JPH07281213A - 光スイッチ - Google Patents
光スイッチInfo
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- JPH07281213A JPH07281213A JP6583494A JP6583494A JPH07281213A JP H07281213 A JPH07281213 A JP H07281213A JP 6583494 A JP6583494 A JP 6583494A JP 6583494 A JP6583494 A JP 6583494A JP H07281213 A JPH07281213 A JP H07281213A
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- light
- waveguide
- optical
- signal light
- optical waveguide
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電極の作製が不要で、且つ、防爆環境及び導
電性液体中での使用を可能とし、更に、非接触でスイッ
チングできる光スイッチを提供することを目的とする。 【構成】 ＴiＯ2及びＳiＯ2の混合膜よりなる光導波路
を装荷した基板と、該光導波路に信号光を導入する信号
光入力手段と、該光導波路から信号光を導出する信号光
出力手段と、前記光導波路に紫外光を供給する紫外光供
給手段とを有することを特徴とするものである。
電性液体中での使用を可能とし、更に、非接触でスイッ
チングできる光スイッチを提供することを目的とする。 【構成】 ＴiＯ2及びＳiＯ2の混合膜よりなる光導波路
を装荷した基板と、該光導波路に信号光を導入する信号
光入力手段と、該光導波路から信号光を導出する信号光
出力手段と、前記光導波路に紫外光を供給する紫外光供
給手段とを有することを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光スイッチに関する。
詳しくは、光集積回路において、信号光のオン・オフを
紫外光の照射の有無で切り換える光スイッチ関する。更
に、紫外光照射を検出する紫外光検出器等の産業機械全
般に応用することも可能である。
詳しくは、光集積回路において、信号光のオン・オフを
紫外光の照射の有無で切り換える光スイッチ関する。更
に、紫外光照射を検出する紫外光検出器等の産業機械全
般に応用することも可能である。
【０００２】
【従来の技術】従来技術の一例を図２に示す。この例
は、分岐干渉（マッハツェンダー）型光スイッチに関す
るものである。同図に示すように、ＬiＮb０3（ニオブ
酸リチウム）基板２２上には、Ｔi拡散導波路２１が作
製され、このＴi拡散導波路２１は、途中で二つの導波
路部分（アーム）に分離している。
は、分岐干渉（マッハツェンダー）型光スイッチに関す
るものである。同図に示すように、ＬiＮb０3（ニオブ
酸リチウム）基板２２上には、Ｔi拡散導波路２１が作
製され、このＴi拡散導波路２１は、途中で二つの導波
路部分（アーム）に分離している。
【０００３】従って、Ｔi拡散導波路２１に入力された
導波路２４は、二つの導波光２５及び２６に分岐して、
その後、再び合流して導波光２７となる。Ｔi拡散導波
路２１の分離された一方の導波路部分の両側には、電極
２３が配置されている。電極２３に電圧を印加して、Ｔ
i拡散導波路２１の分離された一方の導波路部分に電界
を加えると、電気光学的効果により、その導波路部分の
屈折率が変化する。
導波路２４は、二つの導波光２５及び２６に分岐して、
その後、再び合流して導波光２７となる。Ｔi拡散導波
路２１の分離された一方の導波路部分の両側には、電極
２３が配置されている。電極２３に電圧を印加して、Ｔ
i拡散導波路２１の分離された一方の導波路部分に電界
を加えると、電気光学的効果により、その導波路部分の
屈折率が変化する。
【０００４】その為、導波光２５と導波光２６との位相
差に応じた干渉の結果、光が強めあい、又は、打ち消し
あうことになる。例えば、電界を加えない場合に、導波
