JPH07255022A - ヘッドマウント型ディスプレイ装置及び冷陰極ディスプレイパネル - Google Patents
ヘッドマウント型ディスプレイ装置及び冷陰極ディスプレイパネルInfo
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- JPH07255022A JPH07255022A JP4598094A JP4598094A JPH07255022A JP H07255022 A JPH07255022 A JP H07255022A JP 4598094 A JP4598094 A JP 4598094A JP 4598094 A JP4598094 A JP 4598094A JP H07255022 A JPH07255022 A JP H07255022A
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- electron
- cold cathode
- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、小型軽量で、画面が高精彩なヘッ
ドマウント型ディスプレイ装置、及びヘッドマウント型
ディスプレイ装置に用いるに適する、画像に視野角依存
性のない冷陰極ディスプレイパネルの提供。 【構成】 ヘッドマウント型ディスプレイ装置は、ディ
スプレイ部が、電子放出部と発光部からなり、電子放出
部の電子放出単位が、電子放出電極、電子引き出し電
極、絶縁層、電子放出電極の引き出し部、基板により構
成され、発光部が透明基板、透明導電膜である電子捕集
電極、蛍光体層により構成される冷陰極ディスプレイパ
ネルを具備する。また、冷陰極ディスプレイパネルが、
その表示部分の中心部から周辺部にかけて、画素の密度
と大きさの少なくともどちらか一方が異なる。
ドマウント型ディスプレイ装置、及びヘッドマウント型
ディスプレイ装置に用いるに適する、画像に視野角依存
性のない冷陰極ディスプレイパネルの提供。 【構成】 ヘッドマウント型ディスプレイ装置は、ディ
スプレイ部が、電子放出部と発光部からなり、電子放出
部の電子放出単位が、電子放出電極、電子引き出し電
極、絶縁層、電子放出電極の引き出し部、基板により構
成され、発光部が透明基板、透明導電膜である電子捕集
電極、蛍光体層により構成される冷陰極ディスプレイパ
ネルを具備する。また、冷陰極ディスプレイパネルが、
その表示部分の中心部から周辺部にかけて、画素の密度
と大きさの少なくともどちらか一方が異なる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ヘッドマウント型ディ
スプレイ装置に関し、特に仮想現実感システムにおいて
用いるに好適なヘッドマウント型ディスプレイ装置に関
する。
スプレイ装置に関し、特に仮想現実感システムにおいて
用いるに好適なヘッドマウント型ディスプレイ装置に関
する。
【０００２】本発明は、また、ヘッドマウント型ディス
プレイ装置に用いるに適した冷陰極ディスプレイパネル
に関する。
プレイ装置に用いるに適した冷陰極ディスプレイパネル
に関する。
【０００３】
【従来の技術】従来のヘッドマウント型ディスプレイ装
置は、ディスプレイパネルとして液晶ディスプレイパネ
ルを使用していた。概念図を図１１に示す。この図に示
したように、このようなディスプレイ装置Ｄは、駆動用
等の回路部や入出力部を含む本体容器４７、光学系４
９、バックライト付き液晶ディスプレイパネル５０等に
より構成される。図中の５１は、このようなディスプレ
イ装置を装着した人間、５２はその目を表している。動
作について説明する。バックライト付き液晶ディスプレ
イパネル５０から出た光が、光学系４９を通り、目５２
に入ることで、液晶ディスプレイパネル５０上の像を目
５２で見ることができる。
置は、ディスプレイパネルとして液晶ディスプレイパネ
ルを使用していた。概念図を図１１に示す。この図に示
したように、このようなディスプレイ装置Ｄは、駆動用
等の回路部や入出力部を含む本体容器４７、光学系４
９、バックライト付き液晶ディスプレイパネル５０等に
より構成される。図中の５１は、このようなディスプレ
イ装置を装着した人間、５２はその目を表している。動
