結合する入力コ
イルと、を一体形成して構成される。上記において、ピ
ックアップコイルは、前記基板の外周付近に形成しても
よい。また、上記において、ＳＱＵＩＤ素子は信号入出
力用の電極を有し、前記ＳＱＵＩＤ素子の信号入出力用
の電極は前記ピックアップコイルの内側に形成されるよ
うに構成してもよい。そして、上記において、ピックア
ップコイルと入力コイルとの接続は、前記ＳＱＵＩＤル
ープを介して行われるように構成してもよい。
【０００５】
【作用】上記構成を有する本発明によれば、ピックアッ
プコイルとＳＱＵＩＤ素子内の入力コイルは同一基板上
に一体形成されるので、従来のような両者間の超伝導接
続は不要となり、また、超伝導接続部がなくなることに
より機械的衝撃にも影響を受けなくなり素子としての信
頼性が格段に向上する。また、さらにピックアップコイ
ルを基板の外周付近に形成すれば、ピックアップコイル
の磁場検出面積を拡大することができる。また、さらに
ＳＱＵＩＤ素子の信号入出力用の電極を前記ピックアッ
プコイルの内側に形成するようにすれば、ピックアップ
コイルの磁場検出面積を犠牲にすることなく電極面積を
大きくできるため、ＳＱＵＩＤ素子の電極と接続する電
極の間に導電体を挟んで直接的に電気的コンタクトをと
るフリップチップと呼ばれる接続方式を採用するにも、
専用装置を使用せずにフリップチップ接続を行うことが
可能となる。また、さらにピックアップコイルと入力コ
イルとの接続を前記ＳＱＵＩＤループを介して行えば、
通常の製造プロセスでは、ＳＱＵＩＤループの上に、絶
縁層・入力コイル・絶縁層・コイル接続部（ピックアッ
プコイルと入力コイルとを接続する部分）の４層を積層
する必要があるのに対し、２層分の積層プロセスを省略
することができ従来よりも製造プロセスを大幅に短縮化
でき、歩留りの向上が図れる。
プコイルとＳＱＵＩＤ素子内の入力コイルは同一基板上
に一体形成されるので、従来のような両者間の超伝導接
続は不要となり、また、超伝導接続部がなくなることに
より機械的衝撃にも影響を受けなくなり素子としての信
頼性が格段に向上する。また、さらにピックアップコイ
ルを基板の外周付近に形成すれば、ピックアップコイル
の磁場検出面積を拡大することができる。また、さらに
ＳＱＵＩＤ素子の信号入出力用の電極を前記ピックアッ
プコイルの内側に形成するようにすれば、ピックアップ
コイルの磁場検出面積を犠牲にすることなく電極面積を
大きくできるため、ＳＱＵＩＤ素子の電極と接続する電
極の間に導電体を挟んで直接的に電気的コンタクトをと
るフリップチップと呼ばれる接続方式を採用するにも、
専用装置を使用せずにフリップチップ接続を行うことが
可能となる。また、さらにピックアップコイルと入力コ
イルとの接続を前記ＳＱＵＩＤループを介して行えば、
通常の製造プロセスでは、ＳＱＵＩＤループの上に、絶
縁層・入力コイル・絶縁層・コイル接続部（ピックアッ
プコイルと入力コイルとを接続する部分）の４層を積層
する必要があるのに対し、２層分の積層プロセスを省略
することができ従来よりも製造プロセスを大幅に短縮化
でき、歩留りの向上が図れる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図にもとづいて説明
する。本発明の一実施例であるＳＱＵＩＤ素子の全体構
成を図１に示す。図に示すように、このＳＱＵＩＤ素子
１は、５ｍｍ角のチップ基板２上に、single - washer
型のＳＱＵＩＤループ３を形成し、ＳＱＵＩＤループ３
内にジョセフソン・トンネル接合４を設け、ＳＱＵＩＤ
駆動用のバイアス電流を電極ｔ1，ｔ2 間に印加すると
ともにＳＱＵＩＤ出力電圧を電極ｔ1 ，ｔ2 間から取り
出し、外部磁束を検出するためにＳＱＵＩＤループ３の
外側で基板２の外周付近に４．５ｍｍ角のピックアップ
コイル５を配設し、このピックアップコイル５が検出し
た外部磁束をＳＱＵＩＤループ３に結合させるためにコ
イルコンタクトＣ1，Ｃ2 により上記ＳＱＵＩＤループ
３を利用してピックアップコイル５と入力コイル６との
接続をとり、上記ＳＱＵＩＤループ３にＦＬＬ（Flux l
ocked loop：磁束ロックループ）用のフィードバック磁
束の印加等を行うためのフィードバックコイル７および
電極ｔ3 ，ｔ4 を備えて構成されている。上記の構成に
より、ＳＱＵＩＤループ３とピックアップコイル５が同
