FR2888397A1 - Appareil lumineux a resonance cyclotronique d'electrons - Google Patents

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Abstract

L'appareil (1) lumineux comporte un générateur (2) radiofréquence muni d'au moins une antenne (3) transmettant une onde radiofréquence dans au moins une enceinte (4) à plasma ayant une paroi transparente à la lumière (L) et contenant un gaz à basse pression. L'appareil (1) comporte une cavité (6) de résonance radiofréquence étanche à l'onde radiofréquence et au moins un aimant (5) permanent destiné à créer à l'intérieur de l'enceinte (4) un champ magnétique statique. La cavité (6) de résonance est délimitée par une partie arrière (7) concave réfléchissant la lumière (L) et une partie avant (8) destinée à laisser passer la lumière (L) émise par le plasma. L'aimant (5), l'enceinte (4) et la partie arrière (7) concave sont disposés de manière à concentrer et diriger la lumière (L) dans la direction de la partie avant (8). L'enceinte (4) et l'antenne (3) sont disposées à l'intérieur de la cavité (6).

Description

Appareil lumineux à résonance cyclotronique d'électrons Domaine technique
de l'invention
L'invention concerne un appareil lumineux alimenté par radiofréquence, comportant un générateur radiofréquence muni d'au moins une antenne transmettant une onde radiofréquence dans au moins une enceinte à plasma ayant une paroi transparente à la lumière et contenant un gaz à basse pression, l'appareil comportant une cavité de résonance radiofréquence et des moyens magnétiques destinés à créer à l'intérieur de l'enceinte un champ magnétique statique, les valeurs respectives du champ magnétique statique et de la fréquence de l'onde radiofréquence étant prédéterminées, de manière à provoquer à l'intérieur de l'enceinte une résonance cyclotronique d'électrons.
État de la technique Les sources de lumière, visible ou ultraviolette (UV) , alimentées par ultra haute fréquence comportent classiquement un émetteur créant une onde électromagnétique ultra haute fréquence dans une enceinte étanche, transparente à la lumière et contenant un gaz à basse pression. Une décharge à ultra haute fréquence permet d'ioniser le gaz et d'accélérer les électrons. Les électrons énergétiques ionisent le gaz, de manière à créer un plasma stationnaire. Lors de collisions entre les électrons et les ions, un rayonnement lumineux est émis.
Le document GB2375603 décrit une source lumineuse UV comportant des moyens de contrôle permettant d'optimiser l'intensité du rayonnement UV émis, notamment dans la bande UVC du spectre ultraviolet.
Le document US6657206 décrit un système de génération de rayonnement UV comportant une chambre à micro-ondes dans laquelle est disposée une lampe à plasma. Un générateur à micro-ondes est couplé à la chambre à microondes pour exciter le plasma dans la lampe à plasma qui émet, ainsi, un rayonnement UV. io
La lumière UV est utilisée, par exemple, pour la caractérisation, l'imagerie, la photolithographie, la désinfection ou pour la production d'ozone. Dans la plupart des applications, une forte brillance est souhaitée. Cependant les sources connues ont souvent un rendement faible et/ou présentent des coûts importants du fait d'une durée de vie limitée et des températures de fonctionnement très élevées, par exemple de plusieurs centaines de degrés pour les lampes mercure à moyenne pression.
Par ailleurs, les sources de lumière classiques, à base de décharges gazeuses, comportent des électrodes en contact avec le plasma. L'usure des électrodes, due au bombardement par les ions du plasma, limite la durée de vie des sources de lumière.
Le document JP7183008 décrit une source de lumière comportant une cavité micro-onde alimentée par l'intermédiaire d'un guide d'onde pour créer un plasma à l'intérieur de la cavité micro-onde. La source de lumière comporte une bobine pour créer un champ magnétique.
Le document US5404076 décrit une lampe qui ne fonctionne qu'à forte puissance et qui produit ainsi une forte chaleur, ce qui nécessite la mise en place d'un système de refroidissement à eau. La lampe ne fonctionnant qu'à forte puissance, l'utilisation d'un guide d'onde est obligatoire pour l'injection 5 d'une onde radiofréquence et des géométries particulières doivent être utilisées.