作について説明する。バックライト付き液晶ディスプレ
イパネル５０から出た光が、光学系４９を通り、目５２
に入ることで、液晶ディスプレイパネル５０上の像を目
５２で見ることができる。
【０００４】バックライトを必要としないディスプレイ
パネルとして、冷陰極を電子源とする自発光素子であ
る、冷陰極ディスプレイパネルが知られており、近年一
般的な薄型ディスプレイパネルとしての利用について研
究がなされてきている。しかしながら、冷陰極ディスプ
レイパネルのヘッドマウント型ディスプレイ装置への応
用については、これまで明らかにされていない。
パネルとして、冷陰極を電子源とする自発光素子であ
る、冷陰極ディスプレイパネルが知られており、近年一
般的な薄型ディスプレイパネルとしての利用について研
究がなされてきている。しかしながら、冷陰極ディスプ
レイパネルのヘッドマウント型ディスプレイ装置への応
用については、これまで明らかにされていない。
【０００５】冷陰極ディスプレイパネルの、従来から知
られている構成例を図１２、図１３に示す。図１２は斜
視図である。冷陰極ディスプレイパネルは電子放出部５
３と発光部５４からなる。図１３は図１２の中で丸印で
表した電子放出単位５５とそれに対応する発光部を合わ
せた一つの発光単位の拡大断面図である。電子放出単位
５５は、電子放出電極５６、電子引き出し電極５７、絶
縁層５８、電子放出電極５６の引き出し部５９、基板６
０により構成される。発光部５４は、透明基板６９、透
明導電膜である電子捕集電極６１、蛍光体層６２により
構成される。電子放出部５３は、図１２のように電子放
出電極の引き出し部５９と電子引き出し電極５７により
マトリクスを構成し、発光したい画素の電子放出電極５
６と電子引き出し電極５７の間に電圧を印加すること
で、電子放出電極５６より電子が放出され、この電子が
蛍光体層６２を励起して発光することにより冷陰極ディ
スプレイパネルは動作する。
られている構成例を図１２、図１３に示す。図１２は斜
視図である。冷陰極ディスプレイパネルは電子放出部５
３と発光部５４からなる。図１３は図１２の中で丸印で
表した電子放出単位５５とそれに対応する発光部を合わ
せた一つの発光単位の拡大断面図である。電子放出単位
５５は、電子放出電極５６、電子引き出し電極５７、絶
縁層５８、電子放出電極５６の引き出し部５９、基板６
０により構成される。発光部５４は、透明基板６９、透
明導電膜である電子捕集電極６１、蛍光体層６２により
構成される。電子放出部５３は、図１２のように電子放
出電極の引き出し部５９と電子引き出し電極５７により
マトリクスを構成し、発光したい画素の電子放出電極５
６と電子引き出し電極５７の間に電圧を印加すること
で、電子放出電極５６より電子が放出され、この電子が
蛍光体層６２を励起して発光することにより冷陰極ディ
スプレイパネルは動作する。
【０００６】従来の冷陰極ディスプレイパネルにおけ
る、一つの画素に対応する電子放出部の面積は、ディス
プレイパネルの表示部分全体にわたって均一であり、画
素の密度と大きさも表示部分全面にわたって均一であ
る。
る、一つの画素に対応する電子放出部の面積は、ディス
プレイパネルの表示部分全体にわたって均一であり、画
素の密度と大きさも表示部分全面にわたって均一であ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】液晶ディスプレイパネ
ルは自発光素子ではないため、外光を利用しにくいヘッ
ドマウント型ディスプレイシステムにおいては、必ずバ
ックライトが必要であり重量が大きくなってしまう。ヘ
ッドマウント型ディスプレイ装置は、頭部に装着して使
用するため、重量が大きいと装着時の疲労が現われやす
く、また違和感を伴いやすい。さらに、液晶ディスプレ
イパネルは仮想現実感システムに用いる場合、画面の精
彩度が不十分である。
ルは自発光素子ではないため、外光を利用しにくいヘッ
ドマウント型ディスプレイシステムにおいては、必ずバ
ックライトが必要であり重量が大きくなってしまう。ヘ
ッドマウント型ディスプレイ装置は、頭部に装着して使
用するため、重量が大きいと装着時の疲労が現われやす
く、また違和感を伴いやすい。さらに、液晶ディスプレ
イパネルは仮想現実感システムに用いる場合、画面の精
彩度が不十分である。
