JPH07278306A

JPH07278306A - シロキサンコポリマーの製造方法

Info

Publication number: JPH07278306A
Application number: JP7066094A
Authority: JP
Inventors: Shoichi Hayashida; 尚一林田; Michiyuki Amano; 道之天野; Saburo Imamura; 三郎今村; Koji Sato; 弘次佐藤
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1994-04-08
Filing date: 1994-04-08
Publication date: 1995-10-24

Abstract

(57)【要約】【目的】高分子光導波路材料として使用できる、高分
子量、かつ、屈折率制御性のよいシロキサンコポリマー
の製造方法を提供する。【構成】原料の加水分解工程において、ジアリール型
原料とアリール型原料を混合して同時に加水分解するの
ではなく、あらかじめジアリール型原料をアリール型原
料と反応させた後、水中に投入して全体を加水分解する
逐次的な反応操作を採用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、シロキサンコポリマー
の製造方法に関し、特に高分子光導波路材料として使用
できる、高分子量、かつ、屈折率制御可能なシロキサン
コポリマーの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコーンポリマーの一種であるポリシ
ロキサンはＳｉ−Ｏ結合を繰り返し構造単位とするポリ
マーであり、一般に、皮膜性や耐熱性に優れている。こ
のため、従来、電子デバイスの保護膜等への応用が検討
されてきた。また、最近ではその優れた光透過性に着目
して、高分子光導波路の作製が検討されている（特開平
４−１５７４０２号）。ポリマーを用いた光合波器、光
分波器等の光回路部品は、ガラスを素材としたものに比
較して、経済的に製造できるため、光通信システム、と
りわけ加入者系の通信システムの経済化を可能とするこ
とが期待されている。高分子光導波路に適用できるシロ
キサン系高分子として、下記一般式（Ｉ）および（II）
で表される化学構造単位を繰り返し単位として有するシ
ロキサンコポリマーが提案されている。

【０００３】

【化２】

【０００４】ところで、高分子光導波路は、スラブ型と
チャネル型の２つに大別されるが、図１にチャネル型光
導波路の構造を例示する。基板１上に設けた下層クラッ
ド２の上に、微細加工技術を用いてコア部３を設け、さ
らにコア部３および下層クラッド２の上にコア部３を覆
うように上層クラッド４を設けた構造である。ここでコ
ア部３の屈折率が周囲のクラッド部よりも大きいため、
光はコア部３に閉じ込められ、その結果、コア部３が光
導波路として機能することができる。

【０００５】このような光導波路に使用するシロキサン
コポリマーに求められる条件は、種々あるが、高分子
量であること、屈折率の制御性が高いこと、が不可欠
である。すなわち、良好な皮膜性を持つためには数万以
上、好ましくは１０万程度以上の分子量が必要であり、
この条件が満足されない場合には、光導波路の製造過程
において、わずかの温度差や溶媒との接触によって容易
にひび割れ（クラッキング）が発生する。また、上述し
たように、コア部の屈折率をクラッド部よりも大きく設
定する必要があるが、その屈折率差によって光導波路中
の光の伝搬特性が大きく左右されるため、使用する高分
子材料の屈折率を精密に制御できる必要がある。該高分
子材料（ポリマー）の屈折率は、ポリマー中に含まれる
フェニル基の含有量が高いほど高屈折率となり、このフ
ェニル基の制御は高分子の製造階段において前記一般式
（Ｉ）と（II）の組成比を注意深く調節することにより
行われる。