Le document US3,911,318 décrit une méthode et un appareil pour générer un rayonnement électromagnétique UV et visible de haute puissance. L'appareil est alimenté par un générateur radio-fréquence créant un champ radio-fréquence à o l'intérieur d'un tube à plasma en quartz ou en silice fondue permettant au rayonnement UV de s'échapper. La pression de gaz dans le tube est suffisante pour soutenir la génération d'un plasma par micro-onde. L'appareil comporte des bobines de Helmholz créant à l'intérieur du tube un champ magnétique statique. Un écran à mailles servant de guide d'onde permet de confiner le rayonnement radiofréquence. L'appareil permet d'illuminer seulement dans un angle solide limité. De plus, l'appareil est encombrant.
Objet de l'invention L'invention a pour but de remédier à ces inconvénients et, en particulier, de permettre de réaliser un appareil lumineux fournissant une lumière contrôlée à forte intensité et à haut rendement, tout en présentant une construction compacte et flexible au niveau de l'agencement des différentes parties constitutives de l'appareil, afin de pouvoir optimiser la zone d'illumination.
Selon l'invention, ce but est atteint par le fait que les moyens magnétiques comportent au moins un aimant permanent et la cavité de résonance est étanche à l'onde radiofréquence, la cavité de résonance étant délimitée par une partie arrière concave réfléchissant la lumière et une partie avant destinée à laisser passer la lumière émise par le plasma, l'aimant, l'enceinte et la partie arrière concave étant disposés de manière à concentrer et diriger la lumière dans la direction de la partie avant, l'enceinte et l'antenne étant disposées à l'intérieur de la cavité.
L'enceinte peut, par exemple, être disposée à la partie arrière ou à la partie avant de l'appareil.
L'aimant ou les aimants peuvent, par exemple, être disposés à la partie arrière ou à la partie avant de l'appareil, à l'intérieur ou à l'extérieur de la cavité. L'aimant peut également être disposé à l'intérieur de l'enceinte.
L'antenne peut pénétrer dans l'enceinte.
Selon un développement de l'invention, l'enceinte est constituée par la partie arrière concave réfléchissante et par la partie avant.
Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, la partie arrière 20 réfléchissante comporte un couche magnétique.
Selon un autre développement de l'invention, la partie arrière réfléchissante est constituée par le ou les aimants disposés de manière à former un réflecteur concave dans lequel est logé l'enceinte.
Le générateur radiofréquence peut comporter un transistor radiofréquence disposé directement à la partie arrière de l'appareil.
Le générateur radiofréquence peut être relié à la cavité de résonance radiofréquence par l'intermédiaire d'un câble coaxial.
Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, l'appareil lumineux comporte des moyens d'asservissement, à une grandeur physique de consigne caractéristique de la lumière émise, de la puissance radiofréquence et/ou de la pression du gaz et/ou de la température de l'appareil.
o Description sommaire des dessins
D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels: Les figures 1 à 9 représentent, en coupe, neuf modes de réalisation particuliers d'un appareil lumineux selon l'invention.
La figure 10 représente, en fonction du temps, trois modes de réalisation 20 particuliers de la puissance radiofréquence alimentant la source lumineuse selon l'invention.
La figure 11 illustre un appareil selon l'invention ayant un générateur radiofréquence relié à l'antenne par l'intermédiaire d'un câble coaxial. La figure 12 illustre un appareil selon l'invention comportant des moyens d'asservissement.
Description de modes particuliers de réalisation
Comme représenté à la figure 1, l'appareil 1 lumineux alimenté par radiofréquence comporte un générateur 2 radiofréquence, par exemple un magnétron, muni d'une antenne 3 transmettant une onde radiofréquence dans une enceinte 4 à plasma. L'enceinte 4 à plasma a une paroi transparente à la lumière L, par exemple en verre ou en quartz, et contient un gaz à basse pression. L'appareil 1 comporte un aimant 5 permanent destiné à créer à l'intérieur de l'enceinte 4 un champ magnétique statique. Les valeurs io respectives du champ magnétique statique et de la fréquence de l'onde radiofréquence sont prédéterminées de manière à provoquer à l'intérieur de l'enceinte 4 une résonance cyclotronique d'électrons.
L'aimant 5 permanent présente l'avantage d'être très compact et compatible 15 avec le champ radiofréquence, contrairement aux bobines de Helmholz qui nécessitent des connexions électriques supplémentaires.