【０００８】また、ヘッドマウント型ディスプレイ装置
においては、ディスプレイパネルは眼球の直前数センチ
メートルの位置に配置される。このため、ディスプレイ
パネルの表示部分の中心部と周辺部では著しく視野角が
異なり、画面の周辺部が圧縮されたように見えることに
なり、画像が歪んで見える。この状況を図１４に示す。
図中の６３はディスプレイパネルの表示部分、６４は視
野角、６５は目の中心部である。画素６６は表示部分の
中心の画素、画素６７は表示部分の中心付近から周辺部
方向にはずれた部分にある画素である。画素６６と画素
６７の幅を共にＬとすると、視野角６４を考慮して実際
に見える画素６７の幅Ｌ′は、矢印６８で示した幅に見
える。視野角６４をＡとすると、幅Ｌ′はＬ・ｓｉｎ
（９０°−Ａ）である。
においては、ディスプレイパネルは眼球の直前数センチ
メートルの位置に配置される。このため、ディスプレイ
パネルの表示部分の中心部と周辺部では著しく視野角が
異なり、画面の周辺部が圧縮されたように見えることに
なり、画像が歪んで見える。この状況を図１４に示す。
図中の６３はディスプレイパネルの表示部分、６４は視
野角、６５は目の中心部である。画素６６は表示部分の
中心の画素、画素６７は表示部分の中心付近から周辺部
方向にはずれた部分にある画素である。画素６６と画素
６７の幅を共にＬとすると、視野角６４を考慮して実際
に見える画素６７の幅Ｌ′は、矢印６８で示した幅に見
える。視野角６４をＡとすると、幅Ｌ′はＬ・ｓｉｎ
（９０°−Ａ）である。
【０００９】従来、液晶パネルを用いたヘッドマウント
型ディスプレイ装置においては、こうした現象は、ディ
スプレイと眼球の間に光学レンズを配置し、像の補正を
行なうことで解決してきたが、構造が複雑になり製造コ
ストが上昇するという問題点があった。
型ディスプレイ装置においては、こうした現象は、ディ
スプレイと眼球の間に光学レンズを配置し、像の補正を
行なうことで解決してきたが、構造が複雑になり製造コ
ストが上昇するという問題点があった。
【００１０】そこで、本発明は、冷陰極ディスプレイパ
ネルを利用した、小型軽量で、画面が高精彩なヘッドマ
ウント型ディスプレイ装置を提供することを目的とす
る。また、本発明は、ヘッドマウント型ディスプレイ装
置に用いるに適する、画像に視野角依存性のない冷陰極
ディスプレイパネルを提供することを目的とする。
ネルを利用した、小型軽量で、画面が高精彩なヘッドマ
ウント型ディスプレイ装置を提供することを目的とす
る。また、本発明は、ヘッドマウント型ディスプレイ装
置に用いるに適する、画像に視野角依存性のない冷陰極
ディスプレイパネルを提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のヘッドマウント
型ディスプレイ装置は、ディスプレイ部が、電子放出部
と発光部からなり、電子放出部の電子放出単位が、電子
放出電極、電子引き出し電極、絶縁層、電子放出電極の
引き出し部、基板により構成され、発光部が透明基板、
透明導電膜である電子捕集電極、蛍光体層により構成さ
れる冷陰極ディスプレイパネルを具備する。
型ディスプレイ装置は、ディスプレイ部が、電子放出部
と発光部からなり、電子放出部の電子放出単位が、電子
放出電極、電子引き出し電極、絶縁層、電子放出電極の
引き出し部、基板により構成され、発光部が透明基板、
透明導電膜である電子捕集電極、蛍光体層により構成さ
れる冷陰極ディスプレイパネルを具備する。
【００１２】また、冷陰極ディスプレイパネルが、その
表示部分の中心部から周辺部にかけて、画素の密度と大
きさの少なくともどちらか一方が異なる。
表示部分の中心部から周辺部にかけて、画素の密度と大
きさの少なくともどちらか一方が異なる。
【００１３】
【作用】本発明の冷陰極ディスプレイパネルは、自発光
素子であり、仮想現実感システムとして用いるに十分な
精彩度を得ることが可能である。また、本発明の冷陰極
ディスプレイパネルでは、その表示部分の中心部から周
辺部にかけて、画素の密度と大きさの少なくともどちら
か一方が異なり、これにより、表示部の中心部と周辺部
での視野角の相異により生じる、表示部の周辺部が圧縮
されたように見える現象を取り除き、複雑な光学系を用
いなくても、画像が歪んで見えるのを防ぐことができ