光２５と導波光２６との位相差がゼロであるとすると、
それらの光は強め合い導波光２７が出力される。
差に応じた干渉の結果、光が強めあい、又は、打ち消し
あうことになる。例えば、電界を加えない場合に、導波
光２５と導波光２６との位相差がゼロであるとすると、
それらの光は強め合い導波光２７が出力される。
【０００５】また、導波光２６が通る導波路部分に電界
を加わえて、その屈折率を変化させると、導波路２６の
通る光路長が実質的に変化し、導波光２５と導波光２６
との間に位相差を生じる。このときの位相差がπとなる
ように電界強度を設定すれば、導波光２５と導波光２６
とは完全に打ち消し合って、導波光２７の強度はゼロと
なる。つまり、電極２３に加える外部電圧を調整するこ
とにより、干渉計から出力される導波光２７の強度を制
御してスイッチング動作を行えるのである。
を加わえて、その屈折率を変化させると、導波路２６の
通る光路長が実質的に変化し、導波光２５と導波光２６
との間に位相差を生じる。このときの位相差がπとなる
ように電界強度を設定すれば、導波光２５と導波光２６
とは完全に打ち消し合って、導波光２７の強度はゼロと
なる。つまり、電極２３に加える外部電圧を調整するこ
とにより、干渉計から出力される導波光２７の強度を制
御してスイッチング動作を行えるのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の光スイ
ッチは、光の制御を行うための電極２３を必要とするた
め、電極２３を作製する製造プロセスが増加する。ま
た、電極２３に電気信号を加えなければならない為、防
爆環境及び導電性液体中での使用が不可能であった。更
に、機械的あるいは電気的手段によりスイッチング動作
するため、非接触でスイッチングできなかった。
ッチは、光の制御を行うための電極２３を必要とするた
め、電極２３を作製する製造プロセスが増加する。ま
た、電極２３に電気信号を加えなければならない為、防
爆環境及び導電性液体中での使用が不可能であった。更
に、機械的あるいは電気的手段によりスイッチング動作
するため、非接触でスイッチングできなかった。
【０００７】本発明は、上記従来技術に鑑みてなされた
ものであり、電極の作製が不要で、且つ、防爆環境及び
導電性液体中での使用を可能とし、更に、非接触でスイ
ッチングできる光スイッチを提供することを目的とす
る。
ものであり、電極の作製が不要で、且つ、防爆環境及び
導電性液体中での使用を可能とし、更に、非接触でスイ
ッチングできる光スイッチを提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段及び作用】斯かる目的を達
成する本発明は、ＴiＯ2及びＳiＯ2を混合した薄膜を導
波路材料に用いる。この薄膜に制御用光として紫外光を
照射すると、ＴiＯ2のフォトクロミズムにより、可視域
の光の吸収が増加し、導波光強度が減少する。
成する本発明は、ＴiＯ2及びＳiＯ2を混合した薄膜を導
波路材料に用いる。この薄膜に制御用光として紫外光を
照射すると、ＴiＯ2のフォトクロミズムにより、可視域
の光の吸収が増加し、導波光強度が減少する。
【０００９】また、紫外光照射終了後、可視光の照射或
いは導波光により、可視域の光の吸収がなくなり、導波
光強度が初期値に戻る。このフォトクロミズム現象を利
用し、制御用光（紫外光）と導波光（可視光）の透過率
を変化させて、導波光の強度をスイッチングするのであ
る。
いは導波光により、可視域の光の吸収がなくなり、導波
光強度が初期値に戻る。このフォトクロミズム現象を利
用し、制御用光（紫外光）と導波光（可視光）の透過率
を変化させて、導波光の強度をスイッチングするのであ
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明について、図面に示す実施例を
参照して詳細に説明する。本発明の一実施例を図１に示
す。本実施例は、本発明の基本的構成に係るものであ
る。同図に示すように、基板１２上には、ＴiＯ2及びＳ
iＯ2の混合膜である導波層１１が装荷されている。
参照して詳細に説明する。本発明の一実施例を図１に示
