JPH07260848A - 表面抵抗の測定装置及び測定方法 - Google Patents
表面抵抗の測定装置及び測定方法Info
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- JPH07260848A JPH07260848A JP5570994A JP5570994A JPH07260848A JP H07260848 A JPH07260848 A JP H07260848A JP 5570994 A JP5570994 A JP 5570994A JP 5570994 A JP5570994 A JP 5570994A JP H07260848 A JPH07260848 A JP H07260848A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導電性材料の表面の電気抵抗値を連続的に
測定する装置と方法を提供する。 【構成】 測定試料１２は、ロール状の芯金１２ａの表
面に半導電性材料膜２２が積層されている。測定ヘッド
１００は、１対の転がり電極１６０，１７０を有し、直
流電源６０の正極は第１の転がり電極１６０と芯金１２
ａに連結される。第２の転がり電極１７０は負極に連結
される。微小電流計６０は試料表面に接して回転する電
極１６０，１７０間に流れる電流を検出し、コンピュー
タ２００は電流値に基づいて表面抵抗値を連続的に演算
する。
測定する装置と方法を提供する。 【構成】 測定試料１２は、ロール状の芯金１２ａの表
面に半導電性材料膜２２が積層されている。測定ヘッド
１００は、１対の転がり電極１６０，１７０を有し、直
流電源６０の正極は第１の転がり電極１６０と芯金１２
ａに連結される。第２の転がり電極１７０は負極に連結
される。微小電流計６０は試料表面に接して回転する電
極１６０，１７０間に流れる電流を検出し、コンピュー
タ２００は電流値に基づいて表面抵抗値を連続的に演算
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、帯電部品の抵抗値を測
定する方法及びその装置に関する。
定する方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の表面抵抗測定方法として、図１
１，図１２に示すＪＩＳ規格に定められている方法があ
る。この方法で用いる電極の構成は、試料表面に一定面
積の導電性のペーストを塗布、あるいは金属蒸着を施し
抵抗測定を行う方法で試料と測定電極の接触抵抗を最小
限に抑え、測定値の信頼性を向上させることを目的とし
ている。図１１の（Ａ）は、平面状の試料１０の表面２
０の抵抗値を測定する手段を示し、試料表面２０上に設
けた第１の電極３１と第２の電極３２の間に直流５０を
印加し、両電極３１、３２間に流れる電流を測定装置６
０により検出し、抵抗値に換算する。このとき、試料の
厚み方向に電流が流れるのを防ぎ極力試料表面に電流を
流すために試料の裏面に導電ペーストを塗布したり金属
基板上に試料を形成する方法を採用して電極３３を設
け、電極３１と同じ電位を電極３３に与える。
１，図１２に示すＪＩＳ規格に定められている方法があ
る。この方法で用いる電極の構成は、試料表面に一定面
積の導電性のペーストを塗布、あるいは金属蒸着を施し
抵抗測定を行う方法で試料と測定電極の接触抵抗を最小
限に抑え、測定値の信頼性を向上させることを目的とし
ている。図１１の（Ａ）は、平面状の試料１０の表面２
０の抵抗値を測定する手段を示し、試料表面２０上に設
けた第１の電極３１と第２の電極３２の間に直流５０を
印加し、両電極３１、３２間に流れる電流を測定装置６
０により検出し、抵抗値に換算する。このとき、試料の
厚み方向に電流が流れるのを防ぎ極力試料表面に電流を
流すために試料の裏面に導電ペーストを塗布したり金属
基板上に試料を形成する方法を採用して電極３３を設
け、電極３１と同じ電位を電極３３に与える。
【０００３】図１１の（Ｂ）は、測定表面２０上に電極
を設ける手段を示し、表面２０上にマスキングテープ４
０を介して導電ペーストを塗布、乾燥させて第１の電極
３１と第２の電極３２を形成する。第３の電極３３は例
えば金属板を積層して形成する。図１２は円筒状のスリ
ーブ１２上の半導電性材料膜２２の抵抗値を測定する手
段を示し、金属スリーブ１２ａ上に設けられた半導電性
材料膜２２上にマスキングテープを用いてペースト等を
