JPH07270497A - 半導体集積回路 - Google Patents
半導体集積回路Info
- Publication number
- JPH07270497A JPH07270497A JP6061588A JP6158894A JPH07270497A JP H07270497 A JPH07270497 A JP H07270497A JP 6061588 A JP6061588 A JP 6061588A JP 6158894 A JP6158894 A JP 6158894A JP H07270497 A JPH07270497 A JP H07270497A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- test
- semiconductor integrated
- integrated circuit
- resistance element
- Prior art date
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体集積回路の良否判断のためのテストの
容易化を図る。 【構成】 抵抗素子と入力バッファとの間に介在するス
イッチ素子を出力バッファ用の電源配線に電源を印加し
て導通し、このスイッチ素子を出力バッファ用の電源配
線をグラウンド電位にして遮断する。
容易化を図る。 【構成】 抵抗素子と入力バッファとの間に介在するス
イッチ素子を出力バッファ用の電源配線に電源を印加し
て導通し、このスイッチ素子を出力バッファ用の電源配
線をグラウンド電位にして遮断する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路に関
し、詳細には、半導体集積回路のテストの容易化が図ら
れた半導体集積回路に関する。
し、詳細には、半導体集積回路のテストの容易化が図ら
れた半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】近年の半導体集積回路の高集積化に伴
い、生産された半導体集積回路の良否を効率よくテスト
する技術が、益々重要となっている。この技術の一環と
して、半導体集積回路に対して評価用のテストパターン
を印加し、この印加されたテストパターンにより半導体
集積回路内の各素子に流れる電流が安定する、いわゆる
静止状態と呼ばれる状態における定常電流(IDDQ )を
測定し、半導体集積回路の良否判断を行うテスト(以下
IDDQ テスト)が提案されている。
い、生産された半導体集積回路の良否を効率よくテスト
する技術が、益々重要となっている。この技術の一環と
して、半導体集積回路に対して評価用のテストパターン
を印加し、この印加されたテストパターンにより半導体
集積回路内の各素子に流れる電流が安定する、いわゆる
静止状態と呼ばれる状態における定常電流(IDDQ )を
測定し、半導体集積回路の良否判断を行うテスト(以下
IDDQ テスト)が提案されている。
【0003】このIDDQ テストでは、例えば半導体集積
回路の製造工程において、洗浄が不十分でありチップ上
に異物が混入した場合のリーク電流が容易に検出され
る。また、このIDDQ テストは、半導体集積回路の論理
レベルを比較判定して半導体集積回路の良否判断を行う
テストと比べ、大規模回路に対する困難性も少ないた
め、近年益々重要視されている。
回路の製造工程において、洗浄が不十分でありチップ上
に異物が混入した場合のリーク電流が容易に検出され
る。また、このIDDQ テストは、半導体集積回路の論理
レベルを比較判定して半導体集積回路の良否判断を行う
テストと比べ、大規模回路に対する困難性も少ないた
め、近年益々重要視されている。
【0004】この、IDDQ テストに採用される評価用の
テストパターンは、例えばユーザーが作成した多種の機
能テスト用のテストパターンから選択されているが、こ
の評価用テストパターンのうち、あるテストパターンが
印加されると半導体集積回路内の素子に大きな電流が流
れる場合には、IDDQ テストとして有効なテストが行わ
れないため選択されず、また、回路が不安定になる場合
にも、選択されることはない。
テストパターンは、例えばユーザーが作成した多種の機
能テスト用のテストパターンから選択されているが、こ
の評価用テストパターンのうち、あるテストパターンが
印加されると半導体集積回路内の素子に大きな電流が流
れる場合には、IDDQ テストとして有効なテストが行わ
れないため選択されず、また、回路が不安定になる場合