【０００６】従来、前記一般式（Ｉ）で表される繰り返
し単位のみからなるポリマーの合成方法に関しては、例
えば、公知の文献；Ｊ．Ｆ．Ｂｒｏｗｎら、ジャーナル
オブアメリカンケミカルソサイエティ、８２巻６１９４
−６１９５ページ（１９６０）、または特公昭４０−１
５９８９号に記載されている。すなわち、原料であるフ
ェニルトリクロロシラン（Ｃ₆ Ｈ₅ ＳｉＣｌ₃ ）を加水
分解して得られる加水分解物を、触媒である水酸化カリ
ウム（ＫＯＨ）の存在下で溶媒とともに長時間加熱する
ことにより、高分子量のポリマーが得られるとされてい
る。しかしながら、この方法を応用して、前記のフェニ
ルトリクロロシランとジフェニルジクロロシラン［（Ｃ
₆ Ｈ₅ ）₂ ＳｉＣｌ₂ ］を任意の割合で混合したものを
共加水分解し、プレポリマー化を行い、さらに高分子量
化するという方法を採用しても、たかだか７〜８万程度
の分子量を持つコポリマーが得られるにすぎなかった。
ここで言う共加水分解とは、両原料の混合物を水中に投
入するか、両原料の混合物に水を添加することにより同
時に加水分解することを意味する。こうして得られる比
較的低分子量のポリマーを使用した場合には、前述した
ように、光導波路製造時にクラッキングが生じて、製造
途中の光導波路が容易に破壊するという問題があり、そ
のため、高分子量化と屈折率制御性を同時に解決できる
シロキサンコポリマーの製造方法が望まれていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、高分
子光導波路材料として使用できる、高分子量、かつ、屈
折率制御性のよいシロキサンコポリマーの製造方法を提
供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記問題
を解決するために、従来のように共加水分解によるポリ
マー前駆体を経由するのではなく、後述するような特異
な分子構造を有するポリマー前駆体を経由することによ
り、高分子量化と屈折率制御性を同時に解決できること
を見出し、本発明を完成するに至った。

【０００９】すなわち、本発明の第１の発明は、シロキ
サンコポリマーの製造方法の発明であって、下記一般式
（Ｉ）および（II）

【００１０】

【化３】

【００１１】で表される化学構造単位を繰り返し単位と
するシロキサンコポリマーの製造方法において、ジアリ
ールシランジオールを非プロトン性溶媒に溶解した後、
該溶液にアリールトリクロロシランを加える第１の工程
と、前記第１の工程で得られた反応混合物を水中に投入
して全体を加水分解させる第２の工程と、前記第２の工
程で得られた加水分解物を溶媒中で脱水縮合させてポリ
マー前駆体を生成せしめる第３の工程と、前記ポリマー
前駆体を固相状態で脱水縮合させる第４の工程と、を包
含することを特徴とする。

【００１２】そして、本発明の第２の発明もシロキサン
コポリマーの製造方法の発明であって、前記本発明の第
１の発明の第１の工程において、ジアリールシランジオ
ールのかわりに、ジアリールジクロロシランの加水分解
物を使用することを特徴とする。

【００１３】さらに、本発明の第３の発明もシロキサン
コポリマーの製造方法の発明であって、前記本発明の第
１の発明の第１の工程において、ジアリールシランジオ
ールのかわりに、ジアリールジアルコキシシランの加水
分解物を使用することを特徴とする。

【００１４】

【作用】それぞれの発明において特に重要な点は、第１
の工程および第２の工程において、ジアリール型原料と
アリール型原料を混合して同時に加水分解するのではな
く、あらかじめジアリール型原料をアリール型原料と反
応させた後に、水中に投入して全体を加水分解する逐次
的な反応操作を採用したことである。これにより、前記
一般式（II）が分子鎖末端になり、加水分解物を生成さ
せることができる。

【００１５】本発明によるシロキサンコポリマーの製造
方法により、高分子量化と屈折率制御性の問題が解決可
能となった理由は、従来の共加水分解によるポリマー前
駆体と本発明によるポリマー前駆体の分子構造が異なる
ことである。すなわち、従来の共加水分解によるポリマ
ー前駆体では、核磁気共鳴を用いて調べた結果、前記一
般式（II）で表される構造単位が分子鎖の末端に位置し
ている割合が高いのに対し、本発明によるポリマー前駆
体においては、前記一般的（Ｉ）で表される構造単位が
末端に位置していることが判明した。すなわち、図２の
ＮＭＲスペクトルで示されるように、従来の製造方法に
よるポリマー前駆体（ａ）では、前記一般式（II）の構
造単位が分子鎖末端にあるために−３８ｐｐｍにピーク
が現れる。図２に示したスペクトルにおいて符号５で示
したピークが分子鎖末端にある前記一般式（II）のピー
クであり、−３８ｐｐｍに位置している。これに対し、
スペクトルの要部のみを示した図２ないし図５に示すよ
うに、本発明１〜３の製造方法によるポリマー前駆体
（ｂ〜ｄ）のスペクトルでは、前記一般式（II）の構造
単位を示すピーク６は−４２〜−４８ｐｐｍに現われて
おり、これは、前記一般式（II）の構造単位が分子鎖の
末端以外にあることを示している。なお、図２に示した
スペクトルにおいて符号７は前記一般式（Ｉ）のピーク
を示し、８は１個の水酸基を持つ前記一般式（Ｉ）のピ
ークであり、９は２個の水酸基を持つ前記一般式（Ｉ）
のピークを示すものである。したがって、前者では分子
鎖末端が後続反応を阻害しやすい分子構造となっている
のに対し、後者では反応がスムーズに進行するホモポリ
マー製造時のポリマー前駆体と同じ末端構造になってい
るために容易に高分子量化できたのである。