L'enceinte 4 contient par exemple un ou plusieurs gaz rares à une pression totale de 2 bar, du deutérium ou une vapeur de métal, par exemple du sodium, du zinc ou du mercure. Lorsque le gaz est une vapeur de mercure, la pression dans l'enceinte 4 peut être la pression de vapeur du mercure à température ambiante qui est de l'ordre de 2 bar. La paroi de l'enceinte 4 peut être transparente uniquement dans une bande spectrale souhaitée, par exemple dans une bande visible ou dans une bande UV.
L'appareil comporte une cavité 6 de résonance radiofréquence étanche à l'onde radiofréquence. La cavité 6 de résonance radiofréquence est délimitée par une partie arrière 7 concave réfléchissant la lumière L et par une partie avant 8 destinée à laisser passer la lumière L émise par l'enceinte 4 à plasma. La partie arrière 7 est, de préférence, en métal et complètement opaque à la lumière L. La partie avant 8 peut, par exemple, être constituée par une grille métallique réfléchissant l'onde radiofréquence et laissant passer la lumière. L'enceinte 4 et l'antenne 3 sont disposées à l'intérieur de la cavité 6.
Ainsi, l'onde radiofréquence est créée par l'antenne 3 à l'intérieur de la cavité 6. La cavité 6 étant étanche à l'onde radiofréquence, l'onde radiofréquence est confinée à l'intérieur de la cavité 6, ce qui est un facteur important pour la sécurité de personnes utilisant l'appareil 1 lumineux.
La partie arrière 7 concave, par exemple de forme parabolique ou sphérique, constitue un réflecteur pour la lumière L. L'aimant 5, l'enceinte 4 et la partie arrière 7 concave sont disposés de manière à concentrer et diriger la lumière L dans la direction de la partie avant 8. Le générateur 2 est disposé à l'extérieur de la cavité 6, à la partie arrière 7 de l'appareil 1.
Sur la figure 1, l'enceinte 4 et l'antenne 3 sont disposées à la partie arrière 7 de l'appareil 1. L'enceinte 4 présente une forme ovale et l'antenne 3 pénètre dans l'enceinte de manière étanche vis-à-vis du gaz de basse pression. L'aimant 5 est disposé à l'intérieur de l'enceinte 4 et, ainsi, disposé à la partie arrière 7 de l'appareil. La lumière L est produite à l'intérieur de l'enceinte 4, dans une zone ou les conditions de la résonance cyclotronique d'électrons sont réunies. La lumière L est émise de manière isotrope par l'enceinte. Les rayons de lumière L émis en direction de la partie arrière 7 sont ainsi réfléchis en direction de la partie avant 8 laissant passer la lumière L. De préférence, le champ magnétique statique est de 0,0875 Tesla et la fréquence de l'onde électromagnétique ultra haute fréquence est de 2,45 GHz, ce qui est une fréquence habituellement utilisée dans les sources ultra haute fréquence. Cependant, pour réduire la taille et densifier le flux lumineux il est possible d'augmenter la fréquence, par exemple à 5-10GHz, et d'adapter le champ magnétique. Le champ magnétique statique présentant un gradient, les conditions de résonance ne sont pas forcément remplies dans la totalité de l'espace de l'enceinte. La zone de résonance maximale peut prendre une forme quelconque, définie par les distributions du champ magnétique statique et de l'onde électromagnétique ultra haute fréquence. La forme de l'enceinte 4 est, de préférence, adaptée à la distribution du champ de l'aimant 5 utilisé et l'antenne 3 est disposée de manière à ce que tout l'espace délimité par l'enceinte 4 reçoive l'onde électromagnétique ultra haute fréquence.
L'efficacité lumineuse de la source lumineuse est supérieure à 100 lumens par Watt, y compris à très basse puissance d'alimentation, ce qui est très élevé par rapport aux sources lumineuses connues.
Dans le cas particulier de vapeurs d'éléments condensables (Hg, Na, S), il est possible d'intégrer un gaz support pour un démarrage instantané. Le démarrage instantané du plasma support permet l'excitation pratiquement immédiate de l'élément condensable. Un mélange de gaz est aussi possible pour obtenir un spectre spécifique ou une combinaison de spectres spécifiques.
