JPH07260408A - アブソリュート型スケール装置 - Google Patents
アブソリュート型スケール装置Info
- Publication number
- JPH07260408A JPH07260408A JP5214594A JP5214594A JPH07260408A JP H07260408 A JPH07260408 A JP H07260408A JP 5214594 A JP5214594 A JP 5214594A JP 5214594 A JP5214594 A JP 5214594A JP H07260408 A JPH07260408 A JP H07260408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- casing
- pair
- scales
- longitudinal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 異波長２トラック位相差方式のアブソリュー
ト型スケール装置で検出部の磁気トランスジューサを周
囲の悪環境より保護する。 【構成】 ケーシング２１の空洞部２３内に摺動自在に
配設した少なくとも磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及
び２Ａ，２Ｂをケーシング内に密閉した状態でアブソリ
ュート型スケール装置を得る。
ト型スケール装置で検出部の磁気トランスジューサを周
囲の悪環境より保護する。 【構成】 ケーシング２１の空洞部２３内に摺動自在に
配設した少なくとも磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及
び２Ａ，２Ｂをケーシング内に密閉した状態でアブソリ
ュート型スケール装置を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は少なくとも２個の磁気ス
ケールを夫々の磁気格子の波長を異ならせて配設し、こ
れら磁気スケールに対向配置した磁気ヘッド等の磁気ト
ランスジューサから得られる２つの位相変調信号の位相
比較を行なってアブソリュート位置を測定する様に成し
た異波長２トラック位相差方式のスケール装置の構造に
関する。
ケールを夫々の磁気格子の波長を異ならせて配設し、こ
れら磁気スケールに対向配置した磁気ヘッド等の磁気ト
ランスジューサから得られる２つの位相変調信号の位相
比較を行なってアブソリュート位置を測定する様に成し
た異波長２トラック位相差方式のスケール装置の構造に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から異波長２トラック位相差方式の
アブソリュート型スケール装置は例えば本出願人が先に
提案した特公昭５０−２３６１８号公報に開示されてい
て公知である。
アブソリュート型スケール装置は例えば本出願人が先に
提案した特公昭５０−２３６１８号公報に開示されてい
て公知である。
【０００３】この様なアブソリュート型スケール装置の
構成及びその動作を図９及び図１０を用いて説明する１
７は全体としてアブソリュート型スケール装置を示し、
３はガラス、金属等の帯状板材上に磁気媒体がコーティ
ングされた磁気スケールを示す。この磁気スケールの磁
気媒体上の第１の磁気スケールＴ1 には一定波長λ1の
信号が記録され、第２の磁気スケールＴ2 にはＮλ1 ＝
λ2 （Ｎ−１）、（但しＮは整数）の信号が記録され、
互に異なる波長を有する磁気格子が形成されている。こ
の様な磁気スケール３は工作機械の移動部に帯状板材を
介して移動方向に延在する様に取り付けられている。
構成及びその動作を図９及び図１０を用いて説明する１
７は全体としてアブソリュート型スケール装置を示し、
３はガラス、金属等の帯状板材上に磁気媒体がコーティ
ングされた磁気スケールを示す。この磁気スケールの磁
気媒体上の第１の磁気スケールＴ1 には一定波長λ1の
信号が記録され、第２の磁気スケールＴ2 にはＮλ1 ＝
λ2 （Ｎ−１）、（但しＮは整数）の信号が記録され、
互に異なる波長を有する磁気格子が形成されている。こ
の様な磁気スケール３は工作機械の移動部に帯状板材を
介して移動方向に延在する様に取り付けられている。
【０００４】この様な第１及び第２のスケールＴ1 及び
Ｔ2 に対向して一対の磁束応答型磁気ヘッド１Ａと１Ｂ
並に２Ａと２Ｂが配され、これら１対の第１の磁気ヘッ
ド１Ａと１Ｂとはλ1 ／４だけ間隔を保持して、工作機
械の固定部に取り付けられ、同様に１対の第２の磁気ヘ
ッド２Ａ及び２Ｂはλ2 ／４だけ間隔を保持して工作機
械の固定部に第１の磁気ヘッド１Ａ及び１Ｂと並設する
様に配設されている。これら第１及び第２の１対の磁気
ヘッドには夫々励磁コイル及び出力コイルが巻回されて
いる。
Ｔ2 に対向して一対の磁束応答型磁気ヘッド１Ａと１Ｂ
並に２Ａと２Ｂが配され、これら１対の第１の磁気ヘッ
ド１Ａと１Ｂとはλ1 ／４だけ間隔を保持して、工作機
械の固定部に取り付けられ、同様に１対の第２の磁気ヘ
ッド２Ａ及び２Ｂはλ2 ／４だけ間隔を保持して工作機
械の固定部に第１の磁気ヘッド１Ａ及び１Ｂと並設する
様に配設されている。これら第１及び第２の１対の磁気
ヘッドには夫々励磁コイル及び出力コイルが巻回されて
いる。
【０００５】図９の系統図で４は発振回路であり、これ
よりｎｆｏ（例えば２０ＭＨｚ）の発振周波数信号が分
周回路５で分周され周波数ｆｏ（例えば２５ＫＨｚ）の
信号に分周され、定電流アンプ６に供給されて、夫々１
対の磁気ヘッド１Ａ及び１Ｂ並びに２Ａ及び２Ｂの励磁
巻線にｓｉｎ（ωｔ）（ω＝２πｆｏ）の励磁電流が供
給される。第１及び第２の１対の磁気ヘッド１Ａ及び１
Ｂ並びに２Ａ及び２Ｂは夫々λ1 ／４及びλ2 ／４＝π
／４だけ離間配置されている。
よりｎｆｏ（例えば２０ＭＨｚ）の発振周波数信号が分
周回路５で分周され周波数ｆｏ（例えば２５ＫＨｚ）の
信号に分周され、定電流アンプ６に供給されて、夫々１
対の磁気ヘッド１Ａ及び１Ｂ並びに２Ａ及び２Ｂの励磁
巻線にｓｉｎ（ωｔ）（ω＝２πｆｏ）の励磁電流が供
給される。第１及び第２の１対の磁気ヘッド１Ａ及び１
Ｂ並びに２Ａ及び２Ｂは夫々λ1 ／４及びλ2 ／４＝π
／４だけ離間配置されている。
【０００６】第１及び第２の１対の磁気ヘッド１Ａ及び
１Ｂ並びに２Ａ及び２Ｂの夫々の出力巻線にはＫＡ1 ，
ＫＢ1 ，ＫＡ2 ，ＫＢ2 で示す数１式の出力信号が出力
されて初段アンプ７Ａ1 及び７Ｂ1 並びに７Ａ2 及び７
Ｂ2 に供給される。
１Ｂ並びに２Ａ及び２Ｂの夫々の出力巻線にはＫＡ1 ，
ＫＢ1 ，ＫＡ2 ，ＫＢ2 で示す数１式の出力信号が出力
されて初段アンプ７Ａ1 及び７Ｂ1 並びに７Ａ2 及び７
Ｂ2 に供給される。
【０００７】
【数１】 ＫＡ1 ＝ｃｏｓ（２πｘ／λ1 ）ｓｉｎ（ωｔ） ＫＢ1 ＝ｓｉｎ（２πｘ／λ1 ）ｓｉｎ（ωｔ） ＫＡ2 ＝ｃｏｓ（２πｘ／λ2 ）ｓｉｎ（ωｔ） ＫＢ2 ＝ｓｉｎ（２πｘ／λ2 ）ｓｉｎ（ωｔ） （但しｘは磁気格子から各磁気ヘッドギャップまでのへ
だたり）
だたり）
【０００８】初段アンプ７Ｂ1 及び７Ｂ2 に供給された