一基板２上に一体形成されている。
する。本発明の一実施例であるＳＱＵＩＤ素子の全体構
成を図１に示す。図に示すように、このＳＱＵＩＤ素子
１は、５ｍｍ角のチップ基板２上に、single - washer
型のＳＱＵＩＤループ３を形成し、ＳＱＵＩＤループ３
内にジョセフソン・トンネル接合４を設け、ＳＱＵＩＤ
駆動用のバイアス電流を電極ｔ1，ｔ2 間に印加すると
ともにＳＱＵＩＤ出力電圧を電極ｔ1 ，ｔ2 間から取り
出し、外部磁束を検出するためにＳＱＵＩＤループ３の
外側で基板２の外周付近に４．５ｍｍ角のピックアップ
コイル５を配設し、このピックアップコイル５が検出し
た外部磁束をＳＱＵＩＤループ３に結合させるためにコ
イルコンタクトＣ1，Ｃ2 により上記ＳＱＵＩＤループ
３を利用してピックアップコイル５と入力コイル６との
接続をとり、上記ＳＱＵＩＤループ３にＦＬＬ（Flux l
ocked loop：磁束ロックループ）用のフィードバック磁
束の印加等を行うためのフィードバックコイル７および
電極ｔ3 ，ｔ4 を備えて構成されている。上記の構成に
より、ＳＱＵＩＤループ３とピックアップコイル５が同
一基板２上に一体形成されている。
【０００７】図１に示すように、チップ基板２の略中央
部に形成されたsingle - washer 型のＳＱＵＩＤループ
３は幅が広く、ＳＱＵＩＤループ３の直上に入力コイル
６がスパイラル構造で積層形成され、相互に磁気的に結
合している。また、フィードバックコイル７はＳＱＵＩ
Ｄループ３の直上にループ構造で積層形成され、相互に
磁気的に結合している。また、コイルコンタクトＣ1 ，
Ｃ2 はＳＱＵＩＤループ３を介して相互に超伝導接続さ
れており、これによりピックアップコイル５と入力コイ
ル６は一つのループを構成し、ピックアップコイル５が
検出した外部磁束が入力コイル６からＳＱＵＩＤループ
３に結合される。
部に形成されたsingle - washer 型のＳＱＵＩＤループ
３は幅が広く、ＳＱＵＩＤループ３の直上に入力コイル
６がスパイラル構造で積層形成され、相互に磁気的に結
合している。また、フィードバックコイル７はＳＱＵＩ
Ｄループ３の直上にループ構造で積層形成され、相互に
磁気的に結合している。また、コイルコンタクトＣ1 ，
Ｃ2 はＳＱＵＩＤループ３を介して相互に超伝導接続さ
れており、これによりピックアップコイル５と入力コイ
ル６は一つのループを構成し、ピックアップコイル５が
検出した外部磁束が入力コイル６からＳＱＵＩＤループ
３に結合される。
【０００８】上記のように構成することにより、通常の
製造プロセスでは、ＳＱＵＩＤループの上に、絶縁層・
入力コイル・絶縁層・コイル接続部（ピックアップコイ
ルと入力コイルとを接続する部分）の４層を積層する必
要があるが、本実施例では、ＳＱＵＩＤループ３を介し
てコイル接続をとる構造としたので２層分の積層プロセ
スを省略することができ従来よりも製造プロセスを大幅
に短縮化でき、歩留りの向上が図れる、などの利点があ
る。
製造プロセスでは、ＳＱＵＩＤループの上に、絶縁層・
入力コイル・絶縁層・コイル接続部（ピックアップコイ
ルと入力コイルとを接続する部分）の４層を積層する必
要があるが、本実施例では、ＳＱＵＩＤループ３を介し
てコイル接続をとる構造としたので２層分の積層プロセ
スを省略することができ従来よりも製造プロセスを大幅
に短縮化でき、歩留りの向上が図れる、などの利点があ
る。
【０００９】また、従来のＳＱＵＩＤ素子では、信号入
出力用の電極は外部との接続をワイヤーボンディングで
行いやすいように、チップ基板の外周付近に配置されて
おり、電極面積は小さくて十分であった。
出力用の電極は外部との接続をワイヤーボンディングで
行いやすいように、チップ基板の外周付近に配置されて
おり、電極面積は小さくて十分であった。
【００１０】これに対し、本実施例のＳＱＵＩＤ素子１
では、チップ基板２を通常の場合と同程度の大きさであ
るが、その外周付近にピックアップコイル５を配置する
構成をとっている。
では、チップ基板２を通常の場合と同程度の大きさであ
るが、その外周付近にピックアップコイル５を配置する
構成をとっている。
【００１１】このようにチップ基板２の外周付近にピッ
クアップコイル５を配置する構成を採用した理由は、通
常、ＳＱＵＩＤ素子と別個に形成され、ＳＱＵＩＤ素子
の大きさに比べてかなり大きかった従来型のピックアッ
