JPH07253315A

JPH07253315A - 形状測定装置

Info

Publication number: JPH07253315A
Application number: JP7161894A
Authority: JP
Inventors: Takayoshi Kodama; 貴義兒玉
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-03-15
Filing date: 1994-03-15
Publication date: 1995-10-03

Abstract

(57)【要約】【目的】測定対象物の長さ形状を正確に測定すること
ができる形状測定装置を提供する。【構成】測定対象物の赤外線を集光する赤外線レンズ
１と、集光した赤外線強度を検出する赤外検出部12と、
赤外検出部により検出した赤外線を解析する赤外解析部
13を設ける。赤外検出部12は複数の赤外検出素子２ａ〜
２ｄを同一直線上に配設して形成し、赤外解析部13は、
各赤外検出素子２ａ〜２ｄのうち測定時に測定対象物の
赤外線を検出している受光中素子を区別する受光中素子
区別判断部14と、その受光中素子のうち測定対象物の端
部からの赤外線を検出する端部素子を区別する端部素子
区別判断部15と、測定対象物の端部位置を判断する端部
位置判断部16と端部位置判断部16の判断に基づき測定対
象物の長さを判定する長さ判定部18を設けて構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ベルトコンベ
ア等の搬送器によって移動する物体および自動車等の自
走する物体の形状を測定する形状測定装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】図８には、従来の形状測定装置がベルト
コンベア６とベルトコンベア６上を移動する箱５と共に
示されている。同図において、２つのベルトコンベア６
が間隔を介して配設されており、２つのベルトコンベア
６の隙間の上部側には複数の光電管発光素子９が等間隔
で配設されており、ベルトコンベア６の下部側には、各
光電管発光素子９の光軸Ｚと位置合わせされて、光電管
受光素子10が等間隔で複数配設されている。各光電管発
光素子９には図示されていない発光駆動手段が接続され
ており、各光電管受光素子10には、光電管受光素子10が
受光した光に基づいて測定対象物の長さを解析する受光
解析手段（図示せず）が接続されており、形状測定装置
は、光電管発光素子９、光電管受光素子10、発光駆動手
段、受光解析手段を有して構成されている。

【０００３】そして、発光駆動手段の駆動により各光電
管発光素子９から光電管の光が発光されると、それらの
光は対応する各光電管受光素子10に入射するようになっ
ているが、図８に示すように、箱５がベルトコンベア６
により搬送されて形状測定装置の形状測定領域に達する
と、箱５の部分27により光が遮られ、図９に示すよう
に、受光素子10のうち受光素子10ｂ〜10ｇが発光素子９
から光を受けることを妨げられ、受光解析手段は受光素
子10ａおよび10ｈ，10ｉが受光した光のみを取り込むこ
とになる。そして、受光解析手段により、箱５の横幅Ｗ
は、箱５により遮られた光電管数Ｎと、光電管発光素子
９、光電管受光素子10（光電管素子９，10）の配設ピッ
チＬ₀の値から式（１）により判定される。

【０００４】Ｗ＝Ｎ×Ｌ₀・・・・・（１）

【０００５】なお、光電管発光素子９と光電管受光素子
10の代わりにフォトインタプラクタを配置して同様に測
定を行う形状測定装置も用いられている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにして、式（１）により箱５の長さを判定すると、
実際には、箱５の長さＬ₁ではなく、光電管受光素子10
ａと光電管受光素子10ｂとの間の中心位置Ｐから光電管
受光素子10ｇと光電管受光素子10ｈとの間の中心位置Ｑ
との距離Ｌ₂が求められることになり、複数配設されて
いる光電管素子９，10のピッチＬ₀の整数倍といった大
雑把な値として求められるために、実際の箱５の長さＬ
₁との間に誤差が生じてしまい、箱５の長さＬ₁を正確
に測定することができなかった。

