JPH07286876A - 熱式空気流量検出装置 - Google Patents

熱式空気流量検出装置

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JPH07286876A
JPH07286876A JP6150428A JP15042894A JPH07286876A JP H07286876 A JPH07286876 A JP H07286876A JP 6150428 A JP6150428 A JP 6150428A JP 15042894 A JP15042894 A JP 15042894A JP H07286876 A JPH07286876 A JP H07286876A
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resistor
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heating resistor
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Hiroshi Aoi
寛 青井
Masao Tsukada
正夫 塚田
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    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/688Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02DCONTROLLING COMBUSTION ENGINES
    • F02D41/00Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
    • F02D41/02Circuit arrangements for generating control signals
    • F02D41/18Circuit arrangements for generating control signals by measuring intake air flow

Abstract

(57)【要約】 【目的】 熱式空気流量検出装置において、吸入空気の
流れ方向を検出して流れ方向に対応した流量を検出し、
信頼性を向上させる。 【構成】 絶縁基板29上には空気の流れ(矢示A方
向)に対して上流側に発熱抵抗体30を着膜形成し、下
流側に感温抵抗体31を着膜形成する。これにより、矢
示A方向の流れのときには、感温抵抗体31は発熱抵抗
体30の熱の影響によって緩やかに冷やされるから抵抗
値の変化は緩やかになる。また、矢示B方向の流れのと
きには、感温抵抗体31は空気によって直接冷やされる
から、急激に抵抗値が変化する。この変化の差から流れ
方向を検出し、発熱抵抗体30の抵抗値変化で流量を検
出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば自動車用エンジ
ン等の吸入空気流量を検出するのに好適に用いられる熱
式空気流量検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、自動車用エンジン等では、エン
ジン本体の燃焼室内で燃料と吸入空気との混合気を燃焼
させ、その燃焼圧からエンジンの回転出力を取出すよう
にしており、燃料の噴射量を演算する上で吸入空気流量
を検出することが重要なファクターとなっている。
【0003】そこで、図8および図9に従来技術の熱式
空気流量検出装置を示す。
【0004】図において、1は吸気管2の途中に設けら
れた熱式空気流量検出装置を示し、該熱式空気流量検出
装置1は、エンジン本体の燃焼室(図示せず)に向けて
矢示A方向に流通する吸入空気の流量を検出すべく、吸
気管2の途中に取付穴2Aを介して配設されている。
【0005】3は熱式空気流量検出装置1の本体部を構
成する流量計本体を示し、該流量計本体3はインサート
モールド等の手段により図9に示すように成形され、巻
線状をなす後述の基準抵抗14を巻回すべく段付き円柱
状に形成された巻線部4と、該巻線部4の基端側に位置
して略円板状に形成され、後述の端子ピン8A〜8Dが
一体的に設けられた端子部5と、巻線部4の先端側から
吸気管2の径方向に延設され、吸気管2の中心部で後述
の発熱抵抗9および温度補償抵抗11を位置決めする検
出ホルダ6と、吸気管2の外側に位置して端子部5が接
続された後述の回路ケーシング7とから大略構成されて
いる。
【0006】7は吸気管2の取付穴2Aを閉塞するよう
に該吸気管2の外周側に設けられた回路ケーシングを示
し、該回路ケーシング7は絶縁性の樹脂材料等によって
形成され、その底部側には吸気管2の取付穴2Aに嵌合
する嵌合部7Aが一体的に設けられている。そして、該
回路ケーシング7は、例えばセラミック材料等からなる
絶縁基板上に流量調整抵抗および差動増幅器(いずれも
図示せず)等を実装した状態で、これらを内蔵するよう
になっている。
【0007】8A,8B,8C,8Dは流量計本体3の
端子部5から軸方向に突出した4本の端子ピン(全体と
して各端子ピン8という)を示し、該各端子ピン8は流
量計本体3の巻線部4および検出ホルダ6内に埋設され
た例えば4本の端子板(図示せず)に一体化して設けら
れ、回路ケーシング7のコネクタ部(図示せず)に着脱
可能に接続されるものである。
【0008】9は流量計本体3の検出ホルダ6にターミ
ナル10A,10Bを介して設けられたホットフィルム
型の発熱抵抗を示し、該発熱抵抗9は温度変化に敏感に