Sur la figure 2, l'aimant 5 et l'enceinte 4 sont disposés à la partie avant 8 et l'antenne 3 est disposée à la partie arrière 7 de l'appareil. L'aimant 5 est disposé à l'intérieur de l'enceinte 4, comme sur la figure 1. Ainsi, sur la figure 2, la zone de résonance cyclotronique d'électrons est disposée près de la partie avant 8 de l'appareil. Ceci peut notamment être utile pour certaines géométries du réflecteur constitué par la partie arrière 7, par exemple afin de placer la zone de résonance dans le foyer optique du réflecteur.
Sur la figure 3, l'antenne 3 et l'aimant 5 sont disposés à l'extérieur de l'enceinte 4 et à l'intérieur de la cavité 6. L'antenne 3 est disposée à la partie arrière 7 et l'aimant 5 est disposé à la partie avant 7 de l'appareil. L'enceinte 4 est disposée de manière à envelopper l'antenne 3 et l'aimant 5 et de manière à remplir l'espace de la cavité 6. Sur la figure 3, la zone d'émission de lumière L est illustrée par une ligne pointillée 9 qui est sensiblement disposée dans le foyer optique du réflecteur constitué par la partie arrière 7 réfléchissante. La zone d'émission de lumière L est définie par la zone où les conditions de la résonance cyclotronique sont réunies.
Sur la figure 4, l'aimant 5 est positionné à l'intérieur de l'enceinte 4, à la partie avant 8 de l'appareil 1. L'antenne 3 pénètre dans l'enceinte 4 à la partie arrière 7. L'enceinte 4 remplit complètement la cavité 6. La zone d'émission de lumière L correspond à celle de l'appareil représenté à la figure 3.
Sur la figure 5, l'aimant 5 est disposé à l'extérieur de la cavité 6 à la partie avant 8 de l'appareil 1. L'enceinte 4 est disposé du côté de la partie avant 8. L'antenne 3 est disposée à la partie arrière de l'appareil 1, à l'extérieur de l'enceinte 4. La lumière L émise par la zone d'émission 9 est ainsi dirigée vers la partie avant 8, par l'intermédiaire de la partie arrière 7. L'aimant 5 peut comporter un revêtement réfléchissant en regard de l'enceinte 4.
Sur la figure 6, l'enceinte 4 est disposée à la partie avant 8 de l'appareil 1 et l'antenne 3 est disposée à la partie arrière 7 de l'appareil 1. Deux ou plusieurs aimants 5a et 5b sont disposés latéralement par rapport à l'enceinte 4, à l'extérieur de l'enceinte 4 et à l'intérieur de la cavité 6.
Sur la figure 7, l'enceinte 4 est constituée par la partie arrière 7 concave réfléchissante et par la partie avant 8. La partie avant 8 peut, par exemple, être constituée par un verre traité transparent à la lumière et réfléchissant les micro-ondes, ou par une plaque de verre intégrant une grille métallique opaque à l'onde radiofréquence. La partie arrière 7 peut être constituée, par exemple, par un verre aluminé opaque à l'onde radiofréquence et réfléchissant la lumière. Sur la figure 7, la partie avant 8 et la partie arrière 7 sont solidaires de manière étanche afin de servir d'enceinte 4 pour le plasma. Deux aimants 5a et 5b sont disposés à l'extérieur de la cavité 6 à la partie arrière 7 de l'appareil 1.
Les modes de réalisations particuliers représentés sur les figures 6 et 7 10 comportent chacun deux aimants et, ainsi, deux zones 9 d'émissions de lumière L, disposées respectivement en proximité des aimants 5.
Sur la figure 8, la partie arrière 7 réfléchissante comporte un couche magnétique 5c à sa face intérieure ou extérieure. Ainsi, une zone 9 d'émission de lumière L 15 est disposée le long de cette couche magnétique.
Dans un autre mode de réalisation particulier représenté à la figure 9, la partie arrière 7 réfléchissante est constituée par l'aimant 5 ou par plusieurs aimants 5 disposés de manière à former un réflecteur concave dans lequel est logé l'enceinte 4. Le générateur 2 radiofréquence comporte, de préférence, un transistor radiofréquence disposé directement à la partie arrière de l'appareil 1. On peut ainsi réaliser un appareil 1 lumineux de faible taille, ayant par exemple, des dimensions comprises entre 3cm et 6cm. Un tel appareil peut être alimenté avec une onde radiofréquence de 10 à 50W ayant une fréquence comprise entre 5 et 10GHz.