【００１６】以下、本発明のシロキサンコポリマーの製
造方法をより詳細に説明する。

【００１７】まず、第１の発明であるシロキサンコポリ
マーの製造方法について説明する。本発明のシロキサン
コポリマーの製造方法は４つの工程からなり、例えば、
次のように行われる。まず、第１の工程として、原料の
一つであるジフェニルシランジオールを非プロトン性溶
媒に溶解し、反応の進行に伴って発生する酸を捕捉する
酸トラップ剤の存在下に、目的とする屈折率を与える比
率のフェニルトリクロロシランを加える。ただし、原料
のジフェニルシランジオールは、その２つの−ＯＨ基が
フェニルトリクロロシランとの反応により完全に消費さ
れる必要があるため、ジフェニルシランジオールの２倍
モル以上を使用する必要がある。さもなければ、ジフェ
ニル型の繰り返し単位が分子鎖の末端に位置するポリマ
ー前駆体が生成して、本発明の効果が十分に達せられな
いからである。使用する非プロトン性溶媒としては、−
ＯＨ基を持たない溶媒であれば特に限定されないが、ベ
ンゼン、トルエン、キシレンのような芳香族系溶媒、テ
トラヒドロフラン（ＴＨＦ）やジオキサンのようなエー
テル系溶媒が使用可能である。また、酸トラップ剤も特
に限定されないが、トリエチルアミンやピリジン等が使
用可能である。次に、第２の工程として、上記反応混合
物を水中に投入して全体を加水分解させる。生成した加
水分解物は、溶媒抽出後、中和・水洗を行って次の工程
に使用することもできるが、溶媒で抽出するのみでもよ
い。さらに、溶媒を除いて固形物として使用することも
できる。あるいは、容器に付着した加水分解物をかき集
めて使用することも可能である。このときの加水分解物
は、単独、あるいは、連なった複数のジフェニル型ユニ
ットの両端にフェニル型ユニットが結合した特異なサン
ドイッチ型構造となっており、通常、分子量が数百から
数千程度のオリゴマーである。次に、第３の工程とし
て、得られた加水分解物を溶媒中、触媒の存在下で、発
生する水分を除去しながら還流する。このときの反応溶
媒としては、トルエンやキシレンのような芳香族系溶
媒、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジオキサン、アニ
ソール、フェネトールのようなエーテル系溶媒など、加
水分解物を溶解するものであれば特に限定されない。触
媒としては、ＫＯＨ、ＮａＯＨのようなアルカリ金属の
水酸化物、硫酸、塩酸、ｐ−トルエンスルホン酸のよう
な酸を用いることができるが、必ずしも限定されるもの
ではない。このようにして生成したポリマー前駆体は、
通常、数千から２〜３万程度の低分子量体であり、メタ
ノール等の貧溶媒から再沈した後に乾燥して単離するこ
とができる。あるいは、単離せずに溶液状態のまま次の
工程に使用することも可能である。次に、第４の工程と
して、得られたポリマー前駆体を固相状態で加熱して脱
水縮合させる。前記第３の工程の最後にポリマー前駆体
を単離した場合には、再度溶媒に溶解し、触媒を加える
必要があるが、単離しなかった場合には、溶液をそのま
ま、あるいは、触媒をさらに添加して使用することがで
きる。この溶液を、発生する水分を除去しながら還流
し、溶媒を留去した後、さらに固体のままで２００〜３
００℃で加熱を続ける。反応終了後、得られる固体をＴ
ＨＦ等の良溶媒に溶解し、メタノール等の貧溶媒から再
沈することにより、目的とする高分子量、かつ、屈折率
が制御されたシロキサンコポリマーが得られる。この第
４の工程で使用される反応溶媒および触媒は必ずしも限
定されないが、第３の工程と同様のものを使用すること
が可能である。

