JPH0725277Y2 - 流体紫外線照射装置の整流板 - Google Patents
流体紫外線照射装置の整流板Info
- Publication number
- JPH0725277Y2 JPH0725277Y2 JP1989075649U JP7564989U JPH0725277Y2 JP H0725277 Y2 JPH0725277 Y2 JP H0725277Y2 JP 1989075649 U JP1989075649 U JP 1989075649U JP 7564989 U JP7564989 U JP 7564989U JP H0725277 Y2 JPH0725277 Y2 JP H0725277Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- flow
- ultraviolet irradiation
- irradiation device
- straightening
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- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 イ．考案の目的 〈産業上の利用分野〉 本考案は、整流板を付設した流体紫外線照射装置に関す
るもので、たとえば半導体製造、医薬品製造等の際に使
用する流体（水等の液体やガス等の気体）を製造する際
に用いるものである。
るもので、たとえば半導体製造、医薬品製造等の際に使
用する流体（水等の液体やガス等の気体）を製造する際
に用いるものである。
〈従来の技術〉 流体に紫外線を照射して細菌、有機物、有害物等の存在
しない処理流体を得る流体紫外線照射装置は、前述した
産業分野を始めとして、各産業分野で用いられている。
しない処理流体を得る流体紫外線照射装置は、前述した
産業分野を始めとして、各産業分野で用いられている。
これらの装置の紫外線照射処理を行う流体の流路に整流
板を付設してないと、紫外線ランプより遠い箇所におい
て紫外線の照射を十分に受けない流体の流れが生じ、こ
の紫外線照射量の少ない流れが存在するために、流体全
体として処理結果（純度等）が悪くなるという不具合が
あった。
板を付設してないと、紫外線ランプより遠い箇所におい
て紫外線の照射を十分に受けない流体の流れが生じ、こ
の紫外線照射量の少ない流れが存在するために、流体全
体として処理結果（純度等）が悪くなるという不具合が
あった。
その対策としては流体の流路に乱流を生じさせるための
撹拌板や風車板等を付設することがあるが、この場合に
は流体が乱流状態になるので、紫外線照射の点において
は多少改善されるが、流体は一定の厚みを持つて層状に
なって流れる結果、紫外線ランブより遠い箇所を流れる
流体の存在は解消できず、また流体の流速が遅いときは
乱流が発生せずに流体はショートパスを起こすおそれが
あった。
撹拌板や風車板等を付設することがあるが、この場合に
は流体が乱流状態になるので、紫外線照射の点において
は多少改善されるが、流体は一定の厚みを持つて層状に
なって流れる結果、紫外線ランブより遠い箇所を流れる
流体の存在は解消できず、また流体の流速が遅いときは
乱流が発生せずに流体はショートパスを起こすおそれが
あった。
さらに撹拌板や風車板の影となって紫外線の照射を受け
ない流体が生じ、いずれにおいても流体全体として紫外
線照射量が低下して流体の処理結果に悪影響が出ること
が多かった。
ない流体が生じ、いずれにおいても流体全体として紫外
線照射量が低下して流体の処理結果に悪影響が出ること
が多かった。
〈本考案が解決しようとする課題〉 半導体製造、医薬品製造等においては、これらの製品の
製造の際に使用する水等の液体やガス等の気体の処理結
果、たとえば純度が問題になり、これらの流体への紫外
線照射量をいかに高めるかが課題となっている。
製造の際に使用する水等の液体やガス等の気体の処理結
果、たとえば純度が問題になり、これらの流体への紫外
線照射量をいかに高めるかが課題となっている。
本考案は、従来の流体紫外線照射装置における前述した
問題を解決するもので、処理する流体に対する紫外線照
射量を高め、流体の処理結果を向上させることを目的と
し、また流体の処理流量を増加させることを目的とす
る。
問題を解決するもので、処理する流体に対する紫外線照
射量を高め、流体の処理結果を向上させることを目的と
し、また流体の処理流量を増加させることを目的とす
る。
換言すると、この処理流体を半導体や医薬品等の製品を
製造するする際の用水に適するように処理結果を高める
ことに目的がある。
製造するする際の用水に適するように処理結果を高める
ことに目的がある。
ロ、考案の構成 〈課題を解決するための手段〉 本考案は、前述した従来の問題点を解決した整流板を付
設した流体紫外線照射装置に関するもので、紫外線ラン
プを内臓した紫外線透過性のある内筒の多数本を外筒内
に同心円的に配設し、紫外線照射によって流体中の細菌
の殺菌、有機物の酸化分解、有害物質の分解等の処理を
行う流路を形成した流体紫外線照射装置において、複数
枚の円板状の整流板に設けた複数個の流通穴を内筒の外
面に嵌め込むについて、各整流板を相互に間隔を置い
て、かつ各整流板の複数個の流通穴の内周と内筒の外面