にも、選択されることはない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、I
DDQ テストにおいては、半導体集積回路の素子に大きな
電流が流れるテストパターン以外のパターンから選択さ
れている。これによる弊害を図6を参照して説明する。
図6は、従来の半導体集積回路の、プルアップ用の抵抗
素子を備えた入力バッファの回路図である。
DDQ テストにおいては、半導体集積回路の素子に大きな
電流が流れるテストパターン以外のパターンから選択さ
れている。これによる弊害を図6を参照して説明する。
図6は、従来の半導体集積回路の、プルアップ用の抵抗
素子を備えた入力バッファの回路図である。
【0006】入力バッファ14の入力には、パッド11
と、半導体集積回路の内部回路用の電源ICVDDへプル
アップされた抵抗素子15とが接続されている。ここ
で、パッド11にテストパターンの信号として‘L’が
入力されると、抵抗素子15には電源ICVDDからパッ
ド11へ電流が流れる。この電流は、IDD Q テストの測
定電流としては極めて大きく、良否判断が困難なため、
この‘L’レベルのテストパターンが選択されることは
ない。
と、半導体集積回路の内部回路用の電源ICVDDへプル
アップされた抵抗素子15とが接続されている。ここ
で、パッド11にテストパターンの信号として‘L’が
入力されると、抵抗素子15には電源ICVDDからパッ
ド11へ電流が流れる。この電流は、IDD Q テストの測
定電流としては極めて大きく、良否判断が困難なため、
この‘L’レベルのテストパターンが選択されることは
ない。
【0007】また、抵抗素子15がグラウンドにプルダ
ウンされた場合にも、パッド11にテストパターンの信
号として‘H’が入力されると、パッド11からこの抵
抗素子11を介してグラウンドに大きな電流が流れ、良
否判断がやはり困難なため、この‘H’レベルのテスト
パターンも選択されることはない。しかし、このように
テストパターンが選択されず、そのままIDDQ テストが
行われると、入力バッファ14の出力側以降の回路は、
‘H’レベルもしくは‘L’レベルいずれか一方の信号
のみのテストとなり、十分にテストされないため、これ
を補うための多数の複雑なテストパターンの選択や生成
が必要となり、煩雑で手間がかかりテスト時間も長くな
るという問題点がある。
ウンされた場合にも、パッド11にテストパターンの信
号として‘H’が入力されると、パッド11からこの抵
抗素子11を介してグラウンドに大きな電流が流れ、良
否判断がやはり困難なため、この‘H’レベルのテスト
パターンも選択されることはない。しかし、このように
テストパターンが選択されず、そのままIDDQ テストが
行われると、入力バッファ14の出力側以降の回路は、
‘H’レベルもしくは‘L’レベルいずれか一方の信号
のみのテストとなり、十分にテストされないため、これ
を補うための多数の複雑なテストパターンの選択や生成
が必要となり、煩雑で手間がかかりテスト時間も長くな
るという問題点がある。
【0008】本発明は、上記事情に鑑み、半導体集積回
路の良否判断のためのテストの容易化が図られた半導体
集積回路を提供することを目的とする。
路の良否判断のためのテストの容易化が図られた半導体
集積回路を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の半導体集積回路は、内部回路用の第1の電源配線
と、出力バッファ用の第2の電源配線とが互いに別系統
に備えられるとともに、入力バッファの入力側に、プル
アップ及び/又はプルダウン用の抵抗素子を備えた半導
体集積回路において、上記抵抗素子と上記入力バッファ
との間に介在する、上記第2の電源配線が上記出力バッ
ファを駆動する電源電位にあるときに導通し、その第2
の電源配線がグラウンド電位にあるときに遮断するスイ
ッチ素子を備えたことを特徴とするものである。
明の半導体集積回路は、内部回路用の第1の電源配線
と、出力バッファ用の第2の電源配線とが互いに別系統
に備えられるとともに、入力バッファの入力側に、プル
アップ及び/又はプルダウン用の抵抗素子を備えた半導
体集積回路において、上記抵抗素子と上記入力バッファ
との間に介在する、上記第2の電源配線が上記出力バッ
ファを駆動する電源電位にあるときに導通し、その第2
の電源配線がグラウンド電位にあるときに遮断するスイ
ッチ素子を備えたことを特徴とするものである。
【0010】
【作用】本発明の半導体集積回路は、上記構成により、
第2の電源配線がグラウンド電位にあるときに抵抗素子
