JPH07290699A

JPH07290699A - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JPH07290699A
Application number: JP9127194A
Authority: JP
Inventors: Seiichi Osawa; 誠一大澤
Original assignee: Citizen Watch Co Ltd
Current assignee: Citizen Watch Co Ltd
Priority date: 1994-04-28
Filing date: 1994-04-28
Publication date: 1995-11-07

Abstract

(57)【要約】【構成】基板１１上に厚さ方向に分極１させた圧電素
子からなる隔壁１０ａ、１０ｂを複数個配列し溝１２を
形成し、この溝１２を覆う蓋１３と、溝端部に配設され
た封止１４により形成する複数の圧力室９と、圧力室９
の一部に設けるノズル孔１６およびインク供給口１８と
を備え、隔壁１０ａ，１０ｂと封止１４とを実質的に弾
性的に結合する。【効果】圧電素子からなる隔壁を効率的に駆動するこ
とができ、インク液滴の吐出力が安定し連続吐出特性の
優れたマルチノズルを有するインクジェットヘッドを提
供することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク液滴を画像記録
媒体上へ選択的に付着させるインクジェットヘッドの構
造に関する。

【０００２】

【従来の技術】今日、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト・プリンターの内で、原理が最も単純
で、かつカラー印刷に好適なものとしてインクジェット
・プリンターがある。そのうちでも、ドット形成時にの
みインク液滴を吐出する、いわゆるドロップ・オン・デ
マンド（ＤＯＤ）型が主流といえる。

【０００３】ＤＯＤ型としては、たとえば特公昭５３−
１２１３８号公報に開示されているカイザー型、あるい
は、たとえば特公昭６１−５９９１４号公報に開示され
ているサーマルジェット型がその代表的な方式としてあ
る。

【０００４】このうち、前者の特公昭５３−１２１３８
号公報に記載の構成では小型化が難かしく、後者の特公
昭６１−５９９１４号公報に記載の構成では高熱をイン
クに加えるためにインクが焦げ付くという、それぞれに
非常に困難な問題を抱えている。

【０００５】以上のような欠陥を同時に解決する方式と
して、圧電性素材の細片を用いる構造で、たとえば特公
平４−４８６２２号公報に開示された伸縮モード型が提
案されている。

【０００６】伸縮モード型のインクジェットヘッドの構
造を、図４の斜視図に示す。ＰＺＴ（チタン酸ジルコン
酸鉛）のような圧電性素材の細片１２２を、導電性の支
持基板１２１と絶縁性の蓋１２３との間に平行に固着
し、この細片１２２間に多数の細長いチャネルを形成す
る。

【０００７】これらのチャネルは、交互に、それぞれイ
ンクが充填されたインク室兼インク流路のチャネルであ
るインクチャネル１２５と、空隙のダミーチャネル１２
６とである。

【０００８】そして、インクチャネル１２５は、一方の
端が共通のインク溜１２７に接続され、ここよりインク
が供給されるとともに、他方の端にはインク通路の形態
の印字ノズルが設けられる。

【０００９】圧電性素材の細片１２２は、矢印７で示す
ように、支持基板１２１に垂直な方向に分極し、蓋１２
３側の細片１２２上面部には、インクチャネル１２５に
対応して電極１２４を設けている。

【００１０】ここで、電極１２４に導電性の基板１２１
に対して電位を与えるならば、圧電性素材の細片１２２
は、その厚さを増し、その幅を減じるような伸縮モード
の変形をおこす。

【００１１】２個の細片への電圧印加を停止すると、両
細片はもとの形状に戻り、それにより通路容積は急激に
縮小させられる。その結果、その通路からインク液滴１
２８の放出を行うことができる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来の圧電性素材の細片を用いる構造のインクジェット
ヘッドがかかえる、以下に記載するような課題を解決し
ようとするものである。

【００１３】その第１の課題点は、インク通路の形態の
印字ノズルを設けているので、インクチャネル１２５の
長さ寸法が、チャネルの断面積に比べ長すぎる構成とな
っている。このため、管路抵抗が大きくインク供給能力
に限界があり、インク液滴の連続応答性が悪いという問
題である。

【００１４】伸縮モード型でのインク吐出性能について
詳細に説明する。図４に示す前述の特公平４−４８６２
２号公報に開示された代表的なインクジェットヘッドの
大きさは、細片１２２の幅寸法および高さ寸法は５０μ
ｍで、インクチャネル１２５の長さ寸法は１０ｍｍであ
る。

