JPH0727716A - 異物検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 樹脂中に混入している異物を、高い感度と精
度をもって、自動的かつ連続的に検査する異物検査装置
を得る。 【構成】 樹脂から成形したシートの表面Ｓの観測位置
に連続した波長帯からなる輻射光を照射する光源装置１
と、この輻射光のシート面からの反射光ｌr を受光す
る、対物距離が固定された、色収差を有するレンズ２
と、このレンズ２を透過した反射光ｌr が結像する位置
に固定して配設され、その結像の光波長を測定する受光
装置３と、この測定波長と基準波長とのずれ量から、樹
脂中の異物に起因するシート面上の突起の高さを演算す
る演算表示装置８とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は樹脂中に混入している異
物を検査する装置にかかわり、特にシート状に成形され
た樹脂の表面に現れた異物による微少な突起を、レンズ
の色収差を利用して検出し、測定基準となるシート面の
結像の光波長と、観測位置における結像の光波長との波
長のずれによって、シート表面における異物の存在とそ
の大きさとを検知する検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、樹脂中に混入している異物を検査
する方法として、樹脂をシート状に押出し、このシート
に斜め光線を照射し、異物に起因してシート表面に現れ
る微小な突起を、その反射光や影によって検知し、これ
によって異物の量やその大きさを測定する方法が提案さ
れている（例えば特平１−２３７４４１号公報参照）。
このうち例えば影の長さによって測定する方法の場合、
シート面に対する平行光線の照射角を小さくすれば、突
起の高さに対する影の長さが長くなるので、測定感度を
高めることができる。この方法によって普通、例えば２
０μｍ〜１０００μｍ程度の突起を測定することができ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、シート面に対
する照明光の照射角が小さくなると、単位面積当りの光
量が減少するので、撮影に必要な明るさやコントラスト
が得られない場合がある。また、一般に照明光の平行度
は完全でなく、光の回折もあって影の輪郭がぼやけ、影
の長さの測定が不正確になる。この傾向は、照明光の照
射角が小さくなるほど大となるので、照射角を小さくし
て測定感度をあげようとすると、精度が悪くなるという
問題がある。また、シートを押出し成形するときに表面
に形成される長さ方向の傷の影を突起と誤認する場合も
ある。一方、この突起を反射光によって観測する場合
は、突起の存在はよくわかるが、その大きさの測定は、
反射光が不規則に拡散するためにきわめて困難である。
また、シートの傷を突起と誤認する場合があるのは影を
測定する場合と同様である。 いずれの方法によって
も、影や反射光の影像を画像処理装置を用いて処理し自
動検査しようとすると、補正事項があまりに多く、補正
条件を標準化したとしても処理に多大な時間がかかり、
また装置も高価なものになる。本発明は上記の問題を解
決するためになされたものであって、その目的は、樹脂
シート上に現れた異物に起因する突起の数と大きさとを
簡単かつ正確に測定することによって、自動的かつ連続
的に、樹脂に含まれる異物の量とその大きさとを検知し
得る異物検査装置を提供することある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の課題は、請求項１
において、検査する樹脂から成形したシートの表面の観
測位置に連続した波長帯からなる輻射光を照射する光源
装置と、この輻射光のシート面からの反射光を受光す
る、対物距離が固定された、色収差を有するレンズと、
このレンズを透過した反射光が結像する位置に固定して
配設され、その結像の光波長を測定する受光装置と、異
物のないシート面が照射されたときの反射光の上記結像
の光波長を基準波長とし、シート面の任意の観測位置が
照射されたときの反射光の結像の光波長を測定波長とす
るとき、基準波長と測定波長とのずれ量から、樹脂中の
異物に起因するシート面上の、観測位置における突起の
高さを演算する演算装置とを有する異物検査装置を提供
することによって解決できる。

【０００５】上記の課題は請求項２において、検査する
樹脂から成形したシートを一方向に移動するシート移動
装置と、連続した波長帯からなる平行な輻射光を照射す
る光源装置と、この輻射光をシートの幅方向にスイング
し、シート移動装置によるシートの移動と同期して、輻
射光がシートの測定面全体を順次連続的に照射するよう
にしたスイング装置と、シートの幅方向に延びて、スイ
ング装置によってスイングされた輻射光のシート面から
の反射光を受光する、対物距離が固定された、色収差を
有するシリンドリカル凸レンズと、このレンズを透過し
た反射光を集光する集光装置と、この集光された反射光
が結像する位置に固定して配設され、その結像の光波長
を測定する受光装置と、異物のないシート面が照射され
たときの反射光の上記結像の光波長を基準波長とし、シ
ート面の照射位置からの反射光の結像の光波長を測定波
長とするとき、基準波長と測定波長とのずれ量から、樹
脂中の異物に起因するシート面上の、照射位置における
突起の高さを演算し、この演算をシートの照射面全体に
わたって順次連続的に行い、シートの測定面全体におけ
る突起の数とその個々の突起の高さとを演算表示する演
算表示装置とを有する異物検査装置を提供することによ
って解決できる。