を遮断するスイッチ素子を備えているため、プルアップ
やプルダウン用の抵抗素子に電流が流れることなく、容
易にテストされ、信頼性が向上する。
第2の電源配線がグラウンド電位にあるときに抵抗素子
を遮断するスイッチ素子を備えているため、プルアップ
やプルダウン用の抵抗素子に電流が流れることなく、容
易にテストされ、信頼性が向上する。
【0011】また、プルアップやプルダウン用の抵抗素
子を配慮した評価用のテストパターンの選択や生成が不
要となり、評価用のテストパターンの選択や生成時間が
短縮されるとともにテスト時間も短縮される。また、第
2の電源配線は、出力バッファ用の電源配線が用いられ
ているため、新たにテスト用端子を備えることもない。
さらに第2の電源配線が電源電位にあるときに抵抗素子
を導通するスイッチ素子を備えているため、従来の半導
体集積回路と同様に入力バッファにプルアップ及び/又
はプルダウン用の抵抗素子が接続され、これにより入力
インピーダンスが小さくなり、外来ノイズの影響が低減
されるとともに外部回路とのマッチングも容易となる。
子を配慮した評価用のテストパターンの選択や生成が不
要となり、評価用のテストパターンの選択や生成時間が
短縮されるとともにテスト時間も短縮される。また、第
2の電源配線は、出力バッファ用の電源配線が用いられ
ているため、新たにテスト用端子を備えることもない。
さらに第2の電源配線が電源電位にあるときに抵抗素子
を導通するスイッチ素子を備えているため、従来の半導
体集積回路と同様に入力バッファにプルアップ及び/又
はプルダウン用の抵抗素子が接続され、これにより入力
インピーダンスが小さくなり、外来ノイズの影響が低減
されるとともに外部回路とのマッチングも容易となる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の一実施例について説明する。
図1は、本発明の一実施例の半導体集積回路の、プルア
ップ用の抵抗素子を備えた入力バッファの回路図であ
る。図2は、本発明の一実施例の半導体集積回路の模式
図である。
図1は、本発明の一実施例の半導体集積回路の、プルア
ップ用の抵抗素子を備えた入力バッファの回路図であ
る。図2は、本発明の一実施例の半導体集積回路の模式
図である。
【0013】先ず、図2を参照して説明する。図2に示
す内部回路23の周辺には、内部回路23用の電源配線
21が配置されている。さらに、この電源配線21の外
周辺には、出力バッファ用の電源配線22が配置されて
いる。一般に、出力バッファは、多くの電流が駆動され
るとともに外部回路と接続され、外来ノイズ等も多いた
め、出力バッファ用の電源配線22は、これら駆動電流
による電圧変動やノイズの影響を受けやすい。
す内部回路23の周辺には、内部回路23用の電源配線
21が配置されている。さらに、この電源配線21の外
周辺には、出力バッファ用の電源配線22が配置されて
いる。一般に、出力バッファは、多くの電流が駆動され
るとともに外部回路と接続され、外来ノイズ等も多いた
め、出力バッファ用の電源配線22は、これら駆動電流
による電圧変動やノイズの影響を受けやすい。
【0014】一方、内部回路23には、CPUコア等が
搭載されており、出力バッファの電源変動に伴なう誤動
作等を避ける必要がある。そこで、一般的に、図2に示
すように内部回路23用の電源配線21と出力バッファ
用の電源配線22との双方が備えられている。次に、図
1を参照して説明する。
搭載されており、出力バッファの電源変動に伴なう誤動
作等を避ける必要がある。そこで、一般的に、図2に示
すように内部回路23用の電源配線21と出力バッファ
用の電源配線22との双方が備えられている。次に、図
1を参照して説明する。
【0015】図1に示す入力バッファ14の入力には、
パッド11と、スイッチ素子としてのPチャンネルトラ
ンジスタ12のドレインとが接続されている。また、こ
のPチャンネルトランジスタ12のソースには、抵抗素
子15を介して半導体集積回路の内部回路用の、図2に
示す電源配線21が接続され、この電源配線21に電源
電圧ICVDDが印加される。さらに、Pチャンネルトラ
ンジスタ12のゲートには、出力バッファ13を介し
て、半導体集積回路の出力バッファ用の、図2に示す電
源配線22が接続され、この電源配線22に電源電圧O
UTVDDが印加される。
パッド11と、スイッチ素子としてのPチャンネルトラ
ンジスタ12のドレインとが接続されている。また、こ
のPチャンネルトランジスタ12のソースには、抵抗素
子15を介して半導体集積回路の内部回路用の、図2に