ＫＢ1 及びＫＢ2 信号は位相シフト回路９Ａ及び９Ｂに
供給され位相調整が行われて、数２式で示す位相シフト
信号ＳＫＢ1 及びＳＫＢ2 を得る。
ＫＢ1 及びＫＢ2 信号は位相シフト回路９Ａ及び９Ｂに
供給され位相調整が行われて、数２式で示す位相シフト
信号ＳＫＢ1 及びＳＫＢ2 を得る。
【０００９】
【数２】 ＳＫＢ1 ＝ｓｉｎ（２πｘ／λ1 ）ｃｏｓ（ωｔ） ＳＫＢ2 ＝ｓｉｎ（２πｘ／λ2 ）ｃｏｓ（ωｔ）
【００１０】初段アンプ７Ａ1 及び７Ａ2 からの出力信
号ＫＡ1 及びＫＡ2 と位相シフト回路９Ａ及び９Ｂから
の位相シフト信号ＳＫＢ1 及びＳＫＢ2 は夫々加算回路
１０Ａ及び１０Ｂに供給されてＫＡ1 及びＳＫＢ1 信号
並びにＫＡ2 及びＳＫＢ2 が加算され、数３式に示す加
算信号は可変抵抗器等を介してゲイン調整が成された後
に帯域通過濾波器（ＢＰＦ）１１Ａ及び１１Ｂに供給さ
れる。
号ＫＡ1 及びＫＡ2 と位相シフト回路９Ａ及び９Ｂから
の位相シフト信号ＳＫＢ1 及びＳＫＢ2 は夫々加算回路
１０Ａ及び１０Ｂに供給されてＫＡ1 及びＳＫＢ1 信号
並びにＫＡ2 及びＳＫＢ2 が加算され、数３式に示す加
算信号は可変抵抗器等を介してゲイン調整が成された後
に帯域通過濾波器（ＢＰＦ）１１Ａ及び１１Ｂに供給さ
れる。
【００１１】
【数３】Ｓ1 ＝ＫＡ1 ＋ＳＫＢ1 ＝ｓｉｎ（ωｔ＋２π
ｘ／λ1 ） Ｓ2 ＝ＫＡ2 ＋ＳＫＢ2 ＝ｓｉｎ（ωｔ＋２πｘ／
λ2 ）
ｘ／λ1 ） Ｓ2 ＝ＫＡ2 ＋ＳＫＢ2 ＝ｓｉｎ（ωｔ＋２πｘ／
λ2 ）
【００１２】即ち、磁気ヘッド１Ａ，１Ｂ並に２Ａ，２
Ｂに対する磁気スケール３の変位ｘが加算出力信号Ｓ1
及びＳ2 の位相変位θ1 ＝２πｘ／λ1 及びθ2 ＝２π
ｘ／λ2 に変換される。この様に位相変調された信号波
形θ1 及びθ2 を図１０Ａ及び図１０Ｂに示す。これら
の波長は例えばλ1 ＝１４ｍｍ及びλ2 ＝１５ｍｍであ
る。
Ｂに対する磁気スケール３の変位ｘが加算出力信号Ｓ1
及びＳ2 の位相変位θ1 ＝２πｘ／λ1 及びθ2 ＝２π
ｘ／λ2 に変換される。この様に位相変調された信号波
形θ1 及びθ2 を図１０Ａ及び図１０Ｂに示す。これら
の波長は例えばλ1 ＝１４ｍｍ及びλ2 ＝１５ｍｍであ
る。
【００１３】次にＢＰＦ１１Ａ及び１１Ｂを通して帯域
制限を行った後に波形整形回路１２Ａ及び１２Ｂで矩形
波信号と成す。この様なλ1 及びλ2 の位相変調波を波
形整形した波形を図１０Ｄ及び図１０Ｅに示す。
制限を行った後に波形整形回路１２Ａ及び１２Ｂで矩形
波信号と成す。この様なλ1 及びλ2 の位相変調波を波
形整形した波形を図１０Ｄ及び図１０Ｅに示す。
【００１４】この様に波形整形回路１２Ａ及び１２Ｂで
波形整形した矩形波信号をパルス幅変調回路１３に供給
する。パルス幅変調回路１３では夫々矩形波信号の立ち
下がりでパルス幅（位相差）信号を図１０Ｆの様に得て
積分回路１４に供給することで位相差に相当する図１０
Ｇの如き電圧が得られる。この電圧をアンプ１５を介し
て増幅し、ゲイン調整及びオフセット調整を行なって出
力端子１６に図１０Ｈに示す様な直角三角形型のアナロ
グのアブソリュート波形を得る。
波形整形した矩形波信号をパルス幅変調回路１３に供給
する。パルス幅変調回路１３では夫々矩形波信号の立ち
下がりでパルス幅（位相差）信号を図１０Ｆの様に得て
積分回路１４に供給することで位相差に相当する図１０
Ｇの如き電圧が得られる。この電圧をアンプ１５を介し
て増幅し、ゲイン調整及びオフセット調整を行なって出
力端子１６に図１０Ｈに示す様な直角三角形型のアナロ
グのアブソリュート波形を得る。
【００１５】即ち、位相差θ1 とθ2 との差に対応した
図１０Ｃに示す１周期の位相差θ1−θ2 に於いて直角
三角波形が取り出せる。図１０Ｈの縦軸は直流電圧、横
軸は距離ｍｍ（２１０ｍｍ）、位相角、アブソリュート
値（ｍｍ）を夫々示している。
図１０Ｃに示す１周期の位相差θ1−θ2 に於いて直角
三角波形が取り出せる。図１０Ｈの縦軸は直流電圧、横
軸は距離ｍｍ（２１０ｍｍ）、位相角、アブソリュート
値（ｍｍ）を夫々示している。
【００１６】この様に絶対的な位相位置を２トラック位
相差方式で求めることが可能となる。
相差方式で求めることが可能となる。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】上述の如き２トラック
位相差方式のアブソリュート型スケール装置によると磁
気スケール３を構成する第１及び第２の磁気媒体から構
成されている第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2
は帯状板材を介して工作機械の移動部に取り付けられ、
１対の磁気ヘッド１Ａ及び１Ｂ並びに２Ａ及び２Ｂから
なる磁気トランスジューサは工作機械の固定部に取り付
けられる様に成されている。従って工作機械から油や切
削した時の切粉等が直接磁気トランスジューサや磁気ス
ケールに付着し、検出精度を低下させる等の問題があっ
た。
位相差方式のアブソリュート型スケール装置によると磁
気スケール３を構成する第１及び第２の磁気媒体から構
成されている第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2
は帯状板材を介して工作機械の移動部に取り付けられ、
１対の磁気ヘッド１Ａ及び１Ｂ並びに２Ａ及び２Ｂから
なる磁気トランスジューサは工作機械の固定部に取り付
けられる様に成されている。従って工作機械から油や切
削した時の切粉等が直接磁気トランスジューサや磁気ス
ケールに付着し、検出精度を低下させる等の問題があっ
た。
【００１８】又、磁気スケールを構成する第１及び第２
の磁気スケールＴ1 及びＴ2 は帯状板材上に並設配置さ
れているため磁気媒体間で磁気的な相互干渉を生じて測
定精度を低下させる等の問題があった。
の磁気スケールＴ1 及びＴ2 は帯状板材上に並設配置さ
れているため磁気媒体間で磁気的な相互干渉を生じて測
定精度を低下させる等の問題があった。
【００１９】更に、磁気スケール部分と磁気トランスジ
ューサ部分を工作機械に別々に取り付けるためにこれら
両者の位置合せが極めて煩雑となる問題があった。
ューサ部分を工作機械に別々に取り付けるためにこれら
両者の位置合せが極めて煩雑となる問題があった。
【００２０】本発明は叙上の問題点を解消したアブソリ
ュートスケール装置を提供しようとするもので、その目
的とするところは特に塵埃等が磁気トランスジューサに
付着して検出精度が低下するのを防止するためにケーシ
ング内に密閉する様に成したアブソリュートスケール装
置を提供するにある。
ュートスケール装置を提供しようとするもので、その目
的とするところは特に塵埃等が磁気トランスジューサに
付着して検出精度が低下するのを防止するためにケーシ
ング内に密閉する様に成したアブソリュートスケール装
置を提供するにある。
【００２１】本発明の他の目的は磁気スケールを構成す
る１対の第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 を相
互に磁気的干渉が生じない程度に隔離したアブソリュー
