JPH08192300A - ホツトプレス - Google Patents

ホツトプレス

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JPH08192300A
JPH08192300A JP425495A JP425495A JPH08192300A JP H08192300 A JPH08192300 A JP H08192300A JP 425495 A JP425495 A JP 425495A JP 425495 A JP425495 A JP 425495A JP H08192300 A JPH08192300 A JP H08192300A
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JP
Japan
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pressure
substrate
heat medium
substrate material
hot
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Application number
JP425495A
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English (en)
Inventor
Mutsumasa Fujii
睦正 藤井
Akemi Miyashita
明巳 宮下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Plant Technologies Ltd
Original Assignee
Hitachi Techno Engineering Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH08192300A publication Critical patent/JPH08192300A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B30PRESSES
    • B30BPRESSES IN GENERAL
    • B30B15/00Details of, or accessories for, presses; Auxiliary measures in connection with pressing
    • B30B15/06Platens or press rams
    • B30B15/062Press plates
    • B30B15/064Press plates with heating or cooling means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B30PRESSES
    • B30BPRESSES IN GENERAL
    • B30B15/00Details of, or accessories for, presses; Auxiliary measures in connection with pressing
    • B30B15/06Platens or press rams
    • B30B15/061Cushion plates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Press Drives And Press Lines (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 仕上がり時の板厚精度が均一な高品質の基板
を成形するホットプレスを提供する。 【構成】 周囲を上下方向に伸縮可能なベロ−35で構
成し基板素材51との接触面は柔軟なテフロンゴムシ−
ト36で構成した圧力容器28を熱板9に設け、上熱板
9bに設けた圧力容器28bと下熱板9aに設けた圧力
容器28aにより、基板素材51を加圧する際に、圧力
容器28内の複数に別れた部屋内の熱媒体の圧力を変え
ることで局所加圧ができる。この結果、基板素材51に
特性の異なる種類の接着剤が分布していても、2種の最
適接着面圧で基板を成形できるので、仕上り板厚が均一
で高品質の基板を生産できる。 【効果】 基板素材に接した圧力容器の加圧面において
各空間ごとの境界で応力集中が起きず、基板素材内部に
分布する構成物の特性、つまり、硬度,粘度,剛性度,
弾性度などに応じて加圧できるため、仕上がり板厚が均
一で高品質な基板を生産するホットプレスを提供するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、低粘度接着剤で接合す
る薄物プリント基板の製造や液晶ガラス基板の接合など
に用いるホットプレスに係り、特に、均一な接着圧力の