反応して抵抗値が変化する白金等の感温性材料からな
り、例えば酸化アルミニウム(以下、「アルミナ」とい
う)等のセラミック材料からなる絶縁性の筒体に白金線
を巻回したり、白金膜を蒸着したりして形成される小径
の発熱抵抗素子によって構成されている。そして、該発
熱抵抗9はバッテリ(図示せず)からの通電により、例
えば240℃前,後の温度をもって発熱した状態とな
り、吸気管2内を矢示A方向に流れる吸入空気によって
冷却されるときには、この吸入空気の流量に応じて抵抗
値が変化し流量の検出信号を出力させるものである。
【0009】11は発熱抵抗9の上流側に位置して流量
計本体3の検出ホルダ6に設けられた温度補償抵抗を示
し、該温度補償抵抗11は例えばアルミナ等のセラミッ
ク材料からなる絶縁基板上にスパッタリング等の手段を
用いて白金膜を着膜形成することにより形成され、白金
膜の両端は前記検出ホルダ6に立設されたターミナル1
2A,12B間に接続されている。
【0010】13は流量計本体3の検出ホルダ6上に装
着される保護カバーを示し、該保護カバー13は検出ホ
ルダ6上に発熱抵抗9および温度補償抵抗11を実装し
た後に、図9中に矢印で示す如く検出ホルダ6に被着さ
れ、発熱抵抗9および温度補償抵抗11を保護すると共
に、吸入空気の流通を許すようになっている。なお、図
8中では発熱抵抗9および温度補償抵抗11を明示すべ
く、保護カバー13を検出ホルダ6から取外した状態で
示している。
【0011】さらに、14は流量計本体3の巻線部4に
巻回された巻線抵抗からなる基準抵抗を示し、該基準抵
抗14はその両端が、巻線部4に立設されたターミナル
15A,15Bに接続され、前記発熱抵抗9に直列接続
されている。ここで、前記各端子ピン8のうち、端子ピ
ン8Aはターミナル15Aに前記端子板を介して接続さ
れ、端子ピン8Bは他の端子板を介してターミナル15
B,10Aに接続されている。また、端子ピン8Cは別
の端子板を介してターミナル10B,12Bに接続さ
れ、端子ピン8Dはターミナル12Aにさらに別の端子
板を介して接続されている。
【0012】このように構成される従来技術の熱式空気
流量検出装置1は、自動車用エンジン等の吸入空気流量
を検出するときに、流量計本体3の端子部5を各端子ピ
ン8を介して回路ケーシング7のコネクタ部に接続した
状態で、流量計本体3の検出ホルダ6等を吸気管2内に
取付穴2Aを介して挿入し、該取付け穴2Aに吸気管2
の外周側から回路ケーシング7を取付けることによっ
て、検出ホルダ6に設けた発熱抵抗9および温度補償抵
抗11を吸気管2の中心部に配設する。
【0013】この場合、発熱抵抗9を基準抵抗14に直
列接続すると共に、温度補償抵抗11を回路ケーシング
7内の流量調整抵抗に直列接続することによって、これ
らの発熱抵抗9、基準抵抗14、温度補償抵抗11およ
び流量調整抵抗からブリッジ回路を構成し、これらに外
部から通電を行うことにより発熱抵抗9を240℃前,
後の温度をもって発熱させる。
【0014】そして、この状態で吸気管2内をエンジン
本体の燃焼室に向けて矢示A方向に吸入空気が流通する
ときには、この吸入空気の流れにより発熱抵抗9が冷却
されて該発熱抵抗9の抵抗値が変化するから、該発熱抵
抗9に直列接続された基準抵抗14の両端電圧に基づい
て吸入空気の流量に対応した検出信号を出力電圧の変化
として検出する。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来技術では、吸気管2内を流れる吸入空気の流れで発熱
抵抗9が冷却されるのを利用して、該発熱抵抗9の抵抗
値変化に基づき吸入空気流量を検出する構成であるか
ら、該発熱抵抗9は図8中の矢示A方向(順方向)に流
れる吸入空気流によって冷却されると共に、矢示B方向
(逆方向)に流れる空気流によっても冷却されてしま
い、この逆方向の空気流により吸入空気流量を誤検出す
るという問題がある。
【0016】即ち、多気筒のシリンダを備えたエンジン
本体では、各シリンダ内でそれぞれピストンが往復動す
るに応じて各吸気弁(図示せず)が開弁する毎に、吸入
空気が各シリンダ内に向けて矢示A方向(順方向)に吸
込まれるから、吸気管2内を流れる空気の流速は各吸気
弁の開,閉弁に応じて図5に例示する如く増減を繰返し
脈動するようになる。
【0017】特に、エンジンの回転数が低速域から中速
域等に達して吸,排気量が増大してくると、吸気弁と排
気弁(図示せず)とがオーバラップし、排気の一部が吸
気弁の開弁に伴って吸気管2内に吹返すことがあるた
め、このときに吸気管2内では図5に示す時間t1 ,t
2 間のように流速が負(マイナス)となって、矢示B方
向(逆方向)に流れる空気流が発生し、吸入空気流量を
誤検出するという問題が生じる。
【0018】本発明は上述した従来技術の問題に鑑みな
されたもので、本発明は逆方向の空気流により吸入空気
流量を誤検出するのを防止でき、流量の検出精度を大幅
に向上できるようにした熱式空気流量検出装置を提供す
ることを目的としている。
【0019】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために本発明は、基端側が吸気管に取付けられた流量計
本体と、前記吸気管内に位置して該流量計本体に設けら
れ、前記吸気管内を流れる空気によって冷却される発熱
抵抗とを備えてなる熱式空気流量検出装置に適用され
る。
【0020】そして、請求項1の発明が採用する特徴
は、前記発熱抵抗は、前記流量計本体に取付けられた絶
縁基板上に形成され、該絶縁基板の少なくとも長さ方向
に膜状に延びた発熱抵抗体によって構成し、かつ前記絶