示す電源配線21が接続され、この電源配線21に電源
電圧ICVDDが印加される。さらに、Pチャンネルトラ
ンジスタ12のゲートには、出力バッファ13を介し
て、半導体集積回路の出力バッファ用の、図2に示す電
源配線22が接続され、この電源配線22に電源電圧O
UTVDDが印加される。
【0016】IDDQ テストにおいて、図2に示す内部回
路23を駆動するために電源電圧ICVDDが印加され
る。一方、出力バッファの電源電圧OUTVDDは、グラ
ウンド電位にされる。すると、出力バッファ13を介し
てPチャンネルトランジスタ12のゲートには、‘H’
レベルの信号が印加され、これによりPチャンネルトラ
ンジスタ12は、オフされ、抵抗素子15に流れる電流
が遮断される。
路23を駆動するために電源電圧ICVDDが印加され
る。一方、出力バッファの電源電圧OUTVDDは、グラ
ウンド電位にされる。すると、出力バッファ13を介し
てPチャンネルトランジスタ12のゲートには、‘H’
レベルの信号が印加され、これによりPチャンネルトラ
ンジスタ12は、オフされ、抵抗素子15に流れる電流
が遮断される。
【0017】ここで、パッド11に、IDDQ テストのた
めの評価用のテストパターンとして‘L’レベルの信号
が入力されても、Pチャンネルトランジスタ12はオフ
されているため、抵抗素子15には電流が流れることも
なく、前述した図6において選択されず入力されなかっ
た‘L’レベルの信号も支障なく入力されるため、容易
にテスト化される。
めの評価用のテストパターンとして‘L’レベルの信号
が入力されても、Pチャンネルトランジスタ12はオフ
されているため、抵抗素子15には電流が流れることも
なく、前述した図6において選択されず入力されなかっ
た‘L’レベルの信号も支障なく入力されるため、容易
にテスト化される。
【0018】図3は、本発明の一実施例の半導体集積回
路の、プルダウン用の抵抗素子を備えた入力バッファの
回路図である。図3に示す入力バッファ14の入力に
は、パッド11と、Nチャンネルトランジスタ31のド
レインが接続されている。またNチャンネルトランジス
タ31のソースは抵抗素子15を介してグラウンドに接
続されている。
路の、プルダウン用の抵抗素子を備えた入力バッファの
回路図である。図3に示す入力バッファ14の入力に
は、パッド11と、Nチャンネルトランジスタ31のド
レインが接続されている。またNチャンネルトランジス
タ31のソースは抵抗素子15を介してグラウンドに接
続されている。
【0019】ここで、Nチャンネルトランジスタ31の
ゲートの電源電圧OUTVDDはグラウンド電位にされて
いるため、Nチャンネルトランジスタ31はオフし、I
DDQテスト用のテストパターンとして‘H’レベルの信
号が入力されても抵抗素子15には電流が流れることも
なく、図1に示したと同じように、容易にテストされ
る。
ゲートの電源電圧OUTVDDはグラウンド電位にされて
いるため、Nチャンネルトランジスタ31はオフし、I
DDQテスト用のテストパターンとして‘H’レベルの信
号が入力されても抵抗素子15には電流が流れることも
なく、図1に示したと同じように、容易にテストされ
る。
【0020】図4は、図1とは異なる、本発明の半導体
集積回路のプルアップ用の抵抗素子を備えた入力バッフ
ァの回路図である。図1に示すPチャンネルトランジス
タ12の代りに、このようにCMOSタイプのトランス
ファゲート41を利用して、パッド11に‘L’レベル
の信号が入力された場合に、抵抗素子15に流れる電流
を遮断してもよい。
集積回路のプルアップ用の抵抗素子を備えた入力バッフ
ァの回路図である。図1に示すPチャンネルトランジス
タ12の代りに、このようにCMOSタイプのトランス
ファゲート41を利用して、パッド11に‘L’レベル
の信号が入力された場合に、抵抗素子15に流れる電流
を遮断してもよい。
【0021】尚、このトランスファゲート41は、図3
に示す、プルダウン用の抵抗素子を備えた入力バッファ
回路に利用してもよい。前述したように、IDDQ テスト
においては、出力バッファ用の電源電圧OUTVDDは、
グラウンド電位にされる。そこで、この場合の出力バッ
ファと入出力バッファの処置について図5を参照して説
明する。
に示す、プルダウン用の抵抗素子を備えた入力バッファ
回路に利用してもよい。前述したように、IDDQ テスト
においては、出力バッファ用の電源電圧OUTVDDは、
グラウンド電位にされる。そこで、この場合の出力バッ
ファと入出力バッファの処置について図5を参照して説