との間に流体の流速を均等にする流体間隙を形成させる
とともに、各整流板の外周を外筒の内面に接するように
外筒内に取り付けたことに特徴がある。
設した流体紫外線照射装置に関するもので、紫外線ラン
プを内臓した紫外線透過性のある内筒の多数本を外筒内
に同心円的に配設し、紫外線照射によって流体中の細菌
の殺菌、有機物の酸化分解、有害物質の分解等の処理を
行う流路を形成した流体紫外線照射装置において、複数
枚の円板状の整流板に設けた複数個の流通穴を内筒の外
面に嵌め込むについて、各整流板を相互に間隔を置い
て、かつ各整流板の複数個の流通穴の内周と内筒の外面
との間に流体の流速を均等にする流体間隙を形成させる
とともに、各整流板の外周を外筒の内面に接するように
外筒内に取り付けたことに特徴がある。
以下、図面に従って説明すると、第１図は、本発明の紫
外線照射装置の構造を簡略化して説明するものであっ
て、図中１はステンレス製の外筒であり、この外筒１の
内部には紫外線ランプ２を内臓した石英ガラス製の内筒
３を同心円的に設置して流路４を形成し、この流路４に
紫外線透過性を有する弗素樹脂製の円板状の整流板５を
複数枚を間隔を置いて付設し、各整流板５の中心部に１
個の流通穴11を設け、この流通穴11に１本の内筒３に嵌
め込み、各整流板５を互いに間隔をおいて、かつ整流板
５の内周と内筒３の外面との間に流通間隙６を形成させ
るとともに整流板５の外周を外筒１の内面に接するよう
に取り付けた状態を示すものである。
外線照射装置の構造を簡略化して説明するものであっ
て、図中１はステンレス製の外筒であり、この外筒１の
内部には紫外線ランプ２を内臓した石英ガラス製の内筒
３を同心円的に設置して流路４を形成し、この流路４に
紫外線透過性を有する弗素樹脂製の円板状の整流板５を
複数枚を間隔を置いて付設し、各整流板５の中心部に１
個の流通穴11を設け、この流通穴11に１本の内筒３に嵌
め込み、各整流板５を互いに間隔をおいて、かつ整流板
５の内周と内筒３の外面との間に流通間隙６を形成させ
るとともに整流板５の外周を外筒１の内面に接するよう
に取り付けた状態を示すものである。
なお、本発明の実際の整流板５は、流体に対する紫外線
照射効率を向上させめために、第２図に示すように、各
整流板５に複数個の流通穴11を設け、この複数個の各流
通穴11に紫外線ランプ２を内臓した各内筒３を流通間隙
６を持たせて配置したものである。
照射効率を向上させめために、第２図に示すように、各
整流板５に複数個の流通穴11を設け、この複数個の各流
通穴11に紫外線ランプ２を内臓した各内筒３を流通間隙
６を持たせて配置したものである。
この場合、各流通穴11の空隙率、すなわち流通穴11にお
ける流通間隙６の占める割合が等しくなるように各流通
穴11の径を決め、これにより各流通路４の流速の均一化
をはかり、紫外線照射量を十分に確保して、流体の紫外
線照射効率を向上させる。
ける流通間隙６の占める割合が等しくなるように各流通
穴11の径を決め、これにより各流通路４の流速の均一化
をはかり、紫外線照射量を十分に確保して、流体の紫外
線照射効率を向上させる。
整流板５の外径は外筒１の内径とほぼ等しく、整流板５
の内径は内筒３の外径より２〜40mm大きくする。換言す
ると、流通間隙６は２〜40mmあればよく、５〜20mmが適
当であり、整流板５の設置枚数は、外筒１と内筒３の長
さによって異なるが、通常は２〜15枚、望ましくは５〜
10枚がよい。
の内径は内筒３の外径より２〜40mm大きくする。換言す
ると、流通間隙６は２〜40mmあればよく、５〜20mmが適
当であり、整流板５の設置枚数は、外筒１と内筒３の長
さによって異なるが、通常は２〜15枚、望ましくは５〜
10枚がよい。
外筒１はステンレス以外にも溶出物が流出しない材質を
使用でき、内筒３は石英ガラス以外にも紫外線透過率が
高く、かつ流体中に溶出物が流出しない材質を使用でき
る。また、整流板５に弗素樹脂を使用したのは整流板５
の影をなくして紫外線照射量の増加をはかるためであ
る。
使用でき、内筒３は石英ガラス以外にも紫外線透過率が
高く、かつ流体中に溶出物が流出しない材質を使用でき
る。また、整流板５に弗素樹脂を使用したのは整流板５
の影をなくして紫外線照射量の増加をはかるためであ
る。
〈作用〉 細菌、有機物、有害物を含む流体を流路４に流入させる
と、流体は流路４に設けた整流板５によって外筒１の内
面に沿って流れることはないので、整流板５の複数の流
通穴11の内周と紫外線ランプ２を内臓した複数本の内筒
３の外面との間に形成した複数個の流通間隙６に薄膜状
になって流れるとともに、各流通穴11の空隙率、すなわ
ち各流通穴11の複数個の流通間隙６の占める割合を等し
くして、流体の流速の均一化をはかり、近接した紫外線
ランプ２より十分に照射される紫外線によって効率的な
紫外線照射処理がなされ、さらに次の整流板５の複数個
の流通間隙６に流れて行き、ここでも同様の効率的な処
理がなされ、以後、各整流板５の複数個の流通間隙６に
おいて、このような効率的な処理が多段階に行われるの
で、処理流体の紫外線照射量は相乗的に飛躍的に増加
し、流体の処理結果は格段と向上する。
と、流体は流路４に設けた整流板５によって外筒１の内
面に沿って流れることはないので、整流板５の複数の流
通穴11の内周と紫外線ランプ２を内臓した複数本の内筒