【００１５】このように細く長いインクチャネル１２５
で形成されたヘッドにおいては、インク液滴を連続して
吐出すること、つまり応答性に問題が生じる。

【００１６】インク液滴を連続して吐出するためには、
吐出したインク液滴と同量のインクが、インクチャネル
１２５に対して、印字ノズルと反対の端に位置する共通
のインク溜１２７より速やかに供給しなければならな
い。

【００１７】したがって、連続してインク液滴１２８を
形成するためには、インクチャネル１２５の管路抵抗は
小さく、かつインクチャネル１２５の長さは短い方がよ
い。

【００１８】管路抵抗はインクチャネル１２５の断面積
が大きい方が小さくなるが、公平４−４８６２２号公報
に開示された従来例では、インク通路の形態の印字ノズ
ルを形成する目的から、インクチャネル１２５の大きさ
寸法は、一辺が５０μｍのほぼ正方形と小さい。

【００１９】さらに圧電性素材の細片１２２の変形量が
小さいため、インク液滴１２８のインク量を確保するた
めには、インクチャネル１２５の長さ寸法を長くしなけ
ればならない。

【００２０】インクチャネル１２５の長さを短くすれ
ば、インクの連続応答特性は向上するが、インク液滴１
２８が小さくなるとか、まったくインク液滴１２８を吐
出することができないといった、インクチャネル１２５
が充分な長さがあるときには生じなかった現象が生じ
る。

【００２１】電極１２４に導電性の支持基板１２１に対
して電位を与えるならば、圧電性素材の細片１２２は、
その厚さを増し、その幅を減じるような伸縮モードの変
形をおこす。また一方で圧電性素材がこの伸縮モード変
形が生じると、実は圧電性素材の長手方向つまりインク
チャネル１２５の長さ方向の収縮が生じる。

【００２２】細片１２２の厚さを増し、その幅を減じる
ような伸縮モードの変形は、インクチャネル１２５の体
積を増加させる。しかし、このとき同時に起こるインク
チャネル１２５の長さ方向の収縮は、インクチャネル１
２５の体積を減少させる。

【００２３】インクチャネル１２５の体積変化量は、こ
の増加分と減少分との差となり、この体積変化量がイン
ク液滴１２８の生成の源となる。

【００２４】電極１２４への電圧の印加を停止して、イ
ンクチャネル１２５を元の大きさに戻すと、前述のイン
クチャネル１２５の体積変化量分のインクは、インクチ
ャネル１２５の外へ押し出す。

【００２５】実験により観察すると、インクチャネル１
２５内のインクの流れは、印字ノズル方向と共通のイン
ク溜１２８方向とに生じることを確認している。

【００２６】インクチャネル１２５が充分な長さを持っ
ている場合には、このインクチャネル１２５の後端部、
つまりインク溜１２７に近い方の変形によるインク吐出
への影響は無視できる。

【００２７】しかし、前述のようにインク液滴の連続応
答性を向上させるために、インクチャネル１２５の長さ
寸法を短くすると、インクチャネル１２５の長さ方向の
収縮による体積変化量の減少の影響は無視できなくな
る。

【００２８】つまり、体積変化量を減少させるインクチ
ャネル１２５の長さ方向の収縮の成分がインク液滴１２
８の生成に悪影響を及ぼす。

【００２９】この結果、インク液滴１２８が小さくなる
とか、まったくインク液滴１２８が吐出されないといっ
た現象を生じるのである。

【００３０】第２の課題点は、充分なインクチャネルの
体積変化を得るためには、圧電性素材に高い電圧を印加
しなければならないと問題である。

【００３１】このため駆動回路や電気絶縁材を高電圧に
対応した構成しなければならないので、コストアップと
なる。

【００３２】本発明の目的は、前述のような従来の圧電
性素材の細片を用いる構造のインクジェットヘッドの個
々の構造や機構に起因する問題を解決し、インク液滴の
連続吐出性を向上させ、さらに低電圧で効率良く駆動す
ることができるインクジェットヘッドの構造を提供する
ことである。

【００３３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明のインクジェットヘッドは、下記記載の構成を採
用する。