塗布して、印加電極となる第１の電極３１とガード電極
となる第２の電極３２を設ける。金属スリーブ１２ａに
も第３の電極３３をとりつけて印加電極３１と同じ電位
を与える。第１の電極３１と第２の電極３２間に流れる
電流を測定し、抵抗値に換算する。
を設ける手段を示し、表面２０上にマスキングテープ４
０を介して導電ペーストを塗布、乾燥させて第１の電極
３１と第２の電極３２を形成する。第３の電極３３は例
えば金属板を積層して形成する。図１２は円筒状のスリ
ーブ１２上の半導電性材料膜２２の抵抗値を測定する手
段を示し、金属スリーブ１２ａ上に設けられた半導電性
材料膜２２上にマスキングテープを用いてペースト等を
塗布して、印加電極となる第１の電極３１とガード電極
となる第２の電極３２を設ける。金属スリーブ１２ａに
も第３の電極３３をとりつけて印加電極３１と同じ電位
を与える。第１の電極３１と第２の電極３２間に流れる
電流を測定し、抵抗値に換算する。
【０００４】図１３はスリーブ１２の表面の半導電性材
料膜２２に測定用の電極を設ける他の手段を示すもの
で、電極パターンを形成した導電性ゴム４２をホルダー
４３で保持するものや、電極パターンを形成した導電性
テープ４５を貼着することも提案されている。
料膜２２に測定用の電極を設ける他の手段を示すもの
で、電極パターンを形成した導電性ゴム４２をホルダー
４３で保持するものや、電極パターンを形成した導電性
テープ４５を貼着することも提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の技術は、試料に導電ペーストを塗布し、或いは
導電ペーストを除去し、或いは金属蒸着等を除去、剥離
すること等によって試料表面を変質させ、試料は破壊さ
れるケースが多い等の不具合がある。また、導電性ゴ
ム、テープを貼着しようした場合は、接触圧力、接触面
積等がばらつき測定値が安定しない問題がある。ＪＩＳ
測定法、導電ゴム、テープいずれの場合も微小測定面積
の抵抗値を測定することは非常に困難であり、微小測定
面積となるに従って測定値の信頼性がなくなる傾向にあ
る。また、従来測定法では、ロール円周あるいはシート
表面を連続して測定することは非常に難しい。
た従来の技術は、試料に導電ペーストを塗布し、或いは
導電ペーストを除去し、或いは金属蒸着等を除去、剥離
すること等によって試料表面を変質させ、試料は破壊さ
れるケースが多い等の不具合がある。また、導電性ゴ
ム、テープを貼着しようした場合は、接触圧力、接触面
積等がばらつき測定値が安定しない問題がある。ＪＩＳ
測定法、導電ゴム、テープいずれの場合も微小測定面積
の抵抗値を測定することは非常に困難であり、微小測定
面積となるに従って測定値の信頼性がなくなる傾向にあ
る。また、従来測定法では、ロール円周あるいはシート
表面を連続して測定することは非常に難しい。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、以下の具体的
な手段を備える。 測定面積を小さくするために、測定電極を円筒形状ま
たは球形状とし、接触部を線または点接触に変更した。 測定電極が円筒形状の場合、試料のセット位置ズレ、
試料の厚みばらつき、外径精度誤差等による試料の平面
うねりの影響で電極と試料の間に隙間が生じ、接触面積
が不安定となるのを防止するため、測定電極接触面が試
料の形状に倣う首振り構造とした。 さらに、測定中プローブが弾み試料と電極間の隙間が
発生したり、電極が固定、あるいはバネ等で接触圧力を
規定している場合は、試料の厚みや外径等の寸法誤差で
接触圧力が変化する。これらを防止して接触圧力を一定
にするために分銅を用いた。 測定電極の形状を円筒形状とし、試料上を転がすこと
で、試料との接触を円滑にし、試料との摩擦、試料への
傷等が防止でき、連続かつ安定した抵抗値を計測するこ
とが可能な機構とした。
な手段を備える。 測定面積を小さくするために、測定電極を円筒形状ま
たは球形状とし、接触部を線または点接触に変更した。 測定電極が円筒形状の場合、試料のセット位置ズレ、
試料の厚みばらつき、外径精度誤差等による試料の平面
うねりの影響で電極と試料の間に隙間が生じ、接触面積
が不安定となるのを防止するため、測定電極接触面が試
料の形状に倣う首振り構造とした。 さらに、測定中プローブが弾み試料と電極間の隙間が
発生したり、電極が固定、あるいはバネ等で接触圧力を