る。
素子であり、仮想現実感システムとして用いるに十分な
精彩度を得ることが可能である。また、本発明の冷陰極
ディスプレイパネルでは、その表示部分の中心部から周
辺部にかけて、画素の密度と大きさの少なくともどちら
か一方が異なり、これにより、表示部の中心部と周辺部
での視野角の相異により生じる、表示部の周辺部が圧縮
されたように見える現象を取り除き、複雑な光学系を用
いなくても、画像が歪んで見えるのを防ぐことができ
る。
【００１４】
【実施例】本発明による、ヘッドマウント型ディスプレ
イ装置の概念図を図１に示す。この図に示したように、
このディスプレイ装置は、駆動用等の回路部や入出力部
を含む本体容器１、光学系２、冷陰極ディスプレイパネ
ル３等により構成される。図中の４は、このディスプレ
イ装置を装着した人間、５はその目を表している。冷陰
極ディスプレイパネル３から出た光が、光学系２を通
り、目５に入ることで冷陰極ディスプレイパネル３上の
像を見ることができる。
イ装置の概念図を図１に示す。この図に示したように、
このディスプレイ装置は、駆動用等の回路部や入出力部
を含む本体容器１、光学系２、冷陰極ディスプレイパネ
ル３等により構成される。図中の４は、このディスプレ
イ装置を装着した人間、５はその目を表している。冷陰
極ディスプレイパネル３から出た光が、光学系２を通
り、目５に入ることで冷陰極ディスプレイパネル３上の
像を見ることができる。
【００１５】本発明による、冷陰極ディスプレイパネル
の、一実施例の斜視図を図２、図３に示す。図２は、デ
ィスプレイパネルの表示部分の中心部から周辺部にかけ
て、画素の大きさが異なる冷陰極ディスプレイパネルを
示しており、図３はディスプレイパネルの表示部分の中
心部から周辺部にかけて、画素の密度が異なる冷陰極デ
ィスプレイパネルを示している。すなわち、図２のディ
スプレイパネルでは、各引き出し電極１０の間隔は等し
く、またその幅は異なり、表示部分の中心部から周辺部
に行くにしたがって幅を広く形成している。また、表示
部分の中心部から周辺部に行くにしたがって、画素の大
きさを大きくしている。図３のディスプレイパネルで
は、各引き出し電極１０の間隔は異なり、表示部分の中
心部から周辺部に行くにしたがって間隔を広く形成して
おり、また、その幅を等しく形成している。また、表示
部分の中心部から周辺部に行くにしたがって、画素の密
度を小さくしている。
の、一実施例の斜視図を図２、図３に示す。図２は、デ
ィスプレイパネルの表示部分の中心部から周辺部にかけ
て、画素の大きさが異なる冷陰極ディスプレイパネルを
示しており、図３はディスプレイパネルの表示部分の中
心部から周辺部にかけて、画素の密度が異なる冷陰極デ
ィスプレイパネルを示している。すなわち、図２のディ
スプレイパネルでは、各引き出し電極１０の間隔は等し
く、またその幅は異なり、表示部分の中心部から周辺部
に行くにしたがって幅を広く形成している。また、表示
部分の中心部から周辺部に行くにしたがって、画素の大
きさを大きくしている。図３のディスプレイパネルで
は、各引き出し電極１０の間隔は異なり、表示部分の中
心部から周辺部に行くにしたがって間隔を広く形成して
おり、また、その幅を等しく形成している。また、表示
部分の中心部から周辺部に行くにしたがって、画素の密
度を小さくしている。
【００１６】本発明の冷陰極ディスプレイパネルは電子
放出部６と発光部７からなる。図４は図２及び図３の中
で丸印で表した電子放出単位８とそれに対応する発光部
を合わせた一つの発光単位の拡大断面図である。電子放
出単位８は電子放出電極９、電子引き出し電極１０、絶
縁層１１、電子放出電極９の引き出し部１２、基板１３
により構成される。発光部７は透明基板１４、透明導電
膜である電子捕集電極１５、蛍光体層１６により構成さ
れる。図２及び図３のように電子放出電極の引き出し部
１２と電子引き出し電極１０によりマトリクスを構成
し、発光したい画素の電子放出電極９と電子引き出し電
極１０の間に電圧を印加することで、電子放出電極より
電子が放出され、この電子が蛍光体を励起して発光する
ことにより冷陰極ディスプレイパネルは動作する。
放出部６と発光部７からなる。図４は図２及び図３の中
で丸印で表した電子放出単位８とそれに対応する発光部