す。本実施例は、本発明の基本的構成に係るものであ
る。同図に示すように、基板１２上には、ＴiＯ2及びＳ
iＯ2の混合膜である導波層１１が装荷されている。
【００１１】この導波層１１の一方の端面側には光ファ
イバ２を介して信号光光源１が接続され、また、その反
対方向の端面側には光ファイバ３を介して受光器４が接
続されている。従って、信号光光源１から出射された可
視域の入力信号光１３は、光ファイバ２を通過した後、
光導波路である導波層１１を導波光１４として伝搬し、
出力信号光１５として光ファイバ３を通過し、受光器４
に受光されることになる。
イバ２を介して信号光光源１が接続され、また、その反
対方向の端面側には光ファイバ３を介して受光器４が接
続されている。従って、信号光光源１から出射された可
視域の入力信号光１３は、光ファイバ２を通過した後、
光導波路である導波層１１を導波光１４として伝搬し、
出力信号光１５として光ファイバ３を通過し、受光器４
に受光されることになる。
【００１２】更に、導波層１１に対して、上方から紫外
光１６を照射することができるように、紫外光光源１７
及び石英ファイバーライトガイド１８が設置されてい
る。従って、紫外光光源１７から出射された紫外光１６
が石英ファイバーライトガイド１８を経由して、導波路
１１に制御用光として照射されると、導波路１１中のＴ
iＯ2によるフォトクロミズムにより、Ｔi3+が生成し、
その結果、可視域の光に吸収が生じる。
光１６を照射することができるように、紫外光光源１７
及び石英ファイバーライトガイド１８が設置されてい
る。従って、紫外光光源１７から出射された紫外光１６
が石英ファイバーライトガイド１８を経由して、導波路
１１に制御用光として照射されると、導波路１１中のＴ
iＯ2によるフォトクロミズムにより、Ｔi3+が生成し、
その結果、可視域の光に吸収が生じる。
【００１３】この為、紫外光１６の照射によって、導波
光１４が導波路１１で吸収されるため、出力信号光１５
の強度が低下する。また、紫外光１６の照射を停止し、
入力信号光１３を送り続けると、導波光１４を吸収する
ことにより、Ｔi3+が消滅し、可視域の吸収がなくな
り、出力信号光１５の値が初期値に戻る。
光１４が導波路１１で吸収されるため、出力信号光１５
の強度が低下する。また、紫外光１６の照射を停止し、
入力信号光１３を送り続けると、導波光１４を吸収する
ことにより、Ｔi3+が消滅し、可視域の吸収がなくな
り、出力信号光１５の値が初期値に戻る。
【００１４】上記構成を有する本実施例においては、紫
外光照射によるＴiＯ2のフォトクロミズムを利用するの
で、紫外光１６により、別の導波光１４を直接に制御す
ることができる。ここで、ＴiＯ2を導波層材料に適用す
るにあたって、本発明では、ＴiＯ2及びＳiＯ2の混合膜
で光導波路を構成している。この為、ＴiＯ2とＳiＯ2の
混合比を調節することにより、混合膜の屈折率を、Ｓi
Ｏ2の屈折率ｎ＝１．５から、ＴiＯ2の屈折率ｎ＝２．
５までの範囲で任意に選択でき、光デバイスの各種材料
と屈折率の整合をとることを可能としている。
外光照射によるＴiＯ2のフォトクロミズムを利用するの
で、紫外光１６により、別の導波光１４を直接に制御す
ることができる。ここで、ＴiＯ2を導波層材料に適用す
るにあたって、本発明では、ＴiＯ2及びＳiＯ2の混合膜
で光導波路を構成している。この為、ＴiＯ2とＳiＯ2の
混合比を調節することにより、混合膜の屈折率を、Ｓi
Ｏ2の屈折率ｎ＝１．５から、ＴiＯ2の屈折率ｎ＝２．
５までの範囲で任意に選択でき、光デバイスの各種材料
と屈折率の整合をとることを可能としている。
【００１５】また、ＴiＯ2のフォトクロミズムによる可
視域の吸収の変化量は少なく、ＴiＯ2を薄膜化した場
合、その膜の垂直方向に可視光を通したときの透過率の
変化は少ないため、スイッチング動作は困難である。し
かし、本発明では、可視光を導波光として、該薄膜の面
内で長い距離を伝搬させることで、微小な透過率の変化
でも感度良くスイッチングすることを可能としている。
視域の吸収の変化量は少なく、ＴiＯ2を薄膜化した場
合、その膜の垂直方向に可視光を通したときの透過率の
