JPH0549094U - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】紫外線照射装置において処理する流体の紫外線
照射量、処理結果を向上させるとともに、流体の処理流
量を増加させ、さらに紫外線照射装置をコンパクトで、
スマートにすること。 【構成】紫外線照射装置の処理筒内に、紫外線ランプを
内臓した紫外線透過性のある透過筒を配設し、紫外線照
射にる流体中の細菌の殺菌等の処理を行う流路を形成
し、この透過筒を中心として、仕切り板の多数枚を放射
状に配設して処理筒内に複数の流室を形成するについ
て、仕切り板に設ける切り欠き状の流通口を、各仕切り
板の一端部と他端部に交互に位置させて設け、複数の流
室を各流通口によって連通させて蛇行状の流路を形成さ
せた紫外線照射装置。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、紫外線照射によって流体中の細菌の殺菌、有機物の酸化分解、有害 物質の分解等の処理を行う紫外線照射装置に関するものである。 紫外線の照射によって細菌の殺菌、有機物や有害物の酸化分解等の処理をした 流体は、例えば半導体製造、医薬品製造等の際に使用する水等の液体として利用 されている。

【０００２】

【従来の技術】

流体に紫外線を照射して細菌、有機物、有害物等の存在しない処理流体を得る 紫外線照射装置は各産業分野で用いられている。 この種の紫外線照射装置においては、流体が一過性で通過してしまうために、紫 外線の照射時間が短く、また紫外線ランプより遠い箇所を流れる流体が生ずるた めに、紫外線の照射が不十分であるという欠点があった。

【０００３】 対応策としては、流体の流路に撹拌板や風車板等を付設したり、または流体の 流路に簡単な仕切り板や整流板を付設したりして、紫外線照射量の増加をはかる 試みもなされたが、紫外線照射量は多少増加するものの、流体が一過性で通過し てしまう欠点は同じで、紫外線の照射時間が短かく、紫外線ランプより遠い箇所 を流れる流体の存在は解消できず、流体は紫外線の照射を十分に受けることがで きず、流体全体として紫外線照射効率が悪くなり、処理結果（純度等）の低下を 招いていた。 さらに従来の紫外線照射装置においては、処理筒に設ける流体の流入管と流出管 とを、処理筒の端部の異なった位置、すなわち流入管を処理筒の上端に設けた時 は流出管を処理筒の下端に設けたり、あるいはその反対の位置に設けることが大 部分であり、装置のコンパクト化やデザインをスマートにする場合に支障をきた すことがあった。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

最近、半導体製造、医薬品製造等においては、製造技術の高度化に伴い、これ らの製品の製造の際に使用する水等の液体やガス等の気体の処理結果、たとえば 純度の向上が問題になり、流体への紫外線照射量をいかに高めるかが課題となっ ている。 本考案は、この紫外線照射装置において処理する流体に対する紫外線照射量を 高め、流体の処理結果を向上させるとともに、流体の処理流量を増加させるもの であり、さらに紫外線照射装置をコンパクトで、スマートにすることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案は、前述した従来の流体紫外線照射装置の問題点を解決するもので、紫 外線照射装置の処理筒内に、紫外線ランプを内臓した紫外線透過性のある透過筒 を配設し、紫外線照射によって流体中の細菌の殺菌、有機物の酸化分解、有害物 質の分解等の処理を行う流路を形成し、この透過筒を中心として、仕切り板の多 数枚を放射状に配設して処理筒内に複数の流室を形成するについて、仕切り板に 設ける切り欠き状の流通口を、各仕切り板の上端部と下端部に交互に位置させて 設け、複数の流室を各流通口によって連通させて蛇行状の流路を形成させたこと を特徴とするものである。 また本考案は、処理筒に設ける流体の流入管と流出管を、処理筒の側面の同一の 円周上であって、かつ流入口と接続させる流室と、流出口と接続させる流室とを 隣り合う位置に設けたことを特徴とするものである。

【０００６】

【実施例】

本考案の紫外線照射装置を、縦置式の場合を例として以下に説明をする。図１ に示すように、ステンレス製の処理筒１の内部に、紫外線ランプ２を内臓し た石英ガラス製の透過筒３を配置して流路４を形成し、この流路４に、紫外線透 過性を有する弗素樹脂製の仕切り板５を複数枚付設するが、仕切り板５は、その 一端が透過筒３の側面に接し、他端が処理筒３の内面に接し、かつ、透過筒３を 中心として、仕切り板５の多数枚を処理筒１内に放射状に配設して複数の流室６ を形成する。 なお、各仕切り板５には切り欠き状の流通口７を設けるが、図１に示すように、 この流通口７の位置を、仕切り板７ごとに、上端部と下端部と交互に変えて設け 、これらの流通口によって複数の流室６を連通させて蛇行状の流路を形成させる 。 すなわち、本考案においては、処理筒１内の液体は各流室６を交互に流れの方向 を変えて流れて行くようになり、図２に示すように、最初の一番目の流室６を上 向きに流れ、次の二番目の流室６を反対方向の下向き流れて行き、以後は仕切り 板５の枚数に応じて、三番目、四番目等と各流室６を交互に流れの方向を変えて 流れて行くようになる。 なお処理筒１内の複数の流室６は、流体の流入側の流室６の大きさを小さくし たり、透過筒３との間隔を狭くしたり、あるいは流体の流出側の流室６の大きさ を大きくしたり、透過筒３との間隔を広くしたりしてもよい。 また、流通口７の設置位置は、仕切り板の上端部または下端部であればよいが、 紫外線照射効率を高めるためには、処理筒３の内面に接して設けるとよい。