【０００６】また、上記の課題は、請求項３において、
検査する樹脂から成形したシートを一方向に移動するシ
ート移動装置と、連続した波長帯からなる輻射光をシー
トの幅方向に沿って偏平に照射する光源装置と、シート
の幅方向に延びて上記輻射光のシート面からの反射光を
受光する、対物距離が固定された、色収差を有するシリ
ンドリカル凸レンズと、このレンズを透過した反射光が
結像する位置に固定して配設され、その結像の光波長
を、長さ方向に沿って順次測定点を移動しながら測定す
るラインセンサ機能を有する受光装置と、異物のないシ
ート面が照射されたときの反射光の上記結像の光波長を
基準波長とし、受光装置の測定点における反射光の結像
の光波長を測定波長とするとき、基準波長と測定波長と
のずれ量から、樹脂中の異物に起因するシート面上の、
上記測定点における突起の高さを演算し、この演算操作
を受光装置の測定点の移動とシートの移動とによってシ
ートの測定面全体に及ぼすことによって、シートの測定
面全体における突起の数とその個々の高さとを演算表示
する演算表示装置とを有する異物検査装置を提供するこ
とによって解決できる。

【０００７】

【作用】本発明の異物検査装置は、樹脂中に異物が混入
している場合、この樹脂をシート状に成形したとき、こ
の異物に対応してシート面上に突起が生じることを利用
し、シート面上における突起の数と個々の突起の高さを
演算して、これを樹脂中の異物（粒子）の存在量と粒径
分布を示すパラメータとするものである。請求項１にお
いて、連続した波長帯からなる輻射光を樹脂のシート面
に照射し、その反射光を色収差を有するレンズが受ける
と、このレンズは反射光を分散し、短波長光から長波長
光にかけて順次レンズから遠距離に結像する。この結像
距離は、レンズの対物距離を固定した場合、シート面の
突起を観測するときには基準となるシート面を観測する
ときより相対的に長くなる。したがって、受光装置の結
像位置が固定されていれば、その結像位置では突起の結
像の波長は、基準となるシート面の結像の波長より短波
長側にずれる。このずれ量は突起の高さに対応している
から、その対応関係を予め演算装置に入力して置けば、
演算装置はこれによって観測位置における突起の有無お
よびその高さを計測する。

【０００８】請求項２においては、シート移動装置によ
るシートの移動と、スイング装置による輻射光のスイン
グとが同期されて、シートの測定面全体の各点を順次連
続的に照射するので、受光装置はシートの測定面全体に
わたって、各点の結像の波長を順次連続的に測定するこ
とができ、演算表示装置は、このデータを元にしてシー
トの測定面全体の突起の数とその個々の突起の高さとを
演算表示する。請求項３においては、シート移動装置が
シートを一方向に移動し、ラインセンサ機能を有する受
光装置がシートの幅方向の各点の結像の波長を順次連続
的に測定するので、これらが組み合わされると測定面全
体の各点を順次連続的に測定できることになる。したが
って、演算表示装置は、このデータを元にしてシートの
測定面全体の突起の数とその個々の突起の高さとを演算
表示する。

【０００９】本発明の検査装置に使用する光源装置は、
測定波長範囲において平坦で連続した波長帯からなる光
を輻射するものであって、その例としては、白熱電灯や
カーボンアークなどを挙げることができる。水銀灯や蛍
光灯など、輻射光が輝線からなるものは、反射光の波長
も不連続であり、波長のずれによって突起の高さを連続
的に演算することができないから使用できない。また、
レンズは、色収差が強く現れるものが好ましく、必要に
応じて屈折率、分散、曲率などの異なるレンズを選択使
用し、また、２枚またはそれ以上を組み合わせて用いて
もよい。受光装置としては、分光光度計、カラー光電
管、カラーＣＣＤ素子など、結像の光波長を測定できる
ものなら、いずれも使用可能である。請求項３の検査装
置では、ラインセンサ機能が付加されたもの、例えばカ
ラーラインＣＣＤ素子が用いられる。請求項２の検査装
置に用いられるスイング装置は、例えばポリゴンミラ
ー、音響光学素子、ガルバノミラーなどであって、光の
スイングに通常用いられているものがいずれも使用可能
である。

