JPH07263160A - マイクロ波励起光源装置 - Google Patents
マイクロ波励起光源装置Info
- Publication number
- JPH07263160A JPH07263160A JP7980694A JP7980694A JPH07263160A JP H07263160 A JPH07263160 A JP H07263160A JP 7980694 A JP7980694 A JP 7980694A JP 7980694 A JP7980694 A JP 7980694A JP H07263160 A JPH07263160 A JP H07263160A
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- JP
- Japan
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- microwave
- magnetic field
- cavity
- lamp
- light source
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- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 平面的に強い照度による均一照射に好適なマ
イクロ波励起光源装置を得る。 【構成】 マイクロ波電源１４と、マイクロ波電源１４
から出力されたマイクロ波を導入する矩形導波管１３
と、矩形導波管１３に導入されたマイクロ波により誘導
放電を生じ発光する無電極ランプ１２を収納した空胴１
０とを具備し、マイクロ波電源１４と矩形導波管１３と
空胴１０とが電気的に接続されたマイクロ波励起光源装
置において、無電極ランプ１２内に磁場を形成する永久
磁石からなるコ字状の磁界発生手段１１を設け、磁界発
生手段１１の開口側が無電極ランプ１２に沿って向けら
れたことを特徴とする。
イクロ波励起光源装置を得る。 【構成】 マイクロ波電源１４と、マイクロ波電源１４
から出力されたマイクロ波を導入する矩形導波管１３
と、矩形導波管１３に導入されたマイクロ波により誘導
放電を生じ発光する無電極ランプ１２を収納した空胴１
０とを具備し、マイクロ波電源１４と矩形導波管１３と
空胴１０とが電気的に接続されたマイクロ波励起光源装
置において、無電極ランプ１２内に磁場を形成する永久
磁石からなるコ字状の磁界発生手段１１を設け、磁界発
生手段１１の開口側が無電極ランプ１２に沿って向けら
れたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波により誘導
放電を生じ発光する無電極ランプを用いた光源装置で、
平面的に強い照度による均一照射に好適な光源装置に関
するものである。このような光源装置は、例えば半導体
製造プロセスで半導体ウエハー上に塗布されたレジスト
をオゾンと紫外線を用いて分解除去するのに使われる。
放電を生じ発光する無電極ランプを用いた光源装置で、
平面的に強い照度による均一照射に好適な光源装置に関
するものである。このような光源装置は、例えば半導体
製造プロセスで半導体ウエハー上に塗布されたレジスト
をオゾンと紫外線を用いて分解除去するのに使われる。
【０００２】
【従来の技術】複数個の無電極ランプを空胴内に設け、
さらに空胴に整合用金属棒を設けて、平面的に強い照度
で照射を行うマイクロ波励起光源装置が、特開平２−２
０４９０２号公報に開示されている。
さらに空胴に整合用金属棒を設けて、平面的に強い照度
で照射を行うマイクロ波励起光源装置が、特開平２−２
０４９０２号公報に開示されている。
【０００３】図５は従来のマイクロ波励起光源装置を示
す概略構成図である。図示するように、偏平な直方体状
の空胴１内に直管状の無電極ランプ２を複数個平面状に
配置しており、この空胴の下面は金網３で形成され、光
が取り出せるようになっている。
す概略構成図である。図示するように、偏平な直方体状
の空胴１内に直管状の無電極ランプ２を複数個平面状に
配置しており、この空胴の下面は金網３で形成され、光
が取り出せるようになっている。
【０００４】上記空胴１には電力供給口４を設け、導波
管５を介してマイクロ波電源６からマイクロ波電力が供
給される。また、空胴の上部には、マイクロ波電源６と
ランプ２との間の整合をとるための整合用金属棒７が設
けられており、この金属棒の空胴内への挿入長を調整し
て整合を行うことによって、空胴内の電界がランプに集
中しやすくなり、紫外線が平面的に強い照度で照射され
る。
管５を介してマイクロ波電源６からマイクロ波電力が供