変化は少ないため、スイッチング動作は困難である。し
かし、本発明では、可視光を導波光として、該薄膜の面
内で長い距離を伝搬させることで、微小な透過率の変化
でも感度良くスイッチングすることを可能としている。
【００１６】尚、Ｔi3+を消滅させる他の方法として
は、可視域の光を導波層１１に照射することも有効であ
る。次に、本発明の具体的実施例について説明する。
は、可視域の光を導波層１１に照射することも有効であ
る。次に、本発明の具体的実施例について説明する。
【００１７】〔実施例１〕図１を参照して、本実施例を
説明する。同図に示す導波層１１としては、ＴiＯ2とＳ
iＯ2の混合膜を用い、基板１２としては石英ガラスを用
いた。導波層１１は一例として、アルゴンガスのプラズ
マによるスパッタリング法を用いて作製した。ＴiＯ2と
ＳiＯ2の組成比は任意であるが、紫外光に対するＴiＯ2
とＳiＯ2の混合膜のフォトクロミズムの変化はＴiＯ2濃
度が高い程大きい。
説明する。同図に示す導波層１１としては、ＴiＯ2とＳ
iＯ2の混合膜を用い、基板１２としては石英ガラスを用
いた。導波層１１は一例として、アルゴンガスのプラズ
マによるスパッタリング法を用いて作製した。ＴiＯ2と
ＳiＯ2の組成比は任意であるが、紫外光に対するＴiＯ2
とＳiＯ2の混合膜のフォトクロミズムの変化はＴiＯ2濃
度が高い程大きい。
【００１８】従って、低照射レベルの紫外光でスイッチ
ング動作させるには、高ＴiＯ2濃度の混合膜ほど有利で
ある。しかし、高ＴiＯ2濃度の導波膜ほど、可視光の吸
収（紫外光未照射の場合）が大きく信号光の入出力自体
が困難になる。従って、紫外光に対する感度が高く、且
つ、信号光（可視光）の吸収レベルが実用的レベル（１
ｄＢ／ｃｍ）にあるＴiＯ2濃度の一実施例として、Ｔi
Ｏ2：ＳiＯ2＝８５：１５の組成比のターゲットを用い
て、ＴiＯ2とＳiＯ2の混合膜を作製した。
ング動作させるには、高ＴiＯ2濃度の混合膜ほど有利で
ある。しかし、高ＴiＯ2濃度の導波膜ほど、可視光の吸
収（紫外光未照射の場合）が大きく信号光の入出力自体
が困難になる。従って、紫外光に対する感度が高く、且
つ、信号光（可視光）の吸収レベルが実用的レベル（１
ｄＢ／ｃｍ）にあるＴiＯ2濃度の一実施例として、Ｔi
Ｏ2：ＳiＯ2＝８５：１５の組成比のターゲットを用い
て、ＴiＯ2とＳiＯ2の混合膜を作製した。
【００１９】上記構成を有する光スイッチは、次のよう
に使用される。即ち、信号光光源１であるＨe−Ｎeレー
ザから出射した波長６３３ｎｍの入力信号光１３は、光
ファイバ１３を透過した後、導波路である導波層１１に
端面結合し、導波層１１を導波光１４として伝搬し、更
に、光ファイバ３を出力信号光１５として通過し、受光
器４で信号光強度が測定される。導波層１１の長さ（導
波光１４の進行方向に平行な方向の長さ）は６ｍｍであ
る。
に使用される。即ち、信号光光源１であるＨe−Ｎeレー
ザから出射した波長６３３ｎｍの入力信号光１３は、光
ファイバ１３を透過した後、導波路である導波層１１に
端面結合し、導波層１１を導波光１４として伝搬し、更
に、光ファイバ３を出力信号光１５として通過し、受光
器４で信号光強度が測定される。導波層１１の長さ（導
波光１４の進行方向に平行な方向の長さ）は６ｍｍであ
る。
【００２０】紫外光光源１７としては、水銀−キセノン
ランプ２００Ｗで、フィルターをかけて波長３６５ｎｍ
の紫外光を選択している。紫外光光源１７から石英ファ
イバーライトガイド１８を通じて導波層１１に紫外線１
６を照射した。紫外光１６の強度と出力信号光１５の減
衰の関係を図５に示す。この結果から、紫外光強度を１
００ｍＷ／ｃｍ2にすれば、出力信号光の消光比を−１
０ｄＢにできることが判る。
ランプ２００Ｗで、フィルターをかけて波長３６５ｎｍ
の紫外光を選択している。紫外光光源１７から石英ファ
イバーライトガイド１８を通じて導波層１１に紫外線１
６を照射した。紫外光１６の強度と出力信号光１５の減
衰の関係を図５に示す。この結果から、紫外光強度を１
００ｍＷ／ｃｍ2にすれば、出力信号光の消光比を−１
０ｄＢにできることが判る。
【００２１】尚、例えば、紫外光１６の強度を上げる