他に局部圧力が必要な基板を成形するのに好適なホット
プレスに関する。
【0002】
【従来の技術】プリント基板は一般に、下記のようにし
て製造されている。すなわち、所定の回路パタ−ンをプ
リントしたプリント回路基板とクロス基材に接着樹脂を
含浸させたプリプレグとを交互に所望枚数まで積層し、
その積層したプリント回路基板とプリプレグからなるプ
リント基板の素材を熱板により加熱加圧する。すると、
接着樹脂が昇温と同時に軟化流動状態から最低粘度に達
し、この後、化学反応の進行に伴い硬化安定状態とな
る。その結果、上記複数のプリント回路基板がプリプレ
グの接着樹脂で相互接着して一体化してプリント基板が
製造される。
【0003】上述のプリント基板の高密度化のために
は、プリント基板の層間のボイド除去や均厚成形を行う
必要があり、例えば、特開平3−128195号公報に
は、プリプレグの接着樹脂の軟化流動までは真空(減
圧)雰囲気とし、流動から硬化段階まで高圧ガス(空気
圧付加)雰囲気で行なうことが提案されている。
【0004】しかし、従来の基板製造作業では、製造対
象であるプリント基板の粘性流体へ均一に加圧すること
に重点が置かれ、特殊な内層構成や金属基板等のように
特性の異なる接着剤が分布する基板の接合・圧着に関し
ては考慮されていなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
技術では、全体には低粘度の接着剤を使用し、部分的に
は高粘度接着剤を使用する接着剤特性の異なる基板を製
造する場合に高粘度接着剤の近傍で基板の板厚精度が低
下してしまう不具合が生じる。
【0006】ガラス基板などは、仕上がり時にプリント
基板に比べ更に厳密な板厚精度が要求されるが、基板素
材内部の構成物の分布状況によって板厚精度がわずかに
ばらつき、従って、製造工程での歩留まりが低下する。
【0007】本発明の目的は、上記課題を解決し、基板
素材平面に対し異なる加圧力を形成する手段を設けるこ
とにより板厚精度の高い基板を生産することのできるホ
ットプレスを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、上下に対向して配置された上下各ボルス
タと、上記上下各ボルスタにそれぞれ対向して設けた上
下各熱板と、上記上下各ボルスタ間を密封する手段と、
上記密封手段で形成される空間内を真空にする手段と、
上記上下各熱板の少なくとも一方を加熱および冷却する
手段とを備え、基板素材を上記上下各熱板の間に挿入し
加熱加圧して基板を生産するホットプレスにおいて、周
囲を上下方向に伸縮可能な伸縮材で構成し、基板素材と
の接触面は柔軟なシ−トで構成した容器を上記上下各熱
板の少なくとも一方に設け、該伸縮材と同一素材の伸縮
材を該容器の内部に設けて上記シ−トとにより複数の気
密の空間を形成し、該各空間に流体の熱媒体を供給する
手段とともに該流体の熱媒体の供給圧力を制御する手
段、あるいは、該各空間にあらかじめ圧力の異なる流体
の熱媒体を充填したことを特徴とする。
【0009】
【作用】本発明によれば、上下各熱板に設けた容器内部
に複数の空間を形成し、該複数の空間内に流体の熱媒体
を充填し個々の空間ごとに空間内の圧力を変えて基板素
材を加圧することによって、基板素材に接した容器の加
圧面において各空間ごとの境界で応力集中が起きず、基
板素材内部に分布する構成物の特性、つまり、硬度、粘
度、剛性度、弾性度などに応じて加圧するホットプレス
を得ることができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明におけるホットプレスの実施例
として、液晶用ガラス基板の製造を例に取り図1乃至図
7に基づいて説明する。
【0011】図1は内部にガラス基板を載置したホット
プレスの縦断面図、図2は図1のA−A線断面図、図3
は図1のB−B線断面図、図4は内部に載置したガラス
基板素材の加熱加圧状態を示すホットプレスの縦断面
図、図5は図4における熱板付近の詳細断面図、図6は
その一部の部分拡大図、図7は図4における加圧状態の
基板素材における圧力分布を示したものである。
【0012】なお、各図面において、符号の添字a,b
は、それぞれ各部分が後述する基板素材51に対して下
側、上側にあることを示す。例えば図1に示す引用符号
22aは基板素材51の下側に設けた加熱体、引用符号
22bは基板素材51の上側に設けた加熱体であり、総
称する場合は添字a,bを除き、例えば加熱体22とい
うように呼ぶこととする。
【0013】図1において、フロア1にベ−スフレ−ム
2が設置されており、このベ−スフレ−ム2の上部に台
板2Aが固定されている。
【0014】前記台板2Aには複数本の支柱3が固定さ
れており、支柱3の内方向側に複数の架台4が設けてあ
り、架台4の上部には下ボルスタ5が固定されている。
前記下ボルスタ5の上面には、下枠板7aで囲まれた断