【００１８】第２の発明においては、第１の発明におい
てジオール型の原料を使用するのに対し、ジクロロ型の
原料を加水分解して使用する。例えば、前記の非プロト
ン性溶媒中にジフェニルジクロロシランを溶解し、２倍
モルの水を加えて加水分解することにより、ジフェニル
ジランジオール、および、そのオリゴマーの混合物を生
成させることができ、これを第２の工程以降に使用する
ことが可能である。この第２の発明の製造方法によって
も、第１の製造方法と全く同様の効果を得ることができ
る。

【００１９】第３の発明においては、第１の発明のジオ
ール型原料に代わって、ジアリールジアルコキシシラン
を加水分解して使用する。例えば、前記非プロトン性溶
媒中にジフェニルジエトキシシランを溶解し、触媒とし
て例えば少量のＨＣｌガスを吸収させたのち、２倍モル
の水を加えて加水分解することにより、ジフェニルシラ
ンジオール、および、そのオリゴマーの混合物を生成さ
れることができ、これを第２の工程以降に使用すること
が可能である。この第３の発明の製造方法によっても、
第１の方法と全く同様の効果を得ることが可能である。

【００２０】

【実施例】以下、本発明を実施例によりさらに具体的に
説明する。

【００２１】〔実施例１〕以下の手順によりモノフェニ
ルシロキサン単位［前記一般式（Ｉ）］：ジフェニルシ
ロキサン単位［前記一般式（II）］＝９５：５（モル
比）のシロキサンコポリマーを製造した。

【００２２】１リットルの反応容器にＴＨＦ１００ｃｃ
を入れ、ジフェニルシランジオール１１ｇを溶解し、酸
トラップ剤としてトリエチルアミン１５ｇを添加した。
フェニルトリクロロシラン２０５ｇを３００ｃｃのＴＨ
Ｆに溶解して上記の溶液に攪拌下で加えたのち、反応混
合物を１リットルの水に注いだ。二層に分離した反応混
合物にトルエン５００ｃｃを加えて攪拌した後、トルエ
ン層を分取して水洗した。溶媒の留去により白濁した半
固体１３２ｇが得られた。このうち１２８ｇを１５０ｃ
ｃのキシレンに溶解し、触媒としてｐ−トルエンスルホ
ン酸１水和物４ｇを加えた。生成する水を除去しながら
２時間還流した後、２リットルのメタノールから再沈し
て、ポリマー前駆体１０５ｇを得た。ＮＭＲ測定によ
り、前記一般式（Ｉ）で表される構造単位が分子鎖の末
端に存在することを確認した。ポリスチレン換算の重量
平均分子量は６，９００であった。このポリマー前駆体
のうち１００ｇとアニソール３０ｃｃをよく混合し、触
媒として水酸化カリウム０．１ｇを加えた後、生成する
水を除去しながら６時間還流した。その後、溶媒を蒸発
乾固させ、２５０℃で１０時間加熱した。得られた白色
の固体をＴＨＦに溶解したのち、２リットルのメタノー
ルから再沈して、重量平均分子量が１９万のシロキサン
コポリマー９２ｇを得た。図６に示した²⁹Ｓｉ−ＮＭＲ
スペクトルを見ると、符号１０で示す位置にジフェニル
型構造単位中のＳｉ原子によるピークが表われており、
符号１１で示す位置にフェニル型構造単位中のＳｉ原子
によるピークが表われている。これらのピーク強度比か
ら、組成比９５：５であることが確認できた。

【００２３】〔実施例２〕実施例１において、ジフェニ
ルシランジオールのかわりに重水素置換ジフェニルシラ
ンジオールを、フェニルトリクロロシランのかわりに重
水素置換フェニルトリクロロシランを使用する以外は同
様にして、重量平均分子量１７万の重水素置換シロキサ
ンコポリマーを得た。実施例１と同様にして組成比９
５：５であることが確認できた。

【００２４】〔実施例３〕以下の手順によりモノフェニ
ルシロキサン単位［前記一般式（Ｉ）］：ジフェニルシ
ロキサン単位［前記一般式（II）］＝９０：１０（モル
比）のポリマー前駆体を製造した。