【０００７】 仕切り板５の設置枚数は、求められる紫外線照射量、流体の処理流量、処理筒 １と透過筒３の長さによって異なるが、通常は２〜１２枚、望ましくは４〜８枚 がよい。 切り欠き状の流通口７の大きさは、流体の流入管８と流出管９の口径と同じであ ればよく、処理液体の流速、流量等に応じて適宜変えてもよい。 さらに、処理筒１には流体の流入管８と流出管９を接続するが、本考案において は、流入管８と接続させる流室６と、流出管９と接続させる流室６とを隣り合う 位置に設けることが多い。 また流入管８と流出管９とは、通常の場合は、流入管８を処理筒１の上端に設け た時は流出管９を処理筒１の下端に設けたり、あるいはその反対の位置に設ける るが、この流体の流入管８と流出管９を、処理筒１の側面のほぼ同一位置、たと えば同一の円周上の位置に設けて装置のコンパクト化等をはかることも考えられ る。 仕切り板５の材質として紫外線透過性弗素樹脂を使用すると、仕切り板５の影が なくなり紫外線照射量の増加をはかるが、本考案においては、蛇行状の流路８を 形成させることによって、紫外線照射量の増加をはかっているので、ステンレス やプラスチック等の紫外線劣化に強く、不純物の溶出の少ないものを用いるとよ い。 処理筒１の材質としてはステンレスを使うことが多いが、これ以外にも溶出物が 流出しない材質であれば使用が可能であり、また透過筒３の材質としては石英ガ ラスを用いることが通常であるが、これ以外にも紫外線透過率が高く、かつ流体 中に溶出物が流出しない材質であれば使用できる。

【０００８】

【作用】

本考案の紫外線照射装置の操作について説明する。 細菌、有機物、有害物を含む流体を流入管８より処理筒１に流入させると、流体 は仕切り板５によって区切られた最初の一番目の流室６に入って行くために、他 の流室６に流れることはなく、一番目の流室６内のみを上向きに流れて行き、流 体は、その表面が仕切り板５の上端に設けた流通口７に上昇して行く間まで、透 過筒３と常に接触し、紫外線ランプ２より十分な紫外線の照射を受けて、流通口 ７より溢流して隣の二番目の流室６に流下して行く。 そして二番目の流室６においては、液体は貯留されるとともに、その一部は仕切 り板５の下端に設けた流通口７より、さらに隣の三番目の流室６に入って行くが 、この間に液体は透過筒３と常に接触し、紫外線ランプ２より十分な紫外線の照 射を受けることは一番目の流室６の場合と同様である。 三番目の流室６においても、流体は流室６内を上向きに流れて行き、その表面が 仕切り板５の上端に設けた流通口７に上昇して行く間まで、透過筒３と常に接触 し、紫外線ランプ２より十分な紫外線の照射を受けて、流通口７より溢流して隣 の四番目の流室６に流下して行くことになり、以後は仕切り板５の設置枚数に応 じて、同様な流体の処理を繰り返し、そして処理流体は最後の通室６を経て、処 理筒１の流出管９より外部に流出して行き、各用途のために使用される。

【０００９】

【効果】

以上述べたように、本考案の仕切り板を付設した紫外線照射装置においては、 複数の流室を各流通口によって連通させて蛇行状の流路を形成させ、各通室にお いて、流体を整流された状態で、近接した紫外線ランプより紫外線を十分に効率 的に照射し、しかもこの十分に効率的な紫外線の照射を多段階に行う結果、流体 の紫外線照射量は飛躍的に増加し、従来装置に比較して１．１〜１．５倍と照射 量を増加させることが可能であり、流体の処理純度を従来装置に比較して１．１ 〜１００倍と向上させることがきる。 また本考案によると、流体の処理流量も従来装置に比較して１．１〜１．５倍 と増加させることができる。 したがって、本考案の仕切り板を付設した紫外線照射装置において、紫外線照 射による細菌の殺菌、有機物や有害物の酸化分解等の処理をした流体は、高純度 であるために、例えば半導体製造、医薬品製造等の際に求められている用水とし て最適である。 さらに本考案によると、処理筒の流体の流入管と流出管を、処理筒の側面のほ ぼ同一位置に設けることができ、紫外線照射装置をコンパクト化をはかることが 可能となり、装置のデザインもスマートにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の多数枚の仕切り板を放射状に配設して
蛇行状の流路を形成させた紫外線照射装置の断面図であ
る。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【符号の説明】

１ 処理筒 ２ 紫外線ランプ ３ 透過筒 ４ 流路 ５ 仕切り板 ６ 蛇行状の流路 ７ 流通口 ８ 流入管 ９ 流出管

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 紫外線照射装置の処理筒内に、紫外線ラ
   ンプを内臓した紫外線透過性のある透過筒を配設し、紫
   外線照射によって流体中の細菌の殺菌、有機物の酸化分
   解、有害物質の分解等の処理を行う流路を形成し、この
   透過筒を中心として、仕切り板の多数枚を放射状に配設
   して処理筒内に複数の流室を形成するについて、仕切り
   板に設ける切り欠き状の流通口を、各仕切り板の一端部
   と他端部に交互に位置させて設け、複数の流室を各流通
   口によって連通させて蛇行状の流路を形成させた紫外線
   照射装置。
2. 【請求項２】 請求項１の各仕切り板の流通口を、透過
   筒に接触させて設けた紫外線照射装置。
3. 【請求項３】 請求項１の処理筒に設ける流体の流入管
   と流出管を、処理筒の側面のほぼ同一位置であって、か
   つ流入口と接続させる流室と、流出口９と接続させる流
   室とを隣り合う位置に設けた紫外線照射装置。