JPH07256621A - 積層体の製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単な機械的構成で静水圧プレス機と同程度
の均一な圧力を得ることができる積層体の製造方法およ
び製造装置を提供する。 【構成】 グリーンシート５４を熱発生部４６により予
め加熱されている材料固定台４９に固定した後、図示し
ない真空ポンプを駆動させる。上型２０を矢印１００方
向へ移動させ、液体を積層体の製造装置１の液体注入部
３０と液体注入部３１とに加圧注入することにより、液
体注入部３０と液体注入部３１の内圧は上昇しダイヤフ
ラム支持部材３２に支えられないダイヤフラム３７の一
部が液体注入部３１の外側へ向かって可動しようとす
る。このため、ダイヤフラム３７に接触しているグリー
ンシート５４の平坦面は、ダイヤフラム３７による均一
な圧力と液体による熱とが加えられ、規定の圧力を例え
ば６０秒間保持することによりグリーンシート５４が積
層され接合される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、粘土等からなる複数の
板状のグリーンシートに均一な圧力を加え積層体を製造
する方法およびその製造装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】薄板状のグリーンシートの積層体（多層
プリント配線板等）を製造する工程において、複数のグ
リーンシートの平坦面に均一な圧力を加え各グリーンシ
ートを密着させるため静水圧プレス機を使用する方法が
知られている。この静水圧プレス方法は、各グリーンシ
ートに接着剤を塗布し仮積層したグリーンシートを袋に
入れ、この袋を真空状態にした後、静水圧プレス機の中
で袋の外部から高い圧力を加えることにより袋内のグリ
ーンシートに均圧が加わり、仮積層したグリーンシート
を均一に密着させる方法である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この従来の静
水圧プレス機を使用する積層方法によると、仮積層した
材料を静水圧プレス機に投入する前に予め材料を袋に入
れ真空状態にする工程と、均圧積層処理後の積層体が入
った袋を静水圧プレス機から回収して袋から積層体を取
り出す工程とが必要になり、手間が掛かかるため工程が
煩雑になる問題がある。また、静水圧プレス機は、設備
規模が大きく、高価格であり、保守管理等の負担が大き
いという問題もある。

【０００４】そこで、従来の機械的な型プレス機を使用
して複数のグリーンシート全面に圧力を加え各グリーン
シートを密着させ積層体を製造する方法が考えられる
が、この方法では、グリーンシートの平坦度が出ていな
いことにより面全面に均一な圧力を加えることが困難な
ため複数のグリーンシート間の収縮率が不均一になり製
造された積層体に変形が生じるという新たな問題が発生
する。

【０００５】本発明は、このような問題を解決するため
になされたもので、簡単な機械的構成で静水圧プレス機
と同程度の均一な圧力を得ることができる積層体の製造
方法および製造装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
めの本発明の請求項１による積層体の製造方法では、複
数の板状のグリーンシートを均圧積層する方法であっ
て、前記グリーンシートを第２の型に固定する工程と、
支持部材により支持されるダイヤフラムが前記グリーン
シートに接触するまで第１の型を移動させる工程と、一
定時間継続して液圧を前記ダイヤフラムに加えることに
より前記複数のグリーンシートを加圧する工程とを含む
ことを特徴とする。

【０００７】また、本発明の請求項２による積層体の製
造方法では、前記支持部材は、前記ダイヤフラムが前記
グリーンシートに接触するとき前記グリーンシートの表
面と前記グリーンシートの周囲に位置する前記ダイヤフ
ラムとから形成される段差を所定の範囲内に収めるよう
に前記ダイヤフラムを支持することを特徴とする。ま
た、本発明の請求項３による積層体の製造方法では、前
記ダイヤフラムはヤング率が０．０３×１０⁶kgf／cm²
以上であることを特徴とする。