縁基板上には、該発熱抵抗体から前記空気の流れ方向に
離間して形成され、前記空気の流れ方向に応じて抵抗値
が変化する感温抵抗体を設けたことにある。
【0021】請求項2の発明では、前記感温抵抗体を、
外部からの電圧印加により発熱させる構成としたことに
ある。
【0022】請求項3の発明では、前記発熱抵抗体は前
記絶縁基板の基端側から先端側に延びるように形成し、
前記感温抵抗体は、前記空気の流れ方向に対し該発熱抵
抗体よりも下流側または上流側に位置して前記絶縁基板
の基端側から先端側に延びるように形成したことにあ
る。
【0023】請求項4の発明では、前記絶縁基板は、基
端側が前記流量計本体に取付けられる固定端となり先端
側が自由端となった主基板部と副基板部とから構成し、
該副基板部と主基板部との間には先端側から基端側に向
けて延びるスリットを形成すると共に、前記副基板部に
は前記温度補償抵抗を形成し、前記主基板部には、基端
側から先端側に延びる発熱抵抗体と、該発熱抵抗体から
空気の流れ方向に対し下流側または上流側に離間して基
端側から先端側に延びる感温抵抗体とを形成したことに
ある。
【0024】請求項5の発明では、前記感温抵抗体は、
前記流量計本体に設ける固定抵抗と並列に接続すること
により流れ方向検出手段を構成し、該流れ方向検出手段
は、前記感温抵抗体の抵抗値が固定抵抗よりも減少する
か否かで、空気の流れ方向に対応した流れ方向検出信号
を出力する構成としたことにある。
【0025】さらに、請求項6の発明では、前記発熱抵
抗体を含んでブリッジ回路を形成し、該ブリッジ回路を
形成する前記発熱抵抗体の抵抗値の変化を流量検出信号
として取出すと共に、前記流れ方向検出手段によって検
出された流れ方向検出信号に基づいて、前記空気の流れ
方向が順方向のときには前記流量検出信号をそのまま出
力し、逆方向のときには反転させて出力する流量信号出
力手段を備えたことにある。
【0026】
【作用】上記構成により、請求項1の発明では、発熱抵
抗体から空気の流れ方向に離間して絶縁基板上に形成さ
れ、空気の流れ方向に応じて抵抗値が変化する感温抵抗
体を設けたから、空気の流れ方向に対して発熱抵抗体よ
りも感温抵抗体が下流側となったときに、該感温抵抗体
は発熱抵抗体からの熱影響を受けて空気流により直接冷
やされることはないから、抵抗値が大きく減少すること
はない。一方、空気の流れ方向に対して感温抵抗体が発
熱抵抗体よりも上流側となったときに、該感温抵抗体は
このときの空気流によって直接冷やされるから、抵抗値
の変化が大きくなり、このときの抵抗値の変化に基づい
て空気の流れ方向を検出することができる。
【0027】請求項2の発明では、感温抵抗体を発熱さ
せることにより、空気流による直接冷却と発熱抵抗体を
介した空気流による冷却との違いをより確実に判別する
ことができる。
【0028】請求項3の発明では、単一の絶縁基板上で
基端側から先端側に向けて延びるように発熱抵抗体と感
温抵抗体を形成したから、空気流に対する接触面積を大
きくすることができ、抵抗値の変化を大きくできると共
に、部品点数を削減することができる。
【0029】請求項4の発明では、単一の絶縁基板上に
発熱抵抗体、感温抵抗体および温度補償抵抗を形成で
き、部品点数を削減することができる。そして、温度補
償抵抗が形成される副基板部と、前記発熱抵抗体と感温
抵抗体が形成される主基板部との間にスリットを形成す
ることにより、発熱抵抗体と感温抵抗体とで加熱される
主基板部から副基板部に熱が逃げるのを防止でき、主基
板部を早期に温度上昇させることができる。
【0030】請求項5の発明では、前記感温抵抗体と固
定抵抗とを並列に接続して流れ方向検出手段を構成した
から、固定抵抗よりも感温抵抗体の抵抗値が大きい場合
には、例えば順方向の空気流であると判定でき、小さく
なった場合には逆方向の空気流であるとして判定でき
る。
【0031】さらに、請求項6の発明では、発熱抵抗体
を含んでブリッジ回路を形成し、該ブリッジ回路中の発
熱抵抗体の抵抗値変化を流量検出信号として取出すと共
に、感温抵抗体の抵抗値を固定抵抗の抵抗値と比較する
流れ方向検出手段により空気の流れ方向を検出し、空気
の流れ方向が順方向のときには前記流量検出信号をその
まま正の電圧信号として出力でき、逆方向のときには反
転させて負の電圧信号として出力することができる。
【0032】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1ないし図7に基
づき説明する。なお、実施例では前述した従来技術と同
一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略する
ものとする。
【0033】まず、図1ないし図5に本発明による第1
の実施例を示す。
【0034】図中、21は本実施例による熱式空気流量
検出装置、22は該熱式空気流量検出装置21の本体部
を構成する流量計本体を示し、該流量計本体22は従来
技術で述べた流量計本体3とほぼ同様に、抵抗値R1 を
有する基準抵抗23が巻回される巻線部24と、該巻線
部24の基端側に位置し、複数の端子ピン(図示せず)
が一体的に設けられた端子部25と、巻線部24の先端
側から吸気管2の径方向に延設された検出ホルダ26
と、後述する回路ケーシング27とから大略構成されて
いる。
【0035】しかし、前記流量計本体22には検出ホル
ダ26の基端側に後述の絶縁基板29を着脱可能に取付
けるためのスロット(図示せず)が形成され、該検出ホ
ルダ26は図1中に示す如く吸気管2の中心部に、絶縁
基板29を介して後述の発熱抵抗体31等を位置決めす
る構成となっている。なお、検出ホルダ26には従来技