規定している場合は、試料の厚みや外径等の寸法誤差で
接触圧力が変化する。これらを防止して接触圧力を一定
にするために分銅を用いた。 測定電極の形状を円筒形状とし、試料上を転がすこと
で、試料との接触を円滑にし、試料との摩擦、試料への
傷等が防止でき、連続かつ安定した抵抗値を計測するこ
とが可能な機構とした。
【０００７】
【作用】本発明は以上の手段を備えることによって、ス
リーブの表面に設けられた半導電性材料の膜の表面抵抗
値を連続的に測定することができる。
リーブの表面に設けられた半導電性材料の膜の表面抵抗
値を連続的に測定することができる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明の実施例装置のシステム構成を
示す説明図、図２は装置の正面及び側面図である。本発
明の測定システムは、図２に示すように、Ｘ軸上を移動
するテーブル（図示せず）上に装備される主軸台３００
と、テールストック側のチャック３３０を有する。主軸
台３００は、モータ３１０により駆動される絶縁コレッ
ト３１５を有し、絶縁コレット３１５はチャック３２０
を備える。チャック３２０は試料１２の金属芯金１２ａ
を把持して試料を矢印Ｒ方向に回動させる。テールスト
ック側のチャック３３０は試料１２の他端部を支持す
る。全体を符号１００で示す測定ヘッドは、図示しない
移動台に装備され、駆動装置によりＸ軸に直交するＺ軸
方向に移動自在となっている。
示す説明図、図２は装置の正面及び側面図である。本発
明の測定システムは、図２に示すように、Ｘ軸上を移動
するテーブル（図示せず）上に装備される主軸台３００
と、テールストック側のチャック３３０を有する。主軸
台３００は、モータ３１０により駆動される絶縁コレッ
ト３１５を有し、絶縁コレット３１５はチャック３２０
を備える。チャック３２０は試料１２の金属芯金１２ａ
を把持して試料を矢印Ｒ方向に回動させる。テールスト
ック側のチャック３３０は試料１２の他端部を支持す
る。全体を符号１００で示す測定ヘッドは、図示しない
移動台に装備され、駆動装置によりＸ軸に直交するＺ軸
方向に移動自在となっている。
【０００９】図３の（Ａ），（Ｂ）は測定ヘッド１００
の詳細を示す。測定ヘッド１００は、移動台に支持され
るブラケット１１０を有し、ブラケット１１０に取りつ
けられたシャフト１１２はベアリング１１４を介して電
極フレーム１２０を回動自在に支持する。電極フレーム
１２０には１対の電極軸１３０が植設され、この電極軸
１３０に第１の転がり電極１６０と、第２の転がり電極
１７０がとりつけられる。
の詳細を示す。測定ヘッド１００は、移動台に支持され
るブラケット１１０を有し、ブラケット１１０に取りつ
けられたシャフト１１２はベアリング１１４を介して電
極フレーム１２０を回動自在に支持する。電極フレーム
１２０には１対の電極軸１３０が植設され、この電極軸
１３０に第１の転がり電極１６０と、第２の転がり電極
１７０がとりつけられる。
【００１０】図１に示すように、第１の転がり電極１６
０は微小電流計６０に連結される。直流電源５０の正極
は、微小電流計６０を介して第１の転がり電極１６０に
正電圧を印加するとともに、主軸ヘッドを介して試料２
２の芯金１２ａ側にも同電位を与える。直流電源の負電
圧側は接地されるとともに、第２の転がり電極１７０に
連結される。直流電圧源５０と微小電流計６０のデータ
はコンピュータ２００へ送られる。コンピュータ２００
は入力装置２００、表示装置２１０、プリンタ２３０、
記録計２４０等に接続される。したがって、主軸台３０
０により試料を矢印Ｒ方向に回転しつつ第１の電極１６
０と第２の電極１７０との間に流れる電流を測定するこ
とにより、試料１２の半導電性材料膜２２の表面の抵抗
値を円周方向に連続して測定することができる。
０は微小電流計６０に連結される。直流電源５０の正極
は、微小電流計６０を介して第１の転がり電極１６０に
正電圧を印加するとともに、主軸ヘッドを介して試料２
２の芯金１２ａ側にも同電位を与える。直流電源の負電
圧側は接地されるとともに、第２の転がり電極１７０に
連結される。直流電圧源５０と微小電流計６０のデータ
はコンピュータ２００へ送られる。コンピュータ２００
は入力装置２００、表示装置２１０、プリンタ２３０、
記録計２４０等に接続される。したがって、主軸台３０
０により試料を矢印Ｒ方向に回転しつつ第１の電極１６
０と第２の電極１７０との間に流れる電流を測定するこ