【００２５】１リットルの反応容器にＴＨＦ１００ｃｃ
を入れ、ジフェニルジランジオール２２ｇを溶解し、酸
トラップ剤としてピリジン２０ｇを添加した。フェニル
トリクロロシラン１９４ｇを３００ｃｃのＴＨＦに溶解
して上記の溶液に攪拌下で加えたのち、反応混合物を１
リットルの水に注いだ。二層に分離した反応混合物にト
ルエン５００ｃｃを加えてよく攪拌したのち、トルエン
層を分取して水洗した。溶媒の留去により白濁した半固
体１２６ｇが得られた。このうち１２０ｇを１５００ｃ
ｃのテトラリンに溶解し、触媒として硫酸０．１ｃｃを
加えた。生成する水を除去しながら２時間乾留したの
ち、２リットルのメタノールから再沈して、ポリマー前
駆体９６ｇを得た。ＮＭＲ測定により、前記一般式
（Ｉ）で表される構造単位が分子鎖の末端に存在するこ
とを確認した。ポリスチレン換算の重量平均分子量は
４，４００であった。このポリマー前駆体のうち９０ｇ
とフェネトール２５ｃｃをよく混合し、触媒として水酸
化カリウム０．１ｇを加えた後、生成する水を除去しな
がら６時間乾留した。その後、溶媒を蒸発乾固させ、２
５０℃で８時間加熱した。得られた白色の固体をＴＨＦ
に溶解した後、２リットルのメタノールから再沈して、
重量平均分子量１４万のシロキサンコポリマー７８ｇを
得た。実施例１と同様にして、組成比９０：１０である
ことが確認できた。

【００２６】〔実施例４〕実施例３において、ジフェニ
ルシランジオールのかわりに重水素置換ジフェニルシラ
ンジオールを、フェニルトリクロロシランのかわりに重
水素置換フェニルトリクロロシランを使用する以外は同
様にして、重量平均分子量１３万の重水素置換シロキサ
ンコポリマーを得た。実施例１と同様にして、組成比９
０：１０であることが確認できた。

【００２７】〔実施例５〕実施例１において、ジオール
型原料のかわりにジクロロ型原料を使用し、以下のよう
にしてシロキサンコポリマーを得た。

【００２８】１リットルの反応容器にジオキサン１００
ｃｃを入れ、ジフェニルジクロロシラン１３ｇを溶解し
た。これに水２ｃｃとジオキサン５ｃｃの混合溶液を攪
拌下で滴下し、１時間攪拌を続けた。この反応混合物
に、酸トラップ剤としてトリエチルアミン１５ｇを添加
した後、フェニルトリクロロシラン２０５ｇを３００ｃ
ｃのジオキサンに溶解した溶液を攪拌下で加えた。反応
混合物を１リットルの水に注ぎ、トルエン５００ｃｃを
加えてよく攪拌したのち、トルエン層を分取して水洗し
た。溶媒の留去により白濁した半固体１２２ｇが得られ
た。このうち１１５ｇを１５０ｃｃのキシレンに溶解
し、触媒としてｐ−トルエンスルホン酸１水和物４ｇを
加えた。生成する水を除去しながら２時間還流したの
ち、２リットルのメタノールから再沈して、ポリマー前
駆体を得た。

【００２９】これ以降の反応操作は実施例１と同様にし
てユニット組成比９５：５のシロキサンコポリマーを得
た。反応条件の詳細と結果は表１〜表３のとおりであっ
た。

【００３０】〔実施例６〜８〕ジクロロ型の原料を実施
例５と同様にして加水分解し、使用するモル比は各々実
施例２〜４と同様にして、シロキサンコポリマーを製造
した。反応条件の詳細と結果は表１〜表３に示すとおり
であった。

【００３１】〔実施例９〕１リットルの反応容器にＴＨ
Ｆ１００ｃｃを入れ、ジフェニルジエトキシシラン１４
ｇを溶解した。これに塩酸０．２ｃｃを加えた後、水２
ｃｃとＴＨＦ５ｃｃの混合溶液を攪拌下で滴下し、一昼
夜攪拌を続けた。これ以降の反応操作は実施例１と同様
にしてユニット組成比９５：５のシロキサンコポリマー
を得た。反応条件の詳細と結果は表１〜表３のとおりで
あった。

【００３２】〔実施例１０〜１２〕ジアルコキシ型の原
料を実施例９と同様にして加水分解し、使用するモル比
は各々実施例２〜４と同様にして、シロキサンコポリマ
ーを製造した。反応条件の詳細と結果は表１〜表３に示
すとおりであった。