給される。また、空胴の上部には、マイクロ波電源６と
ランプ２との間の整合をとるための整合用金属棒７が設
けられており、この金属棒の空胴内への挿入長を調整し
て整合を行うことによって、空胴内の電界がランプに集
中しやすくなり、紫外線が平面的に強い照度で照射され
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、光
照度を増加させるために、整合用金属棒を設けることに
よって、ランプに電力を集中させていた。しかし、この
金属棒の位置や本数は、空胴の形状ごとに試行錯誤的に
決める必要があるために、設計変更が困難であるという
問題があった。しかも、ランプの発光強度はランプ内の
プラズマ密度に比例して増加するが、プラズマ密度があ
る値以上に増加すると、プラズマによるマイクロ波の遮
断現象が起こり、マイクロ波がプラズマ中に侵入できな
くなる。したがって、それ以上のランプの発光強度の上
昇ができないという問題があった。
照度を増加させるために、整合用金属棒を設けることに
よって、ランプに電力を集中させていた。しかし、この
金属棒の位置や本数は、空胴の形状ごとに試行錯誤的に
決める必要があるために、設計変更が困難であるという
問題があった。しかも、ランプの発光強度はランプ内の
プラズマ密度に比例して増加するが、プラズマ密度があ
る値以上に増加すると、プラズマによるマイクロ波の遮
断現象が起こり、マイクロ波がプラズマ中に侵入できな
くなる。したがって、それ以上のランプの発光強度の上
昇ができないという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１におい
ては、マイクロ波電源と、マイクロ波電源から出力され
たマイクロ波を導入する矩形導波管と、矩形導波管に導
入されたマイクロ波により誘導放電を生じ発光する無電
極ランプを収納した空胴とを具備し、マイクロ波電源と
矩形導波管と空胴とが電気的に接続されたマイクロ波励
起光源装置を対象とし、無電極ランプ内に磁場を形成す
る永久磁石からなるコ字状の磁界発生手段を設け、磁界
発生手段の開口側が無電極ランプに沿って向けられたこ
とを特徴とする。
ては、マイクロ波電源と、マイクロ波電源から出力され
たマイクロ波を導入する矩形導波管と、矩形導波管に導
入されたマイクロ波により誘導放電を生じ発光する無電
極ランプを収納した空胴とを具備し、マイクロ波電源と
矩形導波管と空胴とが電気的に接続されたマイクロ波励
起光源装置を対象とし、無電極ランプ内に磁場を形成す
る永久磁石からなるコ字状の磁界発生手段を設け、磁界
発生手段の開口側が無電極ランプに沿って向けられたこ
とを特徴とする。
【０００７】また請求項２においては、特に、永久磁石
が電子サイクロトロン共鳴を起こさせるに充分な起磁力
以上を有することを特徴とする。
が電子サイクロトロン共鳴を起こさせるに充分な起磁力
以上を有することを特徴とする。
【０００８】
【作用】マイクロ波でプラズマを励起すると共に、無電
極ランプ内にランプの輪切り方向の磁場が形成されるよ
うに磁界発生手段を配置すると、プラズマ密度が高めら
れる。特に、上記の磁力線の方向がランプの輪切り方向
かつマイクロ波の進行方向と平行となるように磁界発生
手段を配置し、しかも電子サイクロトロン共鳴（ＥＣ
Ｒ）を起こすに充分な磁束密度を満たす領域をつくるこ
とによって、電子はマイクロ波からエネルギーを得て共
鳴的に加速され、その結果、上記電子は封入ガスを効率
良く電離し、ランプ内に高密度のプラズマ状態を実現す
る。その上、ＥＣＲによるプラズマ生成では、プラズマ
密度の上昇にともなうマイクロ波の遮断現象が起こる心
配はない。特に、ＥＣＲを起こすことによって、プラズ
マ密度を容易に１桁以上高めることができる。したがっ
て、入射マイクロ波パワーが同じでも高い照度の発光が
可能となる。
極ランプ内にランプの輪切り方向の磁場が形成されるよ
うに磁界発生手段を配置すると、プラズマ密度が高めら
れる。特に、上記の磁力線の方向がランプの輪切り方向
かつマイクロ波の進行方向と平行となるように磁界発生
手段を配置し、しかも電子サイクロトロン共鳴（ＥＣ
Ｒ）を起こすに充分な磁束密度を満たす領域をつくるこ
とによって、電子はマイクロ波からエネルギーを得て共
鳴的に加速され、その結果、上記電子は封入ガスを効率
良く電離し、ランプ内に高密度のプラズマ状態を実現す
る。その上、ＥＣＲによるプラズマ生成では、プラズマ
密度の上昇にともなうマイクロ波の遮断現象が起こる心
配はない。特に、ＥＣＲを起こすことによって、プラズ
マ密度を容易に１桁以上高めることができる。したがっ