３の外面との間に形成した複数個の流通間隙６に薄膜状
になって流れるとともに、各流通穴11の空隙率、すなわ
ち各流通穴11の複数個の流通間隙６の占める割合を等し
くして、流体の流速の均一化をはかり、近接した紫外線
ランプ２より十分に照射される紫外線によって効率的な
紫外線照射処理がなされ、さらに次の整流板５の複数個
の流通間隙６に流れて行き、ここでも同様の効率的な処
理がなされ、以後、各整流板５の複数個の流通間隙６に
おいて、このような効率的な処理が多段階に行われるの
で、処理流体の紫外線照射量は相乗的に飛躍的に増加
し、流体の処理結果は格段と向上する。
ハ．考案の効果 以上述べたように、本考案の流体紫外線照射装置におい
ては、外筒を流れる流体の全量を、整流板の複数の流通
穴と複数本の内筒との間に形成した複数個の流通間隙に
均一に、かつ紫外線ランプに接近して薄膜状になって通
過させ、さらに複数枚の整流板によって多段階に紫外線
照射をすることによって、紫外線の照射効率を相乗的に
飛躍的に増加させることができ、紫外線照射量を従来装
置に比較して1.5〜２倍増加させることが可能であり、
紫外線照射量を従来装置と同じにすれば、その分だけ流
体の処理流量も増加することも可能であり、半導体や医
薬品等の製造工程において使用する用水の処理に最適な
高品質の処理流体を得ることができる。
ては、外筒を流れる流体の全量を、整流板の複数の流通
穴と複数本の内筒との間に形成した複数個の流通間隙に
均一に、かつ紫外線ランプに接近して薄膜状になって通
過させ、さらに複数枚の整流板によって多段階に紫外線
照射をすることによって、紫外線の照射効率を相乗的に
飛躍的に増加させることができ、紫外線照射量を従来装
置に比較して1.5〜２倍増加させることが可能であり、
紫外線照射量を従来装置と同じにすれば、その分だけ流
体の処理流量も増加することも可能であり、半導体や医
薬品等の製造工程において使用する用水の処理に最適な
高品質の処理流体を得ることができる。
第１図は本発明の紫外線照射装置の構造を簡略化して説
明したもので、一個の流通穴を設けた整流板の複数枚
を、紫外線ランプを内臓した１本の内筒に嵌め込み、各
整流板の流通穴の内周と内筒の外面との間に流通間隙を
形成させた状態を表す断面図であり、第２図は本発明の
紫外線照射装置の構造を説明したもので、整流板に複数
個の流通穴を設け、複数枚の整流板の複数個の流通穴に
紫外線ランプを内臓した１本の内筒に嵌め込み、各整流
板の複数個の流通穴の内周と内筒の外面との間に、流体
を均等に流す複数個の流通間隙を形成させた状態を表す
断面図である。 １……外筒、５……整流板 ２……紫外線ランプ、６……流通間隙 ３……内筒、７……反射板 ４……流路、11……流通穴
明したもので、一個の流通穴を設けた整流板の複数枚
を、紫外線ランプを内臓した１本の内筒に嵌め込み、各
整流板の流通穴の内周と内筒の外面との間に流通間隙を
形成させた状態を表す断面図であり、第２図は本発明の
紫外線照射装置の構造を説明したもので、整流板に複数
個の流通穴を設け、複数枚の整流板の複数個の流通穴に
紫外線ランプを内臓した１本の内筒に嵌め込み、各整流
板の複数個の流通穴の内周と内筒の外面との間に、流体
を均等に流す複数個の流通間隙を形成させた状態を表す
断面図である。 １……外筒、５……整流板 ２……紫外線ランプ、６……流通間隙 ３……内筒、７……反射板 ４……流路、11……流通穴
Claims (1)
- 【請求項１】紫外線ランプを内臓した紫外線透過性のあ
る内筒の複数本を間隔を置いて外筒内に配設し、紫外線
照射によって流体中の細菌の殺菌、有機物の酸化分解、
有害物質の分解等の処理を行う流路を形成した流体紫外
線照射装置において、複数枚の紫外線透過性を有する円
板状の整流板に設けた複数個の流通穴を内筒の外面に嵌
め込むについて、各整流板を相互に間隔を置いて、かつ
各整流板の複数個の流通穴の内周と内筒の外面との間に
流体の流速を均一にする流通間隙を形成させるとともに
各整流板の外周を外筒の内面に接するように取り付けた
整流板を付設した流体紫外線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989075649U JPH0725277Y2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 流体紫外線照射装置の整流板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989075649U JPH0725277Y2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 流体紫外線照射装置の整流板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0361982U JPH0361982U (ja) | 1991-06-18 |