【００３３】

【表１】

【００３４】

【表２】

【００３５】

【表３】

【００３６】〔適用例〕実施例１〜１２で得られたシロ
キサンコポリマーをコア材として、従来のホトリソグラ
フ技術により高分子光導波路を製造した。クラッド材と
して分子量１５万の重水素置換ポリフェニルシルセスキ
オキサン（ホモポリマー）を使用した。光導波路の形状
は、下層クラッド膜厚；２０μｍ，コア；８μｍ×８μ
ｍ，上層クラッド膜厚；１５μｍとした。得られた光導
波路の波長１．３μｍにおける特性を評価したところ、
導波損失値は、実施例１，３，５，７，９，１１のコポ
リマーを使用した場合には０．３〜０．５ｄＢ／ｃｍ、
実施例２，４，６，８，１０，１２のコポリマーを使用
した場合には０．１〜０．２ｄＢ／ｃｍの範囲に収まる
ことを確認した。

【００３７】〔比較例〕実施例１において、ジフェニル
ジクロロシランとフェニルトリクロロシランを逐次反応
させるかわりに、両原料を同時にＴＨＦに溶解して蒸留
水を滴下する方法により、前記一般式（II）で表される
構造単位が分子鎖の末端に存在するポリマー前駆体を製
造した。このポリマー前駆体を用いて高分子量化を行っ
たが、重量平均分子量は８万程度で飽和した。この低分
子量コポリマーを使用して、上記適用例と同様に光導波
路の製造を試みたが、加工途中の加熱乾燥時や有機溶媒
との接触によって容易にクラッキングが生じ、光導波路
製造の歩留りは約１５％以下であった。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のシロキサ
ンコポリマーの製造方法によれば、従来の方法に比べて
高分子量、かつ、屈折率の制御が容易なシロキサンコポ
リマーが得られるという利点がある。このため、光導波
路の製造の障害となっていたクラッキング等による破壊
が抑えられ、光導波路の製造を高効率化することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】高分子光導波路の断面構成図である。

【図２】従来の製造方法で製造されたポリマー前駆体の
ＮＭＲスペクトルを示す図である。

【図３】本発明の請求項１の発明で製造されたポリマー
前駆体のＮＭＲスペクトルの要部を示す図である。

【図４】本発明の請求項２の発明で製造されたポリマー
前駆体のＮＭＲスペクトルの要部を示す図である。

【図５】本発明の請求項３の発明で製造されたポリマー
前駆体のＮＭＲスペクトルの要部を示す図である。

【図６】本発明の実施例１で得られたシロキサンコポリ
マーのＮＭＲスペクトルを示す図である。

【符号の説明】

１基板２下層クラッド３コア部４上層クラッド５分子鎖末端にある前記一般式（II）のピーク６分子鎖末端にない前記一般式（II）のピーク７前記一般式（Ｉ）のピーク８１個の水酸基をもつ前記一般式（Ｉ）のピーク９２個の水酸基をもつ前記一般式（Ｉ）のピーク１０ジフェニル型構造単位中のＳｉ原子によるピーク
（相対強度５）１１フェニル型構造単位中のＳｉ原子によるピーク
（相対強度９５）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者佐藤弘次東京都千代田区内幸町１丁目１番６号日本電信電話株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】下記一般式（Ｉ）および（II）【化１】で表される化学構造単位を繰り返し単位とするシロキサ
ンコポリマーの製造方法において、ジアリールシランジオールを非プロトン性溶媒に溶解し
た後、該溶液にアリールトリクロロシランを加える第１
の工程と、前記第１の工程で得られた反応混合物を水中に投入して
全体を加水分解させる第２の工程と、前記第２の工程で得られた加水分解物を溶媒中で脱水縮
合させてポリマー前駆体を生成せしめる第３の工程と、前記ポリマー前駆体を固相状態で脱水縮合させる第４の
工程と、を包含することを特徴とするシロキサンコポリ
マーの製造方法。
【請求項２】前記第１の工程のジアリールシランジオ
ールのかわりに、ジアリールジクロロシランの加水分解
物を使用することを特徴とする請求項１に記載のシロキ
サンコポリマーの製造方法。
【請求項３】前記第１の工程のジアリールシランジオ
ールのかわりに、ジアリールジアルコキシシランの加水
分解物を使用することを特徴とする請求項１に記載のシ
ロキサンコポリマーの製造方法。