熱板8aを介して矩形の下熱板9aが取り付けられてお
り、上ボルスタ6は下ボルスタ5に対向するように台板
2Aに設立した支柱3の上部に固定されている。
【0015】上ボルスタ6の下面には、上枠板7bで囲
まれた断熱板8bを介して矩形の上熱板9bが取り付け
られている。
【0016】また、上ボルスタ6の下面において、前記
上熱板9bの外方向側に筒体受けリング10が取り付け
られ、下ボルスタ5の周辺には、フロア1に固定されて
いる複数の空圧シリンダ11のロッド11Aにより、ブ
ラケット12を介し昇降し得るよう支持された筒体リン
グ13が取付けられている。空圧シリンダ11の上部に
は配管18、下部には配管19が接続されている。前記
配管18,19には切換弁20により圧縮空気を送る空
気圧源50が配管21を介し接続されており、切換弁2
0のポ−トをAからBに切り換えることによって筒体リ
ング13が上昇し,BからAに切り換えることによって
下降する。
【0017】上ボルスタ6,下ボルスタ5に設けた熱板
9の内部には加熱体22と冷却媒体通路23とが設けら
れている。ここでは加熱体を電気ヒ−タ22として説明
するが、電気ヒ−タ以外にも加熱を行なえるものであれ
ば良く、例えば、加熱源より加熱ホ−スを通じて加熱体
内部に高温流体を通すパイプ状の熱交換器であっても良
い。
【0018】電気ヒ−タ22は電線24を通じて(加熱
源の一例として)電源25に接続されており、冷却媒体
通路23は冷却ホ−ス26を通して(冷却源の一例とし
て)冷却媒体発生装置27に接続されている。
【0019】下熱板9aの上部には圧力容器28a、上
熱板9bの下部には圧力容器28bが設けてあり、圧力
容器28bに連通する配管Pは、熱媒体圧力制御機構4
0に接続されている。
【0020】圧着の対象となるガラス基板の基板素材5
1は、筒体リング13の下降時にロ−ダ(図示せず)等
により搬送され、圧力容器28aの上面に位置決め載置
されている。
【0021】なお、電気ヒ−タ22aは図2に示すよう
に所定の間隔をおいて複数本配列されており、冷却媒体
通路23aは図3に示すようにジグザグ状に設けられて
いる。
【0022】図4は図1に示す本実施例のホットプレス
において、切換弁20のポ−トをAからBに切り換えた
状態を示すものである。なお、図1と同一部分には同一
符号を付け説明を省略する。
【0023】切換弁20を切り換えることにより、配管
19を介し圧縮空気が空圧シリンダ11の下部に供給さ
れ、配管18を介し圧縮空気が空圧シリンダ11の上部
より大気中に放出されると、前記筒体リング13は前記
下ボルスタ5の外周に設けた筒体ガイド14により案内
され上昇し、同じく上部に設けた筒体端面用シ−ル材1
6によって筒体受けリング10の下端に密着する。同時
に、下ボルスタ5の外周に設けた筒体側面用シ−ル材1
5によって、筒体リング13の内周と下ボルスタ5の外
周とが気密構造となる。以下、上ボルスタ6、下ボルス
タ5、筒体受けリング10及び筒体リング13とで囲ま
れる部分を、密封空間13Sと表現する。
【0024】図4に示すように密封空間13Sが形成さ
れると、上ボルスタ6に設けた吸排気口30に接続した
配管31から真空ポンプ32の切換弁33を導通側(A
ポ−トからBポ−ト)に切換えて密封空間13S内の空
気を排出し、真空状態とする。密封空間13S内を真空
状態にすると略同時に圧力容器28による基板素材51
の加圧を行う。なお、基板素材51の搬出あるいは搬入
する際には真空状態を解除するが、切換弁33をAポ−
トに切り換えるだけでなく、切換弁34もAポ−トに切
り換えて大気圧開放とすることにより、解除にかかる時
間を短縮させる。
【0025】次に、圧力容器28a,28bおよび熱媒
体圧力制御機構40の構造を図5および図6を用いて示
し、以下詳細に説明する。
【0026】図5に示すように、上下各熱板9に設けた
圧力容器28a,28bは、側面を上下方向に伸縮可能
な伸縮材、例えば、ステンレス等の金属を蛇腹状に加工
したベロ−35で囲い、上部と下部とを後述する加熱温
度に耐え得る柔軟な素材、例えば、テフロンゴムシ−ト
36により密封したものである。ベロー35とテフロン
ゴムシート36との接合は、例えば、図6に示すよう
に、パッキング材61を介しボルト62の締め付けによ
り行なう。更に、外周を囲ったベロ−35とは別に、圧
力容器28a,28bの内部にベロ−35をテフロンゴ
ムシ−ト36と結合するように多重に設けて区切り、複
数の気密の空間を形成している。なお、圧力容器28
a,28bはブラケット29により熱板9に固定されて
いして、必要に応じ、熱板9から分離させることができ
るようにする。
【0027】次に、圧力容器28bにおいて基板素材5
1に設けた高剛性物質53の上部に位置する空間を高圧
部R1、同じく接着剤52の上部に位置する空間を低圧
部R3とし、その境界に位置する空間を中間部R2と
し、熱媒体圧力制御機構40に接続する配管Pを高圧部