【０００８】また、前記の課題を解決するための本発明
の請求項４による積層体の製造装置は、液圧により可動
するダイヤフラムを有する第３の型と、複数の板状のグ
リーンシートを固定する手段を有する第４の型と、前記
ダイヤフラムが前記グリーンシートに接触するまで前記
第３の型または第４の型のうち少なくとも一方を移動さ
せる移動手段と、前記ダイヤフラムが前記グリーンシー
トに接触するとき前記グリーンシートの表面と前記グリ
ーンシートの周囲に位置する前記ダイヤフラムとから形
成される段差を所定の範囲内に収めるように前記ダイヤ
フラムを支持する支持手段とを備えたことを特徴とする
構成を有する。

【０００９】また、本発明の請求項５による積層体の製
造装置では、前記ダイヤフラムはヤング率が０．０３×
１０⁶kgf／cm² 以上であることを特徴とする。

【００１０】

【作用】本発明の積層体の製造方法および製造装置によ
ると、簡単な機械的一軸プレス機で静水圧プレス機と同
程度の均一な圧力をグリーンシートに作用させることが
でき、グリーンシートの積層体を容易に製造することが
できる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。 （第１実施例）図１および図２に示すように、本発明の
第１実施例による積層体の製造装置１は、上型２０と下
型４０と図示しない上型移動手段とから構成される。

【００１２】上型２０は、基台２１と固定台２２と容器
上部２４と容器下部２６とダイヤフラム支持部材３２と
ダイヤフラム３７とから構成される。また図示しない上
型移動手段を有する上型２０は、上型２０の凹部３４に
下型４０の材料固定台４９が嵌合するように上型２０を
下方へ移動させることができる。ねじ２３により基台２
１に固定される固定台２２は、８０℃程度の熱により変
形しない耐熱性および耐圧縮強度に優れた例えば樹脂、
セラミックまたは合成樹脂とアスベスト繊維とからなる
断熱材等を材料とする。ねじ２５により固定台２２に固
定される容器上部２４は、液体注入部３０の上部分を構
成する。ねじ２７により容器上部２４に固定される容器
下部２６は、液体注入部３０の下部分を構成する。ま
た、容器下部２６は、液体注入部３０に連通する円板状
の空間からなる液体注入部３１と、容器上部２４と容器
下部２６との接合部分からの液漏れを防止するＯリング
２８が入る溝部と、前記容器下部２６とダイヤフラム支
持部材３２との接合部分からの液漏れを防止するＯリン
グ２９が入る溝部とを有する。容器上部２４と容器下部
２６との双方に形成される液体注入部３０は、柱状から
なる空間と図示しない液体注入口と図示しない液体排出
口とを有する。ねじ３３により容器下部２６に固定され
るダイヤフラム支持部材３２は、中空四角柱状の凹部３
４と、凹部３４の下方に広がる中空角錐台状の凹部３５
と、凹部３５の下方開口部に連結する凹部３６とを有す
る。円形板状に成形されたダイヤフラム３７は、液体注
入部３１の開口部全面を塞ぎ、円形状板の全周を容器下
部２６とダイヤフラム支持部材３２とに挟まれ固定され
る。グリーンシート５４のなだらかな厚みのばらつきに
対応して均一に加圧させること、およびグリーンシート
５４の表面に加工された穴、凹部またはグリーンシート
５４の内部に設けられた空孔等を変形させないことがダ
イヤフラム３７に要求される。そのため、ダイヤフラム
３７の材質は弾性と剛性とを備える金属であることが望
ましい。またダイヤフラム３７の厚さは加圧圧力とグリ
ーンシート５４に加工された穴、凹部、空孔等の大きさ
により決定される。ダイヤフラム３７は必ずグリーンシ
ート５４と重ねられた状態で加圧されるためダイヤフラ
ム３７単体で加圧圧力に耐える必要はない。したがっ
て、例えばステンレス鋼板を用いる場合、２０kg／cm²
の圧力で加圧するときのダイヤフラム３７の厚さは１ｍ
ｍ〜０．３ｍｍ程度から選択することができる。第１実
施例のダイヤフラム３７は２０kg／cm² の圧力で加圧さ
れるため厚さ０．３ｍｍまたは０．５ｍｍのステンレス
鋼板（ＳＵＳ３０４）を材料とする。