術で述べた保護カバー13と同様の保護カバー(図示せ
ず)が取付けられるようになっている。
【0036】27は吸気管2の取付穴2Aを閉塞するよ
うに該吸気管2の外周側に設けられた回路ケーシングを
示し、該回路ケーシング27は従来技術で述べた回路ケ
ーシング7とほぼ同様に形成され、吸気管2の取付穴2
Aに嵌合する嵌合部27Aを有しているものの、該回路
ケーシング27は、例えばセラミック材料等からなる絶
縁基板(図示せず)上に後述の流量調整抵抗35および
差動増幅回路36等を実装した状態で、これらを内蔵す
るようになっている。なお、28A,28Bは前記基準
抵抗23の巻線が接続されるターミナルである。
【0037】29は検出ホルダ26に取付けられる絶縁
基板を示し、該絶縁基板29は、図2に示すように、ガ
ラス,アルミナ,窒化アルミニウム等の絶縁材料によ
り、長さ寸法が15〜20mm前後、幅寸法が3〜7mm前
後となった長方形の平板状に形成されている。また、該
絶縁基板29は、基端側が検出ホルダ26のスロットに
着脱可能に取付けられる固定端となり、先端側が自由端
となっている。
【0038】30は絶縁基板29上に形成された発熱抵
抗を構成する発熱抵抗体を示し、該発熱抵抗体30はプ
リント印刷またはスパッタリング等の手段を用いて絶縁
基板29上に白金膜を着膜させることにより、抵抗値R
H を有するように形成され、空気の流れ方向(矢示A方
向)に対して上流側に位置して形成され、該発熱抵抗体
30の表面積(実装面積)を可及的に増大させ、例えば
吸気管2内を流れる吸入空気との接触面積を大きくでき
るようにしている。
【0039】また、前記発熱抵抗体30は後述する電流
制御用トランジスタ42によって電流値が制御され、温
度を一定温度(例えば約240℃)に保つように発熱す
る構成となっている。
【0040】31は発熱抵抗体30と共に絶縁基板29
上に形成された感温抵抗体を示し、該感温抵抗体31は
抵抗値RT を有するように、前記絶縁基板29上に白金
等の感温性材料をプリント印刷またはスパッタリング等
の手段で着膜させることによって形成され、例えば吸気
管2内を矢示A方向に流れる吸入空気の流れ方向(絶縁
基板29の幅方向)に対し発熱抵抗体30の下流側に離
間して絶縁基板29上に配設されている。また、前記感
温抵抗体31は、通常時には図3に示すようにサブ電源
VS から電流が印加され、発熱抵抗体30よりも低い温
度で発熱しているから、該感温抵抗体31は絶縁基板2
9の表面に沿って流れる空気で冷却されることにより、
抵抗値RT が大きく変化し、後述のブリッジ回路37お
よび比較回路41で空気の流れ方向を感度良く検出する
ことができる。
【0041】ここで、前記感温抵抗体31の抵抗値RT
の空気の流速に対する変化を図4に示すに、吸気管2内
の空気の流れが順方向の流れ(矢示A方向)の場合に
は、前記感温抵抗体31は発熱抵抗体30の下流側に位
置しているから、該感温抵抗体31は発熱抵抗体30で
暖められた空気に接触するようになり、感温抵抗体31
の抵抗値RT は緩やかに減少し、流速が高速(流量が増
加)になっても後述する固定抵抗38の抵抗値RB より
も小さくなることはない。一方、吸気管2内の空気流が
逆方向(矢示B方向)となった場合には、前記感温抵抗
体31は発熱抵抗体30よりも上流側に位置しているか
ら、該感温抵抗体31は発熱抵抗体30からの熱の影響
を受けることなく直接この空気によって冷やされ、感温
抵抗体31の抵抗値RT は急激に減少して抵抗値RB よ
りも小さくなる。
【0042】32,32,…は絶縁基板29の基端側に
位置して形成された例えば4個の電極を示し、該各電極
32は絶縁基板29の幅方向に所定間隔をもって列設さ
れ、絶縁基板29の基端側を前記検出ホルダ26のスロ
ット内に差込むことにより、該検出ホルダ26側の各タ
ーミナル(図示せず)に接続される。そして、該各電極
32を介して絶縁基板29上に形成された前記発熱抵抗
体30と感温抵抗体31とを回路ケーシング27内に設
けられた各電子部品に接続することにより、図3に示す
流量検出用の処理回路が構成されている。
【0043】次に、図3は本実施例による流量検出用の
処理回路を示す。
【0044】図3において、33は流量検出信号を出力
する一方のブリッジ回路を示し、該ブリッジ回路33
は、発熱抵抗体30、温度補償抵抗34、基準抵抗23
および抵抗値R2 を有する流量調整抵抗35からなり、
それぞれ対向する辺の抵抗値の積が等しくなるブリッジ
として構成され、発熱抵抗体30と温度補償抵抗34と
の接続点aは後述する電流制御用トランジスタ42のエ
ミッタ側に接続され、基準抵抗23と流量調整抵抗35
との接続点bはアースに接続されている。
【0045】一方、前記ブリッジ回路33においては、
発熱抵抗体30と基準抵抗23、温度補償抵抗34と流
量調整抵抗35はそれぞれ直列接続され、それぞれの接
続点c,dは差動増幅回路36の入力端子に接続される
と共に、接続点cは後述する反転回路43と選択回路4
4に接続されている。
【0046】ここで、前記温度補償抵抗34は、発熱抵
抗体30の近傍に位置して検出ホルダ26に設けられ、
かつ該温度補償抵抗34は吸入空気の流れによる影響を
受けず、吸入空気の温度によってのみ抵抗値RK が変化
するものである。
【0047】このように構成されるブリッジ回路33で
は、該ブリッジ回路33が平衡状態にあるときには、差
動増幅回路36からの出力は零となると共に、接続点c
からは平衡状態にあるときの基準抵抗23の両端電圧が
反転回路43と選択回路44に出力される。一方、ブリ
ッジ回路33の平衡が崩れたとき、即ち吸入空気によっ