を合わせた一つの発光単位の拡大断面図である。電子放
出単位８は電子放出電極９、電子引き出し電極１０、絶
縁層１１、電子放出電極９の引き出し部１２、基板１３
により構成される。発光部７は透明基板１４、透明導電
膜である電子捕集電極１５、蛍光体層１６により構成さ
れる。図２及び図３のように電子放出電極の引き出し部
１２と電子引き出し電極１０によりマトリクスを構成
し、発光したい画素の電子放出電極９と電子引き出し電
極１０の間に電圧を印加することで、電子放出電極より
電子が放出され、この電子が蛍光体を励起して発光する
ことにより冷陰極ディスプレイパネルは動作する。
【００１７】図５は本実施例の冷陰極ディスプレイパネ
ルにおける、画素の大きさに関する概念図であり、ディ
スプレイパネルを横方向から見た断面図である。画素１
７はディスプレイパネルの表示部分１８の中心付近の画
素である。画素１９はディスプレイパネルの表示部分１
８の中心付近から周辺部方向に外れた部分にある画素で
ある。直線２０から２３は図を説明するための補助線で
ある。直線２０は画素１９のディスプレイパネルの中心
部側でない方の端と目の中心２４を結ぶ直線。直線２１
は画素１９のディスプレイパネルの中心部側の端と目の
中心２４を結ぶ直線。直線２２は画素１７の画素１９側
の端と目の中心２４を結ぶ直線。直線２３は画素１７の
画素１９とは反対側の端と目の中心２４を結ぶ直線。直
線２０と直線２１のなす角のうち小さい方をＳ１とす
る。直線２２と直線２３のなす角のうち小さい方をＳ２
とする。画素１７の幅をＬ、画素１９の幅をＬ′とす
る。角度Ｓ１と角度Ｓ２が等しくなるように画素の幅
Ｌ、Ｌ′を決めればよい。本発明では、ディスプレイパ
ネルの表示部分を真上から見たときの縦、横の両方向に
関してこのようにして画素の大きさを決定した。従っ
て、画素の大きさは中心部から周辺部へ行くに従って次
第に大きくなっていくことになる。
ルにおける、画素の大きさに関する概念図であり、ディ
スプレイパネルを横方向から見た断面図である。画素１
７はディスプレイパネルの表示部分１８の中心付近の画
素である。画素１９はディスプレイパネルの表示部分１
８の中心付近から周辺部方向に外れた部分にある画素で
ある。直線２０から２３は図を説明するための補助線で
ある。直線２０は画素１９のディスプレイパネルの中心
部側でない方の端と目の中心２４を結ぶ直線。直線２１
は画素１９のディスプレイパネルの中心部側の端と目の
中心２４を結ぶ直線。直線２２は画素１７の画素１９側
の端と目の中心２４を結ぶ直線。直線２３は画素１７の
画素１９とは反対側の端と目の中心２４を結ぶ直線。直
線２０と直線２１のなす角のうち小さい方をＳ１とす
る。直線２２と直線２３のなす角のうち小さい方をＳ２
とする。画素１７の幅をＬ、画素１９の幅をＬ′とす
る。角度Ｓ１と角度Ｓ２が等しくなるように画素の幅
Ｌ、Ｌ′を決めればよい。本発明では、ディスプレイパ
ネルの表示部分を真上から見たときの縦、横の両方向に
関してこのようにして画素の大きさを決定した。従っ
て、画素の大きさは中心部から周辺部へ行くに従って次
第に大きくなっていくことになる。
【００１８】画素の密度を変えて、同様の効果を得る場
合には、図５で説明した、画素の大きさの決定法と同じ
方法で、画素のピッチを決定した。この場合、画素の大
きさは表示部分全体にわたり均一でも、各画素はとなり
の画素との間の空間のちょうど中心付近までの表示を受
け持つことになり、一つの画素が受け持つ表示部分の面
積そのものは、画素の大きさを変えた場合とほぼ同じで
ある。この状況を図６に示した。表示部分の中心付近の
画素２５が受け持つ発光面積の幅を矢印２６で、また画
素２５よりも中心から離れたところにある画素２７が受
け持つ発光面積の幅を矢印２８で各々示した。矢印２８
は、矢印２６よりも、幅が広くなっている。この場合、
周辺部の画素の発光量は中心付近の画素の発光量よりも
大きなものが必要になる。
合には、図５で説明した、画素の大きさの決定法と同じ
方法で、画素のピッチを決定した。この場合、画素の大
きさは表示部分全体にわたり均一でも、各画素はとなり
の画素との間の空間のちょうど中心付近までの表示を受
け持つことになり、一つの画素が受け持つ表示部分の面
積そのものは、画素の大きさを変えた場合とほぼ同じで