【００１３】下型４０は、基台４１と固定台４４と熱発
生部４６と材料固定台４９とから構成される。基台４１
は、六角形状のナット４２により固定されたストッパ４
３を備える。ねじ４５により基台４１に固定される固定
台４４は、８０℃程度の熱により変形しない耐熱性およ
び耐圧縮強度に優れた例えば樹脂、セラミックまたは合
成樹脂とアスベスト繊維とからなる断熱材等を材料とす
る。ねじ４７により固定台４４に固定される熱発生部４
６は、棒状ヒータ４８を有する。熱発生部４６の上に固
定される材料固定台４９は、ピン５３により位置決めさ
れたグリーンシート５４を吸引固定するための多数の孔
を有する吸引部５０を備える。吸引部５０は、圧力室５
１と吸引口５２とを経由して図示しない真空ポンプに接
続される。

【００１４】次に、本発明の第１実施例によるシステム
構成を説明する。図３に示すように、積層体の製造装置
１と制御弁４とエア源５と注入液貯蔵部６と加圧ポンプ
８と図示しない真空ポンプとから構成される。制御弁４
の内部は、エア制御側と液体制御側とに分けられる。エ
ア制御側は減圧弁によりエア源５から加圧ポンプ部８へ
送られるエアが制御され、液体制御側はオンオフ弁によ
り積層体の製造装置１から排出され注入液貯蔵部６へ流
れる液体が制御される。エア源５は、加圧ポンプ部７の
駆動に使用される。注入液貯蔵部６は、水槽６ａとホッ
トプレート６ｂとから構成され、液体７を水槽６ａに貯
蔵しホットプレート６ｂにより例えば８０℃に保つため
に使用される。加圧ポンプ部８は、前記注入液貯蔵部６
に貯蔵される液体７を前記エア源５により加圧して積層
体の製造装置１へ液体７を流すために使用される。

【００１５】次に、積層体の製造装置１の作動について
説明する。図２〜図４に示すように、最初に制御弁４の
液体制御側のオンオフ弁を開け、また制御弁４のエア制
御側の減圧弁の設定を加圧ポンプ部８の圧力が低圧にな
るように設定する。この状態では、液体７は図３中の矢
印で示す方向に循環する。液体７はホットプレート６ｂ
により例えば８０℃に保たれるため、この循環により注
入液貯蔵部６には８０℃に保温された液体７で満たされ
る。

【００１６】この後、ピン５３によりグリーンシート５
４を位置決めした後、熱発生部４６により予め加熱され
ている材料固定台４９にグリーンシート５４を固定する
ため図示しない真空ポンプを駆動させる。次に図２に示
すように、上型２０を矢印１００方向へ移動させ、ダイ
ヤフラム支持部材３２がストッパ４３に接触するところ
で移動を停止させる。このとき図５に示すように、グリ
ーンシート５４がダイヤフラム３７に接触しストッパ４
３の位置関係による適度な圧力がグリーンシート５４に
加わる。ここで制御弁４の液体制御側のオンオフ弁を閉
じ、図３中の矢印で示す方向に液体７を循環を止める。
これにより液体７を加圧したとき積層体の製造装置１か
ら排出された液体７が注入液貯蔵部６へ流出するのを防
止する。

【００１７】次に、加圧ポンプ部８の圧力計が表示する
圧力が例えば２０kg／cm² になるように制御弁４のエア
制御側の減圧弁を設定し、加圧ポンプ部８により液体７
を加圧する。また、液体７は、例えば規定の２０kg／cm
² の圧力に達するまで液体注入部３０と液体注入部３１
とに加圧注入される。さらに、積層体の製造装置１の液
体注入部３０と液体注入部３１の内圧は、液体７の加圧
注入により上昇するため、液体注入部３１の底部に位置
しダイヤフラム支持部材３２に支えられないダイヤフラ
ム３７の一部が液体注入部３１の外側へ向かって可動し
ようとする。そのため、ダイヤフラム３７に接触してい
るグリーンシート５４の平坦面は、ダイヤフラム３７に
よる均一な圧力と液体７による熱とが加えられ、規定の
圧力を例えば６０秒間保持することによりグリーンシー
ト５４が積層され接合される。