て発熱抵抗体30が冷却されたときには、該発熱抵抗体
30の抵抗値RH が小さくなっているから、差動増幅回
路36からは、電流制御用トランジスタ42のベースに
電流制御電圧が出力される。これにより、電流制御用ト
ランジスタ42はブリッジ回路33に印加する電流を制
御して冷やされた発熱抵抗体30を一定温度にして該ブ
リッジ回路33を平衡状態に戻す。このとき、ブリッジ
回路33の接続点cから出力される増幅した電流値は、
基準抵抗23の両端電圧として検出され、この電圧を反
転回路43と選択回路44に出力する。
【0048】37は後述する比較回路41と共に吸入空
気の流れ方向検出手段を構成する他方のブリッジ回路を
示し、該ブリッジ回路37は、感温抵抗体31,固定抵
抗38と調整抵抗39,40から構成され、感温抵抗体
31と固定抵抗38との接続点eはサブ電源VS (例え
ば、3V)に接続され、調整抵抗39,40の接続点f
はアースに接続されている。
【0049】ここで、前記ブリッジ回路37において
は、感温抵抗体31と調整抵抗39、固定抵抗38と調
整抵抗40はそれぞれ直列接続され、それぞれの接続点
g,hは比較回路41の入力端子に接続されているか
ら、感温抵抗体31と固定抵抗38とは並列接続になっ
ている。そして、前記比較回路41では、感温抵抗体3
1の抵抗値RT と固定抵抗38の抵抗値RB とを比較し
て、RT ≧RB の場合には図5に示す所定電圧値V0 と
なる流れ方向を示す信号(以下、「流れ方向検出信号」
という)を選択回路44に出力し、RT <RB の場合に
は電圧値が実質的に零となる流れ方向検出信号を選択回
路44に出力する。
【0050】ここで、図5に示す吸入空気の流速と流れ
方向検出信号の関係から前記ブリッジ回路37の検出動
作を説明すると、吸入空気の流れの方向がA方向(順方
向)のときには、感温抵抗体31は発熱抵抗体30の熱
を受けて間接的に冷やされるから、前述した如く、流速
の大きさに拘らず抵抗値はRT ≧RB となり、比較回路
41から出力される流れ方向検出信号は所定電圧値V0
となる。一方、空気の流れ方向がA方向からB方向(逆
方向)に変わったときには、感温抵抗体31は発熱抵抗
体30の熱を受けずに直接的に空気によって冷やされる
から、抵抗値は急激に減少してRT <RB となり、流れ
方向検出信号は電圧値が実質的に零となる。
【0051】42は電流制御用トランジスタを示し、該
電流制御用トランジスタ42は、コレクタ側がバッテリ
電圧VB に接続され、ベース側が前記差動増幅回路36
からの出力側に接続され、エミッタ側が前記ブリッジ回
路37の接続点aに接続されている。そして、該電流制
御用トランジスタ42は、前記差動増幅回路36からの
出力(電流制御電圧)でベース電流が変化するに応じて
エミッタ電流を制御する。これにより、電流制御用トラ
ンジスタ42はブリッジ回路37に印加される電流値を
制御して発熱抵抗体30の温度を一定温度に保つフィー
ドバック制御を行っている。
【0052】43はブリッジ回路33の接続点cと選択
回路44との間に接続された反転回路を示し、該反転回
路43はブリッジ回路33からの流量検出信号を反転さ
せて選択回路44に出力するようになっている。
【0053】44は反転回路43と共に流量信号出力手
段を構成する選択回路を示し、該選択回路44は比較回
路41を介して出力されるブリッジ回路37からの流れ
方向検出信号(図5、参照)に基づいて、例えば順方向
の場合にはブリッジ回路33からの流量検出信号を出力
信号Vout として出力端子45から図示しないコントロ
ールユニットに出力し、逆方向の場合には反転回路43
からの負(マイナス)の信号を出力信号Vout として出
力端子45からコントロールユニットに出力するように
なっている。
【0054】本実施例による熱式空気流量検出装置21
は上述の如き構成を有するもので、次に吸入空気の流量
検出動作について説明する。
【0055】ここで、吸入空気の流れが、矢示A方向
(順方向)の場合には、絶縁基板29上の発熱抵抗体3
0の下流側に位置した感温抵抗体31が、該発熱抵抗体
30を介して冷やされる。この結果、比較回路41から
は電圧値V0 となる順方向の流れ方向検出信号が出力さ
れる。
【0056】また、吸入空気の流れによって発熱抵抗体
30が冷却され、この冷却によって発熱抵抗体30の抵
抗値RH が減少するが、差動増幅回路36と電流制御用
トランジスタ42により該発熱抵抗体30を一定温度に
するために、当該ブリッジ回路33に印加される電流値
を増加させ、この増加した電流値を基準抵抗23でその
両端電圧として検出する。この結果、該ブリッジ回路3
3からは反転回路43と選択回路44に正の流量検出信
号が出力される。なお、前記反転回路43に入力された
正の流量検出信号は反転した負の流量検出信号として選
択回路44に出力される。
【0057】そして、選択回路44では、比較回路41
からの流れ方向検出信号に基づいてブリッジ回路33か
ら入力された正の流量検出信号と反転回路43から入力
された負の流量検出信号との選択を行い、この場合に
は、流れ方向検出信号が順方向であるから、正の流量検
出信号を選択して出力端子45からコントロールユニッ
トに向けて正の流量検出信号を出力信号Vout として出
力する。
【0058】なお、差動増幅回路36から出力された信
号に基づいて電流制御用トランジスタ42のベース電流
は制御されているから、発熱抵抗体30を一定温度にす
るためのフィードバック制御を行っている。
【0059】一方、空気の流れが、矢示B方向(逆方
向)の場合には、絶縁基板29上の発熱抵抗体30の上