とにより、試料１２の半導電性材料膜２２の表面の抵抗
値を円周方向に連続して測定することができる。
【００１１】図４は転がり電極１６０の構造の詳細を示
し、絶縁材でつくられたフレーム１２０に設けられたね
じ穴１２４にねじ込まれるボルト１３０は、ボルトを回
動させるノブ１３２と、ボルト１３０と、ノブ１３２の
間に設けられる球形部１４０と一体に形成される。転が
り電極１６０はラジアルベアリング構造を有し、アウタ
ーレース１６２、インナーレース１６４、アウターレー
ス１６２とインナーレース１６４の間に挿入されるボー
ル１６３及びボール１６３の位置を規制するリテーナ
（図示せず）を備える。
し、絶縁材でつくられたフレーム１２０に設けられたね
じ穴１２４にねじ込まれるボルト１３０は、ボルトを回
動させるノブ１３２と、ボルト１３０と、ノブ１３２の
間に設けられる球形部１４０と一体に形成される。転が
り電極１６０はラジアルベアリング構造を有し、アウタ
ーレース１６２、インナーレース１６４、アウターレー
ス１６２とインナーレース１６４の間に挿入されるボー
ル１６３及びボール１６３の位置を規制するリテーナ
（図示せず）を備える。
【００１２】インナーレース１６４の内周部はボルト１
３２と一体の球形部１４０に支持される。アウターレー
ス１６２はインナーレース１６４と共通の軸線を有する
ので、転がり電極１６０は球形部１４０を中心として、
矢印Ｓ方向に首振り運動をすることが可能となる。この
機構により、転がり電極１６０のアウターレース１６２
の外周面１６２ａは、ロール状の試料１２の円筒面に対
して確実に線接触を行なうことができる。
３２と一体の球形部１４０に支持される。アウターレー
ス１６２はインナーレース１６４と共通の軸線を有する
ので、転がり電極１６０は球形部１４０を中心として、
矢印Ｓ方向に首振り運動をすることが可能となる。この
機構により、転がり電極１６０のアウターレース１６２
の外周面１６２ａは、ロール状の試料１２の円筒面に対
して確実に線接触を行なうことができる。
【００１３】図５はロール状の試料１２の半導電性材料
層２２の外周部２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの表面の周方向
の抵抗値を測定する方法を示す。図６は、図５の測定に
より得られる測定結果を示すもので、横軸に試料の回転
角度を、たて軸に抵抗値をとったときの測定値の変化を
示す。図１２、図１３で示した従来の手段によれば、円
周方向を部分的に測定することしかできなかったが、本
発明によれば円周方向の抵抗値の変化を全周にわたって
連続的に測定することができる。
層２２の外周部２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃの表面の周方向
の抵抗値を測定する方法を示す。図６は、図５の測定に
より得られる測定結果を示すもので、横軸に試料の回転
角度を、たて軸に抵抗値をとったときの測定値の変化を
示す。図１２、図１３で示した従来の手段によれば、円
周方向を部分的に測定することしかできなかったが、本
発明によれば円周方向の抵抗値の変化を全周にわたって
連続的に測定することができる。
【００１４】なお、各測定ヘッド１００には分銅１９０
を載置し、試料１２に対する転がり電極の接触圧を一定
に保つことによって、測定精度を向上する。このときの
ロールの回転数はロールの外径、即ち周長と測定分解能
に応じ変化させ選択する。例えば、電流値を入力するパ
ーソナルコンピュータは微小電流計と通信を行ってお
り、電流値の最大入力数は毎分１２００データで、試料
の外径φ２５のロール端に設置されたモータの回転数は
毎分１回転とすると、測定分解能は６５μｍとなる。そ
の時の電流値を、記録計あるいはコンピュータへ入力し
グラフあるいは計算処理を行い、試料の抵抗値を計測し
た。その結果、図６に示すように従来決められた範囲の
みの抵抗値の変化がみられなかった測定に対し、連続的
に試料円周方向の抵抗値均一性を確認することができ
た。また、本装置の繰り返し測定精度は、±０．０５Ｌ
ｏｇΩと良好な精度を得ることができた。
を載置し、試料１２に対する転がり電極の接触圧を一定
に保つことによって、測定精度を向上する。このときの
ロールの回転数はロールの外径、即ち周長と測定分解能
に応じ変化させ選択する。例えば、電流値を入力するパ
ーソナルコンピュータは微小電流計と通信を行ってお