プコイルと同様な磁場検出性能をチップ基板上に積層形
成されたピックアップコイルで確保するためには、ピッ
クアップコイルの磁場検出面積を大きくする必要があ
る。
クアップコイル５を配置する構成を採用した理由は、通
常、ＳＱＵＩＤ素子と別個に形成され、ＳＱＵＩＤ素子
の大きさに比べてかなり大きかった従来型のピックアッ
プコイルと同様な磁場検出性能をチップ基板上に積層形
成されたピックアップコイルで確保するためには、ピッ
クアップコイルの磁場検出面積を大きくする必要があ
る。
【００１２】上記の理由から、本実施例ではチップ基板
２の外周付近にピックアップコイル５を配置する構成を
採用したが、ＳＱＵＩＤ素子１への信号入出力用の電極
の配置位置が問題となる。チップ基板２の外周付近にピ
ックアップコイル５を配置する構成の結果、外周部のピ
ックアップコイル５と中央部のＳＱＵＩＤループ３との
間にスペースを生み出すことができるので、このピック
アップコイル５の内側の部分に電極を配置することが考
えられる。
２の外周付近にピックアップコイル５を配置する構成を
採用したが、ＳＱＵＩＤ素子１への信号入出力用の電極
の配置位置が問題となる。チップ基板２の外周付近にピ
ックアップコイル５を配置する構成の結果、外周部のピ
ックアップコイル５と中央部のＳＱＵＩＤループ３との
間にスペースを生み出すことができるので、このピック
アップコイル５の内側の部分に電極を配置することが考
えられる。
【００１３】一方、だからといって、外部接続用の電極
をピックアップコイル５の外側に設けると、電極の大き
さの分だけピックアップコイルを内方へ配置しなければ
ならず、ピックアップコイルの磁場検出性能が低下する
おそれがある。また、製造プロセスの観点からも、ピッ
クアップコイルの上に、ピックアップコイルを横切る接
続部を形成するため、絶縁層・接続部（ＳＱＵＩＤ素子
と外部とを接続する部分）の２層をさらに積層する必要
があり、歩留りが低下する、というおそれも考えられ
る。
をピックアップコイル５の外側に設けると、電極の大き
さの分だけピックアップコイルを内方へ配置しなければ
ならず、ピックアップコイルの磁場検出性能が低下する
おそれがある。また、製造プロセスの観点からも、ピッ
クアップコイルの上に、ピックアップコイルを横切る接
続部を形成するため、絶縁層・接続部（ＳＱＵＩＤ素子
と外部とを接続する部分）の２層をさらに積層する必要
があり、歩留りが低下する、というおそれも考えられ
る。
【００１４】本実施例では、外周部のピックアップコイ
ル５と中央部のＳＱＵＩＤループ３との間に生み出され
たスペースを他の問題を惹起させずに活用するため、こ
の生み出しスペース部分に、従来よりもかなり大きな４
つの電極ｔ1 〜ｔ4 を配置するような構成をとってい
る。
ル５と中央部のＳＱＵＩＤループ３との間に生み出され
たスペースを他の問題を惹起させずに活用するため、こ
の生み出しスペース部分に、従来よりもかなり大きな４
つの電極ｔ1 〜ｔ4 を配置するような構成をとってい
る。
【００１５】このような構成により、ピックアップコイ
ルの磁場検出面積を犠牲にすることなく電極面積を大き
くできるため、ＳＱＵＩＤ素子の電極と接続する電極の
間に導電体を挟んで直接的に電気的コンタクトをとるフ
リップチップと呼ばれる接続方式を採用するにも、専用
装置を使用せずにフリップチップ接続を行うことが可能
となる。
ルの磁場検出面積を犠牲にすることなく電極面積を大き
くできるため、ＳＱＵＩＤ素子の電極と接続する電極の
間に導電体を挟んで直接的に電気的コンタクトをとるフ
リップチップと呼ばれる接続方式を採用するにも、専用
装置を使用せずにフリップチップ接続を行うことが可能
となる。
【００１６】なお、本発明は、上記実施例に限定される
ものではない。上記実施例は、例示であり、本発明の特
許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な
構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる
ものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
ものではない。上記実施例は、例示であり、本発明の特
許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な