【００３４】本発明による第１のインクジェットヘッド
は、基板と、厚さ方向に分極させた圧電素子からなる隔
壁と、隔壁を基板上に複数個配列して形成する溝と、溝
を覆う蓋と、溝の端部に配設する封止により形成する複
数の圧力室と、圧力室の一部に設けるノズル孔とインク
供給口とを備え、隔壁と封止との間に弾性接着層を設
け、隔壁と封止とを弾性的に結合することを特徴とす
る。

【００３５】本発明による第２のインクジェットヘッド
は、基板と、厚さ方向に分極させた板状圧電材料を導電
材料を介して複数枚積層した圧電素子からなる隔壁と、
隔壁を基板上に複数個配列して形成する溝と、溝を覆う
蓋と、溝端部に配設された封止により形成する複数の圧
力室と、圧力室の一部に設けるノズル孔とインク供給口
とを備え、隔壁と封止との間に弾性接着層を設け、隔壁
と封止とを弾性的に結合することを特徴とする。

【００３６】

【作用】本発明のインクジェットヘッドの上記の構成に
よれば、圧力室の体積を変化させ圧力を発生させるの
に、圧電素子からなる隔壁が封止部材によって拘束され
ることなく充分変形するような構成をとっている。この
ため、隔壁を効率良く駆動することができ、インク液滴
の連続応答特性を向上させる目的でインク圧力室の長さ
を短くしても、吐出力の安定したインク液滴を形成する
ことができる。

【００３７】さらに、隔壁を厚さ方向に分極させた板状
圧電材料を導電材料を介して複数枚積層した圧電素子で
構成している。このため、低い電圧でも駆動可能なイン
クジェットヘッドを提供することができる。

【００３８】

【実施例】以下、本発明の実施例におけるインクジェッ
トヘッドの構成を、図面を基に説明する。

【００３９】図１は、本発明の第１の実施例におけるイ
ンクジェットヘッドの一部を破断して示す斜視図であ
る。

【００４０】図１の斜視図に示すように、厚さ方向に分
極１する圧電性材料からなる複数の隔壁１０ａ、１０
ｂ、１０ｃを、絶縁性材料からなる基板１１上に平行に
配列して溝１２を形成する。

【００４１】この溝１２の端面の一方の領域にはインク
吐出口となるノズル孔１６を有するノズル板１５を接着
し、溝１２の他方には共通インク溜１９と連結したイン
ク供給口１８を有する封止１４を配置する。

【００４２】さらに、溝１２の上部には蓋１３を接着す
ることにより設け、この溝１２と蓋１３とにより圧力室
９を構成する。

【００４３】隔壁１０ａ、１０ｂは厚さ方向の端面に
は、電極２ａ、２ｂを設ける。そしてこの電極２ａ、２
ｂに電圧を印加することにより、隔壁１０ａ、１０ｂは
圧電アクチュエータとして機能する。

【００４４】そして隔壁１０ａおよび隔壁１０ｂに電圧
を印加し、隔壁１０ａ，１０ｂを変形させて、インクを
充填した圧力室９の体積を変化させる。この結果、圧力
室９内部に圧力を発生させることが可能となり、インク
液滴１７を吐出させることが可能となる。

【００４５】図２は、圧力室９の構成とその動作を示す
斜視図である。この図２を用いて、図１に示すインクジ
ェットヘッドの動作を説明する。

【００４６】図２において、圧電性材料からなる隔壁１
０ａ，１０ｂの分極１と同方向の電界を印加すると、隔
壁１０ａ，１０ｂの高さＨは矢印２方向にδＨ伸び、幅
Ｗは矢印３方向にδＷだけ収縮し、さらに長さＬは矢印
４方向にδＬだけ収縮する。

【００４７】印加する電圧をＶ、圧電性材料の厚さ方向
の圧電定数をｄ₃₃、長さ方向の圧電定数をｄ₃₁とする
と、 δＨ＝ｄ₃₃×Ｖ δＷ＝ｄ₃₁×Ｖ×Ｗ／Ｈ δＬ＝ｄ₃₁×Ｖ×Ｌ／Ｈとなる。

【００４８】圧力室９の幅をＡとすると、圧力室の体積
Ａ×Ｈ×Ｌは、（Ａ＋δＷ）×（Ｈ＋δＨ）×（Ｌ−δＬ）に変化する。

【００４９】よって、圧力室９の体積変化量は微少項を
無視すると近似的に、Ｈ×Ｌ×δＷ＋Ａ×Ｌ×δＨ−Ａ×Ｈ×δＬとなり、この体積変化量分に相当するインクを圧力室９
内に余分に充填することができる。