流側に位置した感温抵抗体31が、この空気の流れによ
って直接冷やされ、感温抵抗体31の抵抗値RT を急激
に減少させる。この結果、比較回路41からは電圧値零
となる逆方向の流れ方向検出信号が出力される。
【0060】そして、前述したように、吸入空気の流れ
によって発熱抵抗体30は冷却されているから、発熱抵
抗体30の抵抗値RH は小さくなり、ブリッジ回路33
の平衡が崩れる。この結果、該ブリッジ回路33からは
正の流量検出信号が選択回路44に出力されると共に、
反転回路43を介して負の流量検出信号も選択回路44
に出力され、該選択回路44では、比較回路41からの
逆方向の流れ方向検出信号に基づいて負の流量検出信号
を選択し、この負の流量検出信号を出力信号Vout とし
て出力端子45からコントロールユニットに出力する。
【0061】かくして、コントロールユニットでは、こ
の出力信号Vout に基づいて正確な吸入空気の流量を検
出することができ、正確な空燃比制御を行い、エンジン
性能を向上できる。
【0062】ここで、本実施例による熱式流量検出装置
21においては、絶縁基板29上に、発熱抵抗体30を
形成すると共に、該発熱抵抗体30の下流側に感温抵抗
体31を形成するようにしたから、該感温抵抗体31に
よって空気の流れ方向を検出することができ、発熱抵抗
体30の抵抗値の変化から吸入空気の流量を検出するこ
とができる。これにより、吸入空気の流量を検出すると
共に、その方向も正確に検出することができる。
【0063】また、絶縁基板29上に発熱抵抗体30と
感温抵抗体31とを基端側から先端側に向けて延びるよ
うに着膜形成したから、限られた表面スペースを有効に
利用して発熱抵抗体30および感温抵抗体31をコンパ
クトに形成でき、発熱抵抗体30の表面積(実装面積)
を可能な限り大きくすることができる。そして、吸気管
2内の空気流に対する発熱抵抗体30および感温抵抗体
31の接触面積を大きくすることができ、これらの抵抗
値RH ,RT を空気流に敏感に反応して変化させること
ができると共に、単一の絶縁基板29に複数の抵抗体3
0,31を形成したから、部品点数の削減を図ることが
できる。
【0064】さらに、本実施例においては、発熱抵抗体
30と感温抵抗体31との位置関係によって、発熱抵抗
体30の熱影響を受けるか否かで、空気の流れ方向を検
出することができ、正確な流量を検出することができ
る。
【0065】さらにまた、流れ方向検出手段を、感温抵
抗体31の抵抗値RT と固定抵抗38の抵抗値RB とを
比較するブリッジ回路37および比較回路41によって
構成したから、空気の流れ方向をより正確に検出するこ
とができる。
【0066】従って、本実施例によれば、吸気管2内を
流れる吸入空気の流量を発熱抵抗体30の抵抗値RH に
基づいて確実に検出できると共に、感温抵抗体31の抵
抗値RT の変化に基づいて空気の流れ方向を確実に検出
でき、エンジンの中速域等で吸気管2内に排気が吹返し
て逆流が生じるようなときでも、吸入空気の流量を高精
度に検出することができる。
【0067】次に、図6および図7に本発明による第2
の実施例を示すに、本実施例の特徴は、単一の絶縁基板
上に発熱抵抗体、感温抵抗体および温度補償抵抗を着膜
形成したことにある。なお、前述した第1の実施例と同
一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略する
ものとする。
【0068】図中、51は本実施例による絶縁基板を示
し、該絶縁基板51は、ガラス,アルミナ,窒化アルミ
ニウム等の絶縁材料によって長方形の平板状に形成さ
れ、基端側が検出ホルダ26に取付けられる固定端とな
り、先端側が自由端となった主基板部51Aと副基板部
51Bとからなり、該基板部51A,51Bの間には先
端側から基端側に向けて延びるスリット52が形成され
ている。なお、前記副基板部51Bは吸入空気の順方向
(矢示A方向)の流れに対して主基板部51Aよりも上
流側に位置し、副基板部51B上には後述の温度補償抵
抗体55が形成されている。
【0069】53は発熱抵抗体を示し、該発熱抵抗体5
3は抵抗値RH を有するように、前記絶縁基板51の主
基板部51A上に白金等の感温性材料をプリント印刷ま
たはスパッタリング等の手段によって、該主基板部51
Aの長さ方向に着膜形成され、前述した発熱抵抗体30
と同様に、第1の実施例で述べた電流制御用トランジス
タ42によって電流値を制御することにより、一定温度
(例えば約240℃)をもって発熱するようになってい
る。
【0070】54は発熱抵抗体53の上流側に位置した
感温抵抗体を示し、該感温抵抗体54は抵抗値RT を有
するように、前記主基板部51A上に白金等の感温性材
料をプリント印刷またはスパッタリング等の手段によっ
て着膜形成されている。
【0071】55は温度補償抵抗としての温度補償抵抗
体を示し、該温度補償抵抗体55は前記副基板部51B
上に形成され、プリント印刷またはスパッタリング等の
手段を用いて白金膜を着膜させることにより形成されて
いる。そして、該温度補償抵抗体55は発熱抵抗体53
よりも大きい抵抗値RK を有し、吸入空気の流れによる
影響は受けず、温度変化のみを検出するようになってい
る。
【0072】56,56,…は絶縁基板51の基端側に
位置して形成された例えば5個の電極を示し、該各電極
56は絶縁基板51の幅方向に所定間隔をもって列設さ
れ、絶縁基板51の基端側を前記検出ホルダ26のスロ
ット内に差込むことにより、該検出ホルダ26側の各タ
ーミナル(図示せず)に接続される。
【0073】このように、第2の実施例における絶縁基
板51を前述した第1の実施例による流量計本体22に