トスケール装置を提供するものである。
る１対の第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 を相
互に磁気的干渉が生じない程度に隔離したアブソリュー
トスケール装置を提供するものである。
【００２２】本発明の更に他の目的は工作機械への取り
付け時に磁気スケールと磁気トランスジューサの相対位
置を考慮しなくても、極めて容易に取り付けが可能なア
ブソリュート型スケール装置を提供するにある。
付け時に磁気スケールと磁気トランスジューサの相対位
置を考慮しなくても、極めて容易に取り付けが可能なア
ブソリュート型スケール装置を提供するにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】本発明のアブソリュート
型スケール装置はその例が図１に示されている様に長手
方向に沿って空洞部２３が設けられたケーシング２１
と、このケーシング２１の外周部２４又は空洞部２３内
にケーシング２１の長手方向に沿って配された少なくと
も１対の磁気スケールＴ1 及びＴ2 と、ケーシング２１
の空洞部２３内又は外周部２４にケーシング２１の長手
方向に摺動自在に１対の磁気スケールＴ1及びＴ2 と対
向配置された少なくとも１対の磁気トランスジューサ１
Ａ，１Ｂ及び２Ａ，２Ｂと、ケーシング２１又は磁気ト
ランスジューサ側１Ａ，１Ｂ又は２Ａ，２Ｂのいずれか
一方を固定部に固定し、他方を摺動自在とし、１対の磁
気スケールＴ1 及びＴ2 の磁界が相互に干渉しない程度
に離間配置して成るものである。
型スケール装置はその例が図１に示されている様に長手
方向に沿って空洞部２３が設けられたケーシング２１
と、このケーシング２１の外周部２４又は空洞部２３内
にケーシング２１の長手方向に沿って配された少なくと
も１対の磁気スケールＴ1 及びＴ2 と、ケーシング２１
の空洞部２３内又は外周部２４にケーシング２１の長手
方向に摺動自在に１対の磁気スケールＴ1及びＴ2 と対
向配置された少なくとも１対の磁気トランスジューサ１
Ａ，１Ｂ及び２Ａ，２Ｂと、ケーシング２１又は磁気ト
ランスジューサ側１Ａ，１Ｂ又は２Ａ，２Ｂのいずれか
一方を固定部に固定し、他方を摺動自在とし、１対の磁
気スケールＴ1 及びＴ2 の磁界が相互に干渉しない程度
に離間配置して成るものである。
【００２４】
【作用】本発明のアブソリュート型スケール装置によれ
ば第１及び第２のトランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び２
Ａ，２Ｂは閉蓋したケーシング２１内でケーシング２１
の長手方向に摺動自在と成されケーシング２１の外周部
２４の長手方向に延設し、１８０°対向配置された第１
及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 と対向する様に配
設させたので磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び２
Ａ，２Ｂへの塵埃や油の飛散による付着は回避可能とな
り、第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2の相互の
干渉が回避出来、工作機械への取り付けも容易なものが
得られる。
ば第１及び第２のトランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び２
Ａ，２Ｂは閉蓋したケーシング２１内でケーシング２１
の長手方向に摺動自在と成されケーシング２１の外周部
２４の長手方向に延設し、１８０°対向配置された第１
及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 と対向する様に配
設させたので磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び２
Ａ，２Ｂへの塵埃や油の飛散による付着は回避可能とな
り、第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2の相互の
干渉が回避出来、工作機械への取り付けも容易なものが
得られる。
【００２５】
【実施例】以下、本発明のアブソリュート型スケール装
置として異波長２トラック位相差方式の磁気スケール及
び磁気トランスジューサの取付構造の１例を図１乃至図
３によって詳記する。図１は側断面図、図２は平面図、
図３Ａは図１のＡ−Ａ断面矢視図、図３Ｂは図１のＢ方
向からみた磁気トランスジューサの平面図である。
置として異波長２トラック位相差方式の磁気スケール及
び磁気トランスジューサの取付構造の１例を図１乃至図
３によって詳記する。図１は側断面図、図２は平面図、
図３Ａは図１のＡ−Ａ断面矢視図、図３Ｂは図１のＢ方
向からみた磁気トランスジューサの平面図である。
【００２６】図１乃至図３のアブソリュート型スケール
装置は図２の平面外観並に図３の断面図に示す様に筒状
のケーシング２１を有する。このケーシング２１は円筒
状と成され、ステンレスパイプ等を所定寸法長さに切断
する。勿論、ケーシング２１の材質はアルミニウム、鉄
等の金属、或は塩化ビニルパイプ等の合成樹脂であって
もよい。金属の場合は非磁性体を選択するを可とする。
装置は図２の平面外観並に図３の断面図に示す様に筒状
のケーシング２１を有する。このケーシング２１は円筒
状と成され、ステンレスパイプ等を所定寸法長さに切断
する。勿論、ケーシング２１の材質はアルミニウム、鉄
等の金属、或は塩化ビニルパイプ等の合成樹脂であって
もよい。金属の場合は非磁性体を選択するを可とする。
【００２７】この様なケーシング２１の一側端の開口部
を金属、合成樹脂等で構成したベース２５で閉蓋する。
このベース２５は例えばキャップ状と成され、ケーシン
グ２１の外周部２４と嵌着する様な凹状の座ぐり部２６
が形成されている。例えばこの座ぐり部２６の内周に形
成した雌螺子とケーシング２１の外周に形成した雄螺子
とを螺合させて螺着させる。これらの固定方法は適宜方
法が選択可能である。又、このベース２５の矢印Ｃ側か
らみた形状は円形に限らず、例えば正方形状であっても
よい。正方形の場合一辺を工作機械の所定位置（固定位
置又は移動位置）に対接し易いのでアブソリュート型ス
ケール装置を取り付け易くすることが出来る。
を金属、合成樹脂等で構成したベース２５で閉蓋する。
このベース２５は例えばキャップ状と成され、ケーシン
グ２１の外周部２４と嵌着する様な凹状の座ぐり部２６
が形成されている。例えばこの座ぐり部２６の内周に形
成した雌螺子とケーシング２１の外周に形成した雄螺子
とを螺合させて螺着させる。これらの固定方法は適宜方
法が選択可能である。又、このベース２５の矢印Ｃ側か
らみた形状は円形に限らず、例えば正方形状であっても
よい。正方形の場合一辺を工作機械の所定位置（固定位
置又は移動位置）に対接し易いのでアブソリュート型ス
ケール装置を取り付け易くすることが出来る。
【００２８】円筒状のケーシング２１の外周部２４の１
８０°対向する上下（左右）にはその長手方向に沿って
第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 が貼着されて