り、電流値の最大入力数は毎分１２００データで、試料
の外径φ２５のロール端に設置されたモータの回転数は
毎分１回転とすると、測定分解能は６５μｍとなる。そ
の時の電流値を、記録計あるいはコンピュータへ入力し
グラフあるいは計算処理を行い、試料の抵抗値を計測し
た。その結果、図６に示すように従来決められた範囲の
みの抵抗値の変化がみられなかった測定に対し、連続的
に試料円周方向の抵抗値均一性を確認することができ
た。また、本装置の繰り返し測定精度は、±０．０５Ｌ
ｏｇΩと良好な精度を得ることができた。
【００１５】図７は本発明の他の実施例を示す説明図で
ある。本発明はロール状の試料１２の外周部に設けられ
た半導電性材料層２２の抵抗値を軸線方向２２Ｌに沿っ
て測定する手段を提供するものである。図１〜図４で説
明した測定ヘッド１００を９０度旋回させて、第１の転
がり電極１６０と第２の転がり電極１７０がＸ軸方向に
ならぶように設定する。この状態で、試料１２を把持し
たテーブルまたは測定ヘッド１００を装備したテーブル
をＸ軸方向に移動することによって、半導電性材料層２
２の軸線２２Ｌに沿った抵抗値を検出することができ
る。
ある。本発明はロール状の試料１２の外周部に設けられ
た半導電性材料層２２の抵抗値を軸線方向２２Ｌに沿っ
て測定する手段を提供するものである。図１〜図４で説
明した測定ヘッド１００を９０度旋回させて、第１の転
がり電極１６０と第２の転がり電極１７０がＸ軸方向に
ならぶように設定する。この状態で、試料１２を把持し
たテーブルまたは測定ヘッド１００を装備したテーブル
をＸ軸方向に移動することによって、半導電性材料層２
２の軸線２２Ｌに沿った抵抗値を検出することができ
る。
【００１６】図８は測定結果を示すグラフであって、横
軸に試料の軸線方向の長さ寸法を、たて軸に抵抗値をと
ったときの抵抗値の変化を示す。試料の全長にわたっ
て、連続的に測定することができるので、測定精度が向
上する。
軸に試料の軸線方向の長さ寸法を、たて軸に抵抗値をと
ったときの抵抗値の変化を示す。試料の全長にわたっ
て、連続的に測定することができるので、測定精度が向
上する。
【００１７】図９は本発明の更に他の実施例を示す。本
実施例装置にあっては、測定ヘッド４００は１対の球状
転がり電極４１０，４２０を有する。本装置を用いて、
試料１２を矢印Ｒ方向に回転させながら、測定ヘッド４
００をＸ軸方向に送ることによって、半導電性材料層２
２の表面をスパイラル線２２Ｓに沿って走査し、抵抗値
を連続的に測定することができる。測定電極は必ずしも
試料より小さいわけではなく、試料の製造法によって
は、軸方向の抵抗値は均一な場合もあり、ロール回転方
向の抵抗値の均一性を評価できれば良い場合も発生す
る。
実施例装置にあっては、測定ヘッド４００は１対の球状
転がり電極４１０，４２０を有する。本装置を用いて、
試料１２を矢印Ｒ方向に回転させながら、測定ヘッド４
００をＸ軸方向に送ることによって、半導電性材料層２
２の表面をスパイラル線２２Ｓに沿って走査し、抵抗値
を連続的に測定することができる。測定電極は必ずしも
試料より小さいわけではなく、試料の製造法によって
は、軸方向の抵抗値は均一な場合もあり、ロール回転方
向の抵抗値の均一性を評価できれば良い場合も発生す
る。
【００１８】図１０は本発明の更に他の実施例を示す説
明図である。本実施例にあっては、測定ヘッド５００
は、１対のロール状の転がり電極５１０，５２０を有す
る。第１の転がり電極５１０と第２の転がり電極５２０
をロール状の試料１２の半導電性材料層２２に接触さ
せ、転がり電極と試料を回転させつつ、電極間に流れる
電流の値を検知することによって、試料の抵抗値を測定
することができる。本装置にあっては、試料の全長より
も長いロール状の転がり電極を用いるので、短時間で効
率の良い測定を実行することができる。
明図である。本実施例にあっては、測定ヘッド５００
は、１対のロール状の転がり電極５１０，５２０を有す
る。第１の転がり電極５１０と第２の転がり電極５２０
をロール状の試料１２の半導電性材料層２２に接触さ
せ、転がり電極と試料を回転させつつ、電極間に流れる
電流の値を検知することによって、試料の抵抗値を測定
することができる。本装置にあっては、試料の全長より
も長いロール状の転がり電極を用いるので、短時間で効
率の良い測定を実行することができる。
【００１９】
【発明の効果】 微小測定面積の抵抗値を連続計測でき、抵抗値の均一