取付けることにより、前述した第1の実施例とほぼ同様
の流量検出処理回路(図7、参照)となって、流量を検
出するブリッジ回路33′および空気の流れ方向を検出
するブリッジ回路37′を有する流量検出用の処理回路
を構成している。
【0074】このように構成される本実施例の熱式流量
検出装置においても、前記第1の実施例と同様に、吸入
空気の流量および流れ方向を検出することができる。
【0075】即ち、絶縁基板51上の発熱抵抗体53が
吸入空気によって冷やされ、該発熱抵抗体53の抵抗値
が減少してブリッジ回路33′からは流量検出信号を出
力すると共に、反転回路43からは負の流量検出信号を
選択回路44に出力する。
【0076】一方、ブリッジ回路37′では、感温抵抗
体54と固定抵抗38の抵抗値を比較することによって
吸入空気の流れる方向が順方向であるか逆方向であるか
を判別し、比較回路41を介してこの信号を選択回路4
4に出力する。これにより、選択回路44では、ブリッ
ジ回路37′(比較回路41)からの流れ方向検出信号
に基づいて、正または負の流量検出信号を選択し、出力
信号Vout としてコントロールユニットに出力する。こ
の結果、該コントロールユニットでは、このように流れ
方向も検出された吸入空気量に基づいて正確な空燃比制
御を行う。
【0077】また、本実施例においては、単一な絶縁基
板51上に発熱抵抗体53、感温抵抗体54および温度
補償抵抗体55を着膜形成しているから、第1の実施例
よりも部品点数を削減することができる。
【0078】さらに、温度補償抵抗体55を着膜形成す
る副基板部51Bと、発熱抵抗体53と感温抵抗体54
を着膜形成する主基板部51Aとの間にスリット52を
形成することにより、例えば発熱抵抗体53の熱が温度
補償抵抗体55に影響するのを防止でき、該温度補償抵
抗体55を正常に作動させることができる。
【0079】なお、前記各実施例では、感温抵抗体31
(54)を発熱抵抗体30(53)の下流側に位置して
形成したが、本発明はこれに限らず、感温抵抗体31
(54)を発熱抵抗体30(53)の上流側に位置させ
て形成してもよい。
【0080】また、前記各実施例では、感温抵抗体31
(54)を発熱させるものとして述べたが、本発明はこ
れに限らず、感温抵抗体31(54)には電圧印加せず
発熱抵抗体30(53)の発熱により加熱される絶縁基
板29(51)の熱を利用して感温抵抗体31(54)
を発熱させるようにしてもよい。
【0081】さらに、前記各実施例では、流量計本体2
2の巻線部24に巻回した基準抵抗23を吸気管2内に
突出させて設けるものとして述べたが、本発明はこれに
限らず、例えば吸気管2の外側に設ける回路ケーシング
27内に基準抵抗23を流量調整抵抗35等と共に配設
する構成としてもよい。
【0082】さらにまた、前記各実施例では、流量検出
信号を出力するブリッジ回路33(33′)を、発熱抵
抗体30(53)、温度補償抵抗34(温度補償抵抗体
55)、基準抵抗23および流量調整抵抗35から形成
したが、本発明はこれに限らず、温度補償抵抗34(温
度補償抵抗体55)、流量調整抵抗35として固定抵抗
を用いてブリッジ回路33(33′)を形成してもよ
い。
【0083】
【発明の効果】以上詳述した如く、請求項1の発明で
は、絶縁基板上に、吸入空気の流れ方向に離間して感温
抵抗体を設け、該感温抵抗体を常時発熱させ、空気の流
れ方向で冷却することにより、空気の流れ方向に対して
発熱抵抗体よりも感温抵抗体が下流側となったときには
該感温抵抗体は発熱抵抗体からの熱影響を受けて空気流
により直接冷やされることなく、抵抗値が大きく減少す
ることはない。一方、空気の流れに対して感温抵抗体が
発熱抵抗体よりも上流側となったときには該感温抵抗体
は空気流によって直接冷やされ抵抗値は大きく減少し、
この抵抗値の変化に基づいて空気の流れを正確に検出す
ることができる。
【0084】請求項2の発明では、前記感温抵抗体を発
熱させることにより、該感温抵抗体では空気流による直
接冷却と、発熱抵抗体を介した空気流による冷却とを区
別して、空気の流れ方向をより正確に検出することがで
きる。
【0085】請求項3の発明では、絶縁基板に形成され
た発熱抵抗体と感温抵抗体とは基端側から先端側に向け
て伸びるようにしたから、空気流に対する接触面積を大
きくでき、抵抗値の変化を大きくすることができ、検出
感度を向上できる。また、絶縁基板の表面スペースを有
効に利用して発熱抵抗体および感温抵抗体をコンパクト
に形成できる。
【0086】請求項4の発明では、単一の絶縁基板上に
発熱抵抗体、感温抵抗体および温度補償抵抗を形成で
き、部品点数を削減することができる。また、温度補償
抵抗を形成する副基板部と、前記発熱抵抗体と感温抵抗
体を形成する主基板部との間にスリットを形成すること
により、例えば発熱抵抗体の熱が温度補償抵抗に影響す
るのを防止でき、検出感度を向上できる。
【0087】請求項5の発明では、流れ方向検出手段を
感温抵抗体に固定抵抗を並列に接続して構成し、感温抵
抗体と固定抵抗の抵抗値を比較することで流れ方向を判
別するようにしたから、感温抵抗体が固定抵抗の抵抗値
よりも大きいときには、例えば順方向の空気流と判定で
き、小さくなったときには逆方向の空気流であると判定
できる。
【0088】さらに、請求項6の発明では、発熱抵抗体
を含んでブリッジ回路を形成し、該ブリッジ回路中の発
熱抵抗体の抵抗値変化を流量検出信号として取出すと共
に、前記感温抵抗体と固定抵抗の抵抗値を比較すること
により空気の流れ方向を検出し、該吸入空気の流れ方向
が順方向のときには前記流量検出信号をそのまま正の電