いる。この第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 の
磁性媒体は例えば帯状に形成したゴム磁石で形成され、
λ1 ＝１４ｍｍ，λ2 ＝１５ｍｍの正弦波によって記録
が行われＮＳ，ＮＳ‥‥と磁気格子が形成されている。
８０°対向する上下（左右）にはその長手方向に沿って
第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 が貼着されて
いる。この第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 の
磁性媒体は例えば帯状に形成したゴム磁石で形成され、
λ1 ＝１４ｍｍ，λ2 ＝１５ｍｍの正弦波によって記録
が行われＮＳ，ＮＳ‥‥と磁気格子が形成されている。
【００２９】ケーシング２１のベース２５による閉蓋側
とは反対側の開口端には同じく円形又は正方形状の軸受
け２７を嵌着させる。この軸受け２７は滑りのよい金属
又はポリテトラ、フルオロエチレン等をキャップ状に構
成し、中心部に内軸２８と遊嵌する軸受部となる透孔２
９が穿たれ、凹状の座ぐり部３０が形成され、ケーシン
グ２１の外周部２４と嵌着して適宜方法で固定される。
勿論、この軸受け２７は工作機械への固定位置又は移動
位置の取付部材として用いられる。
とは反対側の開口端には同じく円形又は正方形状の軸受
け２７を嵌着させる。この軸受け２７は滑りのよい金属
又はポリテトラ、フルオロエチレン等をキャップ状に構
成し、中心部に内軸２８と遊嵌する軸受部となる透孔２
９が穿たれ、凹状の座ぐり部３０が形成され、ケーシン
グ２１の外周部２４と嵌着して適宜方法で固定される。
勿論、この軸受け２７は工作機械への固定位置又は移動
位置の取付部材として用いられる。
【００３０】ケーシング２１の外周部２４に固着した第
１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 の始端位置には
円周方向に溝を形成した位置決め凹部（又は凸部）３１
が形成されている。
１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 の始端位置には
円周方向に溝を形成した位置決め凹部（又は凸部）３１
が形成されている。
【００３１】上述の軸受２７はメタル型の軸受けとして
説明したが、内軸との摺動面となる透孔２９部分にベア
リング軸受けを介在させる様にしてもよい。
説明したが、内軸との摺動面となる透孔２９部分にベア
リング軸受けを介在させる様にしてもよい。
【００３２】ケーシング２１の空洞部２３内に軸受け２
７の軸受部を構成する透孔２９に摺接し、ケーシング２
１の長手方向に摺動自在と成された内軸２８を有する。
この内軸２８は金属、合成樹脂等の材料が用いられ、内
軸の一端にはフランジ部３２が構成され、このフランジ
部３２の直径はケーシング２１の空洞部２３を構成する
内径に接しない程度に所定のギャップを有する様に形成
する。更に内軸２８の長手方向に透孔３３が穿たれてい
る。
７の軸受部を構成する透孔２９に摺接し、ケーシング２
１の長手方向に摺動自在と成された内軸２８を有する。
この内軸２８は金属、合成樹脂等の材料が用いられ、内
軸の一端にはフランジ部３２が構成され、このフランジ
部３２の直径はケーシング２１の空洞部２３を構成する
内径に接しない程度に所定のギャップを有する様に形成
する。更に内軸２８の長手方向に透孔３３が穿たれてい
る。
【００３３】フランジ部３２の内軸２８側にはスライダ
ーブッシュ３４が内軸２８の外径に嵌着されている。こ
のスライダーブッシュ３４はポリテトラ、フルオロエチ
レン等の様に潤滑性のよい材料をカラー状に構成し、そ
の外周部を一部ケーシング２１の空洞部２３の内径部に
対接させ、例えば線接触する様に構成させて内軸２８を
軸受け２７とスライダーブッシュ３４間で両持ち支持さ
せつつ、軸方向に摺動自在となす。
ーブッシュ３４が内軸２８の外径に嵌着されている。こ
のスライダーブッシュ３４はポリテトラ、フルオロエチ
レン等の様に潤滑性のよい材料をカラー状に構成し、そ
の外周部を一部ケーシング２１の空洞部２３の内径部に
対接させ、例えば線接触する様に構成させて内軸２８を
軸受け２７とスライダーブッシュ３４間で両持ち支持さ
せつつ、軸方向に摺動自在となす。
【００３４】フランジ部３２の内軸側とは反対面に検出
部３５が取り付けられ、この検出部３５は、本例の場合
は磁束応答型磁気ヘッド（磁気変調型磁気ヘッド）であ
る第１及び第２の磁気トランジューサ１Ａ，１Ｂ並びに
２Ａ，２Ｂがフランジ部３２の背面に直接固着されてい
るが、磁気トランスジューサのギャップ面とケーシング
２１の内径とは所定のギャップＧ（例えば５ｍｍ）を有
する様に固定されている。
部３５が取り付けられ、この検出部３５は、本例の場合
は磁束応答型磁気ヘッド（磁気変調型磁気ヘッド）であ
る第１及び第２の磁気トランジューサ１Ａ，１Ｂ並びに
２Ａ，２Ｂがフランジ部３２の背面に直接固着されてい
るが、磁気トランスジューサのギャップ面とケーシング
２１の内径とは所定のギャップＧ（例えば５ｍｍ）を有
する様に固定されている。
【００３５】そして、１対の磁気トランスジューサ２Ａ
及び２Ｂを図１のＢ方向からみた場合の平面図が図３Ｂ
に示されている様に第２の磁気スケールＴ2 の長手方向
に沿って第１及び第２の磁気トランスジューサ２Ａ及び
２Ｂがλ2 ／４離間して配される様に成される。同様に
図１の矢印Ｄ方向からみた第１の磁気トランスジューサ
１Ａ及び１Ｂも図３Ｂのカッコ内に示す様にλ1 ／４離
間して第１の磁気スケールＴ1 の長手方向に沿って配設
されることになる。
及び２Ｂを図１のＢ方向からみた場合の平面図が図３Ｂ
に示されている様に第２の磁気スケールＴ2 の長手方向
に沿って第１及び第２の磁気トランスジューサ２Ａ及び
２Ｂがλ2 ／４離間して配される様に成される。同様に
図１の矢印Ｄ方向からみた第１の磁気トランスジューサ
１Ａ及び１Ｂも図３Ｂのカッコ内に示す様にλ1 ／４離
間して第１の磁気スケールＴ1 の長手方向に沿って配設
されることになる。
【００３６】上述の構成では第１及び第２の磁気トラン
スジューサとして、磁束応答型の磁気ヘッド１Ａ，１Ｂ
及び２Ａ，２Ｂを配設した場合を説明したが磁界の強さ
を電気信号として取り出し得るホール効果及び磁気抵抗
効果素子であるホールＩＣ及び磁気ダイオード、磁気ト
ランジスタ、ＭＲヘッド等を用いたり、各種コイルの磁
気誘導を用いる様に成したトランスジューサであってよ
いことは明らかである。
スジューサとして、磁束応答型の磁気ヘッド１Ａ，１Ｂ
及び２Ａ，２Ｂを配設した場合を説明したが磁界の強さ
を電気信号として取り出し得るホール効果及び磁気抵抗
効果素子であるホールＩＣ及び磁気ダイオード、磁気ト
ランジスタ、ＭＲヘッド等を用いたり、各種コイルの磁
気誘導を用いる様に成したトランスジューサであってよ
いことは明らかである。
【００３７】上述の検出部３５に配設された第１及び第
２の磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び２Ａ，２Ｂか