て、入射マイクロ波パワーが同じでも高い照度の発光が
可能となる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明に係るマイクロ波励起光源装置
の一実施例を示す概略構成図である。図示するように、
空胴１０には、磁界発生手段１１が設けられ、さらに無
電極ランプ１２が収納されており、この空胴に矩形導波
管１３を介してマイクロ波電源１４からマイクロ波電力
が供給されるように、マイクロ波電源，矩形導波管及び
空胴がそれぞれ電気的に接続されている。
の一実施例を示す概略構成図である。図示するように、
空胴１０には、磁界発生手段１１が設けられ、さらに無
電極ランプ１２が収納されており、この空胴に矩形導波
管１３を介してマイクロ波電源１４からマイクロ波電力
が供給されるように、マイクロ波電源，矩形導波管及び
空胴がそれぞれ電気的に接続されている。
【００１０】空胴１０は、偏平な直方体の面１０Ａに磁
界発生手段１０が設けられ、また矩形導波管１３と接続
される側の面１０Ｂに電力供給口１０ｂが設けられ、こ
の面１０Ｂと対向する面１０Ｃを閉鎖することによっ
て、マイクロ波導波路を終端短絡させるようになってい
る。さらに面１０Ｄが１０Ｎ金網で形成され、この面１
０Ｄから光が取り出せる。なお、上記以外の面は閉鎖さ
れている。
界発生手段１０が設けられ、また矩形導波管１３と接続
される側の面１０Ｂに電力供給口１０ｂが設けられ、こ
の面１０Ｂと対向する面１０Ｃを閉鎖することによっ
て、マイクロ波導波路を終端短絡させるようになってい
る。さらに面１０Ｄが１０Ｎ金網で形成され、この面１
０Ｄから光が取り出せる。なお、上記以外の面は閉鎖さ
れている。
【００１１】上記空胴１０内には、複数本の直管状の無
電極ランプ１２，１２…がマイクロ波導波路を終端短絡
させる面１０Ｃと平行な位置、すなわち面１０Ｃから矩
形導波管１３側へ、マイクロ波の管内波長λg の１／４
の繰り返し位置に立つ複数個の定在波の山の部分に沿っ
てそれぞれ配置される。なお、ランプを配置する位置と
しては、効率よく発光させるためにも定在波の山の部分
が最もよい。
電極ランプ１２，１２…がマイクロ波導波路を終端短絡
させる面１０Ｃと平行な位置、すなわち面１０Ｃから矩
形導波管１３側へ、マイクロ波の管内波長λg の１／４
の繰り返し位置に立つ複数個の定在波の山の部分に沿っ
てそれぞれ配置される。なお、ランプを配置する位置と
しては、効率よく発光させるためにも定在波の山の部分
が最もよい。
【００１２】磁界発生手段１１は、コ字状を呈してお
り、無電極ランプ１２の長さとほぼ同じ長さの２つの永
久磁石１１Ａ，１１Ｂを着磁方向が異なるように対向配
置させ、両磁石の間に磁路を形成させるヨーク１１Ｃを
用いて、図２に示すようなヨーク付コ字型磁界発生手段
を構成する。この磁界発生手段は、その開口側がランプ
に沿って向けられており、しかも磁界発生手段の開口側
端部が空胴１０の面１０Ａに埋め込まれた状態で配設さ
れている。したがって、図３に示すように、コ字型磁界
発生手段からランプの輪切り方向の磁力線が生じ、この
磁界発生手段による磁場がランプ内に形成されるように
磁石を配置すると、ランプの封入ガスのプラズマ化を促
進して、プラズマ密度が高められる。特に、上記の磁力
線の方向がランプの輪切り方向かつマイクロ波の進行方
向と平行となるように磁界発生手段を配置し、しかも次
に示す（１）式の条件を満足する磁束密度に設定する。
り、無電極ランプ１２の長さとほぼ同じ長さの２つの永
久磁石１１Ａ，１１Ｂを着磁方向が異なるように対向配
置させ、両磁石の間に磁路を形成させるヨーク１１Ｃを
用いて、図２に示すようなヨーク付コ字型磁界発生手段
を構成する。この磁界発生手段は、その開口側がランプ
に沿って向けられており、しかも磁界発生手段の開口側
端部が空胴１０の面１０Ａに埋め込まれた状態で配設さ
れている。したがって、図３に示すように、コ字型磁界
発生手段からランプの輪切り方向の磁力線が生じ、この
磁界発生手段による磁場がランプ内に形成されるように
磁石を配置すると、ランプの封入ガスのプラズマ化を促
進して、プラズマ密度が高められる。特に、上記の磁力
線の方向がランプの輪切り方向かつマイクロ波の進行方
向と平行となるように磁界発生手段を配置し、しかも次
に示す（１）式の条件を満足する磁束密度に設定する。
【００１３】 ω＝ｅＢ／ｍ …（１） ここで、ωはマイクロ波周波数に等しい電子サイクロト
ロン周波数、Ｂは磁束密度、ｍは電子の質量、ｅは素電
荷である。したがって、マイクロ波電源１４のマイクロ
波周波数を例えば２．４５GHz とすれば、Ｂ＝８７５ガ
ウスになる。