性が評価できる。 転がり電極を使用することで安定した測定面積が得ら
れる。 転がり電極を使用することで試料の表面に傷を付けな
い。 金属蒸着、ペースト等の塗布、除去の各工程を行わず
に測定が可能であるため、試料を破壊しない。 ペーストを塗らずに測定することが可能なため自動計
測が容易である。
性が評価できる。 転がり電極を使用することで安定した測定面積が得ら
れる。 転がり電極を使用することで試料の表面に傷を付けな
い。 金属蒸着、ペースト等の塗布、除去の各工程を行わず
に測定が可能であるため、試料を破壊しない。 ペーストを塗らずに測定することが可能なため自動計
測が容易である。
【図１】 本発明の実施例装置のシステム構成図。
【図２】 本発明の実施例装置の正面及び側面図。
【図３】 本発明の実施例装置の測定ヘッドの正面及び
側面図。
側面図。
【図４】 転がり電極の詳細図。
【図５】 本発明による測定方法を示す説明図。
【図６】 測定結果のグラフ。
【図７】 本発明による測定方法の他の例を示す説明
図。
図。
【図８】 測定結果のグラフ。
【図９】 本発明による測定方法の他の例を示す説明
図。
図。
【図１０】 本発明による測定方法の他の例を示す説明
図。
図。
【図１１】 ＪＩＳの測定方法を示す説明図。
【図１２】 ＪＩＳの測定方法を示す説明図。
【図１３】 従来の測定方法を示す説明図。
１２ スリーブ、 ２２ 半導電性材料膜、 ５０ 直
流電源、 ６０ 微小電流計、 １６０ 第１の転がり
電極、 １７０ 第２の転がり電極、 ２００コンピュ
ータ、 ４１０，４２０ 球状転がり電極、 ５１０，
５２０ ロール状転がり電極。
流電源、 ６０ 微小電流計、 １６０ 第１の転がり
電極、 １７０ 第２の転がり電極、 ２００コンピュ
ータ、 ４１０，４２０ 球状転がり電極、 ５１０，
５２０ ロール状転がり電極。
Claims (6)
- 【請求項１】 試料の表面に接触される１対の電極を有
する測定ヘッドと、電極間に直流電圧を印加する電源
と、電極間に流れる電流を検知する電流計と、電流計に
より検知された電流値に基づいて試料の表面電気抵抗値
を演算する手段を備えた表面抵抗測定装置において、測
定ヘッドは軸間距離を固定された１対の転がり電極を有
し、測定ヘッドと試料を相対移動させる手段を備えるこ
とを特長とする表面抵抗測定装置。 - 【請求項２】 転がり電極は、ラジアルベアリング構造
を有する円筒電極であって、円筒電極を支持軸に対して
揺動自在に支持する手段を備える請求項１記載の表面抵
抗測定装置。 - 【請求項３】 転がり電極は球状の電極であって、１対
の球状電極をその中心間距離を一定に保ちつつ回転自在
に支持する測定ヘッドを備える請求項１記載の表面抵抗
測定装置。 - 【請求項４】 ロール状の測定試料を把持して回転させ
る主軸台及びテールストックと、主軸台及びテールスト
ックを搭載して試料の軸線方向に移動するテーブルと、
テーブルの移動方向に直交する方向に移動する測定ヘッ
ドと、測定ヘッドに装備される１対の転がり円筒電極
と、１対の転がり電極間に直流電圧を印加する電源と、
転がり電極間に流れる電流を検知する電流計と、電流計
により検知された電流値に基づいて試料の表面の電気抵
抗値を演算する手段と、測定結果を表示記録する手段
と、を備えてなる請求項１記載の表面抵抗測定装置。 - 【請求項５】 請求項４記載のロール状の測定試料を把
持して回転させる主軸台及びテールストックと、主軸台
及びテールストックを搭載して試料の軸線方向に移動す
るテーブルと、テーブルの移動方向に直交する方向に移
動する測定ヘッドと、測定ヘッドに装備される１対の転
がり円筒電極と、１対の転がり電極間に直流電圧を印加
する電源と、転がり電極間に流れる電流を検知する電流
計と、電流計により検知された電流値に基づいて試料の
表面の電気抵抗値を演算する手段と、測定結果を表示記
録する手段とを用いてロール状の試料の表面抵抗値を測
定する方法であって、円筒電極の回転軸が試料の回転軸
に対して並行する位置に測定ヘッドを設定し、ロール状
試料の外周面を円周に沿って連続的に表面抵抗値を測定
する方法。 - 【請求項６】 ロール状の測定試料を把持して回転させ
る主軸台及びテールストックと、主軸台及びテールスト
ックを搭載して試料の軸線方向に移動するテーブルと、
テーブルの移動方向に直交する方向に移動する測定ヘッ
ドと、測定ヘッドに装備される１対の転がり円筒電極