明する。
【0022】図5は、本発明の一実施例の半導体集積回
路の出力バッファや入出力バッファの回路図である。先
ず、図5(a)を参照して、出力バッファの処置につい
て説明する。図5(a)に示す出力バッファは、Pチャ
ンネルトランジスタ51とNチャンネルトランジスタ5
2から構成されている。Pチャンネルトランジスタ51
のゲートは、Nチャンネルトランジスタ52のゲートと
接続されている。また、Pチャンネルトランジスタ51
のドレインはNチャンネルトランジスタ52のドレイン
と接続されている。
路の出力バッファや入出力バッファの回路図である。先
ず、図5(a)を参照して、出力バッファの処置につい
て説明する。図5(a)に示す出力バッファは、Pチャ
ンネルトランジスタ51とNチャンネルトランジスタ5
2から構成されている。Pチャンネルトランジスタ51
のゲートは、Nチャンネルトランジスタ52のゲートと
接続されている。また、Pチャンネルトランジスタ51
のドレインはNチャンネルトランジスタ52のドレイン
と接続されている。
【0023】さらに、Nチャンネルトランジスタ52の
ソースはグラウンドと接続されている。ここで、IDDQ
テストのために電源電圧OUTVDDがグラウンド電位に
されていても、これらPチャンネルトランジスタ51と
Nチャンネルトランジスタ52の間の電位がなくなるの
みであり、このためIDDQ テストには何ら支障はない。
ソースはグラウンドと接続されている。ここで、IDDQ
テストのために電源電圧OUTVDDがグラウンド電位に
されていても、これらPチャンネルトランジスタ51と
Nチャンネルトランジスタ52の間の電位がなくなるの
みであり、このためIDDQ テストには何ら支障はない。
【0024】次に、図5(b)を参照して、入出力バッ
ファの処置について説明する。図5(b)に示す入出力
バッファは、パッド11と、入力バッファ14と、出力
バッファ53とから構成されている。出力バッファ53
の出力と入力バッファ14の入力が接続され、パッド1
1に引き出されている。ここで、出力バッファ53のノ
ードBに‘L’レベルの信号が入力されると、この入出
力バッファ53は、出力バッファとして使用され、電源
電圧OUTVDDがグラウンド電位にされると、前述の5
(a)と同様に電位がなくなる。すると、入力バッファ
14には電源電圧ICVDDが印加されているため、この
入力バッファ14の入力は不安定になり、入力バッファ
14の電流が増加してしまう。そこで、これに対応する
処置として、出力バッファ53に電源電圧OUTVDDが
印加されていたら、出力バッファ53から出力されるで
あろう信号レベルを示す出力期待値がパターン変換によ
り外部から印加される。これにより入力バッファ14の
電流が増加することもない。また、出力バッファ53の
ノードBに’H’レベルの信号が入力され、この入出力
バッファ53が入力バッファとして使用される場合に
は、パッド11にIDDQ 用のテストパターンが印加さ
れ、テストされる。
ファの処置について説明する。図5(b)に示す入出力
バッファは、パッド11と、入力バッファ14と、出力
バッファ53とから構成されている。出力バッファ53
の出力と入力バッファ14の入力が接続され、パッド1
1に引き出されている。ここで、出力バッファ53のノ
ードBに‘L’レベルの信号が入力されると、この入出
力バッファ53は、出力バッファとして使用され、電源
電圧OUTVDDがグラウンド電位にされると、前述の5
(a)と同様に電位がなくなる。すると、入力バッファ
14には電源電圧ICVDDが印加されているため、この
入力バッファ14の入力は不安定になり、入力バッファ
14の電流が増加してしまう。そこで、これに対応する
処置として、出力バッファ53に電源電圧OUTVDDが
印加されていたら、出力バッファ53から出力されるで
あろう信号レベルを示す出力期待値がパターン変換によ
り外部から印加される。これにより入力バッファ14の
電流が増加することもない。また、出力バッファ53の
ノードBに’H’レベルの信号が入力され、この入出力
バッファ53が入力バッファとして使用される場合に
は、パッド11にIDDQ 用のテストパターンが印加さ
れ、テストされる。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体集
積回路によれば、 (1)第2の電源配線がグラウンド電位にされると、プ
ルアップやプルダウン用の抵抗素子を配慮することなく
評価用のテストパターンが容易に生成される。 (2)プルアップやプルダウン用の抵抗素子に伴なう回