ロン周波数、Ｂは磁束密度、ｍは電子の質量、ｅは素電
荷である。したがって、マイクロ波電源１４のマイクロ
波周波数を例えば２．４５GHz とすれば、Ｂ＝８７５ガ
ウスになる。
【００１４】上記永久磁石１１Ａ，１１Ｂとしては、起
磁力の強いＳm Ｃo またはＮd −Ｆe が用いられるが、
熱に強いＳm Ｃo 磁石を使用するのが好ましい。また、
ヨーク１１Ｃの幅寸法を種々変化させて、磁石１１Ａ，
１１Ｂ間の間隔を広げたり狭めたりすることによって、
必要とする磁界の強さ及び磁界分布を自由に調整するこ
とができる。
磁力の強いＳm Ｃo またはＮd −Ｆe が用いられるが、
熱に強いＳm Ｃo 磁石を使用するのが好ましい。また、
ヨーク１１Ｃの幅寸法を種々変化させて、磁石１１Ａ，
１１Ｂ間の間隔を広げたり狭めたりすることによって、
必要とする磁界の強さ及び磁界分布を自由に調整するこ
とができる。
【００１５】無電極ランプ１２は、用途に応じて変わ
り、例えば紫外線光源とする場合、その材質として石英
などの紫外線透過物質を用い、また封入する物質として
Ｎｅ，Ａｒなどの希ガスと小量のＨｇ，Ｃｄ，Ｚｎなど
の各種金属またはこれらのハロゲン化物などがある。さ
らに、ランプの発光強度を最適化するために、ランプの
一端または両端を空胴１０の側壁に設けた小孔より外部
に出し、その部分を封入金属の最適蒸気圧に対応する温
度に保つように温度制御すれば良い。例えばＨｇを小量
封入し、１８５nm及び２５４nmの波長の紫外光を利用す
る場合は、４０〜７０℃に保つように水等の液体で冷却
する。この場合、マイクロ波が外に漏洩するのを防ぐた
めに、図示していないが、外部に露出したランプ部を金
属しゃへい箱で覆う必要がある。
り、例えば紫外線光源とする場合、その材質として石英
などの紫外線透過物質を用い、また封入する物質として
Ｎｅ，Ａｒなどの希ガスと小量のＨｇ，Ｃｄ，Ｚｎなど
の各種金属またはこれらのハロゲン化物などがある。さ
らに、ランプの発光強度を最適化するために、ランプの
一端または両端を空胴１０の側壁に設けた小孔より外部
に出し、その部分を封入金属の最適蒸気圧に対応する温
度に保つように温度制御すれば良い。例えばＨｇを小量
封入し、１８５nm及び２５４nmの波長の紫外光を利用す
る場合は、４０〜７０℃に保つように水等の液体で冷却
する。この場合、マイクロ波が外に漏洩するのを防ぐた
めに、図示していないが、外部に露出したランプ部を金
属しゃへい箱で覆う必要がある。
【００１６】図４はＮｅガス封入直管ランプでの本発明
による発光強度と磁束密度との関係を示す図である。入
射マイクロ波パワーは１００Ｗ一定で、６３３nmの波長
の可視光を測定したものである。センサーの受光面積は
φ１８で、ランプからの距離約４０mmの所での測定結果
である。９００ガウス以上で発光強度の増加が見られ
る。さらに、１４００ガウスでの光出力は、磁場の無い
場合の値と比較して約１．４倍の増加が確認された。
による発光強度と磁束密度との関係を示す図である。入
射マイクロ波パワーは１００Ｗ一定で、６３３nmの波長
の可視光を測定したものである。センサーの受光面積は
φ１８で、ランプからの距離約４０mmの所での測定結果
である。９００ガウス以上で発光強度の増加が見られ
る。さらに、１４００ガウスでの光出力は、磁場の無い
場合の値と比較して約１．４倍の増加が確認された。
【００１７】本実施例では、コ字状を呈した磁界発生手
段１１をコ字型としたが、Ｕ字型またはＶ字型でも良
く、またヨーク付としたが、全て永久磁石により構成し
ても良い。さらに、永久磁石の開口側端部が、空胴１０
の面１０Ａに埋め込まれた状態で配設されているが、こ
の端部を空胴の上面に当接させても良く、また空胴の上
面から離隔させても良い。
段１１をコ字型としたが、Ｕ字型またはＶ字型でも良
く、またヨーク付としたが、全て永久磁石により構成し
ても良い。さらに、永久磁石の開口側端部が、空胴１０
の面１０Ａに埋め込まれた状態で配設されているが、こ
の端部を空胴の上面に当接させても良く、また空胴の上
面から離隔させても良い。
【００１８】また、無電極ランプ１２として、５個の直
管ランプを空胴１０内に配置しているが、それ以上でも
以下でも良い。また、直管ランプを、Ｕ字状ランプ、球
状ランプにしても良く、さらに偏平に形成したランプに
より広い面積を照射できる。
管ランプを空胴１０内に配置しているが、それ以上でも
以下でも良い。また、直管ランプを、Ｕ字状ランプ、球
状ランプにしても良く、さらに偏平に形成したランプに
より広い面積を照射できる。
【００１９】さらに、磁界発生手段１１及び無電極ラン
プ１２は、マイクロ波導波路を終端短絡させる面１０Ｃ