【００１８】規定の圧力を６０秒間保持した後、加圧ポ
ンプ８を停止させ、制御弁４の液体制御側のオンオフ弁
を開ける。積層体の製造装置１に注入された液体７は液
体注入部３０、３１から注入液貯蔵部６へ排出される。
その後、上型２０を上方へ移動させ図示しない真空ポン
プを停止することにより、均圧積層処理が完了する。

【００１９】ここで、図５中の矢印１０１と矢印１０２
との間隔、すなわちダイヤフラム支持部材３２の端面と
グリーンシート５４の端面との間隔はダイヤフラム３７
の異常変形を防止するため狭小であることが望ましい。
実験によると加圧ポンプ部８の圧力計の表示が２０kg／
cm² を示す圧力で加圧した場合、ダイヤフラム支持部材
３２の端面とグリーンシート５４の端面との間隔は２ｍ
ｍ以下であればダイヤフラム３７の異常変形を防止でき
るという結果を得た。

【００２０】また、グリーンシート５４に対してダイヤ
フラム３７が均一に加圧するためには、グリーンシート
５４の上部表面とグリーンシート５４に隣接するダイヤ
フラム支持部材３２の上部表面との間に生じる段差が微
小であることが望ましい。実験によると加圧ポンプ部８
により２０kg／cm² の圧力で加圧した場合、グリーンシ
ート５４の上部表面とグリーンシート５４に隣接するダ
イヤフラム支持部材３２の上部表面との間に生じる段差
は±０．１ｍｍ以内であれば良好であるという結果を得
た。

【００２１】以下、この実験について図６および表１に
基づいて説明する。図６は板厚０．３ｍｍまたは０．５
ｍｍのステンレス鋼板（ＳＵＳ３０４）を材料とするダ
イヤフラム３７に加圧ポンプ部８の圧力計の表示が２０
kg／cm² を示す圧力で加圧した場合、グリーンシート５
４の上部表面とグリーンシート５４に隣接するダイヤフ
ラム支持部材３２の上部表面との間に生じる段差の各状
態に応じてグリーンシート５４の表面に加圧される圧力
の分布を測定したグラフである。

【００２２】

【表１】

【００２３】この実験によると、図６に示されるように
グリーンシート５４の端面から中心へ近づくほどグリー
ンシート５４の表面に加圧される圧力値は１４kg／cm²
に収束する特性を示し、またグリーンシート５４の中心
から離れ端面に近づくほどグリーンシート５４の表面に
加圧される圧力値は分散する特性を示すという結果が得
られた。さらにこの実験によると、グリーンシート５４
の中心から端面までの範囲においてグリーンシート５４
の表面に加圧される圧力値の分散を±５kg／cm ² 以内に
抑えるためには、グリーンシート５４の上部表面とグリ
ーンシート５４に隣接するダイヤフラム支持部材３２の
上部表面との間に生じる段差を±０．０５ｍｍ以内にす
る必要があるという結果が得られた。

【００２４】また、この実験で使用したステンレス鋼板
（ＳＵＳ３０４）を材料とするダイヤフラム３７のヤン
グ率は２．０×１０⁶kgf／cm² であるため、グリーンシ
ート５４の上部表面に形成される凹部の深さが−０．１
ｍｍである場合、ヤング率の低い例えばゴム板を材料と
するダイヤフラムを使用した場合に比較して凹部の内側
に加圧する圧力が低いという特性を得られた。グリーン
シート５４の表面に凹部を設け、この凹部の内側さらに
凹凸を形成したグリーンシート５４を加圧する際、この
特性により凹部内の凹凸の破損を防止できる。

【００２５】本発明の第１実施例によると、簡単な機械
的一軸プレス機で静水圧プレス機と同程度の均一な圧力
をグリーンシート表面に得ることができ、積層体を容易
に製造することができる。また、本発明の第１実施例に
よると、グリーンシート表面に形成される凹部の変形を
ヤング率の低いダイヤフラムを使用した場合に比較して
少なくすることができる。