ある。この状況を図６に示した。表示部分の中心付近の
画素２５が受け持つ発光面積の幅を矢印２６で、また画
素２５よりも中心から離れたところにある画素２７が受
け持つ発光面積の幅を矢印２８で各々示した。矢印２８
は、矢印２６よりも、幅が広くなっている。この場合、
周辺部の画素の発光量は中心付近の画素の発光量よりも
大きなものが必要になる。
【００１９】表示部分上の画素の大きさや密度の様子を
図７に示す。画素の大きさそのものを変える場合は、図
中の縦横の線に区切られた領域の各々が画素を表してい
る。また、画素の大きさは変えずに、画素の密度を変え
る場合には、図中の縦横の線の交点が画素の中心を表し
ている。
図７に示す。画素の大きさそのものを変える場合は、図
中の縦横の線に区切られた領域の各々が画素を表してい
る。また、画素の大きさは変えずに、画素の密度を変え
る場合には、図中の縦横の線の交点が画素の中心を表し
ている。
【００２０】図８は、本発明の冷陰極ディスプレイパネ
ルの作製プロセスを示す図である。以下、図にしたがっ
て作製法について説明する。（Ａ）硝子基板２９上に、
モリブデン膜３０を真空蒸着法により成膜した。膜厚は
０．３ミクロンである。（Ｂ）フォトリソグラフィーと
ドライエッチングにより、モリブデン膜３０を加工し、
電子放出電極の引き出し部を設けた。加工後のモリブデ
ン膜の形状の平面図は図９に示したように長方形とな
る。エッチングはＣＦ４ガスを用いたドライエッチング
法により行なった。（Ｃ）この基板上に真空蒸着法によ
り、酸化シリコン膜３１を約１．５ミクロンの膜厚で成
膜し、さらにその上から、モリブデン膜３２を約０．３
ミクロンの膜厚になるように、真空蒸着法により成膜し
た。酸化シリコン膜は絶縁膜に、モリブデン膜は電子引
き出し電極になる。（Ｄ）酸化シリコン膜３１とモリブ
デン膜３２をフォトリソグラフィーとドライエッチング
により加工し、図に示したように、これらの膜の中に円
筒形の穴３３を開けた。穴の直径は約１．２ミクロンで
ある。さらにもう一度フォトリソグラフィーとドライエ
ッチングを行ないモリブデン膜３２をライン状に加工し
た。加工後の形状の平面図を図１０に示す。モリブデン
膜と酸化シリコン膜のエッチングにはＣＦ４ガスを用い
た。（Ｅ）基板表面に矢印３４の方向からアルミナを斜
め真空蒸着し、アルミナ膜３５を設けた。蒸着角度は基
板面に対して約３０°であり、膜厚は約０．１ミクロン
である。（Ｆ）基板に垂直な方向からモリブデンの蒸着
を行ない、電子放出電極３６を設けた。モリブデンの膜
厚は約１．２ミクロンである。この際、不要なモリブデ
ン膜３７を生じる。（Ｇ）リン酸によるウエットエッチ
ングを行うことでアルミナ膜３５のリフトオフを行な
い、不要なモリブデン膜３７を除去した。このような方
法により電子放出部３８を作製した。（Ｈ）透明基板３
９上に、ＩＴＯを材料とする透明導電膜４０を膜厚にし
て約０．３ミクロン設け、さらにこの上から蛍光体層４
１を設けた。このような方法により発光部４２を作製し
た。次に電子放出部３８と発光部４２をスペーサー４３
を介して接合し、さらに素子全体を硝子容器４４中に封
入し電極引き出し部の延長部分４５を駆動回路４６と接
続した。内部の真空度は１０のマイナス９乗ｔｏｒｒ台
とした。
ルの作製プロセスを示す図である。以下、図にしたがっ
て作製法について説明する。（Ａ）硝子基板２９上に、
モリブデン膜３０を真空蒸着法により成膜した。膜厚は
０．３ミクロンである。（Ｂ）フォトリソグラフィーと
ドライエッチングにより、モリブデン膜３０を加工し、
電子放出電極の引き出し部を設けた。加工後のモリブデ
ン膜の形状の平面図は図９に示したように長方形とな
る。エッチングはＣＦ４ガスを用いたドライエッチング
法により行なった。（Ｃ）この基板上に真空蒸着法によ
り、酸化シリコン膜３１を約１．５ミクロンの膜厚で成
膜し、さらにその上から、モリブデン膜３２を約０．３
ミクロンの膜厚になるように、真空蒸着法により成膜し
た。酸化シリコン膜は絶縁膜に、モリブデン膜は電子引
き出し電極になる。（Ｄ）酸化シリコン膜３１とモリブ
デン膜３２をフォトリソグラフィーとドライエッチング
により加工し、図に示したように、これらの膜の中に円
筒形の穴３３を開けた。穴の直径は約１．２ミクロンで
ある。さらにもう一度フォトリソグラフィーとドライエ