らの検出信号は内軸２８に穿った透孔３３に挿通したケ
ーブル３６を介して図９に示す外部回路に取り出され、
更に励磁巻線等へは発振器４等から励磁電流が供給され
る様に成されている。
２の磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び２Ａ，２Ｂか
らの検出信号は内軸２８に穿った透孔３３に挿通したケ
ーブル３６を介して図９に示す外部回路に取り出され、
更に励磁巻線等へは発振器４等から励磁電流が供給され
る様に成されている。
【００３８】上述の如き構成のアブソリュート型スケー
ル装置によれば、磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び
２Ａ，２Ｂはケーシング２１の空洞部２３内にベース２
５と軸受け２７を介して摺動自在に密閉されているので
油や切粉等の塵埃の付着を完全に防止可能なものが得ら
れる。
ル装置によれば、磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び
２Ａ，２Ｂはケーシング２１の空洞部２３内にベース２
５と軸受け２７を介して摺動自在に密閉されているので
油や切粉等の塵埃の付着を完全に防止可能なものが得ら
れる。
【００３９】又、第１及び第２の磁気スケールＴ1 及び
Ｔ2 も、非磁性体のケーシング２１の外周部２４に１８
０°対向して配設され、これら１対の第１及び第２の磁
気スケールＴ1 及びＴ2 は相互に磁気的干渉が生じない
程度に離間して配設することが可能となる。
Ｔ2 も、非磁性体のケーシング２１の外周部２４に１８
０°対向して配設され、これら１対の第１及び第２の磁
気スケールＴ1 及びＴ2 は相互に磁気的干渉が生じない
程度に離間して配設することが可能となる。
【００４０】更に、工作機械へのスケール装置の取付け
に際しても、ベース２５及び／又は軸受２７を介して、
工作機械の固定部又は移動部に固定し、内軸を工作機械
の移動部又は固定部に固着するだけで磁気スケールＴ1
及びＴ2 と磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び２Ａ，
２Ｂの相対位置を考慮しなくても、極めて簡単に、工作
機械等への取付けが行なえるものが得られる。
に際しても、ベース２５及び／又は軸受２７を介して、
工作機械の固定部又は移動部に固定し、内軸を工作機械
の移動部又は固定部に固着するだけで磁気スケールＴ1
及びＴ2 と磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び２Ａ，
２Ｂの相対位置を考慮しなくても、極めて簡単に、工作
機械等への取付けが行なえるものが得られる。
【００４１】上述の実施例では図３の様にケーシング２
１の外周部２４に第１及び第２の磁気スケールＴ1 及び
Ｔ2 として帯状のゴム磁石をケーシング２１の中心軸に
対し１８０°の角度、即ち上下外周に対向配置したが、
図４に示す様にケーシング２１の外周部２４に全面に磁
気媒体Ｔをコーティングし、これらの磁気媒体Ｔの上下
対向位置の第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 に
相当する帯状部（ケーシング２１の長手方向に沿った部
分）に異波長の正弦波信号を記録して所定の磁気格子を
ケーシングの長手方向に沿って並べる様にしてもよい。
尚、図４は図３と同様の図１のＡ−Ａ断面矢視図を示し
ている。この構成では第１及び第２の磁気スケールＴ1
及びＴ2 のケーシング２１への煩雑な貼着作業が省略出
来る。
１の外周部２４に第１及び第２の磁気スケールＴ1 及び
Ｔ2 として帯状のゴム磁石をケーシング２１の中心軸に
対し１８０°の角度、即ち上下外周に対向配置したが、
図４に示す様にケーシング２１の外周部２４に全面に磁
気媒体Ｔをコーティングし、これらの磁気媒体Ｔの上下
対向位置の第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 に
相当する帯状部（ケーシング２１の長手方向に沿った部
分）に異波長の正弦波信号を記録して所定の磁気格子を
ケーシングの長手方向に沿って並べる様にしてもよい。
尚、図４は図３と同様の図１のＡ−Ａ断面矢視図を示し
ている。この構成では第１及び第２の磁気スケールＴ1
及びＴ2 のケーシング２１への煩雑な貼着作業が省略出
来る。
【００４２】本例の更に他の構成としてケーシングの断
面が矩形状の筒状部材で構成したものを図５に示す。図
５は円筒部材２１を断面が矩形状の筒状部材からなるケ
ーシング２１Ａと成した図１のＡ−Ａ断面矢視図を示す
もので、合成樹脂材を断面がロ字状の注入口を有する金
型を介して引抜いた長尺の合成樹脂筒状部材を適当な長
さに切断して、第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ
2 を断面が矩形状のケーシング２１Ａの上下短辺３７外
周上に対向する様にケーシングの長手方向に沿って延設
したもので、例えば磁気媒体を帯状にコーティングさせ
て異波長の正弦波を記録している。又、断面がロ字状に
成された空洞部２３内に摺動自在に配設される検出ヘッ
ド部３５の第１及び第２の磁気トランスジューサ１Ａ，
１Ｂ及び２Ａ，２ＢはＭＲヘッドが用いられている。こ
の様な構成によれば第１及び第２の磁気スケールＴ1 及
びＴ2 の磁気的干渉を少なくする様に構成したアブソリ
ュート型スケール装置の薄型化が図れる。
面が矩形状の筒状部材で構成したものを図５に示す。図
５は円筒部材２１を断面が矩形状の筒状部材からなるケ
ーシング２１Ａと成した図１のＡ−Ａ断面矢視図を示す
もので、合成樹脂材を断面がロ字状の注入口を有する金
型を介して引抜いた長尺の合成樹脂筒状部材を適当な長
さに切断して、第１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ
2 を断面が矩形状のケーシング２１Ａの上下短辺３７外
周上に対向する様にケーシングの長手方向に沿って延設
したもので、例えば磁気媒体を帯状にコーティングさせ
て異波長の正弦波を記録している。又、断面がロ字状に
成された空洞部２３内に摺動自在に配設される検出ヘッ
ド部３５の第１及び第２の磁気トランスジューサ１Ａ，
１Ｂ及び２Ａ，２ＢはＭＲヘッドが用いられている。こ
の様な構成によれば第１及び第２の磁気スケールＴ1 及
びＴ2 の磁気的干渉を少なくする様に構成したアブソリ
ュート型スケール装置の薄型化が図れる。
【００４３】図６は本例のスケール装置の更に他の構成
を示すもので、ケーシング２１の断面を正方形状とした
長尺の筒状部材を図１のＡ−Ａに沿って切断したＡ−Ａ
方向矢視図である。
を示すもので、ケーシング２１の断面を正方形状とした
長尺の筒状部材を図１のＡ−Ａに沿って切断したＡ−Ａ
方向矢視図である。
【００４４】この構成ではケーシング２１Ｂとしては引
抜き鋼材が用いられる。又、本例では１対の磁気スケー
ルＴ1 及びＴ2 だけでなく、更にもう１組の異波長信号
が記録された磁気スケールＴ3 及びＴ4 が断面ロ字状の
ケーシング２１Ｂの上下左右内壁にケーシング２１Ｂの
長手方向に沿って配設される。更に検出部３５としては