【００２６】ここで、本第１実施例では下型４０を固定
して上型移動手段により上型２０を上下させたが、本発
明では、上型移動手段により上型２０を上下させる機構
に限られることなく上型２０を固定して下型移動手段に
より下型４０を上下させても良い。また、本第１実施例
ではダイヤフラム３７の材料にステンレス鋼板（ＳＵＳ
３０４）を使用したが、本発明では、ヤング率が０．０
３×１０⁶kgf／cm² 以上の材料であれば例えばポリエチ
レンテレフタレート等を使用しても良い。

【００２７】（第２実施例）次に本発明の第２実施例を
図７に示す。第１実施例と実質的に同一の構成部分には
同一符号を付す。第２実施例は、ダイヤフラム６１と液
体注入部３１との間にゴム板６０を設けた点が第１実施
例と異なる。

【００２８】ゴム板６０は、例えばシリコンを材料とす
る円形フィルム状を成し、液体注入部３１の開口部全面
を塞ぎ、円形フィルム状の全周を容器下部２６とダイヤ
フラム支持部材３２とに挟まれ固定される。ダイヤフラ
ム６１は、ヤング率が０．０３×１０⁶kgf／cm² 以上の
例えばステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）、ポリエチレンテ
レフタレート等を材料し、液体注入部３１の開口部の直
径より小さい直径の円板状に成形される。またダイヤフ
ラム６１は、ダイヤフラム支持部材３２に形成される中
空四角柱状の凹部３４の上部開口部全面を塞ぎ、円形状
板の全周をゴム板６０とダイヤフラム支持部材３２とに
挟まれ固定される。

【００２９】容器下部２６の溝部に嵌め込まれたＯリン
グ２９は、容器下部２６と前記ゴム板６０との接合部分
からの液漏れを防止する。本発明の第２実施例による
と、第１実施例の効果に加え、ダイヤフラムが液体に直
接触れないためダイヤフラムの寿命を長くすることがで
きる。 （第３実施例）次に本発明の第３実施例を図８に示す。

【００３０】第１実施例と実質的に同一の構成部分には
同一符号を付す。第３実施例は、グリーンシート５４を
吸着パットハンドに固定した点と、ダイヤフラムを下型
に設けた点が第１実施例および第２実施例と異なる。積
層体の製造装置３は、上型２２０と下型２４０と吸着パ
ットハンド２３０と図示しない上型移動手段とから構成
される。

【００３１】上型２２０は、固定台２２１と固定台２２
２と押さえ部２２３とから構成される。固定台２２１は
基台２１に固定され、また固定台２２１と固定台２２２
とは互いに固定される。押さえ部２２３は、固定台２２
２に固定される。

【００３２】下型２４０は、容器２４２と嵌合部２４３
とダイヤフラム２４４とから構成される。基台２４１に
固定される容器２４２の内部には、凹形状の液体注入部
２４５が形成される。この液体注入部２４５の底部には
液体注入口２４５ａか形成され、また図示しない液体排
出口が形成される。基台２４１の内部には容器２４２の
液体注入部２４５に液体７を注入するための配管２４６
が設けられる。この配管２４６の一方の端部は液体注入
口２４５ａに接続され、また他方の端部は図示しない加
圧ポンプに接続される。

【００３３】容器２４２の液体注入部２４５の開口部全
面を塞ぐダイヤフラム２４４は、容器２４２の上部と嵌
合部２４３の下面との間に挟まれる。またダイヤフラム
３７は２０kg／cm² の圧力で加圧されるため厚さ０．３
ｍｍまたは０．５ｍｍのステンレス鋼板（ＳＵＳ３０
４）を材料とする。容器２４２に固定される嵌合部２４
３の中央部には、吸着パットハンド２３０が嵌合する形
状のキャビティ２４３ａが形成される。

【００３４】吸着パットハンド２３０は、材料固定台２
３１と吸引部２３２と圧力室２３３とから構成される。
材料固定台２３１の下部には、グリーンシート５４を吸
引固定するための多数の孔を有する吸引部２３２が設け
られる。また、この吸引部２３２の上部には、図示しな
い真空ポンプに接続された圧力室２３３が形成される。