【０００７】そのような誤差を小さくするためには、小
型の光電管を配設したりして光電管発光素子９および光
電管受光素子10のピッチＬ₀を狭くするといった方法が
考えられるが、そのように光電管素子９，10のピッチＬ
₀を狭くして多くの光電管素子９，10を配設すると、そ
れだけ装置が高価なものとなり、また、光電管発光素子
９と光電管受光素子10との光軸を合わせる作業も多く行
うことになり、光電管発光素子９および光電管受光素子
10の設置作業も煩雑で大変であるといった問題があっ
た。

【０００８】本発明は上記従来の課題を解決するめにな
されたものであり、その目的は、測定対象物の長さ等を
正確に、しかも容易に測定することが可能であり、コス
トの安い形状測定装置を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のように構成されている。すなわち、本
発明は、測定対象物からの赤外線を集光する光学系と、
該光学系により集光された赤外線を検出する赤外検出部
と、該赤外検出部で検出した赤外線を解析する赤外解析
部とを有しており、前記赤外検出部は同一直線上に配設
された複数の赤外線検出素子により形成されており、赤
外解析部には赤外検出部の複数の赤外検出素子のうち測
定時に測定対象物の赤外線を受光している受光中素子と
非受光中素子を区別する受光中素子区別判断部と、該受
光中素子のうち測定対象物の端部からの赤外線を受光し
ている端部素子を区別する端部素子区別判断部と、該端
部素子区別判断部により区別した端部素子と端部素子を
除く受光中素子との赤外線強度を比較して端部素子を除
く受光中素子の赤外線強度に対する端部素子の赤外線強
度の割合に基づいて測定対象物の両端の端部位置を求め
る端部位置判断部と、該端部位置判断部の判断に基づい
て測定対象物の両端間の長さを判定する長さ判定部が設
けられていることを特徴として構成されている。

【００１０】また、前記赤外検出部は、赤外線リニアア
レイセンサとしたこと、測定対象物に赤外線を照射する
赤外線照射手段を設けたことも本発明の特徴的な構成と
されている。

【００１１】

【作用】上記構成の本発明において、測定対象物からの
赤外線が光学系により集光され、その赤外線が赤外検出
部により検出され、赤外解析部により解析されるが、こ
のとき、赤外解析部の受光中素子区別判断部により測定
時に測定対象物の赤外線を受光している受光中素子と非
受光中素子とが区別され、端部素子区別判断部により受
光中素子のうち測定対象物の端部からの赤外線を受光し
ている端部素子が区別され、端部位置判断部により上記
端部素子と端部素子を除く受光中素子との赤外線強度が
比較されて端部素子を除く受光中素子の赤外線強度に対
する端部素子の赤外線強度の割合に基づいて測定対象物
の両端の端部位置が求められ、長さ判定部により、端部
位置判断部の判断に基づいて測定対象物の両端間の長さ
が判定される。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、本実施例の説明において、従来例と同一名
称部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
図１には、本発明に係る形状測定装置の一実施例が示さ
れている。本実施例の形状測定装置は図２に示すよう
に、従来例と同様にベルトコンベア６により搬送される
箱５の長さＬ₁を測定する装置であり、本実施例の形状
測定装置には、測定対象物である箱５の赤外線を集光す
る光学系として機能する赤外線レンズ（赤外線凸レン
ズ）１が設けられており、赤外線レンズ１の上部側に
は、赤外線レンズ１により集光された赤外線強度を電圧
値として検出する赤外検出部12が設けられており、赤外
検出部12および赤外線レンズ１の下部側の箱５の領域７
からの赤外線が赤外線レンズ１により集光されて赤外検
出部12により検出されるようになっている。