第１〜第４の磁気スケールＴ1 〜Ｔ4 と対向し十字状に
例えばホール素子からなる磁気トランスジューサ１Ａ，
１Ｂ及び２Ａ，２Ｂ並びに３８Ａ，３８Ｂ及び３９Ａ，
３９Ｂが上記第１〜第４の磁気スケールＴ1 〜Ｔ4 と所
定のギャップＧ 1 を介して対向配置されている。勿論、
検出部は内軸２８の先端に係止され、ケーシング２１の
長手方向に摺動自在と成されている。
抜き鋼材が用いられる。又、本例では１対の磁気スケー
ルＴ1 及びＴ2 だけでなく、更にもう１組の異波長信号
が記録された磁気スケールＴ3 及びＴ4 が断面ロ字状の
ケーシング２１Ｂの上下左右内壁にケーシング２１Ｂの
長手方向に沿って配設される。更に検出部３５としては
第１〜第４の磁気スケールＴ1 〜Ｔ4 と対向し十字状に
例えばホール素子からなる磁気トランスジューサ１Ａ，
１Ｂ及び２Ａ，２Ｂ並びに３８Ａ，３８Ｂ及び３９Ａ，
３９Ｂが上記第１〜第４の磁気スケールＴ1 〜Ｔ4 と所
定のギャップＧ 1 を介して対向配置されている。勿論、
検出部は内軸２８の先端に係止され、ケーシング２１の
長手方向に摺動自在と成されている。
【００４５】この場合は第１及び第２の磁気スケールＴ
1 及びＴ2 並びに第３及び第４の磁気スケールＴ3 及び
Ｔ4 で位相変調信号を夫々取り出し、その位置比較信号
同士を位相比較して、より１波長の周期が長い図１０Ｃ
に示す様な絶対値を得るための波形を電気的に得る場合
に用い得る。この構成では磁気スケールＴ1 〜Ｔ4 並び
に磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び２Ａ，２Ｂ並び
に３８Ａ，３８Ｂ及び３９Ａ，３９Ｂがケーシング２１
Ｂ内に完全に密閉出来るので塵埃の影響を磁気スケール
及び磁気トランスジューサが共に受けずに精度よく測定
可能なアブソリュート型スケール装置が得られる。上述
の各実施例ではケーシング２１，２１Ａ，２１Ｂとして
断面が円形、矩形並びに正方形状の筒状部材を用いた
が、断面が六角形、八角形等の多角形状の筒状部材を用
い得ることは明らかである。
1 及びＴ2 並びに第３及び第４の磁気スケールＴ3 及び
Ｔ4 で位相変調信号を夫々取り出し、その位置比較信号
同士を位相比較して、より１波長の周期が長い図１０Ｃ
に示す様な絶対値を得るための波形を電気的に得る場合
に用い得る。この構成では磁気スケールＴ1 〜Ｔ4 並び
に磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ及び２Ａ，２Ｂ並び
に３８Ａ，３８Ｂ及び３９Ａ，３９Ｂがケーシング２１
Ｂ内に完全に密閉出来るので塵埃の影響を磁気スケール
及び磁気トランスジューサが共に受けずに精度よく測定
可能なアブソリュート型スケール装置が得られる。上述
の各実施例ではケーシング２１，２１Ａ，２１Ｂとして
断面が円形、矩形並びに正方形状の筒状部材を用いた
が、断面が六角形、八角形等の多角形状の筒状部材を用
い得ることは明らかである。
【００４６】図７及び図８に本発明の更に他の構成を示
す。この例はケーシング２１Ｃ，２１Ｄとしてアルミニ
ウム等の引抜成型部材を用いたものである。図７の場合
は空洞部２３に対応する溝部２３Ａ〜２３Ｄが断面を正
方形状の各辺の外周中央近傍に長手方向に沿って延設さ
れている。この溝部２３Ａ及び２３Ｂに第１及び第２の
磁気スケールＴ1 及びＴ2 がケーシング２１の長手方向
に沿って貼着されている。
す。この例はケーシング２１Ｃ，２１Ｄとしてアルミニ
ウム等の引抜成型部材を用いたものである。図７の場合
は空洞部２３に対応する溝部２３Ａ〜２３Ｄが断面を正
方形状の各辺の外周中央近傍に長手方向に沿って延設さ
れている。この溝部２３Ａ及び２３Ｂに第１及び第２の
磁気スケールＴ1 及びＴ2 がケーシング２１の長手方向
に沿って貼着されている。
【００４７】勿論、この構成では内軸２８を挿通する円
筒状の空洞部２３がないので、左右の空洞部２３に対応
する溝部２３Ｃ及び２３Ｄ内に断面が矩形状のロッド４
１Ａ及び４１Ｂを摺動自在に枢着し、これら両ロッドの
先端の上下に断面が略々コ字状に折り曲げられた一定幅
の板材で構成したスライダ４０Ａ及び４０Ｂを枢着させ
る。
筒状の空洞部２３がないので、左右の空洞部２３に対応
する溝部２３Ｃ及び２３Ｄ内に断面が矩形状のロッド４
１Ａ及び４１Ｂを摺動自在に枢着し、これら両ロッドの
先端の上下に断面が略々コ字状に折り曲げられた一定幅
の板材で構成したスライダ４０Ａ及び４０Ｂを枢着させ
る。
【００４８】スライダ４０Ａ及び４０Ｂはケーシング２
１Ｃの長手方向に沿って摺動自在となされる。よって第
１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 と対向する位置
に所定のギャップＧ2 を介して磁気トランスジューサ１
Ａ，１Ｂ並びに２Ａ，２Ｂをスライダ４０Ａ，４０Ｂの
裏面に固定させる様に成す。この構成の場合、ケーシン
グ２１Ｃの空洞部対応の溝部２３Ａ，２３Ｂに対向配置
された磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂはスライダ４０
Ａ及び４０Ｂで密閉する様に成すことはすこぶる簡単に
行なえるので、磁気トランスジューサへの油の飛散等は
防止可能となる。
１Ｃの長手方向に沿って摺動自在となされる。よって第
１及び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 と対向する位置
に所定のギャップＧ2 を介して磁気トランスジューサ１
Ａ，１Ｂ並びに２Ａ，２Ｂをスライダ４０Ａ，４０Ｂの
裏面に固定させる様に成す。この構成の場合、ケーシン
グ２１Ｃの空洞部対応の溝部２３Ａ，２３Ｂに対向配置
された磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂはスライダ４０
Ａ及び４０Ｂで密閉する様に成すことはすこぶる簡単に
行なえるので、磁気トランスジューサへの油の飛散等は
防止可能となる。
【００４９】図８に示した引抜部材から構成した長尺の
ケーシング２１Ｄは断面が正方形のロ字状で筒状体に構
成されると共に上下辺の中央部にケーシング２１Ｄの長
手方向に沿って溝部２３Ａ，２３Ｂが形成され、これら
の溝部内にケーシング２１Ｄの長手方向に沿って帯状の
磁気スケールＴ1 及びＴ2 が配され夫々異波長記録が成
されている。
ケーシング２１Ｄは断面が正方形のロ字状で筒状体に構
成されると共に上下辺の中央部にケーシング２１Ｄの長
手方向に沿って溝部２３Ａ，２３Ｂが形成され、これら
の溝部内にケーシング２１Ｄの長手方向に沿って帯状の
磁気スケールＴ1 及びＴ2 が配され夫々異波長記録が成
されている。
【００５０】更に断面正方形状の空洞部２３内の左右内
壁の略々中央位置から空洞部２３内に対向する様にガイ
ド部４２Ａ及び４２Ｂが突出されている。この両ガイド
部４２Ａ及び４２Ｂはケーシング２１Ｄの長手方向に沿
って延設されている。検出部３５は内軸２８の終端に設
けたフランジ部（正方形状）３２に取り付けられ、略々
十字状に形成され磁気スケールＴ1 及びＴ2 と対向する
位置に空洞部２３内壁と所定ギャップＧ3 を介して第１
