JPH07273301A - 固体撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 固体撮像装置のフレア特性を向上すると共
に、フレア防止板の取付け作業性を向上させる。 【構成】 パッケージ内に配設されるＣＣＤ素子１１の
上方に、フレア防止板１２を設けると共に、ＣＣＤ素子
の有効画素領域１１Ａに対応する位置にフレア防止板１
２の開口部を下方に向けて拡開するように形成する。こ
の開口部の開口面は、下方に向けて有効画素領域１１Ａ
の外側方向へ傾斜するテーパ面となり、固体撮像装置の
上側方より入射する光が開口面に当たっても、その反射
光は、有効画素領域から外れた所に入射するように設定
した。このため、ＣＣＤ素子は、その反射光によって画
像を乱されることなく撮像することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、固体撮像装置に関
し、フレア防止機能の高いフレア防止板を備えた固体撮
像装置に係わる。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の固体撮像装置としては、
図３に示すようなものが知られている。同図中、Ａは固
体撮像装置であり、絶縁性材料で形成されたパッケージ
１内にＣＣＤチップ２を固設し、所定のワイヤ３で配線
されている。このＣＣＤチップ２の上方には、ステンレ
ス製のフレア防止板４が設けられ、さらに、その上方に
は、封止ガラス５が設けられている。フレア防止板４
は、図４に示すように、ＣＣＤチップ２の有効画素領域
に対応する位置に開口部が形成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の固体撮像装置においては、フレア防止板４に
開口部を形成する方法として上下両表面からのエッチン
グ（ウェットエッチング）を同時に行なうものであるた
め、上下両表面のエッチングマスクのズレや、僅かなエ
ッチング条件の違いで、図５に示すような開口面４Ａの
形状は変化してしまう。このような、フレア防止板４の
開口面４Ａの断面形状の変化に伴ない、フレア防止板４
のパッケージ１への取付け位置，フレア防止板４の向き
等によってフレア特性が左右される問題があった。ま
た、このような開口面４Ａの断面形状を勘案して、取付
ける向きを決めるなどの作業努力を要請されるため、作
業性に大きな問題があった。特に、フレア防止板４の開
口面４Ａに入射した光は、その断面形状に起因して不当
な反射を起こし、ＣＣＤチップ２の有効画素領域に入射
して、ＣＣＤの画像を乱すなどフレア特性を悪化させる
問題を有している。

【０００４】本発明は、このような従来の問題点に着目
して創案されたものであって、フレア特性を向上し、フ
レア防止板取付けの作業性を高める固体撮像装置を得ん
とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、固体
撮像素子の有効画素の上方に、光入射を許容する開口部
が形成されたフレア防止板を備えて成る固体撮像装置に
おいて、上記フレア防止板の開口部が上記固体撮像素子
側に向けて拡開するように内壁面を傾斜させたことを、
その解決手段としている。

【０００６】

【作用】フレア防止板の開口部が固体撮像素子側に向け
て拡開しているため、開口部の内壁面に入射した光が固
体撮像素子の有効画素領域に入射するのを防止する。こ
のため、固体撮像装置のフレア特性は向上する。

【０００７】

【実施例】以下、本発明に係る固体撮像装置の詳細を図
面に示す実施例に基づいて説明する。

【０００８】図１及び図２は、本発明の実施例を示して
いる。本実施例に係る固体撮像装置は、パッケージ（図
示省略する）内に設けたＣＣＤ素子１１の上方にフレア
防止板１２，封止ガラス（図示省略する）等を設ける構
成は、上記した従来例と同様である。本実施例において
は、ＣＣＤ素子１１の有効画素領域１１Ａに対応して開
口させたフレア防止板１２の開口部を、下方に向けて拡
開して形成し、開口部の内壁面である開口面をテーパ状
に形成する。

【０００９】なお、本実施例においては、厚さ０．２ｍ
ｍのフレア防止板１２の表面のみにレジストマスクをパ
ターニングして、これをマスクとしてエッチングを行な
うことにより、下方に向けて拡開する開口部を得ること
ができた。図２に示す拡開角度（θ）は２０°〜４５°
の範囲で、上側方より入射する光をＣＣＤ素子の有効画
素領域１１Ａに入射しないようにできる。このように、
本実施例においては、パッケージ上部から入射する斜め
方向からの光りがフレア防止板１２の開口面で反射して
ＣＣＤ素子の有効画素領域１１Ａに入射することが防止
できるため、ＣＣＤの画像にシミ状の画像が生ずる弊害
を防止出来る。

【００１０】また、斯かるフレア防止板１２をパッケー
ジに取付ける場合は、開口径の大きい面を下向きにし
て、有効画素領域１１Ａの平面形状（縦横）に留意して
組み付けるだけでよいため、従来のような確実性の小さ
い煩雑な作業を行なう必要がなくなる。このため、製品
の歩留まりを向上することができる。

【００１１】なお、本実施例の他の構成は従来例と同様
である。

【００１２】以上、実施例について説明したが、本発明
は、これに限定されるものではなく、構成の要旨、即
ち、固体撮像素子の有効画素の上方に、光入射を許容す
る開口部が形成されたフレア防止板を備えて成る固体撮
像装置において、上記フレア防止板の開口部が上記固体
撮像素子側に向けて拡開するように内壁面を傾斜させた
ものであれば、その開口部の加工方法，寸法等は、適宜
変更可能である。

【００１３】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ＣＣＤ素子への不当な光入射を防止でき、フ
レア特性を向上できる効果を有する。

【００１４】また、本発明においては、フレア防止板の
取付け作業性を向上できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の断面図。

【図２】本発明の実施例の部分拡大断面図。

【図３】従来の固体撮像装置の断面図。

【図４】従来のフレア防止板の斜視図。

【図５】従来のフレア防止板の部分断面図。

【符号の説明】

１１…ＣＣＤ素子 １１Ａ…有効画素領域 １２…フレア防止板 １２Ａ…開口面

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固体撮像素子の有効画素の上方に、光入
   射を許容する開口部が形成されたフレア防止板を備えて
   成る固体撮像装置において、 上記フレア防止板の開口部が上記固体撮像素子側に向け
   て拡開するように内壁面を傾斜させたことを特徴とする
   固体撮像装置。