と平行な位置に配設しているが、マイクロ波は、空胴内
部の側壁で反射を繰り返すことにより斜めに伝搬するの
で、上記面１０Ｃと平行に配設させる必要はない。
プ１２は、マイクロ波導波路を終端短絡させる面１０Ｃ
と平行な位置に配設しているが、マイクロ波は、空胴内
部の側壁で反射を繰り返すことにより斜めに伝搬するの
で、上記面１０Ｃと平行に配設させる必要はない。
【００２０】また、空胴１０の寸法をマイクロ波電源の
周波数で共鳴するように設定することによって、空胴へ
のマイクロ波電力の投入効率を高めることができる。
周波数で共鳴するように設定することによって、空胴へ
のマイクロ波電力の投入効率を高めることができる。
【００２１】さらに、マイクロ波は、連続的にパワーを
投入しても良いし、パルス状に投入（パルス放電）させ
ても良い。
投入しても良いし、パルス状に投入（パルス放電）させ
ても良い。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、装置個々の仕様に対応して設計変更させることな
く、マイクロ波でプラズマを励起する場合のプラズマ密
度以上に高められることによって、複数個のランプをよ
り効率良く、しかも均一に点灯できるので、広い面積を
高い照度で照射できる。また、永久磁石を用いることに
より装置を小型化でき、しかもランプ以外の他の領域へ
の磁界の悪影響を抑えることができ、磁場によるプラズ
マの閉じ込め効果が有効に働く。
ば、装置個々の仕様に対応して設計変更させることな
く、マイクロ波でプラズマを励起する場合のプラズマ密
度以上に高められることによって、複数個のランプをよ
り効率良く、しかも均一に点灯できるので、広い面積を
高い照度で照射できる。また、永久磁石を用いることに
より装置を小型化でき、しかもランプ以外の他の領域へ
の磁界の悪影響を抑えることができ、磁場によるプラズ
マの閉じ込め効果が有効に働く。
【００２３】また請求項２の発明によれば、特に、プラ
ズマ密度を容易に１桁以上高めた高密度のプラズマ状態
を実現すことができるので、入射マイクロ波パワーが同
じでも高い照度で発光させることができる。
ズマ密度を容易に１桁以上高めた高密度のプラズマ状態
を実現すことができるので、入射マイクロ波パワーが同
じでも高い照度で発光させることができる。
【図１】本発明に係るマイクロ波励起光源装置の一実施
例を示す概略構成図である。
例を示す概略構成図である。
【図２】本発明の磁界発生手段を示す概略構成図であ
る。
る。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図４】Ｎｅガス封入直管ランプでの本発明による発光
強度と磁束密度との関係を示す図である。
強度と磁束密度との関係を示す図である。
【図５】従来のマイクロ波励起光源装置を示す概略構成
図である。
図である。
１０ 空胴 １１ 磁界発生手段 １２ 無電極ランプ １３ 矩形導波管 １４ マイクロ波電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青山 隆浩 大阪市淀川区田川２丁目１番11号 株式会 社ダイヘン内
Claims (2)
- 【請求項１】 マイクロ波電源と、前記マイクロ波電源
から出力されたマイクロ波を導入する矩形導波管と、前
記矩形導波管に導入されたマイクロ波により誘導放電を
生じ発光する無電極ランプを収納した空胴とを具備し、
前記マイクロ波電源と矩形導波管と空胴とが電気的に接
続されたマイクロ波励起光源装置において、 前記無電極ランプ内に磁場を形成する永久磁石からなる
コ字状の磁界発生手段を設け、前記磁界発生手段の開口
側が前記無電極ランプに沿って向けられたマイクロ波励
起光源装置。 - 【請求項２】 前記磁界発生手段は、電子サイクロトロ
ン共鳴を起こさせるに充分な起磁力以上を有する請求項
１に記載のマイクロ波励起光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7980694A JPH07263160A (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | マイクロ波励起光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7980694A JPH07263160A (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | マイクロ波励起光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07263160A true JPH07263160A (ja) | 1995-10-13 |