及び第２の磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ並びに２
Ａ，２Ｂが配され、検出部３５の左右突出部にはガイド
部４２Ａ及び４２Ｂを挟む様にベアリング等を介在さ
せ、検出部３５をケーシング２１Ｄの長手方向に摺動自
在と成す。更にケーシング２１Ｄの上下に帯状の板材か
らなる蓋部４３Ａ及び４３Ｂで磁気スケールＴ1 及びＴ
2 を覆う様に閉蓋する様に成されている。
壁の略々中央位置から空洞部２３内に対向する様にガイ
ド部４２Ａ及び４２Ｂが突出されている。この両ガイド
部４２Ａ及び４２Ｂはケーシング２１Ｄの長手方向に沿
って延設されている。検出部３５は内軸２８の終端に設
けたフランジ部（正方形状）３２に取り付けられ、略々
十字状に形成され磁気スケールＴ1 及びＴ2 と対向する
位置に空洞部２３内壁と所定ギャップＧ3 を介して第１
及び第２の磁気トランスジューサ１Ａ，１Ｂ並びに２
Ａ，２Ｂが配され、検出部３５の左右突出部にはガイド
部４２Ａ及び４２Ｂを挟む様にベアリング等を介在さ
せ、検出部３５をケーシング２１Ｄの長手方向に摺動自
在と成す。更にケーシング２１Ｄの上下に帯状の板材か
らなる蓋部４３Ａ及び４３Ｂで磁気スケールＴ1 及びＴ
2 を覆う様に閉蓋する様に成されている。
【００５１】上述の構成によれば空洞部２３内の検出部
３５は密閉され、磁気トランスジューサへの塵埃付着が
防止出来ると共に磁気スケールＴ1 及びＴ2 への油の飛
散等も回避可能なアブソリュート型スケール装置が得ら
れる。
３５は密閉され、磁気トランスジューサへの塵埃付着が
防止出来ると共に磁気スケールＴ1 及びＴ2 への油の飛
散等も回避可能なアブソリュート型スケール装置が得ら
れる。
【００５２】
【発明の効果】本発明のアブソリュート型スケール装置
によれば特に塵埃等が磁気トランスジューサに付着して
検出精度が低下するのを防止出来ると共に１対の第１及
び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 が相互に磁気的干渉
が生じない構成と成し得る。更に工作機械への取付け時
に磁気スケールと磁気トランスジューサの相対位置を考
慮しなくても、極めて容易に取り付けが可能なアブソリ
ュート型スケール装置が得られる。
によれば特に塵埃等が磁気トランスジューサに付着して
検出精度が低下するのを防止出来ると共に１対の第１及
び第２の磁気スケールＴ1 及びＴ2 が相互に磁気的干渉
が生じない構成と成し得る。更に工作機械への取付け時
に磁気スケールと磁気トランスジューサの相対位置を考
慮しなくても、極めて容易に取り付けが可能なアブソリ
ュート型スケール装置が得られる。
【図１】本発明のアブソリュート型スケール装置の一実
施例を示す側断面図である。
施例を示す側断面図である。
【図２】本発明のアブソリュート型スケール装置の一実
施例を示す外観図である。
施例を示す外観図である。
【図３】図１のＡ−Ａ断面及びＢ矢視図である。
【図４】本発明の他の構成を説明する図１のＡ−Ａ断面
に対応する矢視図である。
に対応する矢視図である。
【図５】本発明の更に他の構成で多角形にしたケーシン
グを説明する図１のＡ−Ａ断面に対応する矢視図であ
る。
グを説明する図１のＡ−Ａ断面に対応する矢視図であ
る。
【図６】本発明の更に他の構成で２対の磁気スケールを
説明する図１のＡ−Ａ断面に対応する矢視図である。
説明する図１のＡ−Ａ断面に対応する矢視図である。
【図７】本発明の更に他の構成で引抜型材を用いたケー
シングを説明する図１のＡ−Ａ断面に対応する矢視図で
ある。
シングを説明する図１のＡ−Ａ断面に対応する矢視図で
ある。
【図８】本発明の更に他の構成で筒状の引抜型材を用い
たケーシングを説明する図１のＡ−Ａ断面に対応する矢
視図である。
たケーシングを説明する図１のＡ−Ａ断面に対応する矢
視図である。
【図９】従来の異波長２トラック位相差方式のアブソリ
ュート型スケール装置の系統図である。
ュート型スケール装置の系統図である。
【図１０】図９の波形説明図である。
Ｔ1 ，Ｔ2 第１及び第２の磁気スケール １Ａ，１Ｂ，２Ａ，２Ｂ 第１及び第２の磁気トランス
ジューサ ２１ ケーシング ２３ 空洞部 ２８ 内軸
ジューサ ２１ ケーシング ２３ 空洞部 ２８ 内軸
Claims (5)
- 【請求項１】 長手方向に沿って空洞部が設けられたケ
ーシングと、 上記ケーシングの外周部又は上記空洞部内に該ケーシン
グの長手方向に沿って配された少なくとも１対の磁気ス
ケールと、 上記ケーシングの上記空洞部内又は外周部に該ケーシン
グの長手方向に摺動自在に上記磁気スケールと対向配置
された少なくとも１対の磁気トランスジューサと、 上記ケーシング又は上記磁気トランスジューサ側のいず
れか一方を固定部に固定し、他方を摺動自在とし、上記
１対の磁気スケールの磁界が相互に干渉しない程度に離
間配置して成ることを特徴とするアブソリュート型スケ
ール装置。 - 【請求項２】 前記ケーシングを中空部を有する筒状部
材で構成させて成ることを特徴とする請求項１記載のア
ブソリュート型スケール装置。 - 【請求項３】 前記ケーシングの長手方向に連続して上
記空洞部として溝部を形成したことを特徴とする請求項
１又は請求項２記載のアブソリュート型スケール装置。 - 【請求項４】 前記ケーシング内に摺動自在に配設され
る前記磁気トランスジューサ又は前記磁気スケールを密
閉する様に構成させて成ることを特徴とする請求項１乃
至請求項３記載のいずれか１項記載のアブソリュート型
スケール装置。 - 【請求項５】 前記ケーシング外に配設した磁気スケー
ル又は磁気トランスジューサを密閉する様に構成させて
成ることを特徴とする請求項１乃至請求項４記載のいず
れか１項記載のアブソリュート型スケール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5214594A JPH07260408A (ja) | 1994-03-23 | 1994-03-23 | アブソリュート型スケール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5214594A JPH07260408A (ja) | 1994-03-23 | 1994-03-23 | アブソリュート型スケール装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07260408A true JPH07260408A (ja) | 1995-10-13 |
Family
ID=12906716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5214594A Pending JPH07260408A (ja) | 1994-03-23 | 1994-03-23 | アブソリュート型スケール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07260408A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006275680A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Sony Corp | 磁気スケール |