Il est également possible de réaliser une modulation de la puissance P de l'onde radiofréquence injectée dans l'enceinte 4, par exemple sous forme d'impulsions de forme et fréquence quelconques. Ces impulsions sont, de préférence, rectangulaires comme représenté à la figure 10. Les trois courbes P1, P2 et P3 correspondent à une même puissance moyenne Pmn et, ainsi, à une même intensité lumineuse moyenne. En effet, selon la courbe P1 une puissance continue prédéterminée est injectée dans l'enceinte 4. La puissance continue (P1) est égale à la puissance moyenne Pmn. La puissance moyenne Pmn injectée est, par exemple, comprise entre 10 et 1000W. Pour un appareil ayant des dimensions de l'ordre de 20cm, la puissance est, de préférence de l'ordre de quelques centaines de Watts. La courbe P2 représente des impulsions rectangulaires ayant une puissance maximale Pmax2, par exemple avec une io fréquence de 50Hz, et ayant un rapport cyclique tel que la puissance moyenne Pmn injectée dans l'enceinte 4 est la même que celle de la courbe P1. La courbe P3 présente une fréquence deux fois plus faible que celle de la courbe P2 (dans l'exemple 50Hz) et une puissance maximale Pmax3 des d'impulsions rectangulaires deux fois plus élevée que celle de la courbe P2. Ainsi, la puissance moyenne Pmn des courbes P2 et P3 est effectivement égale. Cependant, les puissances maximales des courbes P1, P2 et P3 étant différentes, les courbes P1, P2 et P3 correspondent à des spectres de lumière différents.
La suite d'impulsions rectangulaires n'est pas nécessairement périodique. En effet, on peut envisager d'injecter une suite d'impulsions ayant chacune une durée de l'ordre de la microseconde, par exemple. La durée d'une impulsion et/ou l'écart temporel entre deux impulsions successives peut être modulé. Ainsi, le signal lumineux obtenu permet de coder une information, par exemple du type Morse. De manière générale, toute modulation de l'amplitude ou de la fréquence du flux lumineux peut permettre de coder une information.
Le système pouvant fonctionner à faible puissance (inférieure à 300W), il est possible de disposer le générateur 2 radiofréquence à distance de la cavité 6 de résonance radiofréquence et de relier le générateur 2 et la cavité 6 par l'intermédiaire d'un simple câble coaxial 10, comme représenté à la figure 11.
Sur la figure 12, la source lumineuse comporte une unité de contrôle 11 permettant de réaliser un asservissement de la puissance radiofréquence à une grandeur physique de consigne caractéristique de la lumière émise, par exemple l'intensité lumineuse ou la température mesurée en regard de l'appareil 1 ou mesurée en contact avec l'appareil 1. Ainsi, la puissance radiofréquence est réglée à l'intensité lumineuse désirée. Pour cela, l'intensité lumineuse est mesurée, par exemple par l'intermédiaire d'un capteur ou d'un détecteur 12 de lumière ou de chaleur disposé en regard de l'appareil 1, et la puissance radiofréquence est augmentée lorsque l'intensité mesurée est inférieure à l'intensité de consigne et diminuée dans le cas inverse. La puissance radiofréquence est alors ajustée en fonction de l'intensité mesurée. Il est également possible d'asservir la pression du gaz, et/ou la température de l'appareil 1, à l'intensité lumineuse de consigne et de régler la pression du gaz et/ou la température afin de régler l'intensité lumineuse. La température est, de préférence, réglée par refroidissement de l'appareil 1, par exemple par l'intermédiaire d'un ventilateur ou d'un circuit de refroidissement à eau.
Ainsi, lorsque l'intensité lumineuse diminue progressivement au cours de l'utilisation de la source lumineuse, l'intensité peut systématiquement être corrigée en augmentant la puissance radiofréquence ou la pression de gaz. Ainsi, des effets de vieillissement de l'appareil 1 peuvent être compensés.
L'appareil selon l'invention est particulièrement approprié pour les traitements chimiques (insolations ou irradiations d'encres ou de vernis), par exemple, d'une matière disposée sur un convoyeur. Dans ces applications, il est notamment intéressant de pouvoir allumer et éteindre l'appareil lumineux et de pouvoir adapter en permanence la puissance lumineuse. Grâce au principe de fonctionnement par résonance cyclotronique d'électrons, la source lumineuse permet d'effectuer un allumage instantané, par exemple au cours d'une milliseconde. Ceci est notamment crucial pour une utilisation non-continue. En effet, les sources lumineuses classiques à basse pression doivent être allumées en permanence du fait du temps d'allumage important et des limitations de durée de vie induites par les ré-allumages. La luminosité peut aussi être asservi à la vitesse de défilement du convoyeur.