【００１０】

【実施例】次に、図面を用いて本発明の実施例を示す。 （実施例１）図１は請求項１に記載した異物検査装置の
実施例である。この検査装置は、基本的に光源装置１
と、色収差を有するレンズ２と、受光装置３と、演算装
置８とから構成されている。図１において、符号Ｓは検
査対象の樹脂から成形したシートの測定基準となる表面
であり、符号ｔは樹脂中に混入している異物に起因する
シート面の突起である。この光源装置１は、連続した波
長帯からなる光を輻射するもの（例えば白熱電灯）であ
る。光源装置１から輻射された光ｌe は、光路中に光軸
に対して４５゜の角度で挿入されたハーフミラー４、お
よび色収差を有するレンズ２を透過して、シート面Ｓに
垂直に照射される。この輻射光ｌe はシート面Ｓの観測
位置（シート基準面または突起ｔ、図１では突起ｔ）で
反射され、反射光ｌr として色収差を有するレンズ２に
入光する。このレンズ２は、例えばフリントガラスなど
色収差の強いガラスからなっている。レンズ２を透過し
た反射光ｌr は、ハーフミラー４で直角に反射され、受
光装置３に入射し、そのカラーセンサ部３１上に結像す
る。受光装置３は、その結像の光波長を測定する。この
レンズ２の対物距離と、受光装置３の結像位置とは固定
されている。

【００１１】上記の光学系における測定値から、演算装
置８は次のようにして測定位置における突起の有無また
は突起の高さを演算する。まず、測定基準となるシート
面Ｓからの反射光の結像の波長（これをλ0 とする）
と、既知の高さの突起からの反射光の結像の波長との関
係を、予め計算、実測またはその両方によって求め、波
長のずれ量と突起に高さとの関係式を演算装置に入力し
ておく。輻射光ｌe をシート面Ｓの観測位置に照射し、
そのときの反射光ｌr の結像の波長（これをλn とす
る）を測定するとき、λn ＝λ0 であれば、演算装置８
は、その観測位置に突起はないと判断する。λn ＜λ0
であれば突起ありと判断するとともに、上記の波長のず
れ量（λ0 −λn ）と突起の高さとの関係式から、突起
の高さｔを演算する。実施例１の装置による場合は、観
測位置は特に制限されないので、手またはＸＹ移動台上
で試料のシートを移動して、そのシート面上の突起の有
無と、突起が認められた場合はその高さとを随時計測す
る。

【００１２】（実施例２）図２は、請求項２記載の異物
検査装置の実施例を示している。この検査装置は、シー
ト移動装置７と、光源装置１と、ハーフミラー装置４
と、スイング装置５と、集光装置６と、色収差を有する
シリンドリカル凸レンズ２と、受光装置３と、演算表示
装置８とから構成されている。

【００１３】シート移動装置７は検査対象である樹脂シ
ートを一方向に移動する装置であって、制御された一定
速度でシートをその長手方向に水平移動する。光源装置
１は、白熱灯とコンデンサレンズとからなり、平行光束
ｌe を輻射し、これをシート面Ｓに向けて垂直に照射す
るように配置されている。この輻射光ｌe の光路中に、
ハーフミラー装置４とスイング装置５とが配設されてい
る。ハーフミラー装置４は、輻射光を透過し、反射光を
直角に反射する。スイング装置５は、ハーフミラー装置
４を透過した光束をシート面Ｓの幅方向に、その幅に等
しい振幅幅でスイングするものである。また同時に、そ
のスイング角における反射光ｌr を輻射光ｌe と同じ光
軸に沿ってハーフミラー装置４に送る。このスイングの
周期はシート移動装置７によるシートの移動と同期し
て、輻射光がシートの測定面全体の各点を順次連続的に
照射するようにされている。集光装置６は、シート面Ｓ
幅に等しい有効口径を有する球面凸レンズからなり、こ
れはスイング装置５によってスイングされた輻射光ｌe
をシート面Ｓに垂直になるように屈折し、またシート面
Ｓからの反射光ｌr をスイング装置５に向けて集光する
ためのものである。シリンドリカル凸レンズ２は色収差
を有するガラスからなり、シート幅の方向に延びてこれ
と等しい長さを有し、集光装置６からの輻射光ｌe を透
過し、これをシート面Ｓの幅方向に順次往復して照射す
るように配設されている。受光装置３は、ハーフミラー
装置４によって反射された反射光ｌr を受けてカラーセ
ンサ３１上にシート面Ｓの影像を結像するように配設さ
れ、この受光装置３により測定された光波長は演算表示
装置８に出力される。