と、１対の転がり電極間に直流電圧を印加する電源と、
転がり電極間に流れる電流を検知する電流計と、電流計
により検知された電流値に基づいて試料の表面の電気抵
抗値を演算する手段と、測定結果を表示記録する手段と
を用いてロール状の試料の表面抵抗値を測定する方法で
あって、円筒電極の回転軸が試料の回転軸に対して直交
する位置に測定ヘッドを設定し、ロール状試料の外周面
の軸線に沿って連続的に表面抵抗値を測定する方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5570994A JPH07260848A (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 表面抵抗の測定装置及び測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5570994A JPH07260848A (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 表面抵抗の測定装置及び測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07260848A true JPH07260848A (ja) | 1995-10-13 |
Family
ID=13006416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5570994A Pending JPH07260848A (ja) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | 表面抵抗の測定装置及び測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07260848A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7502583B2 (en) * | 2004-09-10 | 2009-03-10 | Ricoh Company, Limited | Transfer device and image forming apparatus for enhancement of an image stored on a recording medium |
| JP2010221249A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Shibaura Mechatronics Corp | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| CN113176449A (zh) * | 2021-04-28 | 2021-07-27 | 湖北亿纬动力有限公司 | 一种测试极片、极片电阻测试方法及系统 |
-
1994
- 1994-03-25 JP JP5570994A patent/JPH07260848A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7502583B2 (en) * | 2004-09-10 | 2009-03-10 | Ricoh Company, Limited | Transfer device and image forming apparatus for enhancement of an image stored on a recording medium |
| JP2010221249A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Shibaura Mechatronics Corp | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| CN113176449A (zh) * | 2021-04-28 | 2021-07-27 | 湖北亿纬动力有限公司 | 一种测试极片、极片电阻测试方法及系统 |
| CN113176449B (zh) * | 2021-04-28 | 2022-10-14 | 湖北亿纬动力有限公司 | 一种测试极片、极片电阻测试方法及系统 |
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