【００１３】図１，３に示すように、赤外検出部12は複
数（図では４枚）の赤外検出素子２ａ〜２ｄが同一直線
上に配設されて形成されており、図１に示すように、赤
外検出部12には赤外解析部13が接続されており、赤外解
析部13には表示部19が接続されている。赤外解析部13
は、信号増幅手段３ａ〜３ｄ、受光中素子区別判断部1
4、端部素子区別判断部15、端部位置判断部16、メモリ
部17、長さ判定部18を有して構成されている。

【００１４】信号増幅手段３ａ〜３ｄはそれぞれ、赤外
検出部12の各赤外検出素子２ａ〜２ｄに接続されてお
り、赤外検出素子２ａ〜２ｄで検出した赤外線強度を増
幅して受光中素子区別判断部14に加えるようになってい
る。受光中素子区別判断部14は、信号増幅手段３ａ〜３
ｄにより増幅された赤外検出素子２ａ〜２ｄの赤外線強
度検出信号を受けて、測定時に測定対象物の赤外線を受
光している受光中素子と測定対象物の赤外線を受光して
いない非受光中素子を区別するものであり、箱５の赤外
線を受光している受光中素子と非受光中素子とを区別判
断して、受光中素子判断信号を端部素子区別判断部15に
加える。

【００１５】端部素子区別判断部15は、上記受光中素子
のうち測定対象物の端部からの赤外線を受光している端
部素子を区別するものであり、受光中素子区別判断部14
からの受光中素子判断信号を受けて、それらの受光中素
子のうち箱５の端部からの赤外線を受光している端部素
子を区別して、端部素子判断信号を端部位置判断部16に
加える。

【００１６】端部位置判断部16は、演算回路（図示せ
ず）を有しており、端部素子区別判断部15により区別し
た端部素子と端部素子を除く受光中素子との赤外線強度
を比較して、端部素子を除く受光中素子の赤外線強度に
対する端部素子の赤外線強度の割合に基づいて、演算回
路により測定対象物の両端の端部位置を求めるものであ
り、端部位置判断部16からの端部素子判断信号を受け
て、次式（２）に示すような演算式に基づいて、測定対
象物である箱５の端部の位置が端部素子のどれだけの位
置に対応しているか、すなわち、例えば、図３に示すよ
うに箱５の像８が映し出されたときに、箱５の像８が端
部側が端部素子に占める長さＭ（図ではＭ_a，Ｍ_b）を
求める。

【００１７】Ｍα（Ｖ−Ｖ₀）／（Ｖ₁−Ｖ₀）・・・・・（２）

【００１８】なお、式（２）において、Ｖは１つの端部
素子により検出される赤外線強度の値であり、Ｖ₁は受
光中素子のうち端部素子を除く素子の１つの素子により
検出される赤外線強度の値を示しており、Ｖ₀は赤外検
出部12の検出領域に測定対象物が存在しないときの赤外
線強度の値である。

【００１９】そして、例えば、図４に示すように、上記
式（２）により求めた値が１であるときには、測定対象
物の端部位置は端部素子の長さＭ₀と等しくなり、１／
２のときには端部素子の長さの１／２の長さＭ_aに等し
くなり、１／４のときには端部素子の長さの１／４の長
さＭ_bに等しくなるといったように、前記式（２）によ
り求めた値により箱５の一端側の端部位置を求めること
ができるようになっており、箱５の他端側についても同
様に端部位置を求めることができるようになっている。
そして、求めた両端の端部位置のデータを長さ判定部18
に加える。

【００２０】長さ判定部18は、端部位置判断部16の判断
に基づいて測定対象物の両端間の長さを判定するもので
あり、メモリ部17に予め入力されている赤外線レンズ１
による測定対象物の像の倍率ｆにより次式（３）により
測定対象物の両端間の長さを判定するようになってい
る。

【００２１】Ｌ₁＝ｆ（Ｎ・Ｍ₀＋Ｍ_a＋Ｍ_b）・・・・・（３）

【００２２】なお、上記式（３）のＮは受光中素子のう
ち端部素子を除く素子の数であり、Ｍ₀は赤外検出素子
２の長さであり、Ｍ_aは端部素子の一端側の素子に占め
る測定対象物の端部側の長さであり、Ｍ_bは端部素子の
他端側の素子に占める端部側の長さを示している。