【００１４】演算表示装置８は、シート移動装置７とス
イング装置５との同期情報から、いま観測（照射）中の
シート面の位置（観測位置）を演算し、また、受光装置
３からもたらされる波長測定値から実施例１と同様にし
てその観測位置における突起の有無またはその高さを演
算し、その結果をディスプレイ８１に表示するととも
に、測定面全体について積算し、測定面全体における突
起の数とその大きさを記録表示する。

【００１５】次に、この異物検査装置を用いて樹脂中に
混入している異物を検査する方法を説明する。樹脂はシ
ート状に成形して検査試料とする。この試料をシート移
動装置７にセットし、光源装置１を点灯し、まず、シー
ト面Ｓの突起のない部分を観測位置として、その結像の
色が長波長側にくるように合焦し、そのときの波長λ0
を基準波長として演算表示装置に記憶させる。次にシー
ト移動装置７とスイング装置５とを同期して作動させ
る。すると、光源から輻射された輻射光ｌe はハーフミ
ラー装置４を透過し、スイング装置５によってスイング
され、集光装置６によって垂直光とされ、シリンドリカ
ル凸レンズ２によって、シートＳ面上の一点に照射され
る。この点からの反射光ｌr は、輻射光ｌe と同じ光路
を逆方向に経由してハーフミラー装置４に至り、ここで
反射されて受光装置３に入射する。演算表示装置８は、
シート移動装置７とスイング装置５との同期情報から、
シート上の観測位置をＸＹ値として演算する。同時に、
その観測位置における受光装置３の光波長情報（λn ）
を基準波長λ0 と比較演算して、この観測位置（ＸＹ）
における突起の有無、またはその高さを演算する。この
動作がシートの必要な測定面積にわたって、自動的かつ
連続的に行われると、所要のシート測定面全体の突起の
数と高さとが記録されるとともに、ディスプレイ８１に
表示される。

【００１６】（実施例３）図３は、請求項３記載の検査
装置の実施例を示している。この検査装置は、光源１
と、ハーフミラー装置４と、球面凹レンズ１１と、集光
装置６と、スリット１２と、色収差を有するシリンドリ
カル凸レンズ２と、シート移動装置７と、受光装置３
と、演算表示装置８とから構成されている。

【００１７】シート移動装置７は実施例２のものと同様
なものである。光源１は、実施例２のものと同様であ
り、平行光束ｌe を輻射し、これをシートＳに向けて垂
直に照射するように配設されている。球面凹レンズ１１
は平行光束ｌe を拡散するように配設されている。光源
１と球面凹レンズ１１との中間の光路中には、実施例２
のものと同様なハーフミラー装置４が配設されている。
集光装置６は実施例２と同様な球面凸レンズであり、拡
散光をシートＳに向けて垂直に照射するとともに、シー
トＳからの反射光ｌr を凹レンズ１１に向けて集光する
ものである。スリット１２は、球面凹レンズ１１と集光
装置６とによって拡散され広げられた円形光束をシート
Ｓの幅方向に沿う偏平光束とするものである。この光源
１と球面凹レンズ１１と集光装置６とスリット１２との
組合せが、請求項３に記載した、連続した波長帯からな
る輻射光をシートの幅方向に沿って偏平に照射する光源
装置を形成している。

【００１８】シリンドリカル凸レンズ２は実施例２と同
様なものであって、光源装置１２からの偏平な輻射光ｌ
e を透過してこれをシートＳの幅方向に直線状に照射す
るように配設されている。受光装置３は、ハーフミラー
装置４によって反射された偏平な反射光ｌr を受けてカ
ラーラインセンサ３２上にシート面Ｓの影像を結像する
ように配設され、カラーラインセンサ３２は、測定して
いる位置情報とその位置における光波長の測定値とを出
力する。演算表示装置８は、シート移動装置７からもた
らされるシートの移動速度情報と、受光装置３からもた
らされる測定位置情報とから、シート面Ｓ上の観測位置
を演算し、また、その観測位置における突起の有無また
はその高さを演算し、その結果を記録するとともに、デ
ィスプレイ８１に表示する。