| JP2006292459A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Sony Corp | 磁気スケール |
| US7400947B2 (en) | 2003-07-22 | 2008-07-15 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Seat status detecting device |
| JP4660719B2 (ja) * | 2001-04-19 | 2011-03-30 | マッスル株式会社 | 位置検出方法および位置検出装置 |
| JP4718326B2 (ja) * | 2003-06-20 | 2011-07-06 | 株式会社ミクニ | 非接触ポジションセンサ |
| JP2013527445A (ja) * | 2010-04-30 | 2013-06-27 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 磁気式長さ計測システム、長さ計測方法並びに磁気式長さ計測システムの製造方法 |
| JP2017219547A (ja) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | スケール本体及びエンコーダ |
-
1994
- 1994-03-23 JP JP5214594A patent/JPH07260408A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4660719B2 (ja) * | 2001-04-19 | 2011-03-30 | マッスル株式会社 | 位置検出方法および位置検出装置 |
| JP4718326B2 (ja) * | 2003-06-20 | 2011-07-06 | 株式会社ミクニ | 非接触ポジションセンサ |
| US7400947B2 (en) | 2003-07-22 | 2008-07-15 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Seat status detecting device |
| JP2006275680A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Sony Corp | 磁気スケール |
| JP2006292459A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Sony Corp | 磁気スケール |
| JP2013527445A (ja) * | 2010-04-30 | 2013-06-27 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 磁気式長さ計測システム、長さ計測方法並びに磁気式長さ計測システムの製造方法 |
| US9410788B2 (en) | 2010-04-30 | 2016-08-09 | Continental Automotive Gmbh | Magnetic length measuring system, length measuring method and method for producing a magnetic length measuring system |
| JP2017219547A (ja) * | 2016-06-07 | 2017-12-14 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングＤｒ． Ｊｏｈａｎｎｅｓ Ｈｅｉｄｅｎｈａｉｎ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ Ｍｉｔ Ｂｅｓｃｈｒａｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | スケール本体及びエンコーダ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3246727B2 (ja) | 誘導型電子ノギス | |
| US6057684A (en) | Magnetic flaw detection apparatus using an E-shaped magnetic sensor and high-pass filter | |
| JP3469903B2 (ja) | 渦電流センサ | |
| US4918418A (en) | Inductive coil structure with electrical return path | |
| US9435663B2 (en) | Absolute position encoder scale having layers in a stacked configuration | |
| US4899598A (en) | Apparatus for measuring torque applied to a shaft | |
| JPH07260408A (ja) | アブソリュート型スケール装置 | |
| JP2013536945A (ja) | 改良された振動部材を備えた振動式デンシトメーター | |
| US7304292B2 (en) | Displacement sensor having a phase variation of an impedance | |
| US9869744B2 (en) | Locator self-test | |
| US4909088A (en) | Apparatus for mounting a sensor | |
| JP3489337B2 (ja) | 位置検出装置 | |
| JP2003156364A (ja) | スライド位置検出装置を備えた直動装置 | |
| JPH04270901A (ja) | ストロークセンサ | |
| US4858818A (en) | Method of bonding a magnetostrictive sheet to a shaft | |
| US4599531A (en) | Rotation detector | |
| US10837802B2 (en) | Position sensing system with an electromagnet | |
| JPH0749245A (ja) | 磁気スケール装置 | |
| JP2798428B2 (ja) | 磁性薄膜の磁化特性測定方法 | |
| JPS6066525A (ja) | エンコ−ダ | |
| JPH0240573Y2 (ja) | ||
| JP3626162B2 (ja) | 磁性体試料の不可逆磁化率測定方法および装置 | |
| JPS58204313A (ja) | リニヤスケ−ルの検出ヘツド | |
| JPH11166802A (ja) | 磁気式変位検出装置 | |
| JP2709606B2 (ja) | リニヤモータ |