【００５０】電圧の印加を停止し、圧力室９を元の大き
さに戻すと、前述の体積変化量分のインクは圧力室９の
外へ押し出される。

【００５１】圧力室９の長さが充分な寸法を有する場合
には、圧力室９の後端部、つまりインク供給口１８側の
体積変化は、インク液滴の生成にあまり影響を与えな
い。この場合、圧力室の通路断面積の変化による体積変
化が支配的となるので、前述の圧力室９の体積変化量で
体積が減少する分（−Ａ×Ｈ×δＬ）は無視することが
できる。

【００５２】インク液滴の連続吐出性、すなわち応答性
を向上させるためには、吐出したインク液滴１７分のイ
ンク量を、すみやかにインク供給口１８より、圧力室９
を通じてノズル孔１６のメニスカスまで供給しなけらば
ならない。

【００５３】圧力室９の長さを短くすると、インク供給
口１８からノズル孔１６までの距離は短くなるので、イ
ンクの供給は速やかに行われる。このため、インク液滴
１７の連続応答性は向上する。

【００５４】このようにして、インク液滴１７の連続応
答性を向上させるための理由で、圧力室９の長さを短く
すると、インク液滴１７を生成するのに必要なインク流
は圧力室９の後端部付近までおよぶ。このため、圧力室
９の体積変化量で体積が減少する分（−Ａ×Ｈ×δＬ）
の影響は無視できなくなる。

【００５５】したがって、隔壁１０ａ，隔壁１０ｂが短
くなって圧力室９の体積が減少する分（−Ａ×Ｈ×δ
Ｌ）は少ない方がよい。

【００５６】またさらに、インク流の逃げなどによる影
響を考慮すると、必要なインク液滴１７を形成するには
インク液滴１７の体積以上の圧力室９の体積変化量（Ｈ
×Ｌ×δＷ＋Ａ×Ｌ×δＨ−Ａ×Ｈ×δＬ）が必要であ
る。

【００５７】つまりインク液滴１７の半径をｒとするとＨ×Ｌ×δＷ＋Ａ×Ｌ×δＨ−Ａ×Ｈ×δＬ≧４／３τ
ｒ³ が成立すれば連続応答性が高く、安定したインク液滴の
生成が可能となる。

【００５８】そこで隔壁の寸法の高さ、幅、長さ（Ｈ、
Ｗ、Ｌ）や、溝幅寸法（Ａ）や、圧電定数（ｄ₃₃、
ｄ₃₁）などの各定数を上式を満足するように設定するこ
とによって、前述の目的は達成できる。

【００５９】もし、この条件が成立していないと、イン
ク液滴１７が所定の大きさより小さくなったり、まった
く吐出しないといった問題を引き起こす。

【００６０】また上述のように圧電素子を理想的に変形
させるには、圧電素子のｄ₃₁方向の変形を拘束してはな
らない。

【００６１】図１に示すように隔壁１０ａ，１０ｂ，１
０ｃと封止１４を弾性接着層５で結合すると隔壁の長さ
方向のｄ₃₁モード変形（図２の矢印４）は、弾性接着層
５の弾性による効果で拘束されないので、圧電素子から
なるの隔壁１０ａ，１０ｂ，１０ｃを効率良く駆動する
ことができる。

【００６２】なお、隔壁１０ａと封止１４との結合は前
述の弾性接着層５の限定されるものではない。隔壁１０
ａと封止１４とを非弾性接着材からなる非弾性接着層に
より固定し、さらに封止１４の非弾性接着層近傍にスリ
ットを設け、封止１４を弾性的に変形可能にしても良
い。

【００６３】また、インク供給口１８を蓋１３に形成
し、封止１４を穴や溝のない薄い弾性材料にしても良
い。

【００６４】このように、圧力室９の長さを充分短く
し、駆動する圧力室９の体積変化量が吐出するインク液
滴１７の体積以上になるようにしている。このため、隔
壁と封止とを実質的に弾性的に結合するとインク液滴の
連続吐出性が優れ、かつ吐出力の安定したインク液滴を
生成できるインクジェットヘッドを提供することができ
る。