構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる
ものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００１７】上記実施例においては、ｄｃＳＱＵＩＤと
して、１個の環を有するsingle - washer 型の場合を例
に挙げて説明したが、これは、他の形式のｄｃＳＱＵＩ
Ｄ、例えば、２個の環を有するdouble - washer 型、３
個の環を有するtriple - washer 型、あるいは一般にｎ
個の環（washer）を有する形式のものであってもかまわ
ない。
して、１個の環を有するsingle - washer 型の場合を例
に挙げて説明したが、これは、他の形式のｄｃＳＱＵＩ
Ｄ、例えば、２個の環を有するdouble - washer 型、３
個の環を有するtriple - washer 型、あるいは一般にｎ
個の環（washer）を有する形式のものであってもかまわ
ない。
【００１８】また、上記実施例においては、ジョセフソ
ン接合としてトンネル接合の場合を例に挙げて説明した
が、これは、他のジョセフソン接合（マイクロブリッ
ジ、点接触等）であってもかまわない。
ン接合としてトンネル接合の場合を例に挙げて説明した
が、これは、他のジョセフソン接合（マイクロブリッ
ジ、点接触等）であってもかまわない。
【００１９】また、上記実施例においては、電極個数が
４個の場合について説明したが、これには限定されず、
他の個数であってもよい。
４個の場合について説明したが、これには限定されず、
他の個数であってもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、上記構成を有する
本発明によれば、ピックアップコイルとＳＱＵＩＤ素子
内の入力コイルは同一基板上に一体形成されるので、従
来のような両者間の超伝導接続は不要となり、また、超
伝導接続部がなくなることにより機械的衝撃にも影響を
受けなくなり素子としての信頼性が格段に向上する。ま
た、さらにピックアップコイルを基板の外周付近に形成
すれば、ピックアップコイルの磁場検出面積を拡大する
ことができる。また、さらにＳＱＵＩＤ素子の信号入出
力用の電極を前記ピックアップコイルの内側に形成する
ようにすれば、ピックアップコイルの磁場検出面積を犠
牲にすることなく電極面積を大きくできるため、ＳＱＵ
ＩＤ素子の電極と接続する電極の間に導電体を挟んで直
接的に電気的コンタクトをとるフリップチップと呼ばれ
る接続方式を採用するにも、専用装置を使用せずにフリ
ップチップ接続を行うことが可能となる。また、さらに
ピックアップコイルと入力コイルとの接続を前記ＳＱＵ
ＩＤループを介して行えば、通常の製造プロセスでは、
ＳＱＵＩＤループの上に、絶縁層・入力コイル・絶縁層
・コイル接続部（ピックアップコイルと入力コイルとを
接続する部分）の４層を積層する必要があるのに対し、
２層分の積層プロセスを省略することができ従来よりも
製造プロセスを大幅に短縮化でき、歩留りの向上が図れ
る、という利点を有している。
本発明によれば、ピックアップコイルとＳＱＵＩＤ素子
内の入力コイルは同一基板上に一体形成されるので、従
来のような両者間の超伝導接続は不要となり、また、超
伝導接続部がなくなることにより機械的衝撃にも影響を
受けなくなり素子としての信頼性が格段に向上する。ま
た、さらにピックアップコイルを基板の外周付近に形成
すれば、ピックアップコイルの磁場検出面積を拡大する
ことができる。また、さらにＳＱＵＩＤ素子の信号入出
力用の電極を前記ピックアップコイルの内側に形成する
ようにすれば、ピックアップコイルの磁場検出面積を犠
牲にすることなく電極面積を大きくできるため、ＳＱＵ
ＩＤ素子の電極と接続する電極の間に導電体を挟んで直
接的に電気的コンタクトをとるフリップチップと呼ばれ
る接続方式を採用するにも、専用装置を使用せずにフリ
ップチップ接続を行うことが可能となる。また、さらに
ピックアップコイルと入力コイルとの接続を前記ＳＱＵ
ＩＤループを介して行えば、通常の製造プロセスでは、
ＳＱＵＩＤループの上に、絶縁層・入力コイル・絶縁層
・コイル接続部（ピックアップコイルと入力コイルとを
接続する部分）の４層を積層する必要があるのに対し、
２層分の積層プロセスを省略することができ従来よりも