【００１９】次に、この異物検査装置を用いて樹脂中に
混入している異物を検査する方法を説明する。樹脂はシ
ート状に成形して検査試料とする。この試料をシート移
動装置７にセットし、光源１を点灯し、まず、実施例１
と同様にシートの基準面に合焦し、そのときの波長λ0
を基準波長として演算表示装置に記憶させる。次にシー
ト面Ｓを一定速度で移動させる。光源装置１から輻射さ
れた輻射光ｌe はハーフミラー装置４を透過し、球面凹
レンズ１１によってシートの幅寸法まで拡散され、集光
装置６によって垂直光とされ、スリット１２によってシ
ート面Ｓの幅方向に沿う偏平な光束とされ、シリンドリ
カル凸レンズ２を透過して、シート面Ｓに照射される。
この照明されたシート面からの反射光ｌr は、輻射光ｌ
e と同じ光路を逆方向に経由してハーフミラー装置４に
至り、ここで反射されて偏平な光束を有する反射光ｌr
として受光装置３に入射する。受光装置のラインセンサ
３２は、直線状の結像をその一端から逐次走査して観測
位置情報とその位置における光波長測定値とを演算表示
装置８に出力する。演算表示装置８は、シート移動装置
７からもたらされるシート移動速度情報と、受光装置に
おける結像の観測位置情報とから、シート上の観測位置
をＸＹ値として演算する。同時に、その観測位置におけ
る受光装置３の光波長情報（λn ）を基準波長λ0 と比
較演算して、この観測位置（ＸＹ）における突起の有
無、またはその高さを演算する。この動作がシートの必
要な測定面積にわたって、自動的かつ連続的に行われる
と、所要のシート測定面全体の突起の数と高さとが記録
されるとともに、ディスプレイ８１に表示される。

【００２０】実施例１、２または３の異物検査装置を用
いれば、上記のように、自動的かつ連続的に、シート面
における突起の数と高さとを検知することができ、これ
を樹脂中に混入している異物の量とその大きさとのパラ
メータとすることができる。実施例１、２および３の検
査装置においては、いずれも、ハーフミラー装置４から
シート面Ｓまでの輻射光ｌe および反射光ｌr の光路が
重複するように構成されている。これは、輻射光がシー
ト面Ｓに垂直に照射され、また垂直な反射光が受光され
るので、同一光源での最高の感度と精度が得られ、好ま
しい構成だからである。しかし、本発明の異物検査装置
はこれに限定されるものではなく、輻射光と反射光の光
路がそれぞれ分離された構成であってもよい。

【００２１】

【発明の効果】本発明の請求項１の異物検査装置は、シ
ートの表面に連続した波長帯からなる輻射光を照射する
光源装置と、そのシート面からの反射光を受光する色収
差を有するレンズと、このレンズの結像の光波長を測定
する受光装置と、演算装置とが設けられ、この演算装置
が、測定された測定波長と基準波長とのずれ量から、樹
脂中の異物に起因するシート面上の、観測位置における
突起の有無または高さを計測するものであるので、従来
の、斜光照明による反射光または影の測定のように、測
定感度をあげると精度が低下する（またはその逆）とい
う問題がなく、またシートの凹部を突起と誤認すること
もなく、常に安定した高い感度と精度をもって異物を検
査することができる。

【００２２】本発明の請求項２の異物検査装置は、請求
項１記載の異物検査装置であって、シートを一方向に移
動するシート移動装置が設けられ、これと同期するスイ
ング装置が設けられ、色収差を有するレンズがシートの
幅方向に延びるシリンドリカル凸レンズであり、このレ
ンズを透過した反射光を受光装置に集光するための集光
装置が設けられ、演算表示装置が基準波長と測定波長と
のずれ量から、樹脂中の異物に起因するシート面上の、
照射位置における突起の有無または高さを演算表示し、
これをシートの照射面全体にわたって順次連続的に行う
ものであるので、シートの測定面全体を自動的かつ連続
的に検査することができる。