ッチングを行ないモリブデン膜３２をライン状に加工し
た。加工後の形状の平面図を図１０に示す。モリブデン
膜と酸化シリコン膜のエッチングにはＣＦ４ガスを用い
た。（Ｅ）基板表面に矢印３４の方向からアルミナを斜
め真空蒸着し、アルミナ膜３５を設けた。蒸着角度は基
板面に対して約３０°であり、膜厚は約０．１ミクロン
である。（Ｆ）基板に垂直な方向からモリブデンの蒸着
を行ない、電子放出電極３６を設けた。モリブデンの膜
厚は約１．２ミクロンである。この際、不要なモリブデ
ン膜３７を生じる。（Ｇ）リン酸によるウエットエッチ
ングを行うことでアルミナ膜３５のリフトオフを行な
い、不要なモリブデン膜３７を除去した。このような方
法により電子放出部３８を作製した。（Ｈ）透明基板３
９上に、ＩＴＯを材料とする透明導電膜４０を膜厚にし
て約０．３ミクロン設け、さらにこの上から蛍光体層４
１を設けた。このような方法により発光部４２を作製し
た。次に電子放出部３８と発光部４２をスペーサー４３
を介して接合し、さらに素子全体を硝子容器４４中に封
入し電極引き出し部の延長部分４５を駆動回路４６と接
続した。内部の真空度は１０のマイナス９乗ｔｏｒｒ台
とした。
【００２１】
【発明の効果】本発明では、ヘッドマウント型ディスプ
レイ装置のディスプレイ部として、冷陰極ディスプレイ
パネルを使用することにより、小型でも高精彩な表示が
可能なヘッドマウント型ディスプレイ装置を提供するこ
とができる。
レイ装置のディスプレイ部として、冷陰極ディスプレイ
パネルを使用することにより、小型でも高精彩な表示が
可能なヘッドマウント型ディスプレイ装置を提供するこ
とができる。
【００２２】本発明の冷陰極ディスプレイパネルでは、
表示部分の中心部から周辺部にかけて、画素の密度と大
きさの少なくともどちらか一方が異なり、これにより、
表示部分の中心部と周辺部での視野角の相違により生じ
る、表示部分の周辺部が圧縮されたように見える現象を
取り除き、画像が歪んで見えるのを防ぐことができる。
表示部分の中心部から周辺部にかけて、画素の密度と大
きさの少なくともどちらか一方が異なり、これにより、
表示部分の中心部と周辺部での視野角の相違により生じ
る、表示部分の周辺部が圧縮されたように見える現象を
取り除き、画像が歪んで見えるのを防ぐことができる。
【図１】本発明の、冷陰極ディスプレイパネルを表示素
子として用いたヘッドマウント型ディスプレイ装置の概
念図。
子として用いたヘッドマウント型ディスプレイ装置の概
念図。
【図２】本発明の冷陰極ディスプレイパネルの構成例の
斜視図。
斜視図。
【図３】本発明の冷陰極ディスプレイパネルの別の構成
例の斜視図。
例の斜視図。
【図４】本発明の冷陰極ディスプレイパネルの発光単位
の断面図。
の断面図。
【図５】本発明における冷陰極ディスプレイパネルの画
素の大きさの決定方法に関する概念図。
素の大きさの決定方法に関する概念図。
【図６】本発明における冷陰極ディスプレイパネルの画
素の密度の決定方法に関する概念図。
素の密度の決定方法に関する概念図。
【図７】本発明における冷陰極ディスプレイパネルの表
示部上の画素の大きさと密度に関する概念図。
示部上の画素の大きさと密度に関する概念図。
【図８】本発明の冷陰極ディスプレイパネルの作製法を
示す図。
示す図。
【図９】図８の工程Ｂでの加工後の膜の形状の平面図。
【図１０】図８の工程Ｄでの加工後の膜の形状の平面
図。
図。
【図１１】従来の、液晶ディスプレイパネルを表示素子
として用いたヘッドマウント型ディスプレイ装置の概念
図。
として用いたヘッドマウント型ディスプレイ装置の概念
図。
【図１２】従来の、冷陰極ディスプレイパネルの構成例
の斜視図。
の斜視図。
【図１３】従来の、冷陰極ディスプレイパネルの発光単
位の断面図。
位の断面図。
【図１４】従来の、冷陰極ディスプレイパネルをヘッド
マウント型ディスプレイ装置の表示素子として用いた場
合に生じる、画像の歪みに関する概念図。
マウント型ディスプレイ装置の表示素子として用いた場
合に生じる、画像の歪みに関する概念図。