Family
ID=13700466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7980694A Pending JPH07263160A (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | マイクロ波励起光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07263160A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2869719A1 (fr) * | 2004-04-29 | 2005-11-04 | Pascal Sortais | Source lumineuse a resonance cyclotronique d'electrons |
| WO2006103287A3 (fr) * | 2005-04-01 | 2006-12-14 | Rc Lux | Dispositif micro-onde pour le traitement d'un flux par un rayonnement lumineux |
| FR2888397A1 (fr) * | 2005-07-08 | 2007-01-12 | Pascal Sortais | Appareil lumineux a resonance cyclotronique d'electrons |
| EP1994547A1 (en) * | 2006-03-14 | 2008-11-26 | LG Electronics Inc. | Apparatus for preventing leakage of material inside bulb for plasma lighting system |
-
1994
- 1994-03-25 JP JP7980694A patent/JPH07263160A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2869719A1 (fr) * | 2004-04-29 | 2005-11-04 | Pascal Sortais | Source lumineuse a resonance cyclotronique d'electrons |
| WO2005117069A1 (fr) * | 2004-04-29 | 2005-12-08 | Pascal Sortais | Source lumineuse a resonance cyclotronique d'electrons |
| WO2006103287A3 (fr) * | 2005-04-01 | 2006-12-14 | Rc Lux | Dispositif micro-onde pour le traitement d'un flux par un rayonnement lumineux |
| FR2888397A1 (fr) * | 2005-07-08 | 2007-01-12 | Pascal Sortais | Appareil lumineux a resonance cyclotronique d'electrons |
| WO2007006918A1 (fr) * | 2005-07-08 | 2007-01-18 | Rc-Lux | Dispositif d'eclairage excite par micro-ondes utilisant le phenomene de resonance cyclotronioue d'electrons |
| EP1994547A1 (en) * | 2006-03-14 | 2008-11-26 | LG Electronics Inc. | Apparatus for preventing leakage of material inside bulb for plasma lighting system |
| EP1994547A4 (en) * | 2006-03-14 | 2010-11-24 | Lg Electronics Inc | DEVICE FOR PREVENTING THE LEAKAGE OF MATERIAL IN A BULB FOR A PLASMA LIGHTING SYSTEM |
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