【００３５】本発明の第３実施例によるシステム構成
は、前記第１実施例によるシステム構成と同様であり、
図３に示される積層体の製造装置１を積層体の製造装置
３に置き換えた構成である。次に、積層体の製造装置３
の作動について図３、図４および図８に基づいて説明す
る。

【００３６】最初に制御弁４の液体制御側のオンオフ弁
を開け、また制御弁４のエア制御側の減圧弁の設定を加
圧ポンプ部８の圧力が低圧になるように設定する。この
状態では、液体７は図３中の矢印で示す方向に循環す
る。液体７はホットプレート６ｂにより例えば８０℃に
保たれるため、この循環により注入液貯蔵部６には８０
℃に保温された液体７で満たされる。

【００３７】この後、吸着パットハンド２３０の図示し
ない位置決めピンによりグリーンシート５４を位置決め
した後、材料固定台２３１にグリーンシート５４を固定
するため図示しない真空ポンプを駆動させる。次に図８
に示すように、吸着パットハンド２３０を矢印１０３方
向へ移動させ、嵌合部２４３のキャビティ２３４ａに吸
着パットハンド２３０を嵌合させ、グリーンシート５４
がダイヤフラム２４４に接触するところで移動を停止さ
せる。ここで制御弁４の液体制御側のオンオフ弁を閉
じ、図３中の矢印で示す方向に液体７を循環を止める。
これにより液体７を加圧したとき積層体の製造装置３か
ら排出された液体７が注入液貯蔵部６へ流出するのを防
止する。

【００３８】この後、図８中に示す矢印１０４方向に上
型２２０を移動させ、押さえ部２２３が吸着パットハン
ド２３０の上部に接触するところで移動を停止させる。
次に、加圧ポンプ部８の圧力計が表示する圧力が例えば
２０kg／cm² になるように制御弁４のエア制御側の減圧
弁を設定し、加圧ポンプ部８により液体７を加圧する。
また、液体７は、例えば規定の２０kg／cm² の圧力に達
するまで液体注入部２４５に加圧注入される。さらに、
積層体の製造装置３の液体注入部２４５の内圧は、液体
７の加圧注入により上昇するため、液体注入部２４５の
上部に位置するダイヤフラム２４４の一部が液体注入部
２４５の外側へ向かって可動しようとする。そのため、
ダイヤフラム２４４に接触しているグリーンシート５４
の平坦面は、ダイヤフラム２４４による均一な圧力と液
体７による熱とが加えられ、規定の圧力を例えば６０秒
間保持することによりグリーンシート５４が積層され接
合される。

【００３９】規定の圧力を６０秒間保持した後、加圧ポ
ンプ８を停止させ、制御弁４の液体制御側のオンオフ弁
を開ける。積層体の製造装置３に注入された液体７は液
体注入部２４５から注入液貯蔵部６へ排出される。その
後、上型２２０を上方へ移動させ図示しない真空ポンプ
を停止することにより、均圧積層処理が完了する。

【００４０】本発明の第３実施例によると、第１実施例
と同様、簡単な機械的一軸プレス機で静水圧プレス機と
同程度の均一な圧力をグリーンシート表面に得ることが
でき、積層体を容易に製造することができ、またグリー
ンシート表面に形成される凹部の変形をヤング率の低い
ダイヤフラムを使用した場合に比較して少なくすること
ができる。