R1,中間部R2,低圧部R3各々に接続する配管P
1,P2,P3として、基板素材51への上方向からの
加圧を例に取り説明する。
【0028】なお、圧力容器28aにおいて基板素材5
1に設けた高剛性物質53の下部に位置する空間を高圧
部R4、同じく接着剤52の下部に位置する空間を低圧
部R6とし、その境界に位置する空間を中間部R5とす
るが、圧力容器28b内の空間に対して圧力制御を行っ
ているため、説明の便宜上、高圧部R4,中間部R5,
低圧部R6には同一圧の流体の熱媒体があらかじめ充填
されているものとする。
【0029】電源25(図示せず)が動作し、電線24
(図示せず)を通じて電気ヒ−タ22bが加熱される。
電気ヒ−タ22bにより上熱板9bが加熱されると、圧
力容器28bの上部、すなわち上熱板9bと接触してい
るテフロンゴムシ−ト36を介して圧力容器28b内部
の熱媒体が加熱される。該熱媒体の加熱により、圧力容
器28bの下部に設けたテフロンゴムシ−ト36を介し
て基板素材51が約100〜170℃に加熱される。な
お、熱媒体としては、密閉空間内を真空にしたことによ
る影響を受けずに所望温度例えば170℃まで加熱して
も圧力容器中で所望の圧力を保つことが可能な流体であ
ればよく、例えば、化学合成油、シリコンオイル、ポリ
エチレングリコール系化学合成液、フッ素系不活性液体
などがあげられる。
【0030】圧力容器28bにおける高圧部R1,中間
部R2,低圧部R3内部の熱媒体は、熱媒体圧力制御機
構40に設けた熱媒体タンク41からポンプ42を駆動
して供給されており、該熱媒体の圧力は配管P1,P
2,P3に設けた圧力制御弁43によって、高圧部R1
内の熱媒体はガラス基板の場合、面圧0.8〜1.5kg
f/cm2(プリント基板の場合は8〜15kgf/cm2)、低
圧部R3内の熱媒体はガラス基板の場合、面圧0.5〜
1.0kgf/cm2(プリント基板の場合は5〜10kgf/c
m2)に調整されており、中間部R2内の圧力は高圧部R
1と低圧部R3との相互干渉を防ぐため高圧部R1と低
圧部R3との中間圧力とすることによって、図7に示す
ような基板素材51における圧力の分布を得ることがで
きる。なお、中間部R2には液体の熱媒体を充填せずに
大気圧開放とする構成としてもよい。
【0031】次に、上記実施例とは反対に基板素材51
の下面側から加圧する事例を、図5を再び用いて説明す
る。
【0032】圧力容器28bにおける高圧部R1,中間
部R2,低圧部R3内部の熱媒体は、熱媒体圧力制御機
構40に設けた熱媒体タンク41からポンプ42を駆動
して供給されており、該熱媒体の圧力は配管P1,P
2,P3に設けた圧力制御弁43によって一定(同一
圧)に保たれている。
【0033】電源25(図示せず)が動作し、電線24
(図示せず)を通じて電気ヒ−タ22aが加熱される。
電気ヒ−タ22aにより下熱板9aが加熱されると圧力
容器28aの下部、すなわち下熱板9aと接触している
テフロンゴムシ−ト36を介して圧力容器28a内部の
熱媒体が加熱される。該熱媒体の加熱により、圧力容器
28aの上部に設けたテフロンゴムシ−ト36を介して
基板素材51が約100〜170℃に加熱される。
【0034】圧力容器28a内部には、高圧部R4内に
おいてはガラス基板の場合面圧0.8〜1.5kgf/cm2
(プリント基板の場合は8〜15kgf/cm2)、低圧部R
6内の熱媒体においてはガラス基板の場合面圧0.5〜
1.0kgf/cm2(プリント基板の場合は5〜10kgf/c
m2)の加圧力を有する種類の熱媒体をあらかじめ充填し
ておき、中間部R5内の圧力は高圧部R4と低圧部R6
との相互干渉を防ぐため高圧部R4と低圧部R6との中
間圧力、あるいは液体の熱媒体を充填せずに大気圧開放
とすることによって、基板素材51の下方から加圧を行
うことができ、図7に示すような基板素材51における
圧力の分布を得ることができる。
【0035】以上、図1乃至図7を用いて本実施例のホ
ットプレスにおける基板素材51の加熱加圧に関して説
明してきたが、圧力容器28a,28bの両方に熱媒体
圧力制御機構40を設けて熱媒体の圧力を制御してもよ
く、熱媒体圧力制御機構40を両方の圧力容器28に設
けずにあらかじめ熱媒体に予圧を与えて充填しておいて
もよい。
【0036】なお、熱媒体圧力制御機構40を圧力容器
28a及び圧力容器28bに設け、基板素材51の圧着
作業開始前には圧力容器28内の圧力を一定にしてお
き、基板素材51の加熱時に熱媒体圧力制御機構40を
動作させ、圧力容器28a,28b内の熱媒体の圧力を
変化させて加圧することもできる。
【0037】加熱に関しても、基板素材51の厚みに応
じて上下面共に加熱することだけでなく上下面どちらか
一方を加熱することもできる。
【0038】また、加熱源を圧力容器28に内蔵して直
接熱媒体を加熱しても良く、熱媒体圧力制御機構40の
熱媒体タンク41内に熱源を配し、予め加熱した熱媒体