か、或いは、導波層１１の長さを長くすれば、更に消光
比は増加する。また、信号光の波長も可視域で任意に選
択可能である。更に、紫外光１６の波長も、波長４００
ｎｍ以下という条件内であれば任意に選択可能である。
か、或いは、導波層１１の長さを長くすれば、更に消光
比は増加する。また、信号光の波長も可視域で任意に選
択可能である。更に、紫外光１６の波長も、波長４００
ｎｍ以下という条件内であれば任意に選択可能である。
【００２２】〔実施例２〕図３に本発明の実施例２を示
す。本実施例２では、実施例１で光導波路として用いた
スラブ型導波路に代えて、チャンネル型導波路を用いた
ものである。即ち、基板１２上には、チャンネル型導波
路のコアに相当する光導波路３１が形成され、この光導
波路３１は、導波光１４を基板１２の深さ方向及び水平
方向にも閉じ込めている。
す。本実施例２では、実施例１で光導波路として用いた
スラブ型導波路に代えて、チャンネル型導波路を用いた
ものである。即ち、基板１２上には、チャンネル型導波
路のコアに相当する光導波路３１が形成され、この光導
波路３１は、導波光１４を基板１２の深さ方向及び水平
方向にも閉じ込めている。
【００２３】光導波路３１としては、ＴiＯ2とＳiＯ2の
混合膜が用いられる。この光導波路３１は、例えば、基
板全体に図１のように導波層１１を形成した後、フォト
リソグラフィー技術を用いて、導波路パターンを形成し
たマスクを作製し、エッチングすることにより作製され
る。基板１２及び光導波路３１の上にはクラッド層３２
が形成されている。クラッド層３２としては、空気を用
いても良いが、誘電体材料、例えば、ＳiＯ2で構成する
ことができる。誘電体材料の場合は、屈折率が導波層１
１よりも低くて、且つ、紫外光を吸収しないことが条件
である。尚、その他の構成は、前述した実施例１と同様
である。
混合膜が用いられる。この光導波路３１は、例えば、基
板全体に図１のように導波層１１を形成した後、フォト
リソグラフィー技術を用いて、導波路パターンを形成し
たマスクを作製し、エッチングすることにより作製され
る。基板１２及び光導波路３１の上にはクラッド層３２
が形成されている。クラッド層３２としては、空気を用
いても良いが、誘電体材料、例えば、ＳiＯ2で構成する
ことができる。誘電体材料の場合は、屈折率が導波層１
１よりも低くて、且つ、紫外光を吸収しないことが条件
である。尚、その他の構成は、前述した実施例１と同様
である。
【００２４】本実施例のような構成とすれば、チャンネ
ル型導波路を用いた他の光素子を同一基板上に構成する
場合に整合性が高まり、また、光ファイバとの光の入出
力において、結合効率の向上が図れる。
ル型導波路を用いた他の光素子を同一基板上に構成する
場合に整合性が高まり、また、光ファイバとの光の入出
力において、結合効率の向上が図れる。
【００２５】〔実施例３〕図４に本発明の実施例３を示
す。本実施例３は、紫外線の供給方法を、導波路の面の
上方からではなく、導波路の面内で行うようにしたもの
である。即ち、基板１２上には、導波光１４を伝搬させ
る光導波路５１が形成されると共に、制御用光である紫
外光１６を伝搬させるための光導波路４１が形成されて
いる。この光導波路４１の一端側は光導波路５１に対し
て結合部４２を介して結合しており、他端側は石英ファ
イバーライトガイド１８を介して紫外光光源１７に接続
している。
す。本実施例３は、紫外線の供給方法を、導波路の面の
上方からではなく、導波路の面内で行うようにしたもの
である。即ち、基板１２上には、導波光１４を伝搬させ
る光導波路５１が形成されると共に、制御用光である紫
外光１６を伝搬させるための光導波路４１が形成されて
いる。この光導波路４１の一端側は光導波路５１に対し
て結合部４２を介して結合しており、他端側は石英ファ
イバーライトガイド１８を介して紫外光光源１７に接続
している。
【００２６】また、光導波路５１の一方の端面側には光
ファイバ２を介して信号光光源１が接続され、また、そ
の反対方向の端面側には光ファイバ３を介して受光器４
が接続されている。光導波路４１，５１は、何れもチャ
ンネル型導波路のコアに相当するものである。但し、光