【００２３】表示部19は、スイッチ切り換えにより切り
換え可能な２つの画面を有しており、図示されていない
メモリ部を有しており、一方側の画面では箱５の長さＬ
₁を、例えば20cmといった数値により表示し、他方側の
画面では赤外検出部12により検出されて赤外解析部13に
より解析された箱５の長さＬ₁を逐次メモリ部に記憶し
ながら表示し、例えば図５の（ａ）に示すように、一定
時間ごとに測定した箱５の長さＬ₁から箱５の形状をＡ
Ｂ平面上に表示できるようになっている。

【００２４】また、図２に示すように、形状測定装置に
は、測定対象物に赤外線を照射する赤外線照射手段とし
て機能する赤外線照射ランプ20が設けられており、ベル
トコンベア６により箱５が搬送されて赤外検出部12の下
部側に搬送される前に、赤外照射ランプ20により赤外線
が照射されるようになっている。

【００２５】本実施例は以上のように構成されており、
次にその動作について説明する。図２に示すように、ベ
ルトコンベア６に乗せられた箱５は、赤外照射ランプ20
の下部側を通るときに赤外照射ランプ20により赤外線が
照射され、その後、箱５はベルトコンベア６により搬送
されて矢印Ｂの方向に移動し、赤外検知部12の下部側に
達すると、箱５から放出される赤外線が赤外線レンズ１
により集光されて赤外検知部12により赤外線が検出され
る。そして、図１に示すように、赤外検知部12の各赤外
検出素子２ａ〜２ｄによりそれぞれ検出された赤外線
は、各信号増幅手段３ａ〜３ｄによりそれぞれ増幅され
て、それらの増幅信号は受光中素子区別判断部14に加え
られる。

【００２６】そうすると、受光中素子区別判断部14は各
赤外検出素子２ａ〜２ｄにより検出された各赤外線強度
を、予め測定対象物である箱５がないときの赤外線強度
Ｖ₀とそれぞれ比較して、各赤外検出素子２ａ〜２ｄに
より検出された赤外線強度がＶ₀を越えた赤外検出素子
を受光中素子と判断し、赤外線強度がＶ₀を越えない素
子は非受光中素子として判断し、端部素子区別判断部15
に受光中素子判断信号を加える。なお、本実施例では、
図３に示すように、赤外検出素子２ａ〜２ｄのいずれの
素子も箱５からの赤外線を検出しており、赤外検出素子
２ａ〜２ｄで検出された赤外線強度は、いずれもＶ₀よ
りも大きくなっており、受光中素子は赤外線検出素子２
ａ〜２ｄと判断され、非受光中素子はないと判断され
る。

【００２７】次に、端部素子区別判断部15は、受光中素
子のうち箱５の端部からの赤外線を受光している端部素
子を区別判断するために、各受光中素子により検出され
ている赤外線強度を比較し、受光中素子のうち赤外線強
度が比較的小さい素子を端部素子として判断し、例え
ば、図３に示すように、箱５の端部からの赤外線を検出
している赤外検出素子２ａ，２ｄを端部素子と判断して
端部位置判断部16に端部素子判断信号を加える。