Ｄ ディスプレイ装置 ３ 冷陰極ディスプレイパネル ６、５３ 電子放出部 ７、５４ 発光部 ８、５５ 電子放出単位 ９、５６ 電子放出電極 １０、５７ 電子引き出し電極 １１、５８ 絶縁層 １２、５９ 電子放出電極の引き出し部 １３、６０ 基板 １４、６９ 透明基板 １５、６１ 電子捕集電極 １６、６２ 蛍光体層 １７、１９、２５、２７、６６、６７ 画素 １８ ディスプレイパネルの表示部分 ２４、６５ 目の中心部 ５０ バックライト付き液晶ディスプレイパネル
Claims (3)
- 【請求項１】 電子放出部と発光部からなり、電子放出
部の電子放出単位が、電子放出電極、電子引き出し電
極、絶縁層、電子放出電極の引き出し部、基板により構
成され、発光部が透明基板、透明導電膜である電子捕集
電極、蛍光体層により構成される冷陰極ディスプレイパ
ネルをディスプレイ部が具備することを特徴とするヘッ
ドマウント型ディスプレイ装置。 - 【請求項２】 冷陰極ディスプレイパネルが、その表示
部分の中心部から周辺部にかけて、画素の密度と大きさ
の少なくともどちらか一方が異なることを特徴とする請
求項１記載のヘッドマウント型ディスプレイ装置。 - 【請求項３】 電子放出部と発光部からなり、電子放出
部の電子放出単位が、電子放出電極、電子引き出し電
極、絶縁層、電子放出電極の引き出し部、基板により構
成され、発光部が透明基板、透明導電膜である電子捕集
電極、蛍光体層により構成され、かつ表示部分の中心部
から周辺部にかけて、画素の密度と大きさの少なくとも
どちらか一方が異なることを特徴とする冷陰極ディスプ
レイパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4598094A JPH07255022A (ja) | 1994-03-16 | 1994-03-16 | ヘッドマウント型ディスプレイ装置及び冷陰極ディスプレイパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4598094A JPH07255022A (ja) | 1994-03-16 | 1994-03-16 | ヘッドマウント型ディスプレイ装置及び冷陰極ディスプレイパネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07255022A true JPH07255022A (ja) | 1995-10-03 |
Family
ID=12734342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4598094A Pending JPH07255022A (ja) | 1994-03-16 | 1994-03-16 | ヘッドマウント型ディスプレイ装置及び冷陰極ディスプレイパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07255022A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998022844A1 (en) * | 1996-11-19 | 1998-05-28 | Sony Corporation | Display |
| US9316834B2 (en) | 2011-11-24 | 2016-04-19 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Head-mounted display device with foveated pixels |
-
1994
- 1994-03-16 JP JP4598094A patent/JPH07255022A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998022844A1 (en) * | 1996-11-19 | 1998-05-28 | Sony Corporation | Display |
| US9316834B2 (en) | 2011-11-24 | 2016-04-19 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Head-mounted display device with foveated pixels |
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