導波路４１としては、ＴiＯ2とＳiＯ2の混合膜が用いら
れるのに対し、光導波路４１としては、紫外光吸収の少
ない材料、例えば、石英に微小量のＧeをドープした材
料が用いられる。
ファイバ２を介して信号光光源１が接続され、また、そ
の反対方向の端面側には光ファイバ３を介して受光器４
が接続されている。光導波路４１，５１は、何れもチャ
ンネル型導波路のコアに相当するものである。但し、光
導波路４１としては、ＴiＯ2とＳiＯ2の混合膜が用いら
れるのに対し、光導波路４１としては、紫外光吸収の少
ない材料、例えば、石英に微小量のＧeをドープした材
料が用いられる。
【００２７】従って、紫外光光源１７から石英ファイバ
ーライトガイド１８を通じて、光導波路４１に伝搬した
紫外光１６は、結合部４２で光導波路４１よりも高屈折
率である光導波路５１側へ放射される。このようにし
て、光導波路５１に紫外光が供給され、導波光１４の出
力を制御することができる。その他の構成は、前述した
実施例１と同様である。本実施例のような構成とすれ
ば、導波路面内だけで、信号光の制御が可能となるた
め、光スイッチ素子の小型化ができ、また、他の光素子
を同一基板上に構成した場合の整合性も向上する。
ーライトガイド１８を通じて、光導波路４１に伝搬した
紫外光１６は、結合部４２で光導波路４１よりも高屈折
率である光導波路５１側へ放射される。このようにし
て、光導波路５１に紫外光が供給され、導波光１４の出
力を制御することができる。その他の構成は、前述した
実施例１と同様である。本実施例のような構成とすれ
ば、導波路面内だけで、信号光の制御が可能となるた
め、光スイッチ素子の小型化ができ、また、他の光素子
を同一基板上に構成した場合の整合性も向上する。
【００２８】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明によれば、外部からの紫外光により導
波光を直接的に制御可能となり、電極及び電気信号を不
要とすることができる。このため、次の効果を奏する。 （１）電極が不要となり、製造プロセスの簡素化、コス
ト低減が図れる。 （２）電気信号を不要としたので、防爆環境及び導電性
液体中での使用が可能となる。 （３）機械的、電気的手段を用いず、制御用光（紫外
光）を自由空間に伝搬させて、スイッチング動作できる
ため、非接触スイッチングが可能となる。
たように、本発明によれば、外部からの紫外光により導
波光を直接的に制御可能となり、電極及び電気信号を不
要とすることができる。このため、次の効果を奏する。 （１）電極が不要となり、製造プロセスの簡素化、コス
ト低減が図れる。 （２）電気信号を不要としたので、防爆環境及び導電性
液体中での使用が可能となる。 （３）機械的、電気的手段を用いず、制御用光（紫外
光）を自由空間に伝搬させて、スイッチング動作できる
ため、非接触スイッチングが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基本的実施例及び実施例１に係る光ス
イッチの構成図である。
イッチの構成図である。
【図２】従来の分岐干渉型光スイッチの構成図である。
【図３】本発明の実施例２に係る光スイッチの構成図で
ある。
ある。
【図４】本発明の実施例３に係る光スイッチの構成図で
ある。
ある。
【図５】本発明の実施例１において測定した、紫外光に
よる信号光の消光データを示すグラフである。
よる信号光の消光データを示すグラフである。
１ 信号光光源 ２，３ 光ファイバ ４ 受光器 １１ 導波層 １２ 基板 １３ 入力信号光 １４ 導波光 １５ 出力信号光 １６ 紫外光 １７ 紫外光光源 １８ 石英ファイバーライトガイド ２１ Ｔi拡散導波路 ２２ ＬiＮb０3（ニオブ酸リチウム）基板 ２３ 電極 ２４，２５，２６，２７ 導波光 ３１，４１，５１ 光導波路 ３２ クラッド層
Claims (3)
- 【請求項１】 ＴiＯ2及びＳiＯ2の混合膜よりなる光導
波路を装荷した基板と、該光導波路に信号光を導入する
信号光入力手段と、該光導波路から信号光を導出する信
号光出力手段と、前記光導波路に紫外光を供給する紫外