【００２８】次に、端部位置判断部16は、端部素子と判
断された赤外検出素子２ａ，２ｄの赤外線強度を、端部
素子２ａ，２ｄを除く受光中素子２ｂ，２ｃのうち一方
側の素子（赤外検出素子２ｂおよび２ｃのいずれかの素
子）の赤外線強度と比較して、赤外検出素子２ｂまたは
２ｃの赤外線強度に対する赤外検出素子２ａの赤外線強
度の割合を前記式（２）により求める。本実施例ではこ
の値は0.5 となる。また、同様に、赤外検出素子２ｂま
たは２ｃの赤外線強度に対する赤外検出素子２ｄの赤外
線強度の割合を前記式（２）により求めると、この値は
0.25となり、これらの値に基づいて、図４より箱５の両
端の端部側の長さＭ_a，Ｍ_bを求めて、これらの求めた
値を長さ判定部18に加える。そして、長さ判定部18は、
それらの値をＭ_a，Ｍ_bと、メモリ部17に予め与えられ
ている赤外線レンズ１の倍率ｆに基づいて前記式（３）
により箱５の長さＬ₁を求めて、求めた長さＬ₁の値を
表示部19に加える。

【００２９】そして、表示部19は、スイッチ切り換えに
より一方側の画面には箱５の長さＬ₁を数値として表示
し、他方側の画面には長さ判定部18側から逐次加えられ
る一定時間ごとの信号に基づいて、図５の（ａ）に示す
ように箱５の形状を表示する。

【００３０】本実施例によれば、上記動作により、赤外
検知部12により箱５の赤外線が検出され、赤外解析部13
の受光中素子区別判断部14により測定時に箱５の赤外線
を受光している受光中素子と非受光中素子とが区別さ
れ、端部素子区別判断部15により受光中素子のうち箱５
の端部からの赤外線を検出している端部素子が区別判断
され、その判断に基づいて端部位置判断部16により箱５
の両端の端部位置が正確に求められ、そのデータに基づ
いて長さ判定部18により箱５の両端間の長さＬ₁が判定
されるために、箱５の長さＬ₁を正確に判定することが
でき、その結果が表示部19に表示されるために、測定対
象物である箱５の長さ・形状を即座に、しかも正確に測
定することが可能となる。

【００３１】また、本実施例によれば、赤外照射ランプ
20により、箱５の形状測定前に箱５に赤外線が照射され
るために、箱５から放出されている赤外線を、箱５以外
の、例えばベルトコンベア６等の他の物体から放出され
ている赤外線と区別するときに、非常に区別し易い状態
とすることができる。

【００３２】さらに、本実施例によれば、表示部19は切
り換え可能な２つの画面を有しており、スイッチ切り換
えにより一方側の画面には箱５の長さＬ₁を数値で表示
し、他方側の画面には図５に示したようなＡＢ平面に形
状を表示するようになっているために、箱５の長さ・形
状をより正確に表示することが可能となり、例えば、図
５の（ｂ）に示すような形状の測定対象物の形状測定を
行う際にも、測定対象物の形状をほぼ正確に把握するこ
とにより、測定対象物をどの方向から検出しているかも
把握することが可能となり、測定対象物がベルトコンベ
ア６の搬送軸方向に対して斜めに配置された状態で搬送
されたとしても、表示部19に表示されたデータを有効に
活用することが可能となる。

【００３３】さらに、赤外検出部12による赤外線検出
は、箱５の上部側からのみ行われ、従来のように、箱５
の上部側に設けた光電管発光素子９からの光を光電管受
光素子10に入射させて箱５の長さＬ₁を測定するときの
ように、測定位置においてベルトコンベア６を分離する
必要はなく、連続したベルトコンベア６のいかなる位置
に赤外検出部12を設けても形状測定を行うことができる
ために、ベルトコンベア６の作製や赤外検出部12の配置
等も非常に容易となり、また、従来用いられていた光電
管素子９，10のように光軸合わせ等の必要もなく、その
分だけ装置の作製コストも安くすることが可能となる。

【００３４】なお、本発明は上記実施例に限定されるこ
とはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば、上記
実施例では、測定前に箱５に赤外線を照射する赤外線照
射手段として赤外照射ランプ20を設けたが、赤外線照射
手段には必ずしも赤外照射ランプ20にするとは限らず、
赤外照射ランプ以外の赤外線照射手段を設けても構わな
いし、赤外線照射手段は省略することもできる。ただ
し、赤外照射ランプ20のような赤外線照射手段を設けて
測定前に測定対象物に赤外線を照射するように構成すれ
ば、たとえ測定対象物から放出されている赤外線が弱く
とも、その赤外線を他の物体から放出されている赤外線
と区別し易くなるために、特に測定対象物から放出され
る赤外線の量が微弱なとき等には赤外線照射手段を設け
ることが望ましい。

【００３５】また、上記実施例では、個々の独立した赤
外線検出素子２ａ〜２ｄを同一直線上に複数配設して赤
外検出部12を形成したが、赤外検出部12は、複数の赤外
線検出素子が同一直線上に一体配置された赤外線リニア
アレイセンサとしても構わない。そのように、赤外検出
部12を赤外線リニアアレイセンサにより形成した場合に
は、個々の独立した赤外検出素子を複数配設して赤外検
出部を形成する場合よりもより小型の装置とすることが
可能となる。

【００３６】さらに、上記実施例では、赤外検出部12は
４つの赤外検出素子２ａ〜２ｄを配設して形成したが、
赤外検出部12は複数の赤外線検出素子により形成されて
いればよく、赤外検出素子の配設数や素子の大きさ等は
適宜設定されるものである。

【００３７】さらに、上記実施例では、測定対象物から
の赤外線を集光する光学系として赤外線レンズ（赤外線
凸レンズ）としたが、光学系は必ずしも赤外線レンズ１
により形成するとは限らず、フレネルレンズ・反射鏡等
により形成しても構わない。

【００３８】さらに、上記実施例では、表示部19は２つ
の画面を切り換えることにより、箱５の長さの数値と、
図５に示したようなＡＢ平面上の形状との２つの方法で
表示するように構成したが、表示部19は必ずしも２つの
画面を切り換えるとは限らず、１つの画面のみを有して
いてもよく、表示の仕方も特に限定されることはなく、
適宜設定されるものである。

【００３９】また、表示部19を設ける代わりに、報知部
を設け、報知部により長さ判定部18で判定した長さをア
ナウンス等により報知するようにしてもよいし、例え
ば、長さ判定部18と表示部19や報知部との間に、長さ判
定部18で判定した長さを予め決められた製品の企画値等
の長さと比較して、長さ判定部18により判定された長さ
が製品の企画値と大幅に異なる場合には異常信号を表示
部19や報知部に出力する手段を設け、異常信号が出力さ
れたときには、表示部19等により異常を知らせるように
する等してもよく、長さ判定部18で判定された長さに基
づいて様々な対処をすることもできる。

【００４０】さらに、上記実施例では、ベルトコンベア
６により搬送される箱５を測定対象物として箱５の長さ
Ｌ₁を測定する形状測定装置としたが、本発明の形状測
定装置は、必ずしもベルトコンベア６により搬送される
箱５を測定対象物として測定するとは限らず、ベルトコ
ンベア６以外の搬送手段により搬送される物体を測定対
象物としても構わず、また、図６に示すように、自走す
るトラック25の上部側に赤外線レンズ１および赤外検出
部12を設けてトラック25の幅Ｗ₁を測定したりする形状
測定装置としても構わず、図７に示すように、トラック
25の側面側に赤外線レンズ１および赤外検出部12を設け
てトラック25の高さＨ₁を測定する形状測定装置として
もよく、本発明の形状測定装置の測定対象物は搬送器に
より搬送される物体やトラック等のように自走する物体
等、様々な物体を測定できるものである。

【００４１】

【発明の効果】本発明によれば、測定対象物からの赤外
線が光学系により集光されて赤外検出部により検出さ
れ、受光中素子区別判断部により、測定時に測定対象物
の赤外線を受光している受光中素子と非受光中素子とが
区別され、端部素子区別判断部により受光中素子のうち
測定対象物の端部からの赤外線を受光している端部素子
が区別され、端部位置判断部により端部素子と端部素子
を除く受光中素子との赤外線強度が比較されて、その比
較結果に基づいて測定対象物の両端の端部位置が求めら
れ、求めた端部位置に基づいて長さ判定部により測定対
象物の両端間に長さが判定されるために、測定対象物の
両端間の長さは即座に、かつ、容易に、しかも正確に測
定することが可能となる。

【００４２】また、本実施例の形状測定装置は、従来の
光電管素子を用いた形状測定装置のように、光電管発光
素子と光電管受光素子との光軸を合わせる必要もなく、
測定対象物の赤外線を検知できるいかなる場所にも設け
ることが可能となり、装置が複雑化することもなく、そ
の分だけコストも安いものとすることができる。

【００４３】さらに、赤外検出部は、赤外線リニアアレ
イセンサにより形成されている本発明によれば、赤外検
出部をより小型のものとすることが可能となり、よりコ
ストを安くすることができるし、測定対象物に赤外線を
照射する赤外線照射手段を設けた本発明によれば、たと
え測定対象物から放出される赤外線の量が微弱なもので
あっても、測定対象物に赤外線を照射することにより測
定対象物の赤外線強度を強くすることができ、それによ
り測定対象物の赤外線を測定対象物以外の他の物体から
放出される赤外線と区別することがより容易となるため
に、より即座に、かつ、正確に測定対象物の形状を測定
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る形状測定装置の一実施例を示すブ
ロック構成図である。

【図２】上記第１の実施例の構成および動作を示す説明
図である。

【図３】上記実施例における箱５の赤外線を赤外線レン
ズ１により集光して赤外検出部12に入射させる状態を示
す説明図である。

【図４】赤外検出部12の各赤外線検出素子２ａ〜２ｄで
検出される赤外線強度と赤外線検出素子２ａ〜２ｄに占
める測定対象物のＸ方向の長さとの関係を示すグラフで
ある。

【図５】上記実施例の表示部19に表示される測定対象物
の表示例を示す説明図である。

【図６】本発明の形状測定装置の他の実施例を示す説明
図である。

【図７】本発明の形状測定装置のさらに他の実施例を示
す説明図である。

【図８】従来の形状測定装置を示す説明図である。

【図９】従来の形状測定装置により箱５の形状測定を行
う動作を示す説明図である。

【符号の説明】

１赤外線レンズ２ａ〜２ｄ赤外検出素子 12 赤外検出部 13 赤外解析部 14 受光素子区別判断部 15 端部素子区別判断部 16 端部位置判断部 18 長さ判定部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定対象物からの赤外線を集光する光学
系と、該光学系により集光された赤外線を検出する赤外
検出部と、該赤外検出部で検出した赤外線を解析する赤
外解析部とを有しており、前記赤外検出部は同一直線上
に配設された複数の赤外線検出素子により形成されてお
り、赤外解析部には赤外検出部の複数の赤外検出素子の
うち測定時に測定対象物の赤外線を受光している受光中
素子と非受光中素子を区別する受光中素子区別判断部
と、該受光中素子のうち測定対象物の端部からの赤外線
を受光している端部素子を区別する端部素子区別判断部
と、該端部素子区別判断部により区別した端部素子と端
部素子を除く受光中素子との赤外線強度を比較して端部
素子を除く受光中素子の赤外線強度に対する端部素子の
赤外線強度の割合に基づいて測定対象物の両端の端部位
置を求める端部位置判断部と、該端部位置判断部の判断
に基づいて測定対象物の両端間の長さを判定する長さ判
定部が設けられていることを特徴とする形状測定装置。
【請求項２】赤外検出部は、赤外線リニアアレイセン
サとしたことを特徴とする請求項１記載の形状測定装
置。
【請求項３】測定対象物に赤外線を照射する赤外線照
射手段を設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２
記載の形状測定装置。