【００２３】本発明の請求項３の検査装置は、請求項１
記載の検査装置であって、シートを一方向に移動するシ
ート移動装置が設けられ、光源装置がシートを幅方向に
沿って直線状に照明するものであり、色収差を有するレ
ンズがシートの幅方向に延びたシリンドリカル凸レンズ
であり、受光装置がシートの幅方向の結像を順次連続的
に走査するラインセンサ機能を有するものであり、演算
表示装置が基準波長と測定波長とのずれ量から、樹脂中
の異物に起因するシート面上の、上記測定点における突
起の有無または高さを演算表示し、この操作を受光装置
の測定点の移動とシートの移動とによってシートの測定
面全体に及ぼすものであるので、請求項２の異物検査装
置におけるスイング装置を必要とせず、したがって安価
な装置でありながら、シートの測定面全体を自動的かつ
連続的に検査することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 請求項１の実施例の構成を示す概略図であ
る。

【図２】 請求項２の実施例の構成を示す一部を斜視し
た概略図である。

【図３】 請求項３の実施例の構成を示す一部を斜視し
た概略図である。

【符号の説明】

１…光源装置、２…色収差を有するレンズ、３…受光装
置、７…シート移動装置、８…演算装置、Ｓ…シート基
準面、ｔ…突起、ｌr …反射光。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 樹脂中に混入している異物を検査する検
   査装置であって、 前記樹脂から成形したシートの表面の任意の観測位置
   に、連続した波長帯からなる輻射光を照射する光源装置
   と、 この輻射光のシート面からの反射光を受光する、対物距
   離が固定された、色収差を有するレンズと、 このレンズを透過した反射光が結像する位置に固定して
   配設され、その結像の光波長を測定する受光装置と、 異物のないシート面が照射されたときの反射光の上記結
   像の光波長を基準波長とし、シート面の任意の観測位置
   が照射されたときの反射光の結像の光波長を測定波長と
   するとき、基準波長と測定波長とのずれ量から、樹脂中
   の異物に起因するシート面上の、観測位置における突起
   の高さを演算する演算装置とを有する異物検査装置。
2. 【請求項２】 樹脂中に混入している異物を検査する検
   査装置であって、 前記樹脂から成形したシートを一方向に移動するシート
   移動装置と、 連続した波長帯からなる平行な輻射光を照射する光源装
   置と、 この輻射光をシートの幅方向にスイングし、シート移動
   装置によるシートの移動と同期して、輻射光がシートの
   測定面全体を順次連続的に照射するようにしたスイング
   装置と、 シートの幅方向に延びて、スイング装置によってスイン
   グされた輻射光のシート面からの反射光を受光する、対
   物距離が固定された、色収差を有するシリンドリカル凸
   レンズと、 このレンズを透過した反射光を集光する集光装置と、 この集光された反射光が結像する位置に固定して配設さ
   れ、その結像の光波長を測定する受光装置と、 異物のないシート面が照射されたときの反射光の上記結
   像の光波長を基準波長とし、シート面の照射位置からの
   反射光の結像の光波長を測定波長とするとき、基準波長
   と測定波長とのずれ量から、樹脂中の異物に起因するシ
   ート面上の、照射位置における突起の高さを演算し、こ
   の演算をシートの照射面全体にわたって順次連続的に行
   い、シートの測定面全体における突起の数とその個々の
   突起の高さとを演算表示する演算表示装置とを有する異
   物検査装置。
3. 【請求項３】 樹脂中に混入している異物を検査する検
   査装置であって、 前記樹脂から成形したシートを一方向に移動するシート
   移動装置と、 連続した波長帯からなる輻射光をシートの幅方向に沿っ
   て偏平に照射する光源装置と、 シートの幅方向に延びて上記輻射光のシート面からの反
   射光を受光する、対物距離が固定された、色収差を有す
   るシリンドリカル凸レンズと、 このレンズを透過した反射光が結像する位置に固定して
   配設され、その結像の光波長を、長さ方向に沿って順次
   測定点を移動しながら測定するラインセンサ機能を有す
   る受光装置と、 異物のないシート面が照射されたときの反射光の上記結
   像の光波長を基準波長とし、受光装置の測定点における
   反射光の結像の光波長を測定波長とするとき、基準波長
   と測定波長とのずれ量から、樹脂中の異物に起因するシ
   ート面上の、上記測定点における突起の高さを演算し、
   この演算操作を受光装置の測定点の移動とシートの移動
   とによってシートの測定面全体に及ぼすことによって、
   シートの測定面全体における突起の数とその個々の高さ
   とを演算表示する演算表示装置とを有する異物検査装
   置。