圧信号として出力でき、逆方向のときには反転させて負
の電圧信号として出力することができる。そして、吸入
空気の方向と流量を検出して空燃比等の制御を正確に行
わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施例による熱式空気流量検出装置を吸
気管に取付けた状態を示す縦断面図である。
【図2】絶縁基板上に形成された発熱抵抗体および感温
抵抗体を示す平面図である。
【図3】第1の実施例による熱式空気流量検出装置の回
路構成を示す回路図である。
【図4】流速に対する感温抵抗体の抵抗値変化を示す特
性線図である。
【図5】吸入空気の流速と流れ方向検出信号との関係を
示す特性線図である。
【図6】第2の実施例による絶縁基板上に形成された発
熱抵抗体、感温抵抗体、補助ヒータおよび温度補償抵抗
を示す平面図である。
【図7】第2の実施例による熱式空気流量検出装置の回
路構成を示す回路図である。
【図8】従来技術による熱式空気流量検出装置を吸気管
に取付けた状態を示す縦断面図である。
【図9】従来技術による流量計本体および発熱抵抗等を
示す斜視図である。
【符号の説明】
21 熱式空気流量検出装置 22 流量計本体 23 基準抵抗 29,51 絶縁基板 30,53 発熱抵抗体 31,54 感温抵抗体 33,33′ ブリッジ回路 34 温度補償抵抗 35 流量調整抵抗 36 差動増幅回路 37,37′ ブリッジ回路(流れ方向検出手段) 41 比較回路 43 反転回路 44 選択回路(流量信号出力手段) 51A 主基板部 51B 副基板部 55 温度補償抵抗体(温度補償抵抗)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基端側が吸気管に取付けられた流量計本
    体と、前記吸気管内に位置して該流量計本体に設けら
    れ、前記吸気管内を流れる空気によって冷却される発熱
    抵抗とを備えてなる熱式空気流量検出装置において、前
    記発熱抵抗は、前記流量計本体に取付けられた絶縁基板
    上に形成され、該絶縁基板の少なくとも長さ方向に膜状
    に延びた発熱抵抗体によって構成し、かつ前記絶縁基板
    上には、該発熱抵抗体から前記空気の流れ方向に離間し
    て形成され、前記空気の流れ方向に応じて抵抗値が変化
    する感温抵抗体を設けたことを特徴とする熱式空気流量
    検出装置。
  2. 【請求項2】 前記該感温抵抗体は、外部からの電圧印
    加により発熱させる構成としてなる請求項1記載の熱式
    空気流量検出装置。
  3. 【請求項3】 前記発熱抵抗体は前記絶縁基板の基端側
    から先端側に延びるように形成し、前記感温抵抗体は、
    前記空気の流れ方向に対し該発熱抵抗体よりも下流側ま
    たは上流側に位置して前記絶縁基板の基端側から先端側
    に延びるように形成してなる請求項1または2記載の熱
    式空気流量検出装置。
  4. 【請求項4】 前記絶縁基板は、基端側が前記流量計本
    体に取付けられる固定端となり先端側が自由端となった
    主基板部と副基板部とから構成し、該副基板部と主基板
    部との間には先端側から基端側に向けて延びるスリット
    を形成すると共に、前記副基板部には前記温度補償抵抗
    を形成し、前記主基板部には、基端側から先端側に延び
    る発熱抵抗体と、該発熱抵抗体から空気の流れ方向に対
    し下流側または上流側に離間して基端側から先端側に延
    びる感温抵抗体とを形成してなる請求項1または2記載
    の熱式空気流量検出装置。
  5. 【請求項5】 前記感温抵抗体は、前記流量計本体に設
    ける固定抵抗と並列に接続することにより流れ方向検出
    手段を構成し、該流れ方向検出手段は、前記感温抵抗体
    の抵抗値が固定抵抗よりも減少するか否かで、空気の流
    れ方向に対応した流れ方向検出信号を出力する構成とし
    てなる請求項1,2,3または4記載の熱式空気流量検
    出装置。
  6. 【請求項6】 前記発熱抵抗体を含んでブリッジ回路を
    形成し、該ブリッジ回路を形成する前記発熱抵抗体の抵
    抗値の変化を流量検出信号として取出すと共に、前記流
    れ方向検出手段によって検出された流れ方向検出信号に
    基づいて、前記空気の流れ方向が順方向のときには前記
    流量検出信号をそのまま出力し、逆方向のときには反転
    させて出力する流量信号出力手段を備えてなる請求項5
    記載の熱式空気流量検出装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6862930B1 (en) 1998-10-21 2005-03-08 Denso Corporation Fluid flow amount measuring apparatus responsive to fluid flow in forward and reverse directions
US6629456B2 (en) 2000-12-20 2003-10-07 Denso Corporation Thermal flowmeter for detecting rate and direction of fluid flow
JP2006023304A (ja) * 2004-07-08 2006-01-26 Robert Bosch Gmbh 流量センサ用測定装置および空気流量の測定方法

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