光供給手段とを有することを特徴とする光スイッチ。 - 【請求項２】 請求項１において、前記光導波路とし
て、チャンネル型光導波路を用いることを特徴とする光
スイッチ。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、前記紫外光供
給手段は、前記基板上に形成され前記光導波路に接続す
るチャンネル型光導波路と、該チャンネル型光導波路に
紫外線を入射させる紫外光光源とを有することを特徴と
する光スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6583494A JPH07281213A (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | 光スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6583494A JPH07281213A (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | 光スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07281213A true JPH07281213A (ja) | 1995-10-27 |
Family
ID=13298450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6583494A Withdrawn JPH07281213A (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | 光スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07281213A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1091234A2 (en) * | 1999-10-05 | 2001-04-11 | Nortel Networks Limited | Adaptive optical waveguides |
| CN100428017C (zh) * | 2004-12-07 | 2008-10-22 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 显示板及显示装置 |
| CN114371532A (zh) * | 2021-08-16 | 2022-04-19 | 北京工业大学 | 一种基于相变材料的分支波导交互调控超快全光开关 |
-
1994
- 1994-04-04 JP JP6583494A patent/JPH07281213A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1091234A2 (en) * | 1999-10-05 | 2001-04-11 | Nortel Networks Limited | Adaptive optical waveguides |
| EP1091234A3 (en) * | 1999-10-05 | 2002-11-13 | Nortel Networks Limited | Adaptive optical waveguides |
| US6697554B2 (en) | 1999-10-05 | 2004-02-24 | Nortel Networks Limited | Adaptive optical waveguides |
| CN100428017C (zh) * | 2004-12-07 | 2008-10-22 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 显示板及显示装置 |
| CN114371532A (zh) * | 2021-08-16 | 2022-04-19 | 北京工业大学 | 一种基于相变材料的分支波导交互调控超快全光开关 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010605 |