【００６５】図３は、本発明の第２の実施例におけるイ
ンクジェットヘッドの隔壁と圧力室とを示す斜視図であ
る。なお他の構成は第１の実施例と同じであるので、詳
細な説明は省略する。

【００６６】図３に示すように、厚さ方向に分極する第
１の板状圧電材料３１ａは第１の導電材料３２ａを介し
て、第１の板状圧電材料３１ａと反対方向に分極した第
２の板状圧電材料３１ｂとを貼り合わし、さらに第２の
導電材料３２ｂを介して、第２の板状圧電材料３１ｂと
反対方向に分極した第３の板状圧電材料３１ｃとを貼り
合わす。

【００６７】さらに同様な手段で必要な枚数だけ導電材
料と板状圧電材料とを順次積層することにより、隔壁３
０ａ，３０ｂを形成する。

【００６８】さらに、第１の導電材料３２ａ、第３の導
電材料３２ｃなどは、隔壁３０ａの一方の端面上に金
（Ａｕ）膜を、真空蒸着法などの薄膜形成手段で形成さ
れた第１の集電極３３ａと導通をとる。

【００６９】さらに第２の導電材料３２ｂ、第４の導電
材料３２ｄなどは、隔壁３０ａの他の端面領域に第１の
集電極３３ａと同様な手段によって形成する、第２の集
電極３３ｂと導通をとる。

【００７０】このような図３に示す構成により、第１の
集電極３３ａと第２の集電極３３ｂ間に電圧を印加する
と、導電材料間に電圧が生じ、板状圧電材料の厚さ方向
に電界が発生する。このため隔壁は圧電アクチュエータ
として機能する。

【００７１】そして第２の板状圧電材料３１ｂの分極方
向と同方向の電圧Ｖを第１の集電極３３ａ、第２の集電
極３３ｂに印加すると、第２の板状圧電材料３１ｂの高
さＨはδＨ伸び、幅ＷはδＷだけ収縮し、さらに長さＬ
はδＬだけ収縮する。

【００７２】ここで板状圧電材料の厚さ方向の圧電定数
をｄ₃₃、長さ方向の圧電定数をｄ₃₁とし、印加電圧をＶ
とすると、 δＨ＝ｄ₃₃×Ｖ δＷ＝ｄ₃₁×Ｖ×Ｗ／Ｈ δＬ＝ｄ₃₁×Ｖ×Ｌ／Ｈとなる。

【００７３】圧力室９を形成する隔壁３０ａと隔壁３０
ｂとの間の寸法をＡとすると、隔壁３０ａ、３０ｂの一
対の板状圧電材料一枚分で形成する体積Ａ×Ｈ×Ｌは、（Ａ＋δＷ）×（Ｈ＋δＨ）×（Ｌ−δＬ）に変化する。

【００７４】よって、一対の板状圧電材料一枚分で形成
する体積の変化量は微少項を無視すると近似的に、Ｈ×Ｌ×δＷ＋Ａ×Ｌ×δＨ−Ａ×Ｈ×δＬとなる。

【００７５】駆動可能な板状圧電材料の積層枚数をｎと
すると、圧力室９の体積変化量は、一対の板状圧電材料
で形成する体積の変化量のｎ倍で、ｎ×（Ｈ×Ｌ×δＷ＋Ａ×Ｌ×δＨ−Ａ×Ｈ×δＬ）となる。

【００７６】電圧の印加を停止し、圧力室９を元の大き
さに戻すと、圧力室９の体積変化量分のインクは圧力室
９の外へ押し出される。

【００７７】ここで必要なインク液滴１７を形成するた
めには、第１の実施例で説明した理由と同様に、圧力室
９の体積変化量（ｎ×（Ｈ×Ｌ×δＷ＋Ａ×Ｌ×δＨ−
Ａ×Ｈ×δＬ））はインク液滴１７の体積以上が必要と
なる。

【００７８】また、このような隔壁３０ａ，３０ｂを圧
電材料の積層構造で形成すると、第１の実施例に比べ、
積層枚数（ｎ）分の１だけ印加する電圧を低くしても、
同等の圧力室９の体積変化が確保できる。このため、低
電圧で駆動できるインクジェットヘッドを提供すること
ができる。