【００４１】ここで、本第３実施例では下型２４０を固
定して上型移動手段により上型２２０を上下させたが、
本発明では、上型移動手段により上型２２０を上下させ
る機構に限られることなく上型２２０を固定して下型移
動手段により下型２４０を上下させても良い。また、本
第３実施例ではダイヤフラム３７の材料にステンレス鋼
板（ＳＵＳ３０４）を使用したが、本発明では、ヤング
率が０．０３×１０⁶kgf／cm² 以上の材料であれば例え
ばポリエチレンテレフタレート等を使用しても良い。こ
の場合のダイヤフラムは作業性を考慮して０．５ｍｍ〜
４ｍｍの厚さが望ましく、その使用枚数は１枚でも良い
が、例えば０．３ｍｍの厚さのものを複数枚重ね合わせ
所定の厚さにしたものでも良い。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の積層体の
製造方法および製造装置によると、機械的な一軸プレス
機の治具の改善程度の簡単な構造で静水圧プレス機と同
程度の均一な圧力をグリーンシート表面に得ることがで
き、またヤング率の低いダイヤフラムを使用した場合と
比較してグリーンシート表面に形成される凹部の変形を
少なくすることができる効果がある。また、静水圧プレ
ス機に較べ圧力容器が不要になることから１／２〜１／
３の設備コストで実現可能になる効果がある。さらには
真空状態にするため仮積層した材料を袋に入れる工数と
均一な加圧処理後の積層体を袋から取り出す工数とが削
減でき、袋も不要になるため廃棄物を生じさせないで環
境保全に貢献する効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の要部断面図である。

【図２】本発明の第１実施例による上型と下型の部分切
欠側面図である。

【図３】本発明の第１実施例によるシステム構成図であ
る。

【図４】本発明の第１実施例によるグリーンシートの加
圧値、上型位置、真空ポンプ状態の各タイムチャート図
である。

【図５】本発明の第１実施例による上型と下型とが嵌合
した状態を示す要部断面図である。

【図６】本発明の第１実施例によるグリーンシート表面
に加圧時、グリーンシート表面とグリーンシートの周囲
との間に生じる段差がグリーンシート表面圧力に及ぼす
影響を示したグラフである。

【図７】本発明の第２実施例の要部断面図である。

【図８】本発明の第３実施例による上型と下型の概略構
成図である。

【符号の説明】

１ 積層体の製造装置 ４ 制御弁 ５ エア源 ６ 注入液貯蔵部 ７ 液体 ８ 加圧ポンプ ２０ 上型（第１の型、第３の型） ３０、３１ 液体注入部 ３２ ダイヤフラム支持部材（支持手段） ３７ ダイヤフラム ４０ 下型（第２の型、第４の型） ４３ ストッパ ４６ 熱発生部 ４９ 材料固定台 ５４ グリーンシート

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の板状のグリーンシートを均圧積層
   する方法であって、 前記グリーンシートを第２の型に固定する工程と、 支持部材により支持されるダイヤフラムが前記グリーン
   シートに接触するまで第１の型を移動させる工程と、 一定時間継続して液圧を前記ダイヤフラムに加えること
   により前記複数のグリーンシートを加圧する工程とを含
   むことを特徴とする積層体の製造方法。
2. 【請求項２】 前記支持部材は、前記ダイヤフラムが前
   記グリーンシートに接触するとき前記グリーンシートの
   表面と前記グリーンシートの周囲に位置する前記ダイヤ
   フラムとから形成される段差を所定の範囲内に収めるよ
   うに前記ダイヤフラムを支持することを特徴とする請求
   項１記載の積層体の製造方法。
3. 【請求項３】 前記ダイヤフラムはヤング率が０．０３
   ×１０⁶kgf／cm² 以上であることを特徴とする請求項１
   または請求項２記載の積層体の製造方法。
4. 【請求項４】 液圧により可動するダイヤフラムを有す
   る第３の型と、 複数の板状のグリーンシートを固定する手段を有する第
   ４の型と、 前記ダイヤフラムが前記グリーンシートに接触するまで
   前記第３の型または第４の型のうち少なくとも一方を移
   動させる移動手段と、 前記ダイヤフラムが前記グリーンシートに接触するとき
   前記グリーンシートの表面と前記グリーンシートの周囲
   に位置する前記ダイヤフラムとから形成される段差を所
   定の範囲内に収めるように前記ダイヤフラムを支持する
   支持手段とを備えたことを特徴とする積層体の製造装
   置。
5. 【請求項５】 前記ダイヤフラムはヤング率が０．０３
   ×１０⁶kgf／cm² 以上であることを特徴とする請求項４
   記載の積層体の製造装置。