路が短時間に容易にテストされるとともに信頼性も向上
する。 (3)プルアップやプルダウン用の抵抗素子を配慮した
評価用のテストパターンの選択や生成が不要のため、評
価用のテストパターンの選択、生成時間が短縮される。 (4)出力バッファ用の電源配線によりプルアップやプ
ルダウン用の抵抗素子が遮断されるため、新たにテスト
用端子を備えることもない。
積回路によれば、 (1)第2の電源配線がグラウンド電位にされると、プ
ルアップやプルダウン用の抵抗素子を配慮することなく
評価用のテストパターンが容易に生成される。 (2)プルアップやプルダウン用の抵抗素子に伴なう回
路が短時間に容易にテストされるとともに信頼性も向上
する。 (3)プルアップやプルダウン用の抵抗素子を配慮した
評価用のテストパターンの選択や生成が不要のため、評
価用のテストパターンの選択、生成時間が短縮される。 (4)出力バッファ用の電源配線によりプルアップやプ
ルダウン用の抵抗素子が遮断されるため、新たにテスト
用端子を備えることもない。
【図1】本発明の一実施例の半導体集積回路の、プルア
ップ用の抵抗素子を備えた入力バッファの回路図であ
る。
ップ用の抵抗素子を備えた入力バッファの回路図であ
る。
【図2】本発明の一実施例の半導体集積回路の模式図で
ある。
ある。
【図3】本発明の一実施例の半導体集積回路の、プルダ
ウン用の抵抗素子を備えた入力バッファの回路図であ
る。
ウン用の抵抗素子を備えた入力バッファの回路図であ
る。
【図4】図1とは異なる、本発明の実施例の半導体集積
回路の、プルアップ用の抵抗素子を備えた入力バッファ
の回路図である。
回路の、プルアップ用の抵抗素子を備えた入力バッファ
の回路図である。
【図5】本発明の一実施例の半導体集積回路の出力バッ
ファや入出力バッファの回路図である。
ファや入出力バッファの回路図である。
【図6】従来の半導体集積回路の、プルアップ用の抵抗
素子を備えた入力バッファの回路図である。
素子を備えた入力バッファの回路図である。
11 パッド 12,51 Pチャンネルトランジスタ 31,52 Nチャンネルトランジスタ 13,53 出力バッファ 14 入力バッファ 15 抵抗素子 21 内部回路用の電源配線 22 出力バッファ用の電源配線 23 内部回路 41 トランスファゲート
Claims (1)
- 【請求項1】 内部回路用の第1の電源配線と、出力バ
ッファ用の第2の電源配線とが互いに別系統に備えられ
るとともに、入力バッファの入力側に、プルアップ及び
/又はプルダウン用の抵抗素子を備えた半導体集積回路
において、 前記抵抗素子と前記入力バッファとの間に介在する、前
記第2の電源配線が前記出力バッファを駆動する電源電
位にあるときに導通し、該第2の電源配線がグラウンド
電位にあるときに遮断するスイッチ素子を備えたことを
特徴とする半導体集積回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6061588A JPH07270497A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 半導体集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6061588A JPH07270497A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 半導体集積回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07270497A true JPH07270497A (ja) | 1995-10-20 |
Family
ID=13175467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6061588A Withdrawn JPH07270497A (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 半導体集積回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07270497A (ja) |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP6061588A patent/JPH07270497A/ja not_active Withdrawn
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