| JPH0725277Y2 true JPH0725277Y2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=31616410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989075649U Expired - Lifetime JPH0725277Y2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 流体紫外線照射装置の整流板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0725277Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110384808A (zh) * | 2018-04-20 | 2019-10-29 | 旭化成株式会社 | 紫外线照射装置 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3708317B2 (ja) * | 1998-01-13 | 2005-10-19 | 株式会社ホンダアクセス | 光触媒式空気清浄器 |
| JP4690872B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2011-06-01 | 株式会社東芝 | 紫外線照射水処理装置 |
| US7862728B2 (en) * | 2007-09-27 | 2011-01-04 | Water Of Life, Llc. | Ultraviolet water purification system |
| JP4995979B1 (ja) * | 2011-07-28 | 2012-08-08 | 厚子 ▲高▼橋 | 便器 |
| WO2013084485A1 (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-13 | 株式会社Ｌｅａｐ | 殺菌装置 |
| JP6080937B1 (ja) * | 2015-12-08 | 2017-02-15 | 日機装株式会社 | 流体殺菌装置 |
| CN110382418B (zh) * | 2017-02-23 | 2022-12-13 | 默克专利股份公司 | 流通式流体纯化设备和用于容纳辐射源的装置 |
| JP7267201B2 (ja) * | 2017-02-23 | 2023-05-01 | メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | フロースルー流体浄化デバイス |
| JP6617228B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2019-12-11 | 株式会社ヤマト | 水の撹拌装置 |
| US11464885B2 (en) | 2018-04-20 | 2022-10-11 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Ultraviolet light irradiation device |
| US20230147787A1 (en) * | 2019-06-28 | 2023-05-11 | Ushio Denki Kabushiki Kaisha | Gas treatment method and gas treatment device |
| JP7300105B2 (ja) * | 2019-07-22 | 2023-06-29 | ウシオ電機株式会社 | ガス処理装置及びガス処理方法 |
| JP2023057632A (ja) * | 2021-10-12 | 2023-04-24 | Ｎｅｘｔ Ｉｎｎｏｖａｔｉｏｎ合同会社 | 毒性対象減消装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5414701Y2 (ja) * | 1974-10-28 | 1979-06-16 | ||
| JPS59150589A (ja) * | 1983-02-17 | 1984-08-28 | Raizaa Kogyo Kk | 用廃水の浄化方法とその装置 |
| JPS6087889A (ja) * | 1983-10-20 | 1985-05-17 | Arubatsuku Service Kk | 流水用紫外線殺菌器 |
| JPS6115092U (ja) * | 1984-06-30 | 1986-01-28 | 岩崎電気株式会社 | 流体殺菌装置 |
| JPH038392Y2 (ja) * | 1985-10-24 | 1991-02-28 |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP1989075649U patent/JPH0725277Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110384808A (zh) * | 2018-04-20 | 2019-10-29 | 旭化成株式会社 | 紫外线照射装置 |
| CN110384808B (zh) * | 2018-04-20 | 2021-05-07 | 旭化成株式会社 | 紫外线照射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0361982U (ja) | 1991-06-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |