JPH0727815U - ワイヤソーマシン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 再使用する砥液に異物が混入するおそれを減
らす。 【構成】 ワイヤ１４によるワークＷの切断中に、砥液
ノズル１２からワークＷに供給した砥液を、砥液フィル
ター２２、受皿を介して砥液タンクに回収する。砥液フ
ィルター２２をワーク取付台１３の最上部に隙間なく取
り付ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えばシリコンの鋳塊からウエハを切り出すために使用されるワイ ヤソーマシンに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来より、シリコンの鋳塊からウエハを切り出すために、ワイヤソーマシンと 呼ばれる切削切断装置が用いられている。その概略構成を図１に示す。

【０００３】 ワイヤソーマシンの切削部１０は、加工室３０内に設置されている。その切削 部１０は、三角形の各頂点に配置された３本の水平なローラ１１，１１，１１と 、そのローラ群の内側に設けた砥液ノズル１２と、ローラ群の下方に設けた昇降 式のワーク取付台１３とを有する。

【０００４】 ３本のローラ１１，１１，１１には、ワイヤ１４が所定の間隔で掛け巻かれて いる。ワイヤ１４は図示されない駆動装置により往復走行又は一方向走行をする 。ローラ１１の外周面には、図２（Ａ）に示すように、ワイヤ１４が嵌合する多 数の溝１５が設けられている。

【０００５】 切断においては、ワーク取付台１３の上にワークＷを固定する。そして、ワイ ヤ１４を運動させながら、ワーク取付台１３を上昇させて、下段の２本のローラ １１，１１間に並列して掛け渡された多数本のワイヤ１４に、下方からワークＷ を押し付け、これを徐々に上昇させる。同時に、上方の砥液ノズル１２からワー クＷに砥液を供給する。砥液とは砥粒をオイルに混合したものである。

【０００６】 ワークＷに供給された砥液は、再使用のために砥液回収機構２０に回収される 。砥液回収機構２０は、受皿２１と、その下方に設けた砥液タンク２３とを有す る。砥液タンク２３には、砥液供給ポンプ２６と攪拌機２７が取り付けられてい る。受皿２１により回収された砥液は、砥液タンク２３に集められ、砥液供給ポ ンプ２４により再び砥液ノズル１２からワークＷに供給される。

【０００７】 受皿２１内には、トラブルによってウエハが破損した場合でも、割れて細かく なったウエハの破片が砥液に混入しないように、砥液フィルター２２′が設置さ れている。この砥液フィルター２２′は、ワーク取付台１３を包囲している。す なわち、砥液フィルター２２′の中央部をワーク取付台１３が貫通している。そ して、ワーク取付台１３の昇降を妨げないために、ワーク取付台１３とその周囲 の砥液フィルター２２′との間には隙間が確保されている。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

ワークＷに供給された砥液は、大部分がワーク取付台１３の周囲に落下し、ワ ーク取付台１３の周囲に設けた砥液フィルター２２′で異物を除去された後、受 皿２１を経て砥液タンク２３に回収されて再使用される。ここで言う異物とは、 前述したようにウエハの破片等である。

【０００９】 ところが、前述したように、ワーク取付台１３の昇降を可能とするために、ワ ーク取付台１３と砥液フィルター２２′との間に隙間がある。そのため、一部の 砥液は、砥液フィルター２２′を通らずに砥液タンク２３に回収され、その砥液 に含まれていた異物を、再使用する砥液に混入させる。

【００１０】 ところで、ワイヤソーマシンを用いたシリコンウエハの切り出しでは、図２（ Ｂ）に示すように、ローラ１１の溝１５に異物１６が噛み込むことにより、その 溝１５からワイヤ１４が外れて重なることがある。そうなると、切断中のウエハ の厚さが急に変化したり溝１５の摩耗が大きくなる。

【００１１】 本考案者らがワイヤ外れの原因を詳細に調査したところ、前述したワーク取付 台１３と砥液フィルター２２′との間を一部の砥液が通過し、再使用する砥液に 異物を混入させることが、その主要な原因であることが判明した。

【００１２】 本考案の目的は、再使用する砥液への異物混入を確実に防止できるワイヤソー マシンを提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】

本考案のワイヤソーマシンは、昇降式のワーク取付台上にワークを固定し、ワ ーク取付台の上方で走行する並列された多数本のワイヤに下方からワークを押し 付けると共に、そのワークに上方から砥液を供給して、ワークを多数枚に切断す るワイヤソーマシンにおいて、 前記ワーク取付台の周囲に設ける砥液フィルターを、ワーク取付台に隙間なく 取り付けたことを特徴とする。

【００１４】

【作用】

ワーク取付台とその周囲の砥液フィルターとの間に隙間がないので、受皿を介 してタンクに回収される砥液の全てが、砥液フィルターを通過することになる。 従って、再使用される砥液への異物混入が確実に防止される。

【００１５】

【実施例】

以下に本考案の実施例を図面に基づいて説明する。図３は本考案を実施したワ イヤソーマシンの一例についてその主要部を示す縦断側面図、図４はその主要部 の平面図である。

【００１６】 本実施例は、図１に示した従来のワイヤソーマシンとは砥液回収機構２０が異 なり、他の機構は同一である。

【００１７】 本実施例における砥液回収機構２０は、昇降式のワーク取付台１３の最上部に 取り付けられた砥液フィルター２２を有する。砥液フィルター２２は、四角形の 受皿状であって、円筒部２２ａとその外側の外枠２２ｂとを水平な桟２２ｃで連 結し、開口部に網２２ｄを張設した構造になっている。

【００１８】 砥液フィルター２２の中央にある円筒部２２ａは、円柱状のワーク取付台１３ に外嵌され、ワーク取付台１３に装着された落下防止用のバンド２４によって支 持されている。そして、円筒部２２ａの内面とワーク取付台１３の外面との間は Ｏリング２５によってシールされている。

【００１９】 なお、砥液フィルター２２の下方には、図示されていないが、従来と同様に受 皿および砥液タンクがある。

【００２０】 砥液フィルター２２は、ワーク取付台１３と共に昇降する。ワーク取付台１３ 上のワークＷに供給された砥液は、大部分がワーク取付台１３の周囲に落下する 。その砥液は、ワーク取付台１３の周囲に設けた砥液フィルター２２を通り、そ の下の受皿を経て砥液タンクに回収される。砥液フィルター２２は、ワーク取付 台１３との間がシールされているので、回収される砥液への異物混入を確実に防 止することができる。

【００２１】 また、砥液フィルター２２をワーク取付台１３の最上部に取り付けたことによ り、ワーク取付台１３上のワークＷから砥液フィルター２２までの距離が短く、 しかも、その距離はワーク取付台１３が昇降しても変化しない。そのため、切断 中等にウエハやその一部が砥液フィルター２２上に落下した場合の落下衝撃が緩 和され、落下物の破損が抑えられることによっても、砥液への異物混入が抑えら れる。

【００２２】 本考案のワイヤソーマシンに使用される砥液フィルター２２は、図５に示すよ うに、外枠２２ｂを高く立ち上げ、ワーク取付台１３を最も上昇させた切断終了 時に下段の２つのローラ１１，１１を外枠２２ｂで包囲する構成とすることがで きる。そうした場合は、高速でローラ１１，１１やワイヤ１４が動くことによっ て飛散した一部の砥液についても、これを砥液フィルター２２に通過させること ができる。

【００２３】 また、異物除去効果を一層高める手段として、図６に示すように、砥液タンク 上部にある管に設置されたフィルター２８や、従来の加工室床上のフィルター２ ２′と組み合わせることも可能である。

【００２４】

【考案の効果】

以上に説明した通り、本考案のワイヤソーマシンは、ワーク取付台と砥液フィ ルターとの間から隙間を排除したことにより、再使用する砥液への異物混入を防 ぐので、ローラ溝への異物の噛み込みを防止でき、これにより安定操業に貢献す る。また、ローラ溝の異常な摩耗を防ぐことにより、ローラの寿命延長に寄与す る。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のワイヤソーマシンを示す模式図である。

【図２】ワイヤをかけるローラの拡大図である。

【図３】本考案を実施したワイヤソーマシンの一例につ
いてその主要部を示す縦断側面図である。

【図４】図３に示した主要部の平面図である。

【図５】本考案の他の実施例を示す模式図である。

【図６】本考案の更に別の実施例を示す模式図である。

【符号の説明】

１０ 切削部 １１ ローラ １２ 砥液ノズル １３ ワーク取付台 １４ ワイヤ ２０ 砥液回収機構 ２１ 受皿 ２２，２２′，２８ 砥液フィルター ２３ 砥液タンク ２６ 砥液供給ポンプ ２７ 攪拌機

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 昇降式のワーク取付台上にワークを固定
   し、ワーク取付台の上方で走行する並列された多数本の
   ワイヤに下方からワークを押し付けると共に、そのワー
   クに上方から砥液を供給して、ワークを多数枚に切断す
   るワイヤソーマシンにおいて、 前記ワーク取付台の周囲に設ける砥液フィルターを、ワ
   ーク取付台に隙間なく取り付けたことを特徴とするワイ
   ヤソーマシン。