を圧力容器28内に供給しても良い。
【0039】なお、本実施例においては、熱板9を上熱
板9b及び下熱板9aとしたが、上熱板9bと下熱板9
aとの間に一個以上の熱板を設けて、各熱板間にそれぞ
れ基板素材を挿入し得るように構成し、かつ上熱板9
b,下熱板9a及び中間に設けた熱板の相互間に前述の
圧力容器28を設けても良い。
【0040】更に、上熱板a及び下熱板9bをそれぞれ
保持している上ボルスタ6,下ボルスタ5は台板2Aに
設立した支柱3及び台板2Aに設けた架台4により固定
されたものとして説明したが、上ボルスタ6あるいは下
ボルスタ5に駆動手段を設けどちらか一方または両方を
上下に相対移動させて加圧を行うことも可能である。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
上下各熱板に設けた容器内部に複数の空間を形成し、該
複数の空間内に流体の熱媒体を充填し個々の空間ごとに
空間内の圧力を変えて基板素材を加圧することにより、
基板素材に接した容器の加圧面において各空間ごとの境
界で応力集中が起きず、基板素材内部に分布する構成物
の特性、つまり、硬度,粘度,剛性度,弾性度などに応
じて加圧できるため、仕上がり板厚が均一で高品質な基
板を生産するホットプレスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るホットプレスの基板素
材搬入時を示す断面図である。
【図2】図1のA−A切断線に沿った熱板の要部断面図
である。
【図3】図1のB−B切断線に沿った熱板の要部断面図
である。
【図4】図1に示すホットプレスにおける基板素材の圧
着時を示す縦断面図である。
【図5】図4に示す基板素材の加圧状態における熱板近
傍の詳細断面図である。
【図6】図5の部分拡大図である。
【図7】図5に示す加圧状態において基板素材が受ける
圧力分布の一例を示す図である。
【符号の説明】
1…フロア、2…ベ−スフレ−ム、2A…台板、3…支
柱、4…架台、5…下ボルスタ、6…上ボルスタ、7…
枠板、8…断熱板、9…熱板、10…筒体受けリング、
11…シリンダ、11A…ロッド、12…ブラケット、
13…筒体リング、13S…密封空間、14…筒体ガイ
ド、15…筒体側面用シ−ル材、16…筒体端面用シ−
ル材、18,19…配管、20…切換弁、21…配管、
22…電気ヒ−タ、23…冷却媒体通路、24…電線、
25…電源、26…冷却ホ−ス、27…冷却媒体発生装
置、28…圧力容器、29…ブラケット、30…吸排気
口、31…配管、32…真空ポンプ、33,34…切換
弁、35…ベロ−、36…テフロンゴムシ−ト、40…
熱媒体圧力制御機構、41…熱媒体タンク、42…ポン
プ、43…圧力制御弁、51…基板素材、53…高剛性
物質、52…接着剤。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上下に対向して配置された上下各ボルス
    タと、上記上下各ボルスタにそれぞれ対向して設けた上
    下各熱板と、上記上下各ボルスタ間を密封する手段と、
    上記密封手段で形成される空間内を真空にする手段と、
    上記上下各熱板の少なくとも一方を加熱および冷却する
    手段とを備え、基板素材を上記上下各熱板の間に挿入し
    加熱加圧して基板を生産するホットプレスにおいて、 周囲を上下方向に伸縮可能な伸縮材で構成し、基板素材
    との接触面は柔軟なシ−トで構成した容器を上記上下各
    熱板の少なくとも一方に設け、 該伸縮材と同一素材の伸縮材を該容器の内部に設けて上
    記シ−トとにより複数の気密の空間を形成し、 該各空間に流体の熱媒体を供給する手段と、 該流体の熱媒体の供給圧力を制御する手段を設けたこと
    を特徴とするホットプレス。
  2. 【請求項2】 上下に対向して配置された上下各ボルス
    タと、上記上下各ボルスタにそれぞれ対向して設けた上
    下各熱板と、上記上下各ボルスタ間を密封する手段と、
    上記密封手段で形成される空間内を真空にする手段と、
    上記上下各熱板の少なくとも一方を加熱および冷却する
    手段とを備え、基板素材を上記上下各熱板の間に挿入し
    加熱加圧して基板を生産するホットプレスにおいて、 周囲を上下方向に伸縮可能な伸縮材で構成し、基板素材
    との接触面は柔軟なシ−トで構成した容器を上記上下各
    熱板の少なくとも一方に設け、 該伸縮材と同一素材の伸縮材を該容器の内部に設けて上
    記シ−トとにより複数の気密の空間を形成し、 該各空間にあらかじめ圧力の異なる流体の熱媒体を充填
    したことを特徴とするホットプレス。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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