La source lumineuse fournit un rayonnement dans le spectre visible et dans le spectre UV, correspondant à des raies d'émissions des atomes et des ions du gaz. La raie à 254nm de l'atome de mercure non ionisé peut atteindre dix fois la brillance d'une lampe UV standard. Les raies d'émission des ions ayant des longueurs d'onde inférieures à 200nm sont particulièrement intenses. Les raies du mercure ionisé une fois, ayant des longueurs d'onde de 164,9nm et 194,2nm, sont environ cinq fois plus intenses que la raie à 254nm de l'atome de mercure non ionisé. Le choix du gaz et de la pression dans l'enceinte permet d'adapter le spectre de la source à son utilisation, notamment au régime UV souhaité. Par exemple, plus la pression est élevée, plus les raies émises à des longueurs d'ondes longues, c'est-à-dire des raies d'émissions d'atomes non ionisés dominent. La connaissance des spectres atomiques des atomes constituant le gaz et des spectres ioniques des atomes ionisés une ou plusieurs fois permet ainsi d'obtenir le rayonnement souhaité. Le rayonnement créé est caractérisé par les raies atomiques et ioniques correspondantes.
L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation particuliers représentés aux figures. En particulier, toute combinaison des différentes dispositions de l'aimant, de l'antenne et de l'enceinte peut être envisagée, de manière à ce que la zone 9 d'émission de lumière L soit disposée par rapport aux parties arrière 7 et avant 8 de l'appareil de façon à permettre l'orientation de la lumière vers la partie avant 8.

Claims (15)

Revendications
1. Appareil (1) lumineux alimenté par radiofréquence, comportant un générateur (2) radiofréquence muni d'au moins une antenne (3) transmettant une onde radiofréquence dans au moins une enceinte (4) à plasma ayant une paroi transparente à la lumière et contenant un gaz à basse pression, l'appareil (1) comportant une cavité (6) de résonance radiofréquence et des moyens magnétiques destinés à créer à l'intérieur de l'enceinte (4) un champ magnétique statique, les valeurs respectives du champ magnétique statique et de la fréquence de l'onde radiofréquence étant prédéterminées, de manière à provoquer à l'intérieur de l'enceinte (4) une résonance cyclotronique d'électrons, appareil caractérisé en ce que les moyens magnétiques comportent au moins un aimant (5) permanent et la cavité (6) de résonance est étanche à l'onde radiofréquence, la cavité (6) de résonance étant délimitée par une partie arrière (7) concave réfléchissant la lumière (L) et une partie avant (8) destinée à laisser passer la lumière (L) émise par le plasma, l'aimant (5), l'enceinte (4) et la partie arrière (7) concave étant disposés de manière à concentrer et diriger la lumière (L) dans la direction de la partie avant (8), l'enceinte (4) et l'antenne (3) étant disposées à l'intérieur de la cavité (6).
2. Appareil lumineux selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'enceinte (4), l'antenne (3) et l'aimant (5) sont disposés à la partie arrière (7) de l'appareil (1).
3. Appareil lumineux selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'aimant (5) est disposé à la partie avant (8) et l'antenne (3) est disposée à la partie arrière (7) de l'appareil (1).
4. Appareil lumineux selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'enceinte (4) est disposée à la partie avant (8) de l'appareil (1), l'aimant (5) étant disposé à l'intérieur de l'enceinte (4).
5. Appareil lumineux selon la revendication 3, caractérisé en ce que, l'antenne (3) et l'aimant (5) étant disposés à l'extérieur de l'enceinte (4) et à l'intérieur de la cavité (6), l'enceinte (4) est disposée de manière à envelopper l'antenne (3) et l'aimant (5).
6. Appareil lumineux selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'antenne (3) pénètre dans l'enceinte (4) et l'aimant (5) est disposé à l'intérieur de l'enceinte (4).
7. Appareil lumineux selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'aimant (5) est disposé à l'extérieur de la cavité (6) à la partie avant (8) de l'appareil (1).
8. Appareil lumineux selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'aimant (5) est disposé à l'extérieur de la cavité (6) à la partie arrière (7) de l'appareil (1).
9. Appareil lumineux selon l'une quelconque des revendications 1 et 6 à 8, caractérisé en ce que l'enceinte (4) est constituée par la partie arrière (7) concave réfléchissante et par la partie avant (8).
10. Appareil lumineux selon la revendication 9, caractérisé en ce que la partie arrière (7) réfléchissante comporte un couche magnétique (5c).
11. Appareil lumineux selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'enceinte (4) est disposée à la partie avant (8) de l'appareil (1) et l'antenne (3) est disposée à la partie arrière (7) de l'appareil (1), une pluralité d'aimants (5a, 5b) étant disposée latéralement par rapport à l'enceinte (4), à l'extérieur de l'enceinte (4) et à l'intérieur de la cavité (6).
12. Appareil lumineux selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie arrière (7) réfléchissante est constituée par le ou les aimants (5) disposés de manière à former un réflecteur concave dans lequel est logée l'enceinte (4).
13. Appareil lumineux selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que le générateur (2) radiofréquence comporte un transistor radiofréquence disposé directement à la partie arrière (7) de l'appareil (1).
14. Appareil lumineux selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que le générateur (2) radiofréquence est relié à la cavité (6) de résonance radiofréquence par l'intermédiaire d'un câble coaxial (10).
15. Appareil lumineux selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens d'asservissement (11), à une grandeur physique de consigne caractéristique de la lumière émise, de la puissance radiofréquence et/ou de la pression du gaz et/ou de la température de l'appareil (1).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009032879A (ja) * 2007-07-26 2009-02-12 Harison Toshiba Lighting Corp 照射装置および照射システム

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6139449A (ja) * 1984-07-31 1986-02-25 Toshiba Corp マイクロ波放電光源装置
JPS61104560A (ja) * 1984-10-25 1986-05-22 Toshiba Corp マイクロ波放電光源装置
US4933602A (en) * 1987-03-11 1990-06-12 Hitachi, Ltd. Apparatus for generating light by utilizing microwave
JPH07183008A (ja) * 1993-12-24 1995-07-21 Toshiba Corp マイクロ波放電光源装置
JPH07263160A (ja) * 1994-03-25 1995-10-13 Daihen Corp マイクロ波励起光源装置
JPH11102795A (ja) * 1997-09-26 1999-04-13 Sharp Corp 無電極ランプ
US20030042857A1 (en) * 2001-08-29 2003-03-06 Orc Manufacturing Co., Ltd. Electrodeless lamp system

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5323442A (en) 1992-02-28 1994-06-21 Ruxam, Inc. Microwave X-ray source and methods of use
US6327338B1 (en) 1992-08-25 2001-12-04 Ruxan Inc. Replaceable carbridge for an ECR x-ray source
WO1996005600A1 (fr) 1994-08-11 1996-02-22 Ruxam, Inc. Source de rayons x portative et procede de radiographie
JP2001210489A (ja) * 1999-11-16 2001-08-03 Victor Co Of Japan Ltd マイクロ波放電光源装置及びこのマイクロ波放電光源装置を用いた画像表示装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6139449A (ja) * 1984-07-31 1986-02-25 Toshiba Corp マイクロ波放電光源装置
JPS61104560A (ja) * 1984-10-25 1986-05-22 Toshiba Corp マイクロ波放電光源装置
US4933602A (en) * 1987-03-11 1990-06-12 Hitachi, Ltd. Apparatus for generating light by utilizing microwave
JPH07183008A (ja) * 1993-12-24 1995-07-21 Toshiba Corp マイクロ波放電光源装置
JPH07263160A (ja) * 1994-03-25 1995-10-13 Daihen Corp マイクロ波励起光源装置
JPH11102795A (ja) * 1997-09-26 1999-04-13 Sharp Corp 無電極ランプ
US20030042857A1 (en) * 2001-08-29 2003-03-06 Orc Manufacturing Co., Ltd. Electrodeless lamp system

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 010, no. 192 (E - 417) 5 July 1986 (1986-07-05) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 010, no. 285 (E - 441) 27 September 1986 (1986-09-27) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1995, no. 10 30 November 1995 (1995-11-30) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1996, no. 02 29 February 1996 (1996-02-29) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1999, no. 09 30 July 1999 (1999-07-30) *

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