【００７９】さらにまた、隔壁３０ａ，３０ｂを、図１
を用いて説明した第１の実施例と同様に、弾性接着層５
を介して封止１４を弾性的に結合すると、圧電素子から
なる隔壁３０ａ、３０ｂを効率よく駆動でき、吐出特性
の安定したインクジェットヘッドを提供することができ
る。

【００８０】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
インクジェットヘッドにおいては、圧力室の体積変化量
がインク液滴の体積以上になるように設定し、長さの短
いインク圧力室を形成し、圧電素子からなる隔壁を封止
と実施的に弾性的に結合している。このため、インクジ
ェットヘッドを効率良く駆動することができ、安定した
吐出力で、しかも高い周波数でインク液滴を噴射するこ
とができるという効果を有する。

【００８１】さらに、板状圧電材料を積層しているの
で、低い電圧で駆動可能なインクジェットヘッドを提供
することができるという効果も有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例におけるインクジェットヘッド
の構成を示す一部を破断して示す斜視図である。

【図２】本発明の実施例におけるインクジェットヘッド
の圧力室の構成を示す斜視図である。

【図３】本発明の他の実施例におけるインクジェットヘ
ッドの圧力室の構造を示す斜視図である。

【図４】従来例におけるインクジェットヘッドの圧力室
の構造を示す斜視図である。

【符号の説明】

１分極５弾性接着層９圧力室１０ａ隔壁１１基板１２溝１３蓋１５ノズル板１８インク供給口１９共通インク溜

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板と、厚さ方向に分極させた圧電素子
からなる隔壁と、隔壁を基板上に複数個配列して形成す
る溝と、溝を覆う蓋と、溝端部に配設する封止により形
成する複数の圧力室と、圧力室の一部に設けるノズル孔
とインク供給口とを備え、隔壁と封止との間に弾性接着
層を設け、隔壁と封止とを弾性的に結合することを特徴
とするインクジェットヘッド。
【請求項２】基板と、厚さ方向に分極させた板状圧電
材料を導電材料を介して複数枚積層した圧電素子からな
る隔壁と、隔壁を基板上に複数個配列して形成する溝
と、溝を覆う蓋と、溝端部に配設された封止により形成
する複数の圧力室と、圧力室の一部に設けるノズル孔と
インク供給口とを備え、隔壁と封止との間に弾性接着層
を設け、隔壁と封止とを弾性的に結合することを特徴と
するインクジェットヘッド。
【請求項３】基板と、厚さ方向に分極させた圧電素子
からなる隔壁と、隔壁を基板上に複数個配列して形成す
る溝と、溝を覆う蓋と、溝端部に配設する封止により形
成する複数の圧力室と、圧力室の一部に設けるノズル孔
とインク供給口とを備え、隔壁と封止との間に設ける非
弾性接着層と、非弾性接着層の近傍にスリットを設け隔
壁と封止とを弾性的に結合することを特徴とするインク
ジェットヘッド。
【請求項４】基板と、厚さ方向に分極させた板状圧電
材料を導電材料を介して複数枚積層した圧電素子からな
る隔壁と、隔壁を基板上に複数個配列して形成する溝
と、溝を覆う蓋と、溝端部に配設された封止により形成
する複数の圧力室と、圧力室の一部に設けるノズル孔と
インク供給口とを備え、隔壁と封止との間に設ける非弾
性接着層と、非弾性接着層の近傍にスリットを設け隔壁
と封止とを弾性的に結合することを特徴とするインクジ
ェットヘッド。
【請求項５】基板と、厚さ方向に分極させた圧電素子
からなる隔壁と、隔壁を基板上に複数個配列して形成す
る溝と、溝を覆う蓋と、溝端部に配設する封止により形
成する複数の圧力室と、圧力室の一部に設けるノズル孔
と、蓋に設けるインク供給口とを備え、封止は弾性材料
で構成し、隔壁と封止とを弾性的に結合することを特徴
とするインクジェットヘッド。
【請求項６】基板と、厚さ方向に分極させた板状圧電
材料を導電材料を介して複数枚積層した圧電素子からな
る隔壁と、隔壁を基板上に複数個配列して形成する溝
と、溝を覆う蓋と、溝端部に配設された封止により形成
する複数の圧力室と、圧力室の一部に設けるノズル孔
と、蓋に設けるインク供給口とを備え、封止は弾性材料
で構成し、隔壁と封止とを弾性的に結合することを特徴
とするインクジェットヘッド。