製造プロセスを大幅に短縮化でき、歩留りの向上が図れ
る、という利点を有している。
【図１】本発明の一実施例であるＳＱＵＩＤ素子の全体
構成を示す平面図である。
構成を示す平面図である。
１ ＳＱＵＩＤ素子 ２ 基板 ３ ＳＱＵＩＤループ ４ ジョセフソン・トンネル接合 ５ ピックアップコイル ６ 入力コイル ７ フィードバックコイル Ｃ1 ，Ｃ2 コイルコンタクト ｔ1 〜ｔ4 電極
Claims (4)
- 【請求項１】 基板上に、ＳＱＵＩＤループと、外部磁
束を検出するピックアップコイルと、当該ピックアップ
コイルとループをなすように形成されるとともに当該ピ
ックアップコイルが検出した外部磁束を前記ＳＱＵＩＤ
ループに磁気的に結合する入力コイルと、を一体形成し
たことを特徴とするＳＱＵＩＤ素子。 - 【請求項２】 前記ピックアップコイルは、前記基板の
外周付近に形成されることを特徴とする請求項１に記載
したＳＱＵＩＤ素子。 - 【請求項３】 前記ＳＱＵＩＤ素子は信号入出力用の電
極を有し、前記ＳＱＵＩＤ素子の信号入出力用の電極は
前記ピックアップコイルの内側に形成されることを特徴
とする請求項１または請求項２に記載したＳＱＵＩＤ素
子。 - 【請求項４】 前記ピックアップコイルと入力コイルと
の接続は、前記ＳＱＵＩＤループを介して行われること
を特徴とする請求項１ないし請求項３に記載したＳＱＵ
ＩＤ素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10746194A JPH07294614A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | Ｓｑｕｉｄ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10746194A JPH07294614A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | Ｓｑｕｉｄ素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07294614A true JPH07294614A (ja) | 1995-11-10 |
Family
ID=14459774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10746194A Pending JPH07294614A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | Ｓｑｕｉｄ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07294614A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100507608B1 (ko) * | 2003-06-17 | 2005-08-10 | 한국표준과학연구원 | 직렬결합형 스퀴드 센서의 픽업코일과 스퀴드 루프연결장치 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05297089A (ja) * | 1992-04-20 | 1993-11-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 磁気センサ |
-
1994
- 1994-04-25 JP JP10746194A patent/JPH07294614A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05297089A (ja) * | 1992-04-20 | 1993-11-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 磁気センサ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100507608B1 (ko) * | 2003-06-17 | 2005-08-10 | 한국표준과학연구원 | 직렬결합형 스퀴드 센서의 픽업코일과 